软件测试系统用户手册

用户对此窗口操作是确定样品测试点的位置，用 来计算直径修正因子及记录测量点坐标。“标准点测 试”项包含的测试点有中心、半径中点、边缘 6mm 共 9 点。用户可以结合这 9 点进行各种标准点测试方 案，例如：表格 3 的 6 种标准点测量方案。
1
2
3
4
5
6
表格 3 用户只需点击要测量点，就选择了将对此点进行 测量。如果要进行（表格 3）某一测量方案只需点击 各测量点，逐点测量。 当用户要测量的点不是标准点，可以选择“任意 点测试”，在“任意点测试”中输入样品大概要测量 点的坐标 X 和坐标 Y，就确定了样品的测量点（程序 默认中心测量点坐标（0,0））。用户可以在标准点测试和任意点测试间切换，结合二者进行更多测量点的 测试方案。当测量完成后，在【统计测试数据】窗口（如下图所示）中记录了测量点位置的坐标。（备注： 如果用户要测试的类别是模拟电阻、棒才电阻率、双面扩散层方块电阻不需要记录测量位置，可以忽略 对此窗口操作，因以上三种测试类别的测量结果不需要直径修正因子值。）
RTS-8 型四探针测试仪软件测试系统
(软件版本：FMS2.1)
用户手册
目录
1. 概述...........................1 2. 功能特点.......................1 3. 系统要求.......................1 4. 软件安装.......................1 5. 硬件安装.......................1 6. 启动/关闭四探针软件测试系统....2 7. 四探针软件测试系统的用户界面...2 8. 软件使用.......................3
表 1. 电阻率测量时电流量程选择表(推荐)
电阻率(Ω·cm)
电流量程
< 0.03
100mA
0.03 ~ 0.3
10mA
0.3 ~ 30
1mA
30 ~ 300
100uA
300 ~ 3000
10uA
>3000
1uA
表 2. 方块电阻测量时电流量程选择表(推荐)
方块电阻(Ω/□)
电流量程
< 2.5
100mA
。
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FMS2.1 四探针软件测试系统用户手册
为了更详细和准确采集、记录、分析被测试材料的测量数据，请用户在对测试样品进行测量前在【测 试参数】窗口（如图 4）选择测试类别、输入材料的相关属性参数值、确定测量点的位置。
选择测试类别窗口
输入测试基本参数窗口
确定 测量 位置 窗口
图 4 测试参数窗口
2．输入测试基本参数
此窗口输入测试时的环境参数和被测试材料的各种基本属性项的数据 值。对此窗口的操作会在【统计测试数据】窗口上记录属性项的数据值。 【输入测试基本参数】窗口的属性项会因选择测试类别不同而变化（某些 属性项会变灰色表示操作无效）。 【温度】、【温度】：测试材料时的环境温度、湿度。 【晶片标识】：对测试的材料作标识，可输入长度为 6 位的中英文组合字 符串，辅助记录测试的数据。 【厚度】:输入被测试材料的厚度，此属性项只有当测试材料类别是”薄 圆片(厚度<＝4)电阻率”时才有效。 【直径】:可以直接点击列表栏选择或者手动输入被测试材料的直径值。 【电流量程】: 选择适当的电流量程来测量样品的电阻率或方块电阻，电 阻率测量时可参考（表 1）来选择量程，方块电阻测量时可参考（表 2）。对 此项的操作可以直接控制四探针测试仪主机的电流量程档的切换而不用手 动到四探针测试仪去调，用户可通过点击选择电流量程档观察到四探针 测试仪主机电流量程档的变化（如果在切换不同量程档时主机电流量程档没变化请检查四探针测试仪主 机跟计算机是否已经正确连接）。如果用户进行的是【自动测量】可以忽略对此电流量程选择，程序会自 行比较各量程档找出适合此测试材料的电流量程。
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FMS2.1 四探针软件测试系统用户手册
下面对【选择测试类别】、【输入测试基本参数】、【确定测量位置】三个窗口操作进行说明。
1. 选择测试类别
在此窗口中请用户对要测试的样品选择适当测试类别，共有 8 种测试类别供选择，如果被测的类别不在其中，可以选择属性相近 类别代替。由于选择不同的测试类别它的相关基本属性不同，对此 窗口的操作会影响到【输入测试基本参数】窗口和【统计测试数据】 窗口一些属性项的变化。用户可以尝试选择不同的测试类别观察到 这二个窗口中的一些属性项的增加否者减少（减少的属性项字体颜 色会变灰，表示这些属性项相对于选择测试类别无效）。
四探针软件测试系统的用户界面
四探针软件测试系统启动后出现如下图所示的用户界面。
测试参数窗口
统计测试数据窗口
操作栏
软件测试系统的用户界面主要由以下三部分组成，各组成部分的说明如下： 1. 【测试参数】窗口：用户可在此窗口中选择测试材料的类别和输入测试材料基本属性数据值（厚度、
直径等）、测试环境数据（温度、湿度）及确定测量点的位置。 2. 【统计测试数据】窗口：记录和显示测试材料的各项属性数据值、测量数据和统计分析后数据。 3. 【操作栏】：供用户进行测量、重测、自动测量、打开、保存、打印等操作的执行按钮
2.0 ~ 25
10mA
20 ~ 250
1mA
200 ~ 2500
100uA
2000 ~ 25000
10uA
>20000
1uA
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FMS2.1 四探针软件测试系统用户手册
【探针系数】：此属性项只有当测试材料类别是”棒材电阻率”时才有效。 探针系数值计算方法：2×π×S。因本公司现时跟 RTS-8 型四探针测试仪搭配使用的四探针探头的探针 间距都为 S=1，所以四探针测试系统探针系数默认值为 6.28。如果用户使用的探头的探针间距 S 不为 1 请重新计算此值并输入。
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FMS2.1 四探针软件测试系统用户手册
当用户确定已经把 RTS-8 型四探针测试仪上的电流值调节为窗口上计算出来的电流值。请按下【确定】 按钮，此时程序将弹出以下窗口（图 11）表示测试正在进行，计算机与四探针测试仪正在通讯中。如果 用户想退出此次测试可以按【取消】按钮。
图 11 当测试数据采集完毕，此时图 11 的窗口将会消失，同时【统计测试数据】窗口将会记录和显示出此次采 集到的测试数据和相关的的统计分析数据。【统计测试数据】窗口如下图(图 12)所示，
【输入测试基本参数】窗口在用户选择不同测试类别时，厚度、 直径、探针平均间距、探针间距修正因子、探针系数 5 个属性项会 因不同的测试类别需的测试参数不同会自动变无效（属性项变灰用 户不能操作）
【统计测试数据】窗口记录和显示的数据也会因不同的测试类 别一些属性项会变无效，无效的属性项字体变灰色，属性项数据无 显示。
在进行【测量】、【重测】、【低阻扩展】、【自动测量】时一定要与 RTS-8 型 四探针测试仪连机才能使用，
【打开】、【存档】、【输出 Excel 文件】、【打印】的操作在连机或者是脱机 状态下都能使用。
1.【测量】 【测量】功能和【自动测量】功能是四探针软件测试系统最主要的功能，
通过【测量】和【自动测量】采集 RTS-8 型四探针测试仪上被测试材料的测试 数据，然后将测试数据在【统计测试数据】窗口显示和记录下来，并统计分析 测试数据。【测量】功能相当于手动测量，要求用户自行确定适合测试材料的 量程和电流后，再按下此按钮进行测量。【自动测量】功能会自动比较各电流 量程，然后确定最适合测试材料的量程，取得测试数据。
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软件使用
FMS2.1 四探针软件测试系统用户手册
四探针软件测试系统具有友好的用户界面，软件所有使用功能都位于主程 序窗口右端【操作栏】的 11 个按钮上，如图 2 所示。用户只需按下按钮就可 以实现相关的功能。
【操作栏】共有 11 个类别：【测量】、【重测】、【低阻扩展】、【自动测量】、 【采样时间设置】、【新建测试】、【打开】、【存档】、【输出 Excel 文件】、【打印】、 【关于】。软件的使用也是围绕这些按钮功能来实现的。以下将对每一操作按 钮的使用进行说明。
请用户在阅读本手册及操作本软件前先详读《RTS-8 型四探针测试仪》用户手册 因有的概念跟理论要了解后,阅读此手册和使用本软件时更容易理解、操作。
FMS2.1 四探针软件测试系统用户手册
概述
RTS-8 型四探针软件测试系统是一个运行在计算机上拥有友好测试界面的用户程序，程序操作直观易 用。测试程序在计算机与 RTS-8 型四探针测试仪连接的状态下，通过计算机的并口实现通讯。
系统要求
请确定你的电脑是 IBM PC 兼容型并具备以下最低的系统要求： z Intel 兼容 586DX-500MHz 中央处理器或者更高； z 一个 IEEE-1284 标准并行通讯端口； z 显示卡分辨率支持 1024*768 模式；
软件安装
本软件可安装在 Win98、Win2000、XP 操作系统上。请按以下步骤进行安装。 1. 将四探针软件测试系统的安装光盘放入光驱中，执行光盘目录下的【Setup.exe】进行安装。 2. 软件安装完成后，请重新启动计算机。 软件安装完成后，因计算机和 RTS-8 型四探针测试仪是通过并口通讯的，请确认并口（Parallel Port）在 BIOS 中的基地址设置为“378”，模式（Parallel mode）设置为“EPP”模式。
测试程序控制四探针测试仪进行测量并采集测试数据，把采集到的数据在计算机中加以分析，然后把 测试数据以表格，图形直观地记录、显示出来。用户可对采集到的数据在计算机中保存或者打印以备日 后参考和查看，还可以把采集到的数据输出到 Excel 中，让用户对数据进行各种数据分析。
功能特点
z 可以选择进行手动测量或者是自动测量； z 对可疑测量点的数据进行重测； z 详细记录被测试材料各种参数，结合测试数据进行数据统计分析； z 以直方图形式统计分析数据； z 打开、保存、打印测试数据； z 把测试数据导出到 Excel 中进行更详细的数据统计分析；