2惯性技术发展趋势及应用前景解析

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2.3 MEMS技术在惯性技术领域的应用
图4 Micro-IMU的侧面 图3 Micro-IMU的正面 Micro-IMU结合了IMU应用于嵌入式计算机系统的目标，改善了大小，重 量和功率消耗的指标，而性能仍然是比较先进的可商用化的IMU。通过对 MEMS传感器使用超大规模集成电路使之成为可能。 现代的具有三轴机械 特性的加速度计和陀螺仪和带有自动温度补偿的集成模数转换都集成在一 个芯片上。这种设计虽然去除了模拟转换器，高精密电压参考等一些内容， 但成功的将所有的传感器和微控制器继承在一个四层的PCB板上。
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11技术在惯性技术领域的应用 微电子机械系统（micro electro mechanical systems）代表了一 种未来将改变整个工业和带来下一次技术革命的技术。
MEMS是建立在微米/纳米技术（micro/nanotechnology)基础上的 21世纪前沿技术，使之对微米/纳米材料进行设计、加工、制造和控 制的技术。它可将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统、数字 处理系统集成为一个整体单元的微型系统。应用MEMS技术可以把微 加速度计和微陀螺仪组合在一起，构成一个惯性测量单元，使其在体 积、重量、成本、功耗、可靠性和寿命等方面都具有很大优势。从而 形成了微惯性技术的基础。 应用实例：无线微型惯性测量单元（A Wireless Micro Inertial Measurement Unit (IMU)）
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2.1 陀螺仪
环形激光陀螺（RLG）利用光程差的原理来测量角速度。两束光波沿着同一 个圆周路径反向而行，当光源与圆周均发生旋转时，两束光的行进路程不同 ，产生了相位差，通过测量该相位差可以测出激光陀螺的角速度。 低成本、小体积的激光陀螺以honeywell的GG1308为代表，通过镜片、电 极整体烧结工艺一次成形，总体积小于2立方英寸，其精度可达1º /h，重量为 60克，能承受20g的振动，每个仅为1000美元。由于这种激光陀螺体积小， 重量轻，成本低，所以在武器装备上得到广泛应用。 honeywell的另一种低 成本陀螺为GG1320，其精度为0.1 º /h，重量为100克，输入速率可达+800 度。
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正如前文所讲，惯性传感器是惯性导航系统发展的基础，与之类似， 惯性导航系统的设计和发展须要考虑权衡的主要因素有：① 必须针 对并满足应用的需求，其中导航性能（尤其是精度）和价格成本是首 要的两个特性指标。价格成本包含系统自身成本、维护成本和使用寿 命。因此对于很多导航应用，合理的价格仍然被置于应用要求的最前 面。导航性能包括：导航的精确性、连续性、完整性、易用性，易用 性是指系统易于使用和维护、系统的自主性等。② 实际的应用环境 是最大的挑战。系统的体积、功耗、可靠性和可用性会关系到惯性导 航系统能否在具体的应用环境中被采用。③ 提高惯性导航系统的通 用性，拓展应用领域。
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2.1 陀螺仪
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2.1 陀螺仪
惯性导航系统的一大缺点是误差随时间累加，采用多传感器信息融合的组合 导航、零速修正和旋转调制等技术可以从一定程度上克服该问题。采用GPS 、星敏感器等与惯性系统进行组合，可大大提高激光陀螺导航系统的精度， 减小误差随时间的积累。采用旋转调制技术后，激光陀螺惯性导航系统的精 度能提高1到2个数量级，适合于长期导航。 激光陀螺以其独特的优点在军事、民用和科研等领域具有广泛的应用。美国 honeywell公司仅型号为GG-1320的激光陀螺即已生产了25万只以上，且目 前仍以1.7万只每年的产量全速生产。尽管在价格上面临微机电陀螺、光纤陀 螺等陀螺的竞争，但在中高精度应用领域，激光陀螺仍有广阔的市场。
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3 惯性导航系统的发展趋势
惯性导航系统发展和技术进步呈现以下特点： (1) GNSS技术的快速发展和进步，将取代部分传统的INS应用领域。 (2) INS与其他多种导航手段组合，尤其是GNSS/INS组合导航系统， 受到普遍关注。以INS为基础导航源、GNSs为主导航源的导航新模 式将成为未来一段时间的民航主要导航系统，但备份系统仍会在一段 时间内采用陆基导航设施。
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2.1 陀螺仪
2.1.2 光纤陀螺 光纤陀螺（Fiber Optical Gyro，FOG）使用与环形激光陀螺相同的 基本原理，但其使用光纤作为激光回路，可看作是第二代激光陀螺。 由于光纤可以进行绕制，因此光纤陀螺中激光回路的长度比环形激光 陀螺大大增加，使得检测灵敏度和分辨率也提高了几个数量级。光纤 陀螺的主要优点在于高可靠性、长寿命、快速启动、耐冲击和振动、 对重力不敏感、大动态范围等。 但是，构成光纤陀螺仪的核心部件对温度敏感．温度的变化会引起材 料物理参数、工作状态的变化以及结构零件的形变，这些变化会造成 光路的变化与激光能量的非均匀损耗．使光纤陀螺产生非互易性效应 ，降低光纤陀螺的输出精度．因此温度成为了高精度光纤陀螺仪工程 化过程中所面临的主要问题之一。其余如共振问题也是光纤陀螺待解 决的问题。
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2.3 MEMS技术在惯性技术领域的应用
图5 Micro-IMU的结构图
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2.3 MEMS技术在惯性技术领域的应用
对比：Honeywell公司生产的HG1930 IMU
图6 HG1930 IMU Honeywell公司生产的采用MEMS技术的IMU，广泛应用于美国军方无人 机和潜艇的导航，具有极强的环境适应能力和抗干扰能力，它采用了内部 环境隔离系统，能有效地过滤掉来自实际应用中不需要的传感器输入。
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2.2 加速度计
2.2 加速度计 加速度计是测量运载体线加速度的仪表，广泛应用于舰艇、船舶、航 空飞行器、陆地车辆等，扩展到航天飞机、星际探测、制导武器、大 地测量、资源勘测、地球物理测量、海洋探测、铁路、隧道等方面。 加速度计的发展方向之一：微加速度计 与通常的加速度计相比，微加速度计具有体积小、重量轻、成本低、 功耗低、可靠性高等优点，因此可被广泛运用于航空航天、汽车工业 、工业自动化及机器人等领域，也是武器装备所需的关键传感器之一 ，具有广阔的军事和民事应用前景。
目前世界上研制和生产激光陀螺及其系统的主要国家有美、英、德、法、日 本、俄罗斯和中国，其中美国和法国研制的水平最高，激光陀螺技术发展很 成熟，并形成了二频机抖、四频差动、空间三轴、塞曼陀螺等不同类型的系 列产品。总的来说激光陀螺将向高精度高可靠和小型化、低成本两大方向发 展。仅以最具代表性的环形激光陀螺（RLG）来说明激光陀螺的发展。
惯性技术发展趋势及应用前景
北京理工大学自动化学院 2120120995 刘 嘉
惯性技术发展趋势及应用前景
概述 惯性测量传感器的发展趋势 惯性导航系统的发展趋势 惯性技术在生活中的应用
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1 概述
惯性技术是利用牛顿经典力学和近代物理学原理进行运动物体姿态／轨迹测 量与控制的应用技术，涉及数学、力学、精密机械、自动控制、电子学、计 算机、光学、精密加工工艺、材料等学科，主要研究内容包括惯性仪表、惯 性系统、惯性导航、惯性制导、惯性测量等。 当前，惯性技术正处于蓬勃发展阶段，其目标是实现高精度、高可靠性、低 成本、小型化、数字化、应用领域更加广泛的导航系统。一方面，陀螺的精 度不断提高，漂移量可达10-6 º /h；另一方面，随着RLG、FOG、MEMS等 新型固态陀螺仪的逐渐成熟，以及高速大容量的数字计算机技术的进步， SINS在低成本、短期中精度惯性导航中呈现出取代平台式系统的趋势。在惯 性技术发展的历史过程中，Draper实验室、Sperry、原Litton、Delco、 Honeywell、Kearfott、Rockwell、GE（General Electric）以及其它一些 公司和研究机构，对惯性技术的成熟和广泛应用做出了卓越贡献。
高精度的惯性传感器作为军用级和宇航级产品，主要要求高精度、全温区、 抗冲击等指数。主要用于通讯卫星无线、导弹导引头、光学瞄准系统等稳定 性应用；飞机/导弹飞行控制、姿态控制等控制应用、以及中程导弹制导等。
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2.1 陀螺仪
2.1 陀螺仪 惯性传感器包含加速度计和陀螺仪。传统意义上的陀螺仪是安装在框架中绕 回转体的对称轴高速旋转的物体。陀螺仪具有稳定性和进动性，利用这些特 性制成了敏感角速度的速率陀螺和敏感角偏差的位置陀螺。由于光学、 MEMS 等技术被引入于陀螺仪的研制，现在习惯上把能够完成陀螺功能的装 置统称为陀螺。 2.1.1 激光陀螺
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2.3 MEMS技术在惯性技术领域的应用
惯性测量传感器未来发展的主要目标是降低器件的成本、体积/重量 和功耗等，具体包括以下几个方面： ① 材料和工艺：生产厂商采用低劳动密集型生产模式和批量处理技 术，选用硅片、石英、或结合光电材料（如铌酸锂）等新型材料，制 造惯性传感器。 ② 成本：包括产品自身成本和操作维护费用。由于大规模的批量生 产，惯性传感器成本在大幅下降。 ③ 体积：惯性测量传感器在不断向轻量化、小型化、微型化方向发 展；未来一些新型的惯性传感器将无法用肉眼识别，如：MEMS。 ④ 研究热点：一方面集中在小型化MEMS惯性器件的性能提高和有 效封装上，另一方面集中在光学传感器上，尤其是对采用集成光学的 FOG的研究。
(3) 地面车辆导航等民用市场发展迅速，价格低廉的一体化、小型化 、多模式组合导航设备成为市场发展的三个重要方向，这既是惯性导 航系统发展的机遇，也是挑战。
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4 惯性技术在生活中的应用
4 惯性技术在生活中的应用 惯性技术应用实例1：体感游戏及手机 Wii主机是任天堂公司于2006年发行的主机，从此“体感”成为了家 用机发展的趋势，微软，SNOY也先后推出了自己的体感主机和周边 。 wii手柄里面采用了一个三轴加速度传感器，当我们挥动手柄时，加 速度传感器通过感应玩家施加在手柄上面的力和地球引力等多方面因 素，来计算出手柄的运动轨迹， 再将这些数据通过蓝牙传送到主机 上 由主机在相应的游戏画面中表现出手柄的移动轨迹和移动速度， 这就形成了电视机里面的人会做和电视机外面的人一样的动作的效果 ，就是所谓的“体感”。