罗茨真空泵培训教材

合集下载

2024年真空泵培训课件(版)

2024年真空泵培训课件(版)

真空泵培训课件(附件版)真空泵培训课件一、引言真空泵是一种广泛应用于各个领域的设备,其主要功能是抽取或压缩气体,使容器内形成真空状态。

为了更好地了解和使用真空泵,本课件将详细介绍真空泵的原理、分类、应用、操作方法及维护保养等内容。

二、真空泵的原理与分类1.真空泵原理真空泵的工作原理是通过机械或物理方法,将容器内的气体抽出或压缩,从而降低容器内的气压。

根据工作原理的不同,真空泵可分为两大类:容积式真空泵和速度式真空泵。

(1)容积式真空泵:通过改变泵腔的体积,使气体在泵腔内产生周期性的膨胀和压缩,从而达到抽气或压缩气体的目的。

常见的容积式真空泵有旋片式真空泵、滑阀式真空泵等。

(2)速度式真空泵:通过高速旋转的叶轮或叶片,使气体产生离心力,从而将气体甩出泵腔,达到抽气或压缩气体的目的。

常见的速度式真空泵有罗茨泵、涡旋泵等。

2.真空泵分类(1)旋片式真空泵:具有结构简单、体积小、重量轻、噪音低等特点,广泛应用于实验室、医疗、食品等领域。

(2)滑阀式真空泵:具有抽气速率高、抗水蒸气能力强等特点,适用于化工、制药等行业。

(3)罗茨泵:具有抽气速率高、无油压缩、维修方便等特点,适用于电子、半导体、真空镀膜等领域。

(4)涡旋泵:具有抽气速率高、结构紧凑、无油压缩等特点,适用于分析仪器、真空干燥等领域。

三、真空泵的应用1.实验室:用于真空过滤、真空干燥、真空蒸馏等实验操作。

2.医疗:用于真空采血、真空包装、真空敷料等。

3.食品:用于真空包装、真空冷却、真空干燥等。

4.化工:用于真空蒸馏、真空吸料、真空输送等。

5.电子:用于真空镀膜、真空焊接、真空封装等。

6.半导体:用于真空刻蚀、真空沉积、真空吸附等。

7.分析仪器:用于真空采样、真空分析等。

四、真空泵的操作方法1.开机操作(1)检查真空泵及附件是否完好,连接管道是否牢固。

(2)打开电源开关,启动真空泵。

(3)观察真空泵的运行状态,确保正常工作。

2.关机操作(1)关闭真空泵的电源开关。

罗茨真空泵说明书

罗茨真空泵说明书

54、圆螺母 55、轴端垫圈(长) 56、甩油盘 57、前盖 58、油杯 59、圆柱销 60、油封座 61、孔用卡簧 62、骨架油封 64、轴套 66、连接架 67、泵联轴器 68、弹性块 69、平键 70、电机联轴器 71、冷却风叶板
PDF
十、抽气速率曲线
抽气速率(L/S)
ZJH-10000 ZJH-8000 ZJH-5000 ZJH-4000 ZJH-3300 ZJH-2500 ZJH-1200
ZJH-600 ZJH-300 ZJH-150 ZJH-70 ZJH-30 ZJH-15
入口压力(Pa)
十一、注意事项:
1、罗茨真空泵抽气速率大于2500L/S时,必须采用变频器启动。 ZJH-2500以上罗茨真空泵最佳工作转速2000-2200r/min。若因转速调节过 高造成罗茨真空泵寿命缩短或损坏,客户应自行承担相关责任。 2、罗茨真空泵前面必须用前级泵将真空度抽到-0.9MPa(10KPa)以 上才能启动罗茨真空泵,否则罗茨真空泵电机会因为负载过大,出现电机 损坏。 3、罗茨真空泵使用在高真空状态下(1Pa-100Pa),使用压缩比不大 于1:5。当罗茨真空泵使用在粗真空状态下(100Pa-2000Pa),压缩比不 得大于1:3。罗茨真空泵选用不同的前级泵,得到的极限压力有所不同。 4、严禁对罗茨真空泵打正压,否则会导致密封系统及配件损坏。拆 解罗茨真空泵必须在我公司工程师指导情况下进行。
59
40
52 54 53
15 28 17 50 19 18 21 20 29 23 22 25 24 27 51
O型圈: 螺丝:
6 2
9 10 13 17 18 38 63 8 12 15 28 29 33 40 42 47 65 72

真空知识培训教材

真空知识培训教材

真空理论知识培训拟制:许坤良目录:一.基础知识:二.往复式真空泵:三.旋片式油封机械真空泵:四.罗茨式真空泵:五.分子真空泵:六.油扩散泵:七.低温泵:八.真空泵流量的测量方法:九.冲洗抽气法:一.基础知识:1.真空及其度量:真空----一般是指在给定的空间内,压力低于101325Pa的气体状态。

在真空状态下,气体的稀薄程度,通常用气体的压力值来表示。

真空的主要特性-----真空状态同正常的大气状态相比较,气体较为稀薄,即单位体积内的分子数目较少,分子之间或分子与其他质点(如电子、离子)之间的碰撞几率减少,分子在单位时间内碰撞于单位表面积(如器壁)上的次数也相对减少。

分为:“自然真空”和“人为真空”人为真空---是指人们对一个容器进行抽气而获得的真空空间。

气体的稀薄程度叫真空度。

真空度可用气体压强、分子密度、平均自由程和形成一个单分子层的时间来描述,在真空科学与技术中,通常都用气体的压强来表示。

气体压强越低,真空度越高。

2.换算关系:1atm=1.01325*105Pa (1Pa=1N/m2)(760mmHg)1atm=760mmHg=760Torr(标准大气压)1Torr=133.322Pa(1Pa=7.5*10-3Torr=0.0075Torr=7.5mTorr)1bar=105Pa=750Torr 1Pa=7.5mTorr 1mbar=750mTorr3.各真空区域的物理特性及应用:低真空:1*105Pa-----1*102Pa=0.75Torr=750mTorr中真空:1*102-----1*10-1Pa=0.75mTorr高真空:1*10-1----1*10-6Pa=7.5mTorr超高真空:1*10-6---1*10-12Pa极高真空:小于10-12Torr3.1低真空(1*105Pa-----1*102Pa)在低真空状态下,气态空间的特性和常压时相比,没有明显的不同。

气体分子仍以杂乱无章的热运动为主,气体分子间的相互碰撞十分频繁。

泵类培训讲义

泵类培训讲义

各类泵及润滑培训交流讲义暨日常使用维护规范各类泵培训讲义一、化工离心泵使用一般要求1化工离心泵启动前检查1.1检查泵壳外部、电机外部及联轴器、机封外部有无物料附着,如有应及时清理,防止物料给从设备外部带来的腐蚀。

但应注意电机外部的物料清理是不能用水冲,防止触电危险。

1.2检查泵各部件有无明显的损坏情况,各处的螺栓是否有松动情况,如有应及时紧固后才能进行下步操作。

1.3对有轴连式的泵,应在启动前检查托架油室的油位是否在规定的范围内,不足应该补加后才能启动。

1.4检查进出口管路有无明显的漏点,发现及时修补或更换。

1.5对于带有自冷却装置的泵,在启动前还须检查冷却系统情况,保证冷却阀门打开,冷却液正常流动。

2.化工离心泵的启动2.1初次启动时,应该先手动盘动电机,检查泵的转向是否正确。

2.2启动泵前全开进口管路的阀门,确保泵内被输送液体灌满,关闭泵出口阀门,启动泵后再打开出口管路阀门,使液体泵出。

2.3化工离心泵运转过程运转过程做好巡检,发现振动、异响和物料泄漏情况立即停车检查原因,故障排除后才能再次启动。

3.化工离心泵的停车需要停车时,首先应关闭泵出口阀门,然后再切断泵运转的电源。

4.化工离心泵使用过程注意事项4.1化工离心泵严禁输送会对泵内部过流部件造成腐蚀的物料。

4.2普通化工离心泵(除自吸泵外的离心泵)在使用前内部必须注满被输送液体,严禁空转。

在使用过程如进口物料异常停止应及时将泵停止运行,严禁空转。

4.3泵在运行过程严禁通过调节进口阀门大小来调节流量,如需调节则可对出口阀门开度进行调节。

4.4泵各部件表面物料要及时清理,否则可能会对泵及电机外壳造成腐蚀,机封外部的物料进入机封内部会造成机封端面、弹簧及O型圈的损坏。

4.5带有自冷却装置的泵在运行过程务必保证冷却系统的有效运行,否则因超温容易烧毁机封。

4.6对于泵内介质易结晶的情况,泵须长期停运时,务必将泵内残夜排净后进行彻底清洗,防止物料腐蚀或析出结晶。

罗茨真空泵维护检修规程上课讲义

罗茨真空泵维护检修规程上课讲义

罗茨真空泵维护检修规程1.总则1.1适用范围本规程适用于MDI装置罗茨真空泵的维护与检修。

1.2结构简述罗茨真空泵由机壳、转子组件、轴承和齿轮箱等主要部件组成,由电动机直接驱动。

1.3设备性能部分罗茨真空泵的主要性能见表1。

2.设备完好标准2.1零部件2.1.1零部件完整,齐全,符合图样要求。

2.1.2各部连接螺栓,螺母齐全满扣,连接牢固,无锈蚀,螺栓丝扣外露1~3扣。

2.1.3安全防护装置齐全可靠。

2.1.4压力表、温度计等装置灵敏准确,并定期校验。

2.1.5阀门及附属管线安装合理,涂色符合规定。

2.1.6基础坚固完整。

2.2运行性能2.2.1油路畅通,润滑良好,油质符合规定,实行“五定”、“三级过滤”。

2.2.2压力、流量平稳,各部温度正常,电流稳定。

2.2.3运转平稳,无异常振动、杂音等。

2.2.4达到设备设计能力。

2.3技术资料2.3.1总装置图、主要零件图、易损件图以及使用说明书齐全。

2.3.2设备档案、运行记录、缺陷与事故记录和检修记录齐全、准确。

2.3.3操作规程、安全规程及维护检修规程齐全。

2.4设备及环境2.4.1机体及管线清洁,表面无灰尘、结垢,无跑、冒、滴、漏。

2.4.2基础整洁,表面及周围无积水、杂物,环境整齐清洁。

3.设备的维护3.1日常维护3.1.1严格执行操作规程。

3.1.2严格执行“设备润滑管理规定”,坚持“五定”、“三级过滤”。

3.1.3定时检查轴承温度是否正常,滚动轴承最高温度不能超过70℃。

3.1.4经常注意设备运行情况,如发现不正常的声响或振动时,应及时停车检查其原因,并加以消除。

3.1.5长期停用时,应拆开清洗、擦干,在转子面涂以防锈油,装配好后,妥善保管,并定期盘车。

3.2定期检查3.2.1每三个月分析一次齿轮箱润滑油,根据分析结果更换或补充。

3.3常见故障及处理方法常见故障及处理方法见表2。

除操作规程规定的紧急停车情况外,遇有下列情况之一时,应紧急停车,a.电机电流超过额定值;b.设备有异常震动和噪音;c.轴承严重超温。

ZJ-ZJP型罗茨真空泵说明书

ZJ-ZJP型罗茨真空泵说明书

JIANG YIN TIANTIAN V ACUUM EQUIPMENT.CO.,LTD.ZJ型 ZJP 型罗茨真空泵安装使用维护手册中华人民共和国江阴天田真空设备制造有限公司地址:中国江阴云亭工业区B区松文头路19号邮编:214422电话: 86-0510-*******销售直线:86-0510-*******传真: 86-0510-*******目录A.安全警告-------------------------------------------------------------------------3B.概述----------------------------------------------------------------------------4C.主要技术参数------------------------------------------------------------------ 6D.安装说明-------------------------------------------------------------------------7E.使用说明-------------------------------------------------------------------------8F.维护检查及产品维修--------------------------------------------------------- 9G.故障原因与消除方法----------------------------------------------------------17H.易损件表-------------------------------------------------------------------------15-------------------------------------------------------- 16A.安全警告1.本产品不能单独使用,必须在配备由本公司专业技术人员推荐的前级真空泵的前提下才可投入使用。

真空泵培训资料课件

真空泵培训资料课件

调试与试运行
完成安装后进行调试和试运行 ,检查真空泵的性能参数是否
满足要求。
验收与交付
完成调试和试运行后,进行验 收并交付使用,同时提供相关
操作和维护培训。
真空泵安全与环保
04
真空泵的安全操作规程
启动前检查
确保真空泵的润滑油、冷却水 、密封液等充足,检查电源、
管道连接等是否正常。
启动操作
按照规定的顺序启动真空泵, 注意泵内气体排出情况,及时 调整。
漏油
可能是由于密封件老化、损坏或安装 不当等原因引起。应检查密封件,如 有需要应更换密封件,并确保安装正 确。
真空泵性能参数与
03
选型
真空泵的性能参数
抽气速率
表示真空泵在单位时间 内能抽走的空气流量, 是衡量真空泵性能的重
要参数。
极限真空度
指在一定条件下,真空 泵所能达到的最低压力 ,反映真空泵的抽气能
真空泵培训资料课件
汇报人:任老师 2023-12-30
目录
• 真空泵基础知识 • 真空泵操作与维护 • 真空泵性能参数与选型 • 真空泵安全与环保 • 真空泵案例分析
真空泵基础知识
01
真空泵的定义与分类
总结词
了解真空泵的定义和分类是掌握其工作原理和应用的基础。
详细描述
真空泵是一种能够将密闭容器中的气体抽出,使其内部形成 负压的装置。根据工作原理和应用的不同,真空泵有多种分 类,如干式螺杆真空泵、水环式真空泵、旋片式真空泵等。
总结词
了解真空泵的应用领域有助于更好地选择和使用适合特定需求的真空泵。
详细描述
真空泵广泛应用于多个领域,如化工、制药、食品、电子、环保等。在化工和制药领域,真空泵用于各种反应釜 的负压操作;在食品工业中,真空泵用于包装机械的负压吸附和物料输送;在电子工业中,真空泵用于制造和加 工过程中的气体抽除;在环保领域,真空泵用于废气处理和烟尘排放控制等。

罗茨风机培训资料

罗茨风机培训资料

第五节 故障原因及其排除方法
——温度过高
(1) 油箱内油太多、太稠、大脏; 处理:降低油位;
(2) 过滤器或消声器堵塞; 处理:清除堵物;
(3) 压力高于规定值; 处理:降低通过鼓风机的压差;
(4) 叶轮过度磨损,间隙大; 处理:修复间隙;
(5) 通风不好,室内温度高,造成进口温度高; 处理:开设通风口,降低室温;
(6) 运转速度太低,皮带打滑。 处理:加大转速,防止皮带打滑。
11
第五节 故障原因及其排除方法
——漏油或油泄漏到机壳中
(1) 油箱位大高,由排油口漏出; 处理:降低油位;
(2) 密封磨损,造成轴端漏油; 处理:更换密封;
12
第五节 故障原因及其排除方法
——气量不足
(1)皮带打滑 处理:调整皮带张紧力
(2)进气堵塞 处理:清洗,更换空滤芯
(3)转速太低 处理:调整转速
(4)间隙磨损 处理:调整间隙
13
14
第四节 维护及检修
1)检查各部位的紧固情况及定位销是否有松动现象。 2)机体内部是否有漏水、漏油现象。 3)机体内部不能有结垢、生锈和剥落现象在。 4)注意润滑及冷却情况是否正常,注意润滑的质量。经常倾听主机运行 有无杂声。注意机组是否在不符合规定的工况下运行。 5)机组的过载,有时不是立即显示出来的,所以要注意进、排气压力,轴 承温度和电动机电流的增加趋势,籍以判断机器是否运行正常。 6)拆卸机器前,应对机器各配合尺寸进行测量,作好记录,并在零部件上 作好标记,以保证装配后保持原来配合要求。
第四节 维护及检修
7)主机的轴承与齿轮采用飞溅润滑,必须使用原厂润滑油,油箱中的油 量在停车时要保证在油标中线以上3—5mm,润滑油要定期更换(第一次 启动工作200小时、换第一次油),以后每半年换油。 8)维护检修应按具体使用情况拟定合理的维修制度,按期进行,并作好 记录,建议每25000大修一次,并更换轴承和有关易损件。
  1. 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性,平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
  2. 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
  3. 3、如文档侵犯您的权益,请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间:9:00-18:30)。

罗茨真空泵培训教材罗茨真空泵的选型、使用和维护第一节概述一、罗茨真空泵产生的原因:罗茨真空泵自上世纪四十年代由罗茨鼓风机演变发展而来,它的出现,主要是由于随着工业的发展,在许多真空系统的应用中,为了提高真空系统的抽气效率、缩短抽气时间,或者是在大量放气的真空系统中能保持较恒定的真空条件,通常工艺上要求真空泵在1333~1.3Pa压力范围具有较大的抽速,要满足这样的工艺条件,使用其他形式的机械真空泵是困难的,即使能勉强达到这样的使用要求,也很不经济,因此,罗茨真空泵正是在适应这样的工业应用中得以广泛使用。

二、罗茨真空泵的特点:罗茨真空泵是一种容积式真空泵。

它是利用一对8字型转子在泵壳中保持一定的间隙,作等速反向旋转而产生吸气和排气作用的,二个转子被支承在泵壳的二侧面端盖的滚动轴承中,依靠一对可调节的同步齿轮使二个转子在高速反向旋转时始终保持着一定的相互位置,从而完成吸排气过程。

目前国内的罗茨真空泵的主要性能参数如下:抽气速率:30~20000升/秒极限压力:6×10-2~1×10-1Pa配用功率:0.75~115千瓦转速:600~3000转/分(一)、罗茨真空泵的优点:1、在较宽的压力范围内具有较大的抽速。

2、起动快。

3、泵腔及转子工作时为干式无油,对被抽气体中的灰尘,水蒸汽不敏感,油蒸汽污染真空系统的情况比油增压泵、油扩散泵和油封机械泵要少得多。

4、由于动平衡较好,所以运转时的振动小、噪声低。

5、驱动功率小,这是因为机械摩擦损失小。

6、不用排气阀。

7、转速高、体积小,可制成任何几何抽速的泵。

8、可凝性蒸汽对泵无影响,因为经过泵时还没压缩到饱和蒸汽压。

9、与其它机械真空泵比较,节能效果显著,且耗油量小。

(二)、罗茨真空泵的缺点:1、对氢气的抽气效果比油增压泵差,通过间隙返回的流量较大。

2、泵的制造较复杂,特别是转子型线,加工和检查都比较困难,而油增压泵结构简单,无大的运动部件,安装较方便。

3、不能单独使用,须有前级真空泵组成机组形式使用。

一般与前级泵的抽速比为1:2~1:10不等,为保护罗茨真空泵,须在机组中安装过载保护装置。

(三)、国内罗茨真空泵与国外先进罗茨真空泵的差距:目前,在性能指标上与国外的差距,主要还是由于加工精度问题,造成泵的零流量压缩比的指标低于国外泵的指标,但近几年,国内由于加工精度的不断提高,这一指标的差距已不明显。

当前,主要差距还是反映在泵的使用可靠性和节能要求上,有以下几点:1、国内泵的漏油还是相当普遍,轴封漏油、油杯漏油等。

2、泵的噪音大于国外同类产品。

3、泵在化工行业使用仍不能完全满足使用要求,泵的两端油箱经常发生油的变质而导致泵在短时间内的故障和失效。

4、国外1200L/S抽速以及以下抽速的泵都不用水冷却,国内的同类泵都使用水冷却,不符合节能的国际潮流。

针对目前国内罗茨真空泵的这些差距,上海智洪真空设备有限公司已成功开发了新一代的100%不会漏油的罗茨真空泵,该泵的主要特点如下:1、动密封系统采用机械密封,使得泵的密封更可靠,泵达到100%不会漏油,使用寿命更长。

2、泵在最大许可压差下工作无须水冷却,泵可耐受较高温度的工况,不再为接冷却水管而麻烦,符合节水的要求。

3、1200升/秒抽速以下泵无外部油杯润滑,省去了定期向油杯加油的工作,也避免了油杯漏油的情况。

4、装配和拆卸十分容易,装配时无须人工调节转子的轴向间隙和转子与泵体的间隙,使得维修和保养更加方便。

5、泵的运转平稳,低噪声。

6、与国内同类产品比较,结构紧凑,体积小,重量轻。

上海智洪真空设备有限公司开发的新一代罗茨真空泵,可以达到100%不会漏油,也不用水冷,这是对罗茨真空泵的一个创新之举。

三、罗茨真空泵的用途:罗茨真空泵可广泛应用于需要大抽速和中等真空(1X10-1~10-2Pa)的任何真空系统中,例如:1、冶金工业中的大规模钢液真空脱气过程中,大量气体在25~1X10--1区间放出,需大抽速的真空机组。

2、大型空间模拟试验设备中的动态真空的获得,例如:模拟高空飞机及火箭的飞行的高空条件,需要把燃烧排出的气体抽除。

3、电力电容器及变压器的真空浸渍处理。

4、化纤工业的涤纶切片的白色度控制。

5、灯泡灯管的自动生产线系统中的抽气系统。

6、真空镀膜设备中作为高真空泵的前级泵可以使整个抽气时间大大缩短,提高生产效率。

7、化学工业中,如果配上液环真空泵作为罗茨真空泵的前级泵,就可以抽除含有大量水蒸汽和腐蚀性的气体,适用于各类真空蒸馏、真空浓缩、真空干燥等工艺上。

第二节罗茨真空泵的选型我们知道,罗茨真空泵的最大特点是在较低入口压力时(即较高真空度时)具有较高的抽气速率,但它不能单独使用,必须在其排气口串联一台前级真空泵进行预抽,待被抽系统中的压力被前级真空泵抽到罗茨真空泵允许的起动入口压力时,罗茨真空泵才能开始工作。

并且在一般情况下,罗茨真空泵不允许在高压差时工作,否则将会使罗茨真空泵产生过载和过热而损坏,因此使用罗茨真空泵时必须合理地选用前级真空泵,并且须安装必要的保护设备。

根据罗茨真空泵的特点,我们在选用罗茨真空泵时一般需要了解三方面的问题:一、工艺条件问题:1.你是怎样的一个工艺应用?根据工艺条件你可以初步判断用那一类泵作为罗茨真空泵的前级泵,罗茨真空泵的前级真空泵一般为油封机械泵或液环真空泵作为前级泵。

如果工艺过程中,被抽气体中不含有大量水蒸汽及大量可凝性或腐蚀性的气体时,一般前级泵应首选油封机械泵,这样的配置是经济性最好的。

但是,工业应用中的许多场合,并不是如此理想的应用场合,许多场合需要抽除含有大量水蒸汽及含有大量可凝性或腐蚀性的气体时,选用液环真空泵或干式真空泵作为前级泵是理想的,能使机组的性能比较稳定。

由于干式泵的价格较高,所以,目前,在这类场合,普遍使用的前级真空泵仍是液环式真空泵。

因此,罗茨液环泵真空机组的应用十分广泛。

当然,在某些特定的使用工况,液环真空泵是无法替代干式真空泵的。

另外,你必须根据工艺条件,在罗茨真空泵的入口或者是出口,考虑加装过滤器、热交换器等附加装置,以适应工艺的需要。

二、工艺参数问题:1.被抽气体的物理和化学性能。

2. 空载时系统的极限真空度要求,工艺上要求的工作压力是多少?3. 工作温度是多少?4. 被抽的容积有多大?工艺的负载有多少?5. 到达工作压力期望的抽气时间是多少?根据工艺参数问题,你可以确定主泵的类型和大小,以及选配合适的前级泵。

(一)、选择主泵的方法在设计一套使用方便、工作可靠的真空系统时,选取主泵是不能只追求某一项指标,必须根据不同的使用条件、工艺要求多方面进行综合考虑。

真空系统选取主泵的主要依据是:1.根据空载时真空室所需达到的极限真空度。

根据真空室所需要建立的极限真空确定主泵的类型,选取主泵的极限真空要比真空室的极限真空高,通常为高半到一个数量级。

2.根据真空室进行工艺生产或实验时所需的工作压力选配主泵。

这项要求比较重要,因此要求能够掌握主泵的最佳抽速的压力范围,各类真空泵工作压力可参考生产厂家的泵或机组性能曲线。

真空室的工作压力一定要保证在主泵的最佳抽速压力范围内。

所需要的主泵抽速由工艺生产中的放出的气量、系统漏气量及所需的工作压力来决定。

A.计算主泵的有效抽速根据真空室要求的工作压力Pg,真空室的总气体量Q,计算泵的有效抽速:S=Q/ Pg式中Q为真空室的气体量(pa.l/s)。

Q通常由三部分组成,即Q=Q1+Q2+Q3式中:Q1-真空室工作过程中产生的气体量,Q2-真空室及真空组件的放气量,Q3-真空室的总漏气量。

B.确定主泵的抽速根据主泵的有效抽速S,以及泵与真空室之间的连接管道的流导U确定主泵的抽速Sp由流导公式:1/S=1/ SP +1/U则:Sp=S*U/(U-S)由上面公式可见,为了增大有效抽速S必须增大流导U,为此要求连接管道要短而粗。

一般管道直径不得小于主泵的入口直径。

(二)、前级泵的选择方法罗茨真空泵不能单独使用,必须配上前级泵组成机组,使用前级真空泵是为了降低罗茨真空泵的排出压力,由于罗茨真空泵的压缩比是有限的,所以选择前级真空泵的抽速是重要的,如右图表明,罗茨真空泵的最大压缩比是随排出压力而变化的,在高排出压力下,最大压缩比最多大3:1,而最高压缩比是在排出压力为1到10mbar之间(1 mbar=0.75Torr)可达50:1,甚至更高些。

因此,选择前级泵的抽速,要根据罗茨真空泵的长期工作压力范围考虑。

例如有一系统用罗茨真空泵机组抽气,要求在1 mbar入口压力时有600升/秒的抽速,并长期工作,问应选择多大抽速的前级泵。

先假定用30升/秒的前级泵时,压缩比K=600:30=20从上图查得K=20时最大排出压力为30 mbar。

由此得出,当选用30升/秒前级泵时,在入口压力低于1.5 mbar以下工作是可行的,但高于1.5 mbar入口压力工作时就选用大一些前级泵了。

该例中,工作真空度1 mbar低于1.5 mbar,所以30升/秒的前级泵可以满足上述真空系统的抽气要求。

另外应当考虑的是,对预抽时间的要求问题,如果正常工作时间远比预抽时间长,可选较小的前级泵;假如真空室较大,而且要求很快预抽,就要用较大的前级泵,有时为了更好发挥设备的效率,机组装有较大的预抽泵,在正常工作后停掉它,而用较小的前级泵维持,这样做是为了节约功率。

对罗茨真空泵机组的极限压力的要求,也是选择前级泵的必须考虑的,对极限真空度要求较高(达1X10-3Pa~1X10-2Pa压力)一般选用双级旋片式油封机械泵或双级滑阀机械泵作为前级泵。

极限真空度要求在(1X10-2Pa~1X10-1Pa)之间可选用单级油封机械泵作为前级泵,极限真空度要求在133~1333Pa之间可选用往复式真空泵或液环式真空泵作为前级泵。

当选用往复式或液环式粗真空泵作为罗茨真空泵的前级泵时,前级泵的抽速一般为罗茨真空泵的1/2-1/4,不能太大,否则将使压缩比过大,造成罗茨真空泵的排气温度高而不能正常工作。

选用前级泵时还必须考虑被抽气体中是否有腐蚀性介质,是否含有可凝性气体,是大量的还是微量的。

如果含有腐蚀性气体,就不能选用油封机械泵,油封机械泵还不适宜抽除含有大量可凝性蒸汽的气体,否则将会使密封液很快乳化,抽除含有微量可凝性蒸汽的气体时,也必须采用带有气镇装置的油封机械泵作为前级泵。

为了获得在低入口压力(1~100pa)时的高的抽气速率,可用一台罗茨真空泵作为另一台罗茨真空泵的前级泵组成的三级或四级机组,此时罗茨真空泵之间的抽速比一般在2~5之间。

通常,选配前级泵的原则如下:1、要求前级泵造成主泵工作所需的预真空条件。

2、主泵允许的最大排气压力下,前级泵必须将主泵所排出的最大气体量及时排走,前级泵的抽速须按照该泵在实际入口压力时的实际抽速。

相关文档
最新文档