各种传感器的分类、比较和应用
传感器分类

电阻式传感器:基本原理:是将被测的非电量转化成电阻值的变化,在通过转换电路变成电压或电流输出的一类传感器,通过测量电阻值变化达到测量非电量的目的。
应用:测量力、压力、位移、应变、加速度、温度等非电量参数,还适合动态测量。
应变式传感器:是一种具有较长应用历史的传感器,包括应变式加速度传感器,其工作原理:在应变梁的一段固定惯性质量块,梁的上下粘贴应变片,传感器内腔充满硅油,以产生必要的阻尼。
测量时,将传感器壳体与被测对象刚性连接。
当有加速度作用在壳体上时,由于梁的刚度很大,惯性质量块也以同样的加速度运动,产生的惯性力与加速度成正比。
惯性力的大小由梁上的应变片测出。
限位块使传感器过载时不被破坏。
应用:常用于低频振动测量中,被广泛应用于工程测量和科学实验中。
应变式传感器优点:其具有尺寸小、重度轻、结构简单、使用方便、响应速度快等。
这种传感器一般由弹性元件和电阻应变片构成,工作时利用金属弹性元件的电阻应变效应,将被测物变形转换成电阻变化。
压阻式传感器:包括压阻式加速度传感器,其工作原理:采用单晶硅作悬臂梁,在其近根部扩散四个电阻。
当梁的自由端的质量块收到加速度作用时,在梁上收到弯矩和应力,受电阻值发生变化。
电阻相对变化与加速度成正比。
有四个电阻组成的电桥将产生与加速度成正比例电压输出。
在设计时,恰当地选择传感器尺寸及阻尼系数,则可用来测量低频加速度与直线加速度。
压阻式传感器优点:灵敏系数大,分辨率高,频率响应高,体积小。
缺点:压阻式传感器多由半导体材料构成,由于半导体材料对温度很敏感,因此压阻式传感器的温度误差较大,必须要有温度补偿。
应用:主要用于测量压力、加速度和载荷等参数。
电感式传感器:利用线圈自感或互感的变化,实现测量的一种装置。
其核心部分是可变自感或可变互感,再将被测量转化成线圈自感或线圈互感的变化时,一般要利用磁场作为媒介或利用铁磁体的某些现象。
工作原理:把被测位移转换成线圈的自感或互感的变化,从而实现测量的一类传感器。
传感器种类大全

传感器种类大全一、光学传感器光学传感器利用光的特性来探测物体的性质或运动。
典型的光学传感器包括光电二极管(photodiode)、光电晶体管(phototransistor)、激光传感器等。
二、压力传感器压力传感器可以测量物体受力的压力大小,常用于工业控制、医疗设备等领域。
常见的压力传感器包括压阻式传感器、电容式传感器、压电传感器等。
三、温度传感器温度传感器用于测量物体的温度,广泛应用于恒温控制、气象观测等领域。
常见的温度传感器有热敏电阻、热电偶、红外线温度传感器等。
四、湿度传感器湿度传感器用于测量空气或物体中的湿度水分含量,对于农业、气象等领域有重要作用。
典型的湿度传感器有电容式湿度传感器、电阻式湿度传感器等。
五、加速度传感器加速度传感器可以测量物体的加速度和振动情况,广泛应用于运动检测、车辆安全等领域。
常见的加速度传感器有压电式传感器、MEMS加速度传感器等。
六、液位传感器液位传感器可以用于测量液体或粉体物料的液位高度,常见于工业控制、化工等领域。
典型的液位传感器有浮子式传感器、电容式传感器、超声波液位传感器等。
七、位置传感器位置传感器用于测量物体的位置或运动信息,适用于机器人、GPS导航等领域。
常见的位置传感器有编码器、光电开关、GPS接收机等。
八、气体传感器气体传感器可以检测环境中各种气体的浓度,常用于空气质量监测、工业安全等领域。
典型的气体传感器包括气体探测器、电化学传感器、红外吸收传感器等。
九、力传感器力传感器可用于测量物体受力大小,广泛应用于起重机、材料测试等领域。
常见的力传感器包括应变式传感器、压力传感器等。
十、声音传感器声音传感器用于检测环境中的声音波动,常见于语音识别、安防监控等场景。
典型的声音传感器有麦克风传感器、声卡传感器等。
以上便是一些常见的传感器种类,它们在不同领域发挥着重要作用,推动着科技的不断进步。
传感器分类方法

传感器分类方法传感器作为现代科技领域的重要分支,被广泛应用于各种环境和应用中。
对传感器进行适当的分类,不仅有助于更好地理解其工作原理和应用场景,也有助于设计、选择和优化传感器。
本文将深入探讨传感器的分类方法,以期为读者提供全面、深入的理解。
一、按工作原理分类1. 电学传感器:通过电学原理进行测量的传感器,如电阻式、电容式、电感式等。
这些传感器将物理量转化为电信号,便于后续的信号处理和测量。
2. 光学传感器:基于光学原理进行测量的传感器,如光电式、光纤式等。
这类传感器通过光的干涉、折射、吸收等性质,将物理量转化为光信号,再进一步转化为电信号。
3. 磁学传感器:利用磁场原理进行测量的传感器,如霍尔式、磁阻式等。
这类传感器通过测量磁场的变化,可以实现对电流、位移、速度等物理量的测量。
4. 化学传感器:能够检测和识别化学物质的传感器,如气敏式、湿敏式等。
这类传感器在环境保护、医疗诊断等领域具有广泛应用。
二、按输出信号类型分类1. 模拟传感器:输出信号为连续模拟信号的传感器,如电压、电流等。
这类传感器在连续监测和记录数据方面具有优势。
2. 数字传感器:输出信号为数字信号的传感器,如编码器、光栅尺等。
这类传感器精度高,抗干扰能力强,适合于需要高精度测量的场合。
三、按应用领域分类1. 工业自动化领域:主要用于检测生产过程中的各种物理量,如温度、压力、流量等。
这些传感器通常需要承受恶劣的工作环境,具有较高的稳定性和可靠性。
2. 生物医学领域:主要用于生物体参数的检测和监测,如生理参数、生物分子等。
这类传感器需要具有良好的生物相容性和稳定性。
3. 环境监测领域:主要用于监测环境中的各种参数,如温度、湿度、气压、气体浓度等。
这类传感器需要具有良好的环境适应性,能够长期稳定工作。
4. 智能家居领域:主要用于家居环境的智能化控制和管理,如温度、湿度、光照等。
这类传感器需要具有小巧的体积和低功耗性能,以适应家居环境的需求。
传感器的分类及原理

传感器的分类及原理传感器是一种能够感知周围环境,并将感知到的信息转化为电信号、光信号或其他形式的能量输出的装置。
根据其工作原理和应用领域的不同,传感器可以分为多种分类。
下面将介绍一些常见的传感器分类及其工作原理。
1. 压力传感器压力传感器是一种能够测量和感知物体受到的压力大小的传感器。
按照测压原理的不同,压力传感器可以分为电阻式、电容式、电感式、振动式等多种类型。
其中,电阻式压力传感器是应用最广泛的一种。
其工作原理是利用受到应力的薄膜或弹性体产生形变,进而改变电阻值,从而实现对压力的测量。
2. 温度传感器温度传感器是一种能够测量和感知物体温度变化的传感器。
常见的温度传感器有热电偶、热电阻、温度敏感电阻等。
其中,热电偶是一种利用两种不同材料的热电势差随温度变化而产生的装置。
热电阻则是利用材料电阻值随温度变化而变化的原理来测量温度。
3. 光电传感器光电传感器是一种能够感知光的存在、光强度或光波长变化的传感器。
根据应用场景的不同,光电传感器可以分为光电开关、光电二极管、光电三极管等多种类型。
以光电开关为例,其原理是利用光电效应,当光电池接收到光线时,会输出电信号,通过检测电信号的有无来感知光线的存在。
4. 气体传感器气体传感器是一种能够侦测、感知和测量空气中各种气体浓度的传感器。
根据检测原理的不同,气体传感器可以分为化学传感器、红外传感器、电化学传感器等多种类型。
以红外传感器为例,其原理是利用特定气体吸收红外辐射的特性来测量气体浓度。
5. 加速度传感器加速度传感器是一种能够感知物体加速度变化的传感器。
加速度传感器广泛应用于物体动态姿态测量、运动控制等领域。
根据工作原理的不同,加速度传感器可以分为压电式、电容式、电阻式等多种类型。
其中,压电式加速度传感器是最常见的一种。
其原理是基于压电效应,当压电谐振盘受到外力时,会产生电荷变化,从而实现对加速度的检测。
6. 湿度传感器湿度传感器是一种能够测量空气中相对湿度的传感器。
传感器分类及功能说明

传感器分类及功能说明传感器是一种用于测量和检测各种物理量的装置。
它可以将环境中的物理信号转换为电信号,并将其传输给电子仪器进行分析和处理。
传感器广泛应用于工业控制、环境监测、医疗仪器、智能手机、汽车等领域。
根据测量物理量的不同,传感器可以分为多种不同类型。
1.压力传感器:压力传感器用于测量物体受到的力的大小。
它将压力转换为电压、电流或阻抗等电信号输出。
压力传感器广泛应用于控制和自动化系统、汽车制造和航空航天等领域。
它可以用于测量气体或液体的压力,例如汽车轮胎的气压、油罐的液位等。
2.温度传感器:温度传感器用于测量环境或物体的温度。
它可以将温度转换为电压、电流或频率等电信号输出。
温度传感器广泛应用于各个领域,例如室内温度控制、热管理系统、食品加工、医疗设备等。
常见的温度传感器包括热电偶、热敏电阻和红外线传感器。
3.光传感器:光传感器用于测量光的强度和光的频率等光学参数。
它可以将光信号转换为电信号输出。
光传感器广泛应用于相机、光电测量、环境光感应、红外线探测等领域。
光传感器的类型包括光敏电阻、光电二极管和光电导等。
4.位移传感器:位移传感器用于测量物体的位移和位置。
它可以将位移转换为电信号输出。
位移传感器广泛应用于机械设备、机器人、汽车制造等领域。
位移传感器的类型包括电感式、电容式和光学式传感器等。
5.加速度传感器:加速度传感器用于测量物体的加速度。
它可以将加速度转换为电信号输出。
加速度传感器广泛应用于汽车安全系统、运动监测、智能手机等领域。
加速度传感器通常使用微机电系统(MEMS)技术制造。
6.气体传感器:气体传感器用于检测环境中的气体成分和浓度。
它可以将气体浓度转换为电信号输出。
气体传感器广泛应用于空气质量监测、工业过程控制、燃气安全监测等领域。
常见的气体传感器包括CO2传感器、氧气传感器、气体浓度传感器等。
7.湿度传感器:湿度传感器用于测量环境中的湿度或物体表面的湿度。
它可以将湿度转换为电信号输出。
传感器分类及其在现代生活中的应用

传感器分类及其在现代生活中的应用对于传感器,学理工科的我们都不陌生。
它是能感受规定的被测量并按照定的规律转换成可用信号的器件或装置,通常由敏感元件和转换元件组成。
其中,敏感元件是传感器的核心它可以利用各种物理、化学、生物效应,将非电学参数的变化转换成电学参数的变化。
转换电路将敏感元件采集的信息进行处理,并输出数字信息,以电压或电流的形式输出。
对传感器有多种不同的分类方法,根据测量的不同,可把传感器分成物理型、化学型和生物型三类。
物理型传感器主要利用被测物理量变化时,敏感元件的电学量发生明显变化的特性制成。
如力学传感器就是利用物体在外力作用下产生形变或位移,从而使敏感元件的电阻或电容发生相应变化的原理制成的。
化学型传感器是用能把化学物质的成分、浓度等化学量转换为电学量的敏感元件制成的。
生物型传感器是利用生物体组织的各种生物、化学与物理效应制成的有酶传感器、免疫传感器、抗原抗体传感器等。
传感器又可以做如下的分类:★电参量式传感器:电阻式、电感式、电容式等;★磁电式传感器:磁电感应式、霍尔式、磁栅式等;★压电式传感器:声波传感器、超声波传感器;★光电式传感器:一般光电式、光栅式、激光式、光电码盘式、光导纤维式、红外式、摄像式等;★气电式传感器:电位器式、应变式;★热电式传感器:热电偶、热电阻;★波式传感器:超声波式、微波式等;★射线式传感器:热辐射式、Y射线式;★半导体式传感器:霍耳器件、热敏电阻;★其他原理的传感器:差动变压器、振弦式等;像我们的楼道的声控灯、自动门,汽车等等,都有传感器工作的身影,各种智能家电的出现,令小小的传感器贯穿了我们的日常生活。
就拿伸手可及的手机来说,它本身就是个将各种传感器融合一体的小型系统。
随着技术的进步,手机突破了传统的通话功能,已经不再是个简单的通信工具,而是具有综合功能的便携式的电子设备。
你可以用于机听音乐,看电影,拍照等。
手机变得无所不能。
在这种情况下,智能化的发展趋势更使各种传感器在手机中的应用应运而生。
传感器的主要分类

传感器的主要分类传感器是一个非常广泛应用于工业、医疗、航空航天、农业等领域的设备,它能够将各种物理量转换为电信号或其他易于处理的形式,从而让我们能够对环境的变化进行感知和控制。
根据其工作原理和应用领域的不同,传感器可以被分为多个主要分类。
1. 按照测量的物理量分类:- 压力传感器:测量气体或液体的压力,常见的有压电传感器、压阻式传感器等。
- 温度传感器:测量物体的温度,常见的有热电偶、热电阻、红外传感器等。
- 湿度传感器:测量空气中的湿度,常见的有电容式传感器、电阻式传感器等。
- 流量传感器:测量液体或气体的流量,常见的有涡轮流量传感器、超声波传感器等。
- 光传感器:测量光线的强度或频率,常见的有光电二极管、光敏电阻等。
- 加速度传感器:测量物体的加速度,常见的有压电传感器、光纤传感器等。
2. 按照传感器的工作原理分类:- 电阻性传感器:通过物理量的变化引起电阻值的改变,常见的有压阻式传感器、电位器等。
- 容性传感器:通过物理量的变化引起电容值的改变,常见的有电容式湿度传感器、触摸屏等。
- 电感性传感器:通过物理量的变化引起电感值的改变,常见的有磁力传感器、电感式传感器等。
- 压电性传感器:通过物理量的变化引起压电材料产生电荷,常见的有压电传感器、声波传感器等。
- 光学传感器:通过物理量的变化引起光的变化,常见的有光敏电阻、光电二极管等。
3. 按照传感器的应用领域分类:- 工业自动化传感器:常见的有压力传感器、温度传感器、液位传感器等,用于监测和控制工业过程中各种物理量的变化。
- 医疗传感器:常见的有心率传感器、血压传感器、血糖传感器等,用于监测患者的生命体征和健康状况。
- 环境监测传感器:常见的有温湿度传感器、PM2.5传感器、CO2传感器等,用于监测大气、水质和土壤等环境参数。
- 智能家居传感器:常见的有人体红外传感器、声音传感器、烟雾传感器等,用于实现家居设备的自动控制和安全监测。
- 农业传感器:常见的有土壤湿度传感器、光照传感器、气象传感器等,用于监测农作物的生长环境和农田的气候条件。
传感器技术与应用知识点总结

传感器技术与应用知识点总结传感器是一种能够将感知到的物理量转化为可测量或可处理的电信号的设备。
传感器技术的发展和应用广泛应用于各个领域,如工业自动化、环境监测、智能家居等。
本文将从传感器的原理、分类、应用以及未来发展趋势等方面进行总结和介绍。
一、传感器的原理传感器的原理是基于特定物理效应的,它能够将物理量转化成电信号。
常见的传感器原理有:1. 压阻原理:根据物体受力变形后电阻值的改变来测量物体的压力或重量,如压力传感器、称重传感器。
2. 电容原理:根据物体与电容器之间的电容值的变化来测量物体的位置或形变,如触摸屏、位移传感器。
3. 磁敏原理:根据物体与磁场的相互作用来测量物体的位置、速度或形变,如磁强计、磁力传感器。
4. 光敏原理:根据物体对光的吸收、散射或反射来测量物体的位置、颜色或形状,如光电传感器、光电开关。
5. 温敏原理:根据物体的温度变化来测量物体的温度,如温度传感器、红外传感器。
二、传感器的分类根据测量的物理量不同,传感器可以分为以下几类:1. 位移传感器:用于测量物体的位置或形变,如光电编码器、霍尔传感器。
2. 压力传感器:用于测量物体受到的压力或重量,如压阻传感器、压电传感器。
3. 温度传感器:用于测量物体的温度,如热电偶、热电阻。
4. 湿度传感器:用于测量物体的湿度,如湿敏电阻、电容式湿度传感器。
5. 气体传感器:用于测量气体的浓度、组成或压力,如气体传感器、氧气传感器。
三、传感器的应用传感器技术广泛应用于各个领域,以下是一些常见的应用场景:1. 工业自动化:在工业生产中,传感器用于检测和控制各种物理量,如温度、湿度、压力等,实现自动化生产。
2. 环境监测:传感器可以用于监测环境中的各种参数,如空气质量、水质、噪音等,以便及时采取相应的措施。
3. 智能家居:传感器可以用于智能家居系统中,实现对家居设备的监控和控制,如智能灯光、智能门锁等。
4. 医疗健康:传感器可以用于监测人体的生理参数,如心率、血压、体温等,为医疗诊断和健康管理提供数据支持。
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传感器的定义传感器是一种能把物理量或化学量转变成便于利用的电信号的器件。
国际电工委员会(IEC:International Electrotechnical Committee)的定义为:“传感器是测量系统中的一种前置部件,它将输入变量转换成可供测量的信号”。
按照Gopel等的说法是:“传感器是包括承载体和电路连接的敏感元件”,而“传感器系统则是组合有某种信息处理(模拟或数字)能力的系统”。
传感器是传感系统的一个组成部分,它是被测量信号输入的第一道关口。
传感器把某种形式的能量转换成另一种形式的能量。
有两类:有源的和无源的。
有源传感器能将一种能量形式直接转变成另一种,不需要外接的能源或激励源。
无源传感器不能直接转换能量形式,但它能控制从另一输入端输入的能量或激励能,传感器承担将某个对象或过程的特定特性转换成数量的工作。
其“对象”可以是固体、液体或气体,而它们的状态可以是静态的,也可以是动态(即过程)的。
对象特性被转换量化后可以通过多种方式检测。
对象的特性可以是物理性质的,也可以是化学性质的。
按照其工作原理,它将对象特性或状态参数转换成可测定的电学量,然后将此电信号分离出来,送入传感器系统加以评测或标示。
传感器原理结构在一段特制的弹性轴上粘贴上专用的测扭应片并组成变桥,即为基础扭矩传感器;在轴上固定着:(1)能源环形变压器的次级线圈,(2)信号环形变压器初级线圈,(3)轴上印刷电路板,电路板上包含整流稳定电源、仪表放大电路、V/F变换电路及信号输出电路。
在传感器的外壳上固定着:
(1)激磁电路,(2)能源环形变压器的初级线圈(输入),(3) 信号环形变压器次级线圈(输出),(4)信号处理电路
工作过程
向传感器提供±15V电源,激磁电路中的晶体振荡器产生400Hz的方波,经过TDA2030功率放大器即产生交流激磁功率电源,通过能源环形变压器T1从静止的初级线圈传递至旋转的次级线圈,得到的交流电源通过轴上的整流滤波电路得到±5V的直流电源,该电源做运算放大器AD822的工作电源;由基准电源AD589与双运放AD822组成的高精度稳压电源产生±4.5V的精密直流电源,该电源既作为电桥电源,又作为放大器及V/F转换器的工作电源。
当弹性轴受扭时,应变桥检测得到的mV级的应变信号通过仪表放大器AD620放大成
1.5v±1v的强信号,再通过V/F转换器LM131变换成频率信号,通过信号环形变压器T2
从旋转的初级线圈传递至静止次级线圈,再经过外壳上的信号处理电路滤波、整形即可得到与弹性轴承受的扭矩成正比的频率信号,该信号为TTL电平,既可提供给专用二次仪表或频率计显示也可直接送计算机处理。
由于该旋转变压器动--静环之间只有零点几毫米的间隙,加之传感器轴上部分都密封在金属外壳之内,形成有效的屏蔽,因此具有很强的抗干扰能力。
传感器分类倾角传感器
倾角传感器在军事、航天航空、工业自动化、工程机械、铁路机车、消费电子、海洋船舶等领域得到广泛运用。
辉格公司为国内用户提供全球最全面、最专业的产品方案和服务。
提供
超过500种规格的伺服型、电解质型、电容型、电感型、光纤型等原理的倾角传感器。
加速度传感器(线和角加速度)
分低频高精度力平衡伺服型、低频低成本热对流型和中高频电容式加速度位移传感器。
总频响范围从DC至3000Hz。
应用领域包括汽车运动控制、汽车测试、家电、游戏产品、办公自动化、GPS、PDA、手机、震动检测、建筑仪器以及实验设备等。
红外温度传感器
广泛应用于家用电器(微波炉、空调、油烟机、吹风机、烤面包机、电磁炉、炒锅、暖风机等)、医用/家用体温计、办公自动化、便携式非接触红外温度传感器、工业现场温度测量仪器以及电力自动化等。
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传感器的应用传感器的应用领域涉及机械制造、工业过程控制、汽车电子产品、通信电子产品、消费电子产品和专用设备等。
①专用设备
专用设备主要包括医疗、环保、气象等领域应用的专业电子设备。
目前医疗领域是传感器销售量巨大、利润可观的新兴市场,该领域要求传感器件向小型化、低成本和高可靠性方向发展。
②工业自动化
工业领域应用的传感器,如工艺控制、工业机械以及传统的;各种测量工艺变量(如温度、液位、压力、流量等)的;测量电子特性(电流、电压等)和物理量(运动、速度、负载以及强度)的,以及传统的接近/定位传感器发展迅速。
③通信电子产品
手机产量的大幅增长及手机新功能的不断增加给传感器市场带来机遇与挑战,彩屏手机和摄像手机市场份额不断上升增加了传感器在该领域的应用比例。
此外,应用于集团电话和无绳电话的超声波传感器、用于磁存储介质的磁场传感器等都将出现强势增长。
⑤汽车工业
现代高级轿车的电子化控制系统水平的关键就在于采用压力传感器的数量和水平,目前一辆普通家用轿车上大约安装几十到近百只传感器,而豪华轿车上的传感器数量可多达二百余只,种类通常达30余种,多则达百种。
二、传感器的分类
可以用不同的观点对传感器进行分类:它们的转换原理(传感器工作的基本物理或化学效应);它们的用途;它们的输出信号类型以及制作它们的材料和工艺等。
根据传感器工作原理,可分为物理传感器和化学传感器二大类
传感器工作原理的分类物理传感器应用的是物理效应,诸如压电效应,磁致伸缩现象,离化、极化、热电、光电、磁电等效应。
被测信号量的微小变化都将转换成电信号。
化学传感器包括那些以化学吸附、电化学反应等现象为因果关系的传感器,被测信号量的微小变化也将转换成电信号。
有些传感器既不能划分到物理类,也不能划分为化学类。
大多数传感器是以物理原理为基础运作的。
化学传感器技术问题较多,例如可靠性问题,规模生产的可能性,价格问题等,解决了这类难题,化学传感器的应用将会有巨大增长。
按照其用途,传感器可分类为:
压力敏和力敏传感器位置传感器
液面传感器能耗?加速度传感器射线辐射传感器
振动传感器湿敏传感器
磁敏传感器气敏传感器
真空度传感器生物传感器等。
以其输出信号为标准可将传感器分为:
模拟传感器——将被测量的非电学量转换成模拟电信号。
数字传感器——将被测量的非电学量转换成数字输出信号(包括直接和间接转换)。
膺数字传感器——将被测量的信号量转换成频率信号或短周期信号的输出(包括直接或间接转换)。
开关传感器——当一个被测量的信号达到某个特定的阈值时,传感器相应地输出一个设定的低电平或高电平信号。
在外界因素的作用下,所有材料都会作出相应的、具有特征性的反应。
它们中的那些对外界作用最敏感的材料,即那些具有功能特性的材料,被用来制作传感器的敏感元件。
从所应用的材料观点出发可将传感器分成下列几类:
(1)按照其所用材料的类别分
金属聚合物陶瓷混合物
(2)按材料的物理性质分导体绝缘体半导体磁性材料
(3)按材料的晶体结构分
单晶多晶非晶材料
与采用新材料紧密相关的传感器开发工作,可以归纳为下述三个方向:
(1)在已知的材料中探索新的现象、效应和反应,然后使它们能在传感器技术中得到实际使用。
(2)探索新的材料,应用那些已知的现象、效应和反应来改进传感器技术。
(3)在研究新型材料的基础上探索新现象、新效应和反应,并在传感器技术中加以具体实施。
现代传感器制造业的进展取决于用于传感器技术的新材料和敏感元件的开发强度。
传感器开发的基本趋势是和半导体以及介质材料的应用密切关联的。
表1.2中给出了一些可用于传感器技术的、能够转换能量形式的材料。
按照其制造工艺,可以将传感器区分为:
集成传感器薄膜传感器厚膜传感器陶瓷传感器
集成传感器是用标准的生产硅基半导体集成电路的工艺技术制造的。
通常还将用于初步处理被测信号的部分电路也集成在同一芯片上。
薄膜传感器则是通过沉积在介质衬底(基板)上的,相应敏感材料的薄膜形成的。
使用混合工艺时,同样可将部分电路制造在此基板上。
厚膜传感器是利用相应材料的浆料,涂覆在陶瓷基片上制成的,基片通常是Al2O3制成的,然后进行热处理,使厚膜成形。
陶瓷传感器采用标准的陶瓷工艺或其某种变种工艺(溶胶-凝胶等)生产。
完成适当的预备性操作之后,已成形的元件在高温中进行烧结。
厚膜和陶瓷传感器这二种工艺之间有许多共同特性,在某些方面,可以认为厚膜工艺是陶瓷工艺的一种变型。
每种工艺技术都有自已的优点和不足。
由于研究、开发和生产所需的资本投入较低,以及传感器参数的高稳定性等原因,采用陶瓷和厚膜传感器比较合理。