流量控制器使用说明
目录一流量控制装置功能简介 (3)二流量控制装置工作原理 (4)三流量控制装置型号编制 (6)四流量控制装置主要技术指标 (7)五流量控制装置安装要求 (9)六流量控制装置分体结构 (12)七流量控制器电控部分操作说明 (13)一、LZJH-1型流量自动控制器功能简介流量自动控制器是由流量仪表和流量调节器组成。
图1 安装示意图高压自动流量测控装置是工业自动化过程测控中重要执行元件，随着工业领域的自动化程度迅猛发展，正被越来越多的应用在工业生产领域中。
我公司根据市场需求，参照国内外先进结构，采用先进的嵌入式微处理器技术和仪表控制技术，经与知名院校深入合作，共同研发出LZJH-1流量控制装置（简称控制器）。
该控制器广泛用于油田配注、化工、科研、工业污水处理等自动测控方案中。
流量控制装置是集多功能为一体的控制装置，具有动态平衡，静态自锁功能，采用多级密封结构，, 适合应用在高压并且对于泄漏要求严格的场合，也可用于母液配比混合液体的场合，控制装置体积小、控制精度高、响应灵敏，特别适合对压力、流量、液位、温度生产过程的调节。
控制方案多元化，采用嵌入式微处理器控制、控制精度高。
兼容多种信号输入方式：包括4～20mA、0～10KHz脉冲信号、RS485信号；同时具有多种输出信号方式：包括4～20mA电流信号和遵循标志MODBUS 通讯协议的RS485信号。
具有设备自检、故障自动提示、安全策略、误差自动调补、抗电磁干扰、断电自锁等功能。
二、流量控制装置工作原理流量控制装置通过采样配套电磁流量计的实时瞬时流量信号、通过嵌入式微处理器处理和智能控制策略，自动完成管道设定流量的调整。
在母液配比应用中，可通过同时采样母液流量和配比液流量，自动完成混合液的定量配比。
当您将所需要的流量设定值或混合液配比参数通过人机交互部分输入嵌入式控制器中，流量控制装置便可通过比较设定值和流量计采样值，结合智能的闭环控制策略，自动控制阀门调整机构实现流量的精确调整。
流量控制装置的阀门采用升降式，为保正测控装置具有较高精度的，稳定的流量特性曲线，采用复杂的多级阀芯调节。
升降执行机构采用精密丝杆、铜质蜗轮，特种电机、先进的微处理器组成，确保了控制器阀门无泄漏，流量控制精度在0.15～0.45m3/h，流量控制范围为0.5 ～10m3/h，流量控制误差在±2%。
中文液晶主显示界面显示管道中的实时瞬间流量；设定当前控制瞬时流量（控制总量或母液配比系数）；流量控制装置所运行的模式（手动或自动）；实时时间。
同时使用4只LED灯指示系统工作，便于用户直观了解系统工作参数和状态。
流量控制装置是根据我国油田高压注水等实际使用情况，在大庆油田有关单位指导下，精心研制的，完全实现自动化均匀注水，按配注量注水。
杜绝由于注水压力波动大，所引起的注水流量的严重失效，使得注水效果低下，直接影响到采收率的严重问题。
流量控制装置安装方式有水平和角式两种方式，而且具有多种规格，电源有采用220VAC 50Hz。
为能尽量满足用户实际工况的需求，公司提供各规格的订货配制，供用户选择。
也可根据用户具体需求，量身定制。
三、流量控制装置型号编制为方便公司规模化生产和用户设备定制的需求，依据公司产品命名标准，对本产品系列进行了标准化的命名。
选型注意：1.每个装置包含流量计和控制器各1只；2.同一装置流量计和控制器口径尺寸应一致。
表1 流量控制装置型号例如：LZJH-1-40-X-RS-25说明：LZJH-1型智能流量控制装置，配通经(DN)：40mm ，数字显示，RS485输出型电磁流量计， 额定工作压力25MPa 。
产品代号 LZJH-1智能高压流量测控装置 公称通径单位(mm)DN25～DN50连接方式 A/BA 直通式B 直角式产品型式S连接水表 D I/R/F连接电磁流量计X 数字显示 RSRS485输出 D 电流4~20mA 输出 RSD RS485、电流4~20mA 输出公称压力MPa1.0~42MPa示例：LZJH-1型智能流量控制装置，可配RS485输出型电磁流量计，数字显示，具有4-20mA 和485通讯输出接口，额定工作压力25MPa 。
四、流量控制装置主要技术指标1）公称口径：25～50mm2）公称压力：10～35Mpa3）环境温度：-30～80°4）环境相对湿度：≤85％5）大气压：86～106kpa6）适用介质：水、含油污水7）介质温度：0～90°8）压力损失：＜0.2Mpa9）防护等级：IP6510）供电电源单相AC220±20V 50HZ；11）测量准确度等级0.5级、1.0级、1.5级、2级12）全程开-关运行时间：30～150s13）电机功率：33～120W14）执行标准;上密封试验按GB/T13927-2008z执行。
阀门按ASME.B16.104idt FC170-2-2006VI级石油化工钢制管法兰GB/T9124-201015）主要零件材料及易损件阀杆采用40CrMoTi 热处理50-55HRc阀门采用1Cr13, 1Cr18Ni12Mo2Ti阀体采用WCA 30# 16Mn密封件，聚氨酯TPU CPU, 橡胶。
16）信号输入方式4～20mA电流信号、RS485信号、频率信号、双RS485信号17）信号输出方式4～20mA电流信号、RS485信号18)安装外形尺寸：图2 流量控制装置安装方式表2 各规格流量控制装置参数表公称通径DN(mm) 公称压力(MPa)L1 H D d n d0 L L2 L025 25360411150 101.5426≤590 500 520 32 160 105 2242 160 108 2632 25360160 111 26≤590 500 550 3242 185 130 29.540 25370180 124 29.5≤600 500 640 32 195 145 2642 205 146 32.550 25390215 165826≤640 520 660 32 210 16042 235 171.5 29.5R五、流量控制装置安装要求图3 流量计和流量控制装置安装实物图（水平安装方式）5.1、流量测控器安装在电子流量计后方，尽可能接近，方便流量计与流量控制装置通讯接线，并要求便于进行流量设置操作，拆卸检修和无强电磁场干扰的管道位置。
可根据用户具体要求选择水平、垂直或角式安装。
安装在室外，应有配备必要的防晒、防淋、防冻、防淹设施。
5.2、安装时要使流量控制装置壳体上的箭头标志与介质流动方向相一致，特别注意：最高工作压力不得超过流量控制装置额定工作压力，否则会出现高压液体泄漏的危险。
5.3、流量控制装置出厂时已配备了单相三芯接电插头或用户接端子，用户要配置相应的有接地线的插座，接地线要连接可行，以确保用电安全。
5.4、流量控制装置中控制器和流量计连接如图3所示，并建议在两侧配备截止阀，如果4所示。
使用时，应先开启流量计前闸阀（截止阀1），然后开启流量测控装置后闸阀（截止阀2），以免产生水锤现象击坏仪表芯子或零部件。
初次使用时，如果管道两端的压差比较大时，管道中可能会产生一段时间的噪声，待压差消除后，可自动回复正常。
图4 整体管线的安装示意图5.5 手动部件。
在流量控制装置控制面板右侧设有专供手轮，当用户需要进行人工手轮手动操作时，必须拔下外供电源的插头，即切断外供电源后，才可进行手轮手动操作，否则有可能发生安全事故。
正常情况下手动操作较轻，如果出现手动操作很吃力的异常情况，就不要勉强操作，应由技术人员仔细检查。
5.6、母液配比安装。
流量控制装置应用于双管路母液配比场合时，具有根据母液管中“流量计A”的流量，按预设定的比例调整“流量计B”管路中清水流量的功能，其系统安装示意图如图5所示。
图5 双管路母液配比系统安装示意图5.7 90°角式法兰安装 90°角式卡箍安装5.8 对于新建管道，由于施工原因有可能带入管道内大量的石子、泥沙、麻丝和焊渣等杂质，会造成堵塞仪表芯子或损坏零部件的现象，所以在仪表使用前建议可利用旁通管道通水冲洗干净管道。
六、流量控制装置分体结构图流量控制器流量计流量计流量控制器图6 控制阀和流量计结构示意图七、流量控制器电控部分操作说明1、流量控制器的工作操作模式流量控制装置具有两种工作操作模式，自动模式AUTO和手动模式MANU。
手动模式又分为两种：可通过电动手动方式和机械操作手柄方式。
注意，自动模式和手动模式的切换需要进入菜单进行设置并确认保存后才有效（参考菜单模式设置子菜单功能），并且具有掉电保存设置的功能，即下次开机设置仍然有效。
在自动模式下，流量控制装置通过采样前端流量计的输出信号，控制器阀门的开闭，实现闭环自动控制过程，无需用户操作并且具有自动开关阀止点检测功能，确保整体运行安全可靠。
在手动模式下，如果用户通过电动手动方式，阀门电机的控制完全取决于用户手动按键的操作，此时，用户可通过电子操作面板上的上下按键操作阀门，上是开阀操作，下是关阀门操作，此模式下没有自动开关阀止点检测控制功能，需要用户观察自动阀止点位置标记来人工判断。
如果用户通过机械操作手柄方式（此时也要通过菜单设置为手动模式后），可通过转动手轮来操作阀门，同时用户需观察自动阀止点位置标记来人工判断阀门开启关闭情况。
在从手动模式切换至自动模式时，必须确保流量控制装置阀处于关闭位置或中等流量的范围内。
处于超出阀开上止点位置时，可能会引起自动模式运行错误或不能智能控制的现象。
2、流量控制器的应用模式流量控制装置可应用于两种应用场合：单管路液体流量精确控制场合和双管路母液精确配比控制场合。
经过精心策划和设计，将两种应用模式有机的整合在一起，用户只需在配置菜单中进行简单的选择，系统便可实现上述两种应用模式的切换（需配合外部仪表和管路的连接）。
以下将通过菜单详细介绍两种应用模式的配置和使用。
3、显示主界面主显示界面采用两屏切换的方式进行。
第一屏显示流量和控制参数。
第二屏显示控制模式，即自动控制还是手动控制，另外显示目前的实时时间。
流量 1.25 m3/h内控 1.26 m3/h单管路液体流量控制主显示界面（第一屏）流量 1.25 m3/h系数 1.26 m3/h双管路母液配比主显示界面（第一屏）AUTO MANU2012-04-15 12:12:18控制模式和实时时间（第二屏）控制器开机后，进入主显示界面。
主界面各参数介绍如下：流量：为流量计实测管道中的实时流量值；内控：为用户设置的预定的管道中的流量值；系数：母液配比应用中，用户设置的配比系数；AUTO：为用户选择控制器为自动模式，黑底白字表示当前的运行模式；MANU：为用户选择控制器为手动模式；2012-04-1512:12:18：为实时时间；4、菜单介绍图7 流量控制器面板界面在主显示界面显示时，按下菜单/确认按钮后进入菜单密码界面，只有在此处输入有效的密码才能进入菜单完成相应参数的修改设置。
堀场汇博隆(C)S48 300HMT流量计、流量控制器说明书
气体质量流量控制器（流量计）S48 300/HMT使用说明书(Ver.2.0)北京堀场汇博隆精密仪器有限公司目录1、概述 (1)2、术语符号 (2)3、工作原理 (5)4、技术指标 (7)5、产品安装 (8)6、使用方法和操作步骤 (16)7、数字通讯功能使用方法和操作 (18)8、通讯协议编码格式 (20)9、警告和注意 (25)10、故障判断和处理 (28)附录一：通信指令集 (31)附录二：标定和不同气体的换算 (34)1、概述本产品为热式质量流量控制器，利用气流流过毛细管，改变毛细管温度分布，造成上下游温差方法，而测得气体质量流量。
不同于容积式流量计，其流量精度不受气体压力、环境温度影响。
由于上下游温差总是实时反应气流瞬时流量，所以特别适用于过程控制中的气体流量的精密测量和控制。
1.1 使用范围质量流量控制器广泛应用于半导体制造、真空镀膜、分析、化工、环境等行业的气流测量与控制。
1.2 质量流量控制器和质量流量计质量流量控制器(Mass Flow Controller 缩写为MFC)，具备流量测量和流量控制两种功能。
质量流量计(Mass Flow Meter 缩写为MFM)，只有流量测量功能，不具备气流控制功能。
1.3 S48 300/HMT质量流量控制器的特点☆ S48 300/HMT型质量流量控制器是在引进HORIBA STEC技术基础上，结合国内需要而研制的一种数字式质量流量控制器产品，采用当今先进的32位ARM系列处理器做数字控制。
具有流量精度高、线性好、零漂小、气流响应速度快、过冲小等特点。
☆RS232/485串口， Modbus（RTU）开放协议。
协议简单可靠，兼容性强，易于组网。
配合上位机，可进行各种复杂的计量、控制操作及组态。
☆耐压高及适用于真空条件下工作。
气体流量不因温度、压力的变化而变化。
气阻较小，工作压力范围宽。
☆主体采用不锈钢（316L）结构，气密材料采用PTFE、氟橡胶等。
流量控制器使用说明
流量控制器使用说明目录一流量控制装置功能简介(3)二流量控制装置工作原理(4)三流量控制装置型号编制(6)四流量控制装置主要技术指标(7)五流量控制装置安装要求(9)六流量控制装置分体结构(12)七流量控制器电控部分操作说明(13)一、LZJH-1型流量自动控制器功能简介流量自动控制器是由流量仪表和流量调节器组成。
图1 安装示意图高压自动流量测控装置是工业自动化过程测控中重要执行元件，随着工业领域的自动化程度迅猛发展，正被越来越多的应用在工业生产领域中。
我公司根据市场需求，参照国内外先进结构，采用先进的嵌入式微处理器技术和仪表控制技术，经与知名院校深入合作，共同研发出LZJH-1流量控制装置（简称控制器）。
该控制器广泛用于油田配注、化工、科研、工业污水处理等自动测控方案中。
流量控制装置是集多功能为一体的控制装置，具有动态平衡，静态自锁功能，采用多级密封结构，, 适合应用在高压并且对于泄漏要求严格的场合，也可用于母液配比混合液体的场合，控制装置体积小、控制精度高、响应灵敏，特别适合对压力、流量、液位、温度生产过程的调节。
控制方案多元化，采用嵌入式微处理器控制、控制精度高。
兼容多种信号输入方式：包括4～20mA、0～10KHz脉冲信号、RS485信号；同时具有多种输出信号方式：包括4～20mA电流信号和遵循标志MODBUS 通讯协议的RS485信号。
具有设备自检、故障自动提示、安全策略、误差自动调补、抗电磁干扰、断电自锁等功能。
二、流量控制装置工作原理流量控制装置通过采样配套电磁流量计的实时瞬时流量信号、通过嵌入式微处理器处理和智能控制策略，自动完成管道设定流量的调整。
在母液配比应用中，可通过同时采样母液流量和配比液流量，自动完成混合液的定量配比。
当您将所需要的流量设定值或混合液配比参数通过人机交互部分输入嵌入式控制器中，流量控制装置便可通过比较设定值和流量计采样值，结合智能的闭环控制策略，自动控制阀门调整机构实现流量的精确调整。
ALICAT 流量计 流量控制器 简易操作指南说明书
针脚号DB15 DB15K DB9/DB9M 8针mini-DIN 6针工业接头 1 接地 不接 4-20mA 输出 4-20mA 输出 电源正 2 模拟输出 模拟输出 第2路模拟出 第2路模拟出 TX(+)发送 3 接地 不接 RX(-)接收 RX(-)接收 RX(-)接收 4 不接 不接 模拟输入 模拟输入 模拟输入 5 电源正 接地 TX(+)发送 TX(+)发送 接地 6 不接 不接 0-5V 输出 0-5V 输出 模拟输出 7 不接 电源正 电源正 电源正 8 模拟输入 模拟输入 接地 接地 9 接地 第2路模拟出 接地 10 接地 不接 11 第2路模拟出 接地 12 不接 接地 13 RX(-)接收 RX(-)接收 14 接地 TX(+)发送 15 TX(+)发送 接地ALICAT 流量计/流量控制器简易操作指南1.外观概览2.针脚定义流量方向比例阀 背光灯开关功能键 屏幕电源插孔通讯线接口NPT 螺纹接口安装螺孔8-32 UNC3.功能按键3.2屏幕背光灯：按屏幕下方红色ALICAT 商标 可打开/关闭屏幕背光灯。
3.3切换输入信号源：进入菜单Menu ，在Control – ADV Control – SETPT Source 中可切换数字信号控制或模拟信号控制。
Serial/Front Panel 即数字信号/面板控制，Analog 即模拟信号。
3.4切换控制对象：在Control – ADV Control – Loop Setup – Loop VAR 中可切换控制对象为质量流量、体积流量或压力。
默认为质量流量。
3.5调节PID 增益：在Control – ADV Control – Loop Setup – Loop Gains 中可调节PID 增益值。
PID 值会影响控制器的稳定性和响应速度。
3.6输入设定值：在对应的信号模式下可分别使用数字信号、面板按键、模拟信号来输入设定值。
CS流量计连接计算机操作指导
CS系列流量控制器/流量计连接电脑教程尊敬的客户，在收到产品后请仔细阅读使用手册及通讯协议等说明书。
以下步骤适用于我公司生产的CS系列流量控制器，RS485通讯产品。
CS产品在使用时需要对其进行供电，电源可以选择±15V双电源或+24V单电源，管脚定义详见产品使用手册接线图；此外，需要根据计算机的配置情况选择通讯方式，正确的连接通讯线并根据情况添加驱动；最后，根据实际的使用情况安装单台及多台控制软件进行操作。
CS系列流量控制器/流量计连接电脑教程 (1)1.硬件设备 (2)1.1第一步确认供电正确 (2)1.2第二步确认连接线齐全 (3)1.3第三步安装数据通讯线（UT820E）驱动 (4)1.4第四步确认通讯端口 (8)2.单台连接 (11)3.多台连接 (11)3.1第一步设置地址、波特率 (11)3.2第二步串连接线 (13)3.3第三步设置控制软件 (14)1.硬件设备1.1第一步确认供电正确用电源连接线接通电源，正常情况下MFC电源指示灯为绿色。
如图1-1所示图1-11.2第二步确认连接线齐全方式一：如果计算机自带232通讯串口（目前大多数计算机已取消232通讯串口），则将流量控制器配套的34号连接线接配套的485转232通讯转换器后接到电脑的232串口上，34号线的水晶头一端接在控制器网口的一端。
如图1-2为我公司生产的34号连接线：一头6芯水晶头，一头DB9孔如果水晶头是6PIN（1—GND;3—485-;4---485+）；水晶头是8PIN（1—GND;4—485-;5---485+）；图1-2如图1-3为485-232通讯转换器图1-3整体连接如图1-4所示：图1-4方式二：如果计算机没有232通讯串口，可以用485转USB转接线，但是需要在计算机上添加485转USB的驱动，1.3第三步安装数据通讯线（UT820E）驱动安装步骤如下：图1-5是与我公司CS系列产品适配的485转USB转换线，即QCX-80号线图1-5a) 将485转USB转换线的一端连接到计算机的USB口，然后打开设备管理器。
JMC流量控制器使用说明书
--系统设置
系 数--
A：1.0002
[ENTER]：修改
B：1.0002
[ESC]： 返回
C：1.0002
3、K 值系数： 该系数表示的是流量计探头的 K 值系数，其具体参数需参照后面提供的流量计探头的 K 值表
C#=3#
1# 反馈 接点 输入
2# 反馈 接点 输入
3# 反馈 接点 输入
上排端 子为电 磁阀的 继电器 输出
NO COM NC
NO COM NC NO COM NC
1#通道 2#通道 3#通道
下排端 子为再 生信号 的继电 器输出
NO COM NC NO COM NC NO COM NC
1#罐体 出水阀门 之电磁阀 220V/AC 1#JMA内部接线示意图
操作人员不得随意清除总累计流 量，如果特殊情况必 须要对总累计流量进行 清除时需向供应商寻 求技术支持。累计清零需要对各个回路进行清零。
6、强制： 其功能就是在剩余流量 还没有到达零 时，进行强制再 生信号输出，强 制再生信号结 束后，剩
余流量（批量）将恢复到设定值，强制分就地和远端两种。 就地强制可以在控制器上操作： 当在主菜单选择强制再生后，按动 ENTER 键则出现以下画面：
三、主要技术指标 ·流量传感器脉冲量输入：
A:SIGENT 探头，正弦波 频率范围 0-150Hz，探头（直流）电压幅度 4-12V B:JK-TT 探头，脉冲方波 频率范围 0-150Hz,探头（直流）电压幅度 6-12V ·采样周期：0.2 秒 ·批量值设定范围：1-9999t（吨） ·批量输出形式：继电器无源接点输出 ·外部信号及馈电输入：无源接点反馈信号（2 秒钟以上） ·传感器探头自带电缆：5 米 ·显示方式：背光液晶显示单元，使用寿命≥10 年 ·再生信号输出：（2-9999 秒可调），3 路继电器无源接点，触点容量，AC220V/2A ·控制电磁阀信号输出：3 路继电器无源接点 触点容量 AC220V/2A ·仪表电源：开关电源 100-265V/AC 功耗 5W ·使用环境：环境温度 4-60℃ 相对湿度 ≤85%RH ·与 JKA 多阀控制器专用配套 ·匹配反馈型多路阀：AUTUTROL 及 FLECK 等多路阀（需 450 控制器支持）
东星智能流量控制器说明书
东星智能流量控制器说明书一、概述东星智能流量控制器是一种用于监测和控制流量的设备，能够精确地测量和调节流体的流量。
它采用先进的传感技术和智能控制算法，具有高精度、高稳定性和高可靠性的特点。
本说明书将详细介绍东星智能流量控制器的原理、使用方法以及注意事项。
二、原理东星智能流量控制器基于流体动力学和传感技术原理，通过传感器实时测量流体的流速和压力，利用智能控制算法对流量进行调节。
其核心原理是根据流速和压差的变化来推算流量，并通过控制阀门的开度来实现流量的控制。
三、使用方法1. 安装：首先，将东星智能流量控制器安装在流体管道上，确保连接牢固。
然后，根据实际情况连接电源和通讯接口。
2. 参数设置：通过操作面板或远程控制软件，设置流量控制器的工作参数，包括流量范围、阈值、控制方式等。
3. 校准：在使用前，需要对流量控制器进行校准，确保测量的准确性。
校准方法可以参考附带的校准手册。
4. 启动：按下启动按钮，流量控制器开始工作。
它会实时监测流体的流速和压差，并根据设定的参数进行流量控制。
5. 监测：通过流量控制器的显示屏或远程监测软件，可以实时监测流体的流量、压差等参数，并进行数据记录和分析。
6. 故障排除：如果流量控制器出现故障，可以通过故障代码和说明书进行排除，或者联系售后服务人员进行维修和更换。
四、注意事项1. 在安装和维护流量控制器时，务必断电并确保操作安全。
2. 请按照说明书正确操作流量控制器，避免误操作导致设备损坏或人身伤害。
3. 定期对流量控制器进行维护和保养，保持设备的正常工作状态。
4. 如果流量控制器出现故障或异常，应及时联系售后服务人员进行处理。
5. 请勿在潮湿、腐蚀性或易爆环境中使用流量控制器，以免引发安全事故。
6. 切勿对流量控制器进行私自改装或拆解，否则可能造成设备损坏和安全隐患。
五、总结东星智能流量控制器是一种高精度、高稳定性的流量控制设备，能够在流体管道中实时测量和调节流量。
通过合理的安装和正确的操作，可以实现对流体流量的精确控制，广泛应用于水处理、化工、制药等领域。
堀场汇博隆S49 32MT流量计,流量控制器说明书
的差值信号去驱动控制调节阀门，通过闭环，去控制流过通道的流量使之与设定 的流量相等。
分流器在主通道和毛细管间产生层流，控制输出的流量检测电压与流过通道 的流量成比例。
与之配套使用的 MT-50 系列流量显示仪备有±15V 直流电源，3 位半数字电 压表，设定电位器，外设、内设转换和三位阀控开关，调零等。为质量流量计或 控制器提供工作电源，设定控制和显示等功能。控制器的设定输入、流量输出信 号均为电压形式，量程范围为 0～+5V。质量流量控制器(流量计)与 MT-50 流量显 示仪连接后的工作原理如图 1 所示。
控制器一般与 MT-50，MT-51 或与之相兼容的流量显示仪连接。 如与 MT-51 数字式流量显示仪连接，则构成数字式流量显示控制。该数字式 流量显示仪提供 RS-232C 接口，或 RS-485 接口，Modbus 协议，无需附加 A/D,D/A 转换卡，而实现与计算机网络电气连接、以及与组态软件的连接。 如 S49 32/MT 流量控制器直接与计算机连接,则需要用户自行提供电源和 A/D,D/A 转换卡等。 控制操作一般在流量显示仪上进行。当设定与“内”设相连时，由流量显示 仪上的设定电位器控制流量。当与“外”设相连时，由用户另外提供的外部（0～ +5）V 电压控制流量。 在流量显示仪的显示面板上设置有三位阀门控制开关，当置“关闭”位时， 阀门关闭；当置“清洗”位时，阀门开到最大，以便气路清洗，或临时作为流量 计使用；当置于“阀控”时，则按设定电位器的数值自动控制流量。（参考流量 显示仪的使用说明书）
量。 S49 32/MT 质量流量控制器(流量计)主要应用领域： 半导体制造行业的气体流量控制； 分析仪器设备的气体计量与控制； 各种形式的真空镀膜设备； 环境检测与分析设备； 化工、石化、食品、冶金、光纤熔炼等行业气体流量检测和控制； 特种材料表面处理装置与燃烧控制； 混气配气系统和泄露探测系统等。
西仪CS系列200-A,C,D型气体质量流量控制器 质量流量计使用手册说明书
REV. 2.7CS系列200-A,C,D型气体质量流量控制器/质量流量计使 用 手 册2015.12目录控制方式 (20)第一部分产品说明 3.21.1 声明 ................................................... 1 3.3 调零 (20)1.2使用须知 ............................................ 2 3.4 软启动 .. (20)1.3安全注意事项 .................................... 2 3.5 延迟 (21)1.4 概述 ................................................... 3 3.6 阀控制 .. (21)1.5 技术指标 ........................................... 4 3.7 阀类型 .. (21)1.6 标定 ................................................... 5 3.8 多气体多量程 .. (21)1.6.1 标准状况 ........................................ 5 3.9 累积流量 . (21)1.6.2 制造环境 ........................................ 5 3.10 报警 . (22)1.6.3 精度调节 ........................................ 5 3.11 LED指示灯 . (22)第二部分安装第四部分维护2.1 概述 ................................................... 6 4.1 概述 (23)2.2 打开包装 ........................................... 6 4.2 注意事项 . (23)2.3 机械安装 ........................................... 6 4.2.1介质使用要求 (23)2.3.1 概述 ................................................ 6 4.2.2 阀口密封问题 .. (23)2.3.2 安装 ................................................ 13第五部分故障诊断2.3.2.1 1/4″VCR接头安装方法............ 13 5.1 初步检查 . (24)2.3.2.2 双卡套接头的安装方法 ............. 14 5.2 故障检查 . (24)2.4 电气安装 ........................................... 14第六部分保证和服务2.4.1 概述 ................................................ 14 6.1 七星电子有限保证 (25)2.4.2 连接 ................................................ 15 6.2 产品保证 . (25)2.4.3 电缆线选型表以及连接示例 ........ 17 6.3 服务 (26)2.5 工作检查 ........................................... 20 6.4 免责声明 . (27)第三部分功能介绍附录Ⅰ (28)3.1 概述 ................................................... 20附录Ⅱ (31)MASS FLOW CONTROLLER & MASS FLOW METER第1页 共30页气体质量流量控制器和质量流量计使 用 手 册第一部分 产品说明1.1声明《气体质量流量控制器和质量流量计使用手册》版权属于北京七星华创电子股份有限公司(以下简称“七星电子”)专有。
MKS DELTA III流量比例控制器说明书
Key Benefits•Accurately and repeatably control flow ratio providing for better process optimization•Digital control loop provides rapid response to channel set point independent of the gas mix•Uses standard web browser – no special software requiredFigure 2The DELTA III ratio controller provides control for three channels of flow. Above the device starts with flows of 25, 25 and 50% in channels Q1, Q2, and Q3, respectively. The flow then transitions to 33.3% in each channel followed by a transition to 10, 50 and 40% in each channel, respectively.PerformanceFull Scale Ranges (each channel nitrogen equivalent - Q)500, 1000, 2000, 3000, 5000 and 10000 sccmPercentage Accuracy (includes non-linearity, hysteresis,and non-repeatability)±2% set point (for flow ≥10% of channel Full Scale)Channel Flow Control Range0, 5 to 100% Full ScaleInput Ratio Range 0, 2 to 100% of total flow within flow channel control range Percentage Repeatability±0.3% of set pointResolution 0.02% of channel Full ScaleMaximum Operating Outlet Pressure 200 Torr at maximum flow rate through all channelsMaximum Allowable Outlet Pressure Differential(highest to lowest pressure channel)50 Torr with the same percentage flow through all channelsNormal Operating Pressure Differential <150 Torr @ 3K split 33.3%; Except, <450 Torr for 10K/10K Percentage Settling Time <3 seconds (typical dependent on downstream conductance matching) Maximum Inlet Pressure 150 psig (non-operational)Temperature CoefficientsZeroSpan • <0.05% Full Scale/°C (500 ppm)• <0.08% of Reading/°C (800 ppm)Warmup Time60 minutesNormal Operating Temperature10 to 60°CStorage Temperature-20 to 65°CStorage Humidity0 to 95% relative humidity, non-condensingTemperature Accuracy+2°CTemperature Resolution0.1°CCompliance CE (a n overall metal braided, shielded able, properly grounded at both ends, is required during use). MechanicalFittingsInletOutlet • Swagelok® 4 VCR®• Male (non-rotatable)• Male (non-rotatable)Leak IntegrityExternal (scc/sec He)Through Closed Valve • <1x10-10• <2% of Channel Full Scale at 500 Torr differential to <10 TorrWetted Materials316 S.S. VAR (equivalent to 316 S.S. SCQ for semiconductor quality);316 S.S., Inconel®, KM-45, PTFESurface Finish 5 microinch average RaWeight7.27 lbs (3300 g)Electrical Communications EtherCAT®Input Power Required+24 VDC ±10% (13 Watts)Connector 2 x RJ-45 (comm.) male, M8 male, 5 pin (power)Data Rate Switch/Selection No switchComm. Rate(s)100 MbpsMac ID Switches/Addresses 3 switches, 16 positionsNetwork Size Up to 4095 nodesVisual Indicators LED Power (green), LED Run (green), LED Error (red), LED Comm (green)The MKS DELTA III Flow Ratio Controller shall not be used with any gas mixture which will react with each other as gas reactions are likely to affect the device flow measurements and may damage the device.The MKS DELTA III Flow Ratio Controller uses thermal sensors which add heat energy to the gas (and gas mixture) which may cause the gas to decompose and a mixture to react. Please consult MKS Applications Engineering if this is a concern for the intended application of the device.For channels with "0%" set points, a downstream shut-off valve is required to assure no flow through the channel.MKS products provided subject to the US Export Regulations. Export, re-export, diversion or transfer contrary to US law (and local country law) is prohibited. DELTA ™ is a trademark of MKS Instruments, Inc. or a subsidiary of MKS Instruments, Inc. All other trademarks cited herein are the property of their respective owners.DELTA III EtherCAT - 08/23©2023 MKS Instruments, Inc.Specifications are subject to change without notice.Ordering Code: DLT3B0BBB8R11Code ConfigurationModelDELTA III 3-Channel Flow Ratio Controller DLT3B DLT3BReserved Reserved00Channel Full Scale Flow Ranges3 channel 500 sccm 1000 sccm 2000 sccm 3000 sccm 5000 sccm 10000 sccmAll channels must be the same and are N 2 equivalent.AAA BBB CCC DDD EEE FFFBBBInterface Electronics EtherCAT 88Fittings4 VCR male, non-rotatable on inlet and outlet R RFirmwareFirmware Revision1111Dimensional DrawingNote: Unless otherwise specified, dimensions are nominal values in inches (mm referenced).。
堀场汇博隆S49 33MT流量计,流量控制器说明书
8
图五 DB15/F 孔型 插座接口定义图
5.4 与计算机的连接方法 a. 通过流量显示仪与计算机(或其它外部信号)的连接方法, 见图六。
9
图六 通过显示仪与计算机连接
若要检测流量输出信号(0V～+5V)时, 将线引至显示仪外控信号插座的“流量 检测”和“0 电平”线上即可，也可直接与计算机的模数(A/D)转换器连接， +5.00V 输出电压对应 MFC 满量程额定流量值。流量检测输出电流≤3mA。
在流量显示仪的显示面板上设置有三位阀门控制开关，当置于“阀控”时，则 按设定电位器的数值自动控制流量，当置“关闭”位时，阀门关闭；当置“清洗” 位时，阀门开到最大，以便气路清洗，或作为流量计使用。在做流量计使用时， 流量检测电压的输出值最大可能达到+10V 以上，不过要注意，当流量超过满量程 （+5V）后，流量检测电压与通过的实际流量不成线性对应关系。清洗时，流量显 示不准确，还可能出现流量增大显示反而减小的异常现象，但不会对流量计本身 造成损伤。（参考流量显示仪的使用说明书） 5.安装和接线
项目
S49 33/MT
流量规格
(5,10,30,50,100,200,300,500)mL/min (15,20,30) L/min
(1,2,3,5,10) L/min