无尘室管理规定
无尘室的管理规范
无尘室的管理规范一、引言无尘室是一种特殊的工作环境，为了保证无尘室内的空气质量和工作效率，需要制定一套严格的管理规范。
本文将详细介绍无尘室的管理规范，包括无尘室的建设要求、操作规程、设备维护和清洁等方面的内容。
二、无尘室的建设要求1. 空气净化系统：无尘室应配备高效空气过滤器，能有效过滤空气中的微尘、细菌和有害气体。
2. 温湿度控制：无尘室内的温度和湿度应保持在合适的范围内，以确保工作环境的稳定性和舒适性。
3. 静电控制：无尘室内应采取静电消除措施，如使用防静电地板、穿防静电服等，以防止静电对工作环境和设备的影响。
4. 光照控制：无尘室内的光照应均匀、稳定，以避免光照差异对工作产生干扰。
三、无尘室操作规程1. 准入管理：进入无尘室前，工作人员应穿戴干净的工作服和鞋套，并进行适当的消毒处理。
2. 工作区域划分：根据工作需要，将无尘室划分为不同的工作区域，避免不同工作任务之间的交叉污染。
3. 操作规范：工作人员应按照操作规程进行操作，避免操作不当导致的污染和事故。
4. 物料管理：无尘室内的物料应符合相关要求，并进行适当的包装和标识，以避免污染和混乱。
5. 废弃物处理：废弃物应分类存放，定期清理和处理，以保持无尘室的整洁和卫生。
四、无尘室设备维护1. 设备巡检：定期对无尘室内的设备进行巡检，检查设备的运行状态和性能，及时发现并处理问题。
2. 设备保养：根据设备的使用说明书和维护手册，制定合理的保养计划，并按时进行设备保养工作。
3. 设备更换：对于老化或者浮现故障的设备，应及时更换或者修复，以确保设备的正常运行和工作效率。
4. 设备记录：建立设备使用和维护的记录，包括设备的使用时间、保养记录和故障处理等，以便于追溯和分析。
五、无尘室清洁1. 定期清洁：无尘室应定期进行清洁，包括地面、墙壁、天花板和设备等的清洁，以保持无尘室的整洁和卫生。
2. 清洁工具：清洁工具应专用于无尘室清洁，使用前应进行清洁和消毒处理，避免带入污染物。
无尘室管理制度及人员管理
一、前言无尘室作为一种特殊的生产环境，对生产过程中的产品质量和员工健康具有至关重要的影响。
为确保无尘室的生产环境稳定，提高产品质量，保障员工身体健康，特制定本制度。
二、无尘室管理制度1. 空气净化与净化度管理（1）无尘室应配备高效空气净化设备，确保室内空气洁净度达到规定标准。
（2）定期对空气净化设备进行维护和更换滤网，保证设备正常运行。
（3）严格控制室内温度、湿度、气流速度等参数，确保室内环境稳定。
2. 物料与设备管理（1）所有进入无尘室的物料和设备必须经过严格筛选和净化处理。
（2）建立物料和设备出入库管理制度，确保物料和设备的质量。
（3）对物料和设备进行定期检查，发现问题及时处理。
3. 人员管理（1）无尘室工作人员必须经过专业培训，了解无尘室的基本知识和操作规程。
（2）进入无尘室的人员必须穿着专用防尘服、帽子、口罩、手套等，并定期更换。
（3）严格执行人员进出管理制度，确保只有经过授权的员工才能进入无尘室。
4. 清洁与消毒管理（1）制定详细的清洁和消毒流程，定期对无尘室进行清洁和消毒。
（2）员工应按照流程进行操作，并做好记录。
（3）对清洁工具和消毒剂进行定期检查，确保其有效性和安全性。
三、人员管理1. 人员准入制度（1）无尘室工作人员必须经过健康检查，确保无传染病和其他可能影响产品质量的疾病。
（2）对特定工序的操作人员，如光刻、显影等，进行严格的身体健康审查。
2. 培训与教育（1）对所有进入无尘室的员工进行专业培训，使其了解无尘室的基本知识和操作规程。
（2）定期开展安全知识、个人卫生、工作纪律等方面的培训，提高员工的安全意识和综合素质。
3. 行为规范（1）无尘室员工应遵守规定的行为规范，如不随意走动、不大声喧哗、不吃东西、不吸烟等。
（2）严禁在无尘室内进行与生产无关的活动。
4. 工作交接班（1）交接班时，应做好详细的工作记录和信息交流。
（2）确保生产过程中的各项参数稳定，避免因交接班造成生产中断。
无尘室的管理规范
无尘室的管理规范引言概述：无尘室是一种高度洁净的工作环境，广泛应用于电子、制药、生物科技等领域。
为了确保无尘室的正常运行和产品质量，有必要建立一套严格的管理规范。
本文将从五个方面详细阐述无尘室的管理规范。
一、无尘室的设计与建设1.1 合理的布局：无尘室应根据工艺流程和设备布置进行合理的布局，确保流线作业的顺畅和无尘室内的空气流动。
1.2 适当的面积：无尘室的面积应根据工作需求和设备数量进行合理规划，避免过度拥挤和空间浪费。
1.3 合适的高度：无尘室的高度应根据工作需求和设备高度进行设计，确保操作人员的舒适性和作业的灵活性。
二、无尘室的净化设备选型与运行2.1 过滤器选择：根据无尘室的净化级别和工艺要求，选择适合的过滤器，如初效、中效、高效过滤器等，确保室内空气质量达到要求。
2.2 净化设备运行：定期检查和维护净化设备，确保其正常运行和过滤效果。
定期更换过滤器，避免过度堵塞影响净化效果。
2.3 温湿度控制：根据工艺要求和产品特性，合理控制无尘室内的温度和湿度，避免对产品质量产生不良影响。
三、无尘室的清洁与消毒3.1 定期清洁：无尘室应定期进行清洁，包括地面、墙壁、天花板、设备等，确保无尘室内的灰尘和杂质得到有效清除。
3.2 清洁工具选择：选择适合的清洁工具，如无尘布、吸尘器等，避免使用会产生静电或杂质的清洁工具。
3.3 消毒措施：根据工艺要求和产品特性，采取适当的消毒措施，确保无尘室内的微生物污染得到有效控制。
四、无尘室的人员培训与管理4.1 培训计划：制定无尘室人员的培训计划，包括无尘室操作规程、卫生要求、安全知识等内容，确保操作人员具备必要的知识和技能。
4.2 培训内容：培训内容应包括无尘室的工作原理、操作规程、紧急情况处理等，帮助操作人员全面了解无尘室的管理要求。
4.3 管理监督：建立有效的管理监督机制，对无尘室的操作人员进行定期考核和评估，确保他们能够按照规范进行操作和管理。
五、无尘室的记录与文件管理5.1 记录要求：无尘室应建立完善的记录体系，包括日志、报表、检测记录等，记录无尘室的运行情况和产品质量数据。
无尘室使用规章制度范本
无尘室使用规章制度一、总则第一条本制度旨在确保无尘室（以下简称“室”）的洁净度符合规定标准，保障生产和实验的正常进行，维护室内的设施及人员安全。
第二条本制度适用于所有使用和进入室的人员。
第三条使用和进入室的人员必须遵守本制度，如有违反，将按照公司的相关规定进行处理。
二、无尘室进入和离开规定第四条进入室的人员必须穿着合适的无尘服、帽子、口罩和鞋子，确保个人卫生和室内的洁净度。
第五条进入室的人员必须通过风淋室进行除尘处理。
在风淋室内，不得故意躲避光电感应器，确保全面除尘。
第六条进入室的人员不得携带任何污染物，如：尘土、纤维、细菌等。
第七条离开室的人员必须经过风淋室进行除尘处理，确保不对外部环境造成污染。
第八条进入和离开室的人员必须遵守缓冲区的规定，确保室内的洁净度不受影响。
三、无尘室内的行为规定第九条在室内不得大声喧哗、跑动、吸烟、饮食、触摸墙壁、地面和设备。
第十条严禁在室内进行任何可能产生污染的活动，如：打磨、切割、焊接等。
第十一条室内的工作台、设备和工作区域必须保持整洁，不得堆放杂物和个人物品。
第十二条定期对室内进行清洁和消毒，确保洁净度符合要求。
四、无尘室设备管理第十三条室内设备的使用必须按照操作规程进行，确保设备正常运行和安全。
第十四条设备的使用人员必须定期进行培训，掌握设备的操作技能和维护方法。
第十五条设备出现故障时，必须立即停止使用，并及时报告维修人员进行处理。
五、无尘室环境保护第十六条使用和进入室的人员必须关注环境保护，遵守国家和地方的环保法规。
第十七条室内产生的废弃物必须按照公司的废弃物处理规定进行分类、包装和标记。
第十八条室内排放的废气、废水必须符合国家和地方的环保标准。
六、无尘室安全管理第十九条使用和进入室的人员必须遵守公司的安全管理制度，确保自身和他人的安全。
第二十条室内必须配备必要的安全设施，如：灭火器、急救箱、警示标志等。
第二十一条发生事故时，必须立即启动应急预案，并及时报告公司相关部门。
无尘室管理制度
无尘室管理制度1. 进入无尘室时必须穿戴无尘衣帽未，未穿戴无尘衣帽人员禁止进入正常工作的无尘室。
2.未经公司主管核准，严禁带无关人员进入无尘室。
3.严禁携带饮料、食品、零食及私人物品进入无尘室内；如因工作需要，需要将手机带入无尘室，则需将手机装入自封袋中，接听手机时，不得将手机取出。
4.无尘室内不可化妆、涂指甲油、使用喷雾式香水、喷雾式发水等。
5.无尘室不得抽烟，如抽烟应烟味消散后漱口方可进入无尘室。
刚做完剧烈运动,应於呼吸平复後方可进入无尘室。
6.无尘室内不可大声喧哗、打闹、跑动，身体不适的人员，特别是腹部，鼻喉不适者不应进入无尘室。
7.无尘室内有机清洁溶剂不用时需以盖子密封并做好标识。
8.无尘室内物品需轻拿轻放、要遵循规定的路线及程序，进无尘室的物品需通过风淋室进入，出无尘室的物品由传递窗送出。
9.所有进入无尘车间人员不得坐于地面上，不可靠于墙壁上；严禁在无尘室内拉下口罩、手套、无尘衣拉链，严禁将无尘服的衣袖、裤脚挽起。
10.如发现使用的手套或无尘布脏污，应立即更换，确保已脏污的手套和无尘布不接触产品。
11.无尘室内书写一律用原珠笔或油性签字笔，不得使用铅笔，水性签字笔，橡皮擦。
12. 进入无尘室内文件需全部使用无尘纸，如使用非无尘纸，须加以塑胶套封装，擦拭乾净後方可进入。
13. 每天上班前，需对设备、工作台、周转箱、周转车、地板、墙壁、门窗（含传递窗）、置物柜、设备底部、地面的死角等等，进行全面的清洁工作。
14. 生产所产生的废料，及时放进该区域所准备的回收处，并在每天下班后将其清理出无尘车间；作业过程中如发现垃圾将超过容器表面的，需立即通过传递窗送出无尘室倾倒，注意传递窗清洁。
15. 物品需有标示，并整齐地摆放，用时取出，不用时应放回原处。
16. 沾到危险品的手套或其他物品，请立即洗净或更新，且不得触碰其它对象，以免伤及人员或损坏产品及设备。
若发生化学溶剂泼洒地面时，需立即用无尘拖把或回收无尘布擦拭干净。
《无尘室管理规定》
无尘室管理规定文件编号:WI-MFG-01版本/次：A/O页次：1.目的:为创建整洁安全的生产环境及规范人员对无尘室的正确操作,确保无尘室环境符合生产条件之要求特制定本规定。
2.范围:进入无尘室的所有人员及设备.3.定义:无4.权责：1.制造部对对无尘室内设施进行安装和维护及清洁.2.品保部对无尘室洁净度进行定期测试。
3.管理课负责委托合格清洁厂商对无尘衣服的清洗5.程序5.1人员管制规定5.1.1不定期对员工进行无尘室的管理规定培训。
5.1.2进入无尘室时必须穿戴自己无尘衣帽，不可随意穿戴他人无尘衣帽。
5.1.3外宾及厂商人员如需进入无尘室时需经制造部最高主管许可后并有本司人员陪同下方可进入。
5.2进入无尘室相相关规定5.2.1进入无尘室工作时需穿著合适之无尘衣服，鞋子等，以免无尘衣服，鞋子过小或过大而让穿着者感到不适.5.2.2进入无尘室无尘衣、帽、鞋子穿着顺序为：口罩→发帽→无尘衣→无尘鞋→手套→检查服装仪容→进入无尘室风淋门5.2.3穿戴着装要求︰口罩需遮住口鼻，发帽佩戴后头发不得外露；衣袖口须包住手套口,避免手肘外露,鞋子包住无尘衣裤.5.2.4进入风淋室（AIR SHOWER）之要求︰A 进入AIR SHOWER以3人为限.避免因人多也未能达到风淋之效果.B 进入风淋室不可靠墙、不可移动风口箭头角度。
C 吹气时，双手举高，旋转三圈以上，并轻拍无尘衣。
D AIR SHOWER 设定吹气１５秒，吹气停止後５秒，才可开门进入室。
5.3纪律规定5.3.1未经公司最高主管核准，禁止於无尘室内拍照或摄影。
5.3.2严禁携带饮料、食品、零食及私人物品进入无尘室内。
5.3.3无尘室内不可化浓妆、涂指甲油、戴手表手链、戒指、留长指甲、带食品、手机、私人物品进入。
无尘室管理规定文件编号:WI-MFG-01版本/次：A/O页次：5.3.4刚做完剧烈运动,应於10分钟後方可进入无尘室。
饮酒吸烟者严禁进入无尘室.5.3.5无尘室内不可高声宣哗、打闹、跑动。
无尘室管理规定
无尘室管理规定无尘室是一种特殊的工作环境，为了确保无尘室的正常运营和保持房间内的洁净度，必须制定严格的管理规定。
下面是无尘室管理规定的内容：1. 进入无尘室人员必须进行严格的培训，了解无尘室的使用规定和操作流程，并签署了解规定的文件。
2. 进入无尘室前必须穿戴适当的防护服，并进行适当的消毒处理，如洗手、穿戴手套等。
3. 进入无尘室的物品必须经过清洁和消毒处理，禁止携带灰尘、细菌等污染物进入无尘室。
4. 进入无尘室的人员不得携带金属物品，如钥匙、手机等有可能产生静电的物品。
5. 运输和存放无尘室所需的材料必须进行严格的包装和标示，以防止材料在运输和存放过程中受到污染。
6. 在无尘室中进行工作时，必须按照规定的工作程序进行，禁止随意更改操作流程。
7. 进行无尘室工作时，必须使用清洁剂和器具进行清洁和维护，及时清除产生的灰尘和污垢。
8. 禁止在无尘室中食用食物和饮用水，以防止食物和液体的进入给无尘室带来污染。
9. 在无尘室中必须禁止吸烟，以免烟雾、灰尘和烟灰污染无尘室空气。
10. 在无尘室工作结束后必须及时清理工作区域，保持无尘室的整洁和清洁。
11. 定期对无尘室内的空气质量进行检测，以确保无尘室的洁净度符合标准。
12. 对于无尘室中出现的污染物或故障，必须及时进行处理和修复，防止污染物和故障传播和扩大。
13. 进行无尘室工作的人员必须按照规定的工时进行工作，不得随意加班或擅自进入无尘室。
14. 无尘室管理部门必须定期进行培训和考核，确保员工对无尘室管理规定的了解和遵守。
以上是无尘室管理规定的一些基本内容，通过制定、执行和监督这些规定，可以保证无尘室的正常运营，并提高工作效率和产品质量。
无尘室的日常管理制度
一、目的为了确保无尘室内的环境清洁度，保障产品质量，提高生产效率，特制定本制度。
二、适用范围本制度适用于公司所有无尘室，包括但不限于生产区、研发区、检验区等。
三、职责1. 环境管理部门：负责无尘室的环境监测、清洁消毒、设备维护等工作。
2. 生产部门：负责无尘室内的生产操作，确保生产过程符合无尘室要求。
3. 研发部门：负责无尘室内的研发活动，确保研发过程符合无尘室要求。
4. 检验部门：负责无尘室内的产品检验，确保产品符合质量标准。
四、无尘室日常管理要求1. 温湿度控制：无尘室内的温度应控制在18-26℃之间，相对湿度应控制在40%-70%之间。
2. 压差控制：无尘室内的压差应控制在0.5-1.0Pa之间，确保空气流动方向一致，防止尘埃进入。
3. 空气净化：无尘室内的空气应通过高效过滤器进行净化，确保空气洁净度。
4. 物料管理：所有进入无尘室的物料应经过严格检测，符合无尘室要求。
5. 人员管理：（1）进入无尘室的人员必须经过专业培训，掌握无尘室操作规范。
（2）进入无尘室的人员应穿戴无尘服、无尘帽、无尘鞋等防护用品。
（3）进入无尘室的人员应遵守个人卫生规定，不得触摸面部、头发等部位。
（4）进入无尘室的人员应减少走动，避免产生尘埃。
6. 设备管理：（1）无尘室内的设备应定期进行清洁、维护和检修，确保设备正常运行。
（2）设备操作人员应熟悉设备操作规程，确保操作过程符合无尘室要求。
（3）设备运行过程中产生的尘埃应及时清理，防止尘埃扩散。
7. 清洁消毒：（1）无尘室内的地面、墙壁、设备等应定期进行清洁消毒，确保环境清洁。
（2）清洁消毒工作应使用专用清洁剂和消毒剂，避免交叉污染。
（3）清洁消毒工作应由专业人员进行，确保清洁消毒效果。
五、奖惩措施1. 对遵守无尘室管理制度，为提高无尘室环境清洁度做出贡献的部门和个人，给予表扬和奖励。
2. 对违反无尘室管理制度，造成环境污染、设备损坏、产品质量下降等后果的部门和个人，给予批评、警告、罚款等处罚。
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目录1.0 无尘车间管理的目的2.0 无尘车间管理的原则3.0 适用围4.0 术语5.0 管理程序5．1 无尘室施工管理制度5．2 无尘室洁净度定期检测制度/测量标准5．3 无尘室人员管理制度5．4 无尘室洁净服管理制度5．5 无尘室物流/洁净室设备及工器具管理制度5．6 无尘室清洁、清扫和灭菌管理5．7 无尘室洁净室安全管理6.0 版本更改记录1．0 无尘车间管理的目的半导体产品生产过程对车间有明确的洁净要求，为了满足生产工艺需要、保证产品质量、安全生产，必须对洁净室的环境、人员、物料、设备、生产过程等进行控制。
2．0 无尘车间管理的原则2.1 进入洁净室的管理，包括对洁净室工作人员进入、物料进入、各类设备的搬入以及相关的设备、管线的维护管理，应做到不得将微粒、微生物带入洁净室。
2.2 操作管理技术，对洁净室人员用洁净工作服的制作、穿着和清洗；操作人员的移动和动作；室设备及装修材料的选择和清扫、灭茵等，尽可能地减少、防止洁净室尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖等。
2.3 严格各类设备、设施的维护管理，制定相应的操作规程，保证各类设备、设施按要求正常运转，包括净化空调系统、各类水气电系统、生产工艺设备和工器具(工装夹具)等。
以确保产品生产工艺要求和空气洁净度等级。
2.4 清扫、灭菌管理，对洁净室的各类设备、设施的清扫、灭茵以及方法、周期和检查作明确的规定，防止、捎除洁净室尘粒、微生物的产生、滞留、繁殖。
2.5 洁净室环境控制的容包括：空气净化、洁净建筑、与产品直接接触的水或气体或化学品和生产设备、工器具等的污染物控制以及微振动、噪声、静电的控制、防止等。
3．0 适用围半导体公司所有洁净生产区及洁净辅助间(包括人员净化用室、物料净化用室和相关生活用室等)、车间管理区(包括部分办公、值班、管理和体息室等)和将来新建、改建、扩建的洁净厂房及其辅助用房。
4．0 术语.洁净生产区是洁净厂房的主要部分，对洁净级别有明确规定的区域。
洁净辅助间是洁净厂房不可缺少的必备房间。
洁净辅助间对洁净厂房的平面关系密切，对洁净厂房的建造带来影响和投产后能否满足产品生产的需要以及能否可靠地防止生产过程的污染或交叉污染至关重要。
管理区是洁净厂房的产品生产过程的生产管理、技术管理用房和必要的操作人员的休息、福利用房。
设备区即净化空调系统、公用动力系统等用房，是洁净厂房的重要组成部分。
5．0 管理程序5．1 无尘车间洁净室施工管理制度5．1．1 背景5．1．1．1 半导体制造业必须在洁净的环境中进行，在施工中必须遵循行业规则和程序。
本文件列出了这些规则和程序的概要。
为了保证项目的成功，现场的每一位人员都必须遵守。
5．1．1．2 图纸上对于施工的洁净建设草案将被强制执行。
这包括除了原料和成品仓库以外的所有主厂房的地方。
5．1．1．3 洁净室施工管理制度目前主要针对一期主厂房的局部改造和扩建，后期所有洁净室施工项目仍按照本制度规定的原则进行管理。
5．1．2 责任与义务5．1．2．1 所有承包商有责任确保他们的工人都了解这些规则和程序，并且在他们疏于遵从或违反时给予培训和训练。
被分配到洁净建设区域的每位工人有责任和义务理解并遵守洁净建设规则和程序。
5．1．2．2 承包商负责执行洁净室草案。
他将每天对洁净建设区域进行检查，并填写检查清单。
承包商负责提供洁净室所需物品，例如：鞋套，毛巾，垫子和工装。
他也负责提供每日执行洁净规则和程序的人员和设备。
5．1．2．3 承包商建造区域入口并对其进行管理。
他提供清洗晾晒每个入口处鞋、外套和衣服的清洗店。
他将对在洁净区域工作的人员进行培训，并维护被允许在此区域工作的人员身份认定和管理。
5．1．2．4 开始阶段，承包商应在每个入口处安排人员（除非半导体公司在该入口处安排有人员）以确保本规则和程序的执行。
5．1．2．5重复违反规则和程序的人员将被开除。
没有贯彻执行本规则和程序的供应商将被除名。
5．1．3 草案细则洁净室草案分为三部分，每一部分对应施工的一个过程。
施工接近完工阶段，不允许从外面或洁净区域的施工场地带入脏物。
5．1．3．1第一部分"第一部分主要针对直到主要施工完成后。
包括屋顶，覆层，门和窗户。
所有工人必须从图纸上标明的通道进出施工现场。
每个入口将会有清洗店。
所有工人进入必须保持鞋子干净。
不允许穿奇特的服装，工人的衣服应该保持适当的干净。
现场安全规则必须时刻遵守。
所有设备和材料必须从一个入口进入施工现场，并且保持干净，不允许有碎片掉下。
"施工现场不允许吃东西，吸烟，喝酒。
""每班结束时，必须清走所有垃圾和废旧物品。
总之，整个施工现场每天必须保持干净。
5．1．3．2第二部分"第二部分主要针对直到gridline B西边洁净区域的墙完成。
此时，只允许承包商雇佣的工人在洁净区域。
其他供应.商如果要进入洁净区域，必须提前向承包商提出申请，得到允许后方可进入。
工人、设备和材料的入口是经过威世半导体()管理人员同意的。
gridlines 1和2之间的通向成品仓库的外门。
⌝gridlines 15和16之间的通向原料仓库的外门。
⌝"其它入口必须经过洁净工程承包商的书面批准。
两个入口旁边将会为很可能造成污染的材料准备或拆包预留区域。
进如洁净区域之前，材料和设备不允许有脏物或由掉下，并且应该用干净的干布擦拭干净。
"任何可能会造成污染的活动必须必须提前经过洁净工程承包商的批准。
这包括砂纸打磨，碾，开凿，演练，焊接，切割和任何用水或喷淋工作。
承包商要用任何可能的方法预防污染。
装好的地板必须用PVC板包装保护。
"第一部分提到的必要的衣服、鞋套也是必须的。
"第二部分草案执行期间，洁净区域必须每天吸尘。
"5．1．3．3 第三部分第三部分主要针对直到生产车间全部建成。
气体鼓风机将持续运行以维护房间的压力要求。
""进入的工人穿鞋套和工作服。
所有进入洁净区域的材料，工具和设备要用IPA和水的混合物擦拭。
""在第三部分草案执行期间，洁净区域每天要用有过滤装置的洗尘设备吸尘。
5．1．4 洁净安装必须采取洁净措施保持安装洁净。
""各类部件如节气闸，扩散体在进入施工现场时应洁净并且拆掉包装。
部表面应该用IPA和水的混合物擦拭。
"洁净安装过程中，必须密切关注所采取的洁净措施的可靠程度，对于隔离围护设施一定要作到及时发现、立即纠正。
5．1．5 最后洁净"洁净区域的所有安装完成后，要进行最后洁净。
洁净要用IPA和水的混合物擦拭。
先洁净天花板，然后是墙壁，墙壁应从上到下，最后是地面。
"最后洁净完成后，gridline B东边通过的区域将是唯一进入洁净室的通道。
以前的原料成品仓库入口将被保护。
"最后洁净完成后，任何进入的人都必须通过威世半导体()现场经理的批准。
5.1.6 设备、物品进入洁净室规定5．2 无尘车间洁净度定期检测制度/测量标准5.2.1 为了保证洁净室的洁净度满足工艺要求，必须定期对洁净室的洁净度进行检测。
5.2.2 检测测试设备：激光粒子记数器5.2.3 检测周期：每周一上午、下午对各洁净区域进行一次检测5.2.4 检测条件：静态洁净度测试5.2.5 数据收集整理：将每次检测的结果输入监控室的电脑中储存，并在每个季度末（或下季度初）给各部门发该季度的洁净度记录图表电子档通报给各部门。
5.2.6 各洁净区域洁净级别标准：按照《半导体公司能源管理标准》要求执行。
区域、系统名称洁净等级标准相当于ISO级别等效于GB级别K-1系统划片区域.静态1万级K-1系统改造前为静态10万级 CLASS 7CLASS 8 CLASS 7CLASS 8K-2系统包封区域静态30万级 CLASS 8．3 CLASS 8．3K-3系统搪锡区域静态30万级 CLASS 8．3 CLASS 8．3K-4系统测试区域静态30万级 CLASS 8．3 CLASS 8．3K-8系统电镀区域静态30万级 CLASS 8．3 CLASS 8．3现有其他空调系统舒适性空调系统，无洁净要求 Not Applicable Not Applicable5.2.7 洁净室用净化空调系统及设备的维护管理与相应的操作规程、维修制度等（包括净化空调系统和洁净室相关的公用动力系统的设备、管线等管理维护，如，空气过滤器、空调机、局部净化设备、冷冻机及水泵、纯水设备、配电设备、安全报警设施等）执行威世半导体()厂务部相关SOP文件。
5.2.8 参考文件FSD-SOP-01 《供电操作指导书及规制度》"FSD-SOP-4-1 《AHU系统操作指导书》"FSD-SOP-4-2 《洗气塔操作指导书》"FSD-SOP-4-3 《锅炉操作指导书》"" FSD-SOP-4-4 《制冷机操作指导书》FSD-SOP-06 《厂务部安全操作规程》"" FSD-SOP-07 《设备维护保养流程》FSD-SOP-08 《消防系统操作指导书》"" FSD-SOP-12 《厂务部运行管理制度》FSD-SOP-13 《市政动力能源中断紧急应变计划》"" FSD-SOP-20 《厂务核心机组应急切换操作指导书》ATD1210C 《能源管理标准》""JVP1301C 《公共设施管理规定》5．3 洁净室人员管理制度5．3．1 洁净室的人员管理包括：制定专职管理人员的职责、洁净室人员的准入制度、人员培训教育规定、进入洁净室人员的“人净程序”管理和退出管理制度等。
5．3．2 人员净化与进入5.3.2.1 在洁净厂房众多的污染源中，人是主要污染源之一，尤其是工作人员在洁净环境中的活动，会明显地增加洁净环境的污染程度。
5.3.2.2 对于高级别洁净区域，应严格控制进入人员数量，并规进行二次更衣。
5.3.2.3 要获得生产环境所需要的空气洁净度等级或延长空气过滤器的使用寿命，对进入洁净室的人员、物料进行净化十分必要。
5.3.2.4 为保持洁净室空气洁净度，应尽量减少进入洁净室人员带入的污染物。
所有进人洁净室的人员必须严格地按规.定程序进行人身净化。
5.3.2.5 个人衣服物品全部放到指定的柜子里，去掉化妆，换上指定的服装，按空气洁净度等级相应的脱衣顺序脱衣，放在规定的衣柜。
5.3.2.6 进入脱衣室，在更衣凳前将皮鞋、拖鞋、帆布鞋等脱下放在鞋柜，禁止不脱鞋直接跨越更衣凳而进入更衣室。
5.3.2.7 若公司后期发展需要更高洁净级别要求的洁净区域（指高于ISO Class7级别）进入前，需要设置盟洗室用洗手器洗手（先用洁净洗涤剂洗涤，再用洁净水冲洗。