激光位移干涉仪
激光干涉仪操作方法安全操作及保养规程
激光干涉仪操作方法安全操作及保养规程概述激光干涉仪是一种高精度光学检测设备，用于测量物体表面形状和位移。
由于激光干涉仪采用了激光技术，具有高能量、高功率、高辐射等特点，为了确保操作人员的安全和设备的正常使用寿命，必须遵守严格的操作规程和保养方法。
操作方法1.空气净化：确保激光干涉仪工作环境的空气纯度达到要求。
在干涉实验前，可采用一定的手段净化空气。
例如，可以在干涉室内设置过滤装置，将粉尘和微小颗粒物过滤掉。
此外，操作人员应该注意，不要在操作台附近点燃香烟或打开任何燃烧性物质，以免对仪器造成危害。
2.操作步骤：在进行干涉实验之前，必须先确定所要测量的物体和测量方式。
然后按照以下步骤进行操作：–打开主机电源，并检查是否可以正常启动。
–连接干涉仪传感器、激光发生器和相关电源线。
–打开干涉仪软件，并根据需要选择测量方式，在软件中进行相关参数设置。
–开始干涉实验，并观察测量结果的变化。
如果测量结果不正常，可以检查仪器，重新调整参数，直到测量结果准确为止。
–实验结束后，必须关闭主机电源和软件，并拆除相关连接线。
3.注意事项：在激光干涉仪实验过程中，应注意以下事项：–不要让射线直接照射到人眼或皮肤上，以免损伤肌肤和视力。
–操作人员应该戴上眼部和手部防护装置，以免被激光射线伤害。
–不要将仪器暴露在高温、潮湿或强磁场等环境下，以免对设备造成危害。
–在操作过程中，不要随意拆卸或改变设备的结构和参数设置。
安全操作为了确保激光干涉仪的安全操作，必须注意以下几点：1.技能培训：在操作激光干涉仪前，应有一定的知识和技能培训，熟悉仪器的工作原理、操作方法和安全操作方法等。
2.防护措施：必须使用符合标准要求的眼部和手部防护装置，避免激光射线对人体造成危害。
3.设备维护：对激光干涉仪设备进行定期维护和检查，及时更换损坏的零部件，确保设备的正常运行。
4.非专业人员禁止操作：只有受过专业培训的人员才能够操作激光干涉仪。
保养规程为了保证激光干涉仪长期稳定运行和延长其使用寿命，必须遵守以下保养规程：1.设备清洁：定期对仪器进行清洗和除尘处理，保持设备清洁和干燥。
2024年激光干涉仪市场分析现状
2024年激光干涉仪市场分析现状摘要本文对激光干涉仪市场进行了全面的分析，并针对其当前的现状进行了讨论。
首先，介绍了激光干涉仪的基本原理和应用领域。
然后，分析了激光干涉仪市场的竞争格局和发展趋势。
最后，探讨了激光干涉仪面临的挑战和未来的机遇。
1. 引言激光干涉仪是一种利用激光干涉的原理来测量物体表面形状和位移的仪器。
它具有高精度、非接触、快速测量等优点，广泛应用于工业制造、科学研究、航空航天等领域。
2. 激光干涉仪的基本原理和应用领域2.1 基本原理激光干涉仪基于干涉原理，通过将一束参考激光束与被测激光束进行干涉，利用干涉条纹的形成来测量物体的形状和位移。
2.2 应用领域激光干涉仪广泛应用于以下领域： - 光学元件表面形状测试 - 制造工艺控制 - 振动分析和位移测量 - 生物医学研究3. 激光干涉仪市场的竞争格局3.1 市场规模和增长趋势激光干涉仪市场近年来呈现稳步增长的趋势。
市场规模不断扩大，主要受益于工业制造和科学研究领域的需求增加。
3.2 主要竞争企业激光干涉仪市场存在一些主要的竞争企业，如： - 公司A：拥有多年研发经验和领先的技术实力，在市场上具有较高的知名度和影响力。
- 公司B：以其高性价比的产品和良好的售后服务在市场上占据一定份额。
- 公司C：不断创新，推出新产品来满足市场需求，并积极开拓海外市场。
4. 激光干涉仪市场的发展趋势4.1 技术发展激光干涉仪市场的发展受到技术进步的推动。
近年来，随着光学技术、激光技术和计算机技术的不断发展，激光干涉仪在分辨率、测量速度和精度方面有了显著的提升。
4.2 应用拓展激光干涉仪的应用范围将进一步扩大。
随着生物医学研究和航空航天行业的快速发展，激光干涉仪在这些领域的应用将逐渐增加。
4.3 市场竞争趋势激光干涉仪市场竞争将变得更加激烈。
主要竞争企业在提升产品技术和服务质量方面将加大投入，以增强市场竞争力。
5. 激光干涉仪面临的挑战和机遇5.1 挑战激光干涉仪市场面临一些挑战，包括： - 价格竞争激烈：市场上存在一些低价产品，导致高端产品的竞争压力增加。
激光干涉仪原理及应用概述
激光干涉仪原理及应用概述激光干涉仪的原理可以简单介绍为以下几个步骤：首先，激光器产生激光光束，通过光学系统使光束变得平行。
然后，光束被分成两束，一束作为参考光束，另一束作为测量光束。
参考光束被发送到一个参考反射镜上反射回来，而测量光束则被发送到被测物体上，然后反射回来。
参考光束和测量光束在一个光学平台上交汇，形成干涉条纹。
通过观察、记录和分析干涉条纹的形态变化，可以得到被测物体的表面形貌或者其他参数。
1.工业制造：激光干涉仪可以用于测量工件的平面度、圆度、直线度等形貌参数，用于质量控制和优化生产过程。
2.精密测量：激光干涉仪可以进行亚微米级的位移测量，被用于精密仪器的研发和生产。
3.表面形貌测量：激光干涉仪可以测量微观表面的凹凸及表面光滑度，广泛应用于材料科学、纳米科技等领域。
4.生物医学：激光干涉仪可以测量生物组织的变形、变量等参数，用于医学研究和医疗诊断。
5.振动分析：激光干涉仪可以对机械部件或振动体进行振动频率、幅度等参数的测量，用于机械工程的研究和调试。
激光干涉仪的应用还在不断拓展和发展，不仅可以实现高精度的测量，还可以配合其他技术如像散斑技术、数码图像处理等进行更精确的测量和分析。
此外，随着激光技术的发展，激光干涉仪的体积和成本也在不断降低，有助于其在各个领域的广泛应用。
总之，激光干涉仪作为一种高精度测量仪器，具有广泛的应用前景。
它可以实现精确测量、快速响应和非接触测量等特点，被用于各个领域的研究和应用。
随着技术的进一步发展，激光干涉仪将会在更多领域得到应用，为科学研究和工业生产提供更多的支持和解决方案。
激光干涉仪性能简介
激光干涉仪性能简介激光干涉仪是一种利用激光作为光源，通过干涉效应来测量光路差的精密仪器。
它广泛应用于长度测量、位移测量、表面形貌分析等领域。
本文将介绍激光干涉仪的性能特点和相关应用。
一、测量精度激光干涉仪的测量精度是衡量其性能的重要指标之一。
它通常表示为测量的标准偏差，也称为测量重复性。
激光干涉仪的测量精度受到多个因素的影响，包括激光光源的稳定性、光路稳定性、探测器的分辨率等。
一般来说，激光干涉仪的测量精度可以达到纳米级甚至亚纳米级。
二、线性度激光干涉仪的线性度是指输出信号与输入量之间的线性关系。
在理想情况下，激光干涉仪的输出信号应该与输入量成线性关系。
然而，在实际应用中，激光干涉仪的线性度常常受到非线性因素的影响，如光学元件的非线性特性、电子控制的非线性响应等。
为了提高激光干涉仪的线性度，可以采用校正算法或者提高光学元件的质量。
三、稳定性激光干涉仪的稳定性是指其输出信号在一定时间范围内的变化程度。
稳定性包括长期稳定性和短期稳定性两个方面。
长期稳定性指的是在长时间使用过程中，激光干涉仪的性能变化情况。
短期稳定性指的是在短时间内，激光干涉仪的输出信号的波动情况。
稳定性对于激光干涉仪的应用非常重要，尤其是在需要长时间测量或者对测量结果要求高精度的情况下。
四、灵敏度激光干涉仪的灵敏度是指其对于被测量的参数变化的敏感程度。
一般来说，激光干涉仪的灵敏度越高，能够检测到更小的参数变化。
激光干涉仪的灵敏度与输入光强度、光路长度等因素相关。
提高灵敏度的方法包括增强光源的亮度、采用高分辨率的探测器等。
五、动态范围激光干涉仪的动态范围是指能够测量的最大和最小光强的范围。
这个范围通常用分贝单位来表示。
动态范围越大，表示激光干涉仪能够处理更大和更小的光强。
动态范围的大小与仪器的灵敏度和噪声水平有关。
六、应用领域激光干涉仪广泛应用于工业制造、科学研究和实验室测量等领域。
在工业制造中，激光干涉仪常用于长度测量、表面形貌分析和位移测量等。
激光干涉仪用途
简介以激光波长为已知长度、利用迈克耳逊干涉系统(见激光测长技术)测量位移的通用长度测量工具。
激光干涉仪有单频的和双频的两种。
单频的是在20世纪60年代中期出现的,最初用于检定基准线纹尺,后又用于在计量室中精密测长。
双频激光干涉仪是1970年出现的，它适宜在车间中使用。
激光干涉仪在极接近标准状态（温度为20℃、大气压力为101325帕、相对湿度59％、C O2含量0.03％）下的测量精确度很高，可达1×10−7。
工作原理一个角锥反射镜紧紧固定在分光镜上，形成固定长度参考光束。
另一个角锥反射镜相对于分光镜移动，形成变化长度测量光束。
从激光头射出的激光光束(1)具有单一频率，标称波长为0.633µm，长期波长稳定性（真空中）优于0.05ppm。
当此光束到达偏振分光镜时，被分成两束光—反射光束(2)和透射光束(3)。
这两束光被传送到各自的角锥反射镜中，然后反射回分光镜中，在嵌于激光头中的探测器中形成干涉光束。
如果两光程差不变化，探测器将在相长干涉和相消干涉的两端之间的某个位置观察到一个稳定的信号。
如果两光程差发生变化，每次光路变化时探测器都能观察到相长干涉和相消干涉两端之间的信号变化。
这些变化（条纹）被数出来，用于计算两光程差的变化。
测量的长度等于条纹数乘以激光波长的一半。
应当注意到，激光波长将取决于光束经过的空气的折射率。
由于空气折射率会随着气温、压力和相对湿度的变化而变化，用于计算测量值的波长值可能需要对这些环境参数的变化进行补偿。
在实践中，对于技术指标中的测量精度，只有线性位移（定位精度）测量需要进行此类补偿，在这种情况下两束光的光程差变化可能非常大。
产品用途1.激光干涉仪是检定数控机床、坐标测量机位置精度的理想工具。
检定时可按照规定标准处理测量数据并打印出误差曲线，为机床的修正提供可靠依据。
2.激光干涉仪配有各种附件，可测量小角度、平面度、直线度、平行度、垂直度等形位误差，在现场使用尤为方便。
激光干涉位移测量技术
激光干涉位移测量技术张欣(2015110034)摘要：为了实现纳米级以上分辨力位移的测量研究，利用激光干涉位移测量技术可以达到纳米级分辨力，其具有可溯源、分辨力高、测量速度快等特点，是目前位移测量领域的主流技术。
本文对目前主要的激光干涉位移测量技术进行了分类介绍，并对各种干涉仪的特点进行了分析，最后介绍了激光干涉位移测量技术的国内外发展现状和趋势。
关键词：纳米级；激光干涉；位移测量；1引言干涉测量技术（interferometry ）是基于电磁波干涉理论，通过检测相干电磁波的图样，频率、振幅、相位等属性，将其应用于各种相关的测量技术的统称。
用于实现干涉测量技术的仪器被称为干涉仪。
在当今多个科研领域，干涉测量技术都发挥着重要的作用，包括天文学，光纤光学，以及各种工程测量学。
其中由于上个世纪60年代激光的研制成功，使得激光干涉测量技术在各种精密工程领域得到了广泛的应用。
它的基本功能是将机械位移信息变成干涉条纹的电信号，再对干涉条纹进行调理和细分，进而获得所需要的测量信息。
整个激光干涉测量系统中主要的组成部分有光电转换、信号调理、信号细分处理。
1.1激光干涉仪分类激光干涉仪是以干涉测量为原理，利用激光作为长度基准，对数控设备（加工中心、三坐标测量机等）的位置精度（定位精度、重复定位精度等）、几何精度（抚养扭摆角度、直线度、垂直度）进行精密测量的精密测量技术。
由于激光具有波长稳定、波长短、具有干涉性，使得激光在现代光电测量系统中占据了重要的地位，尤其是在激光干涉测量系统中。
下面介绍激光干涉仪测量原理以及激光干涉仪。
光的相长干涉和相消干涉：图1.光的相长以及相消干涉如果两束光相位相同，光波会叠加增强，表现为亮条纹，如果两束光相位相反，光波会相互抵消，表现为暗条纹。
图1.1就是光的相长以及相消干涉，而激光干涉仪主要依据的原理就是激光的干涉产生明亮条纹并将其转换成相关的电信号，从而获取所需要的位移信息。
整个光电系统中激光干涉仪是最重要的组成部分，虽然目前市场存在各式的激光干涉仪，但从其工作的基本原理上来说，主要可以分为单频激光干涉仪以及外差激光干涉仪两种基本类型。
激光干涉仪工作原理
激光干涉仪工作原理
激光干涉仪就是用激光束来测量物体表面的几何形状和尺寸特性的几何测量仪器，是
物理量测与检测领域精密度最高的仪器。
快速、精确地测量、分析和监测物质的基本形态，激光干涉仪已经在品质检测、发动机研究、航空航空制造等多个行业得到广泛运用和发展。
激光干涉仪的工作原理是通过发射两束相互垂直的干涉线，其中一束为引射激光束，
另一束为参考激光束，把它们对准物体平面（对平轮廓进行量测），当物体表面有波动时，随着距离的变化，引射激光束发生位移，从而使参考激光束与引射激光束的相位发生变化，从而形成激光干涉图像，再结合光栅尺或者线阵扫描仪的辅助便可以获取物体面的形状、
尺寸等参数的测量信息。
激光干涉仪系统通常包括发射激光器、反射镜、振荡器、编码器及扫描仪等结构以及
检测调整、数据输出等电子电路和软件系统。
发射激光器发出的激光束经过反射镜和振荡器，形成垂直或水平的引射激光束和参考激光束，然后在物体表面反射干涉，并被传阅到
外部扫描仪进行线阵扫描量测，编码器根据测量结果输出数据，电脑就可以实现对表面粗
糙度、有效形状等的快捷准确的测量分析。
激光干涉仪具有精度高、量测速度快等特点，广泛应用于机械加工行业，例如电器机
壳及其它零件加工，可以迅速测出零件形状、尺寸以及轮廓等参数，精确控制零件质量，
满足生产的要求。
如检测汽车发动机活塞缸筒内表面粗糙度，滚道弯曲度，筒体管口头椭
圆度，螺旋角矩形性检测等参数，外部曲面等参数，有助于发动机研究和开发，确保了零
件的质量。
激光干涉仪的注意事项与维护 激光干涉仪维护和修理保养
激光干涉仪的注意事项与维护激光干涉仪维护和修理保养激光干涉仪，以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。
注意事项：1、仪器应放置在干燥、清洁以及无振动的环境中应用。
2、在移动仪器时，为防止导轨变形，应托住底座再进行移动。
3、仪器的光学零件在不用时，应在清洁干燥的器皿中进行存放，以防止发霉。
4、尽量不要去擦拭仪器的反光镜、分光镜等，如必需擦拭则应当当心擦拭，利用科学的方法进行清洁。
5、导轨、丝杆、螺母与轴孔部分等传动部件，应当保持良好的润滑。
因此必要时要使用精密仪表油润滑。
6、在使用时应避开强旋、硬扳等情况，合理恰当的调整部件。
7、避开划伤或腐蚀导轨面丝杆，保持其不失油。
维护：1、仪器应妥当地放在干燥、清洁的房间内，防止振动，仪器搬动时，应托住底座，以防导轨变形。
2、光学零件不用时，应存放在清洁的干燥盆内，以防止发霉。
反光镜、分光镜一般不允许擦拭，必要擦拭时，须先用备件毛刷当心掸去灰尘，再用脱脂清洁棉花球滴上酒精混合液轻拭。
3、传动部件应有良好的润滑。
特别是导轨、丝杆、螺母与轴孔部分，应用T5精密仪表油润滑。
4、使用时，各调整部位用力要适当，不要强旋、硬扳。
5、导轨面丝杆应防止划伤、锈蚀，用毕后，仍保持不失油状态。
6、经过精密调整的仪器部件上的螺丝，都涂有红漆，不要擅自转动。
激光干涉仪分类及应用激光干涉仪以激光波长为已知长度，利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量。
激光干涉仪有单频的和双频的两种。
激光干涉仪的分类：单频激光干涉仪从激光器发出的光束，经扩束准直后由分光镜分为两路，并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。
当可动反射镜移动时，干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号，经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数，再由电子计算机按计算式[356—11]式中λ为激光波长（N为电脉冲总数），算出可动反射镜的位移量L。
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激光干涉仪
激光干涉仪是利用光的干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的一种精密光学测量仪器。
其基本原理和结构为迈克尔逊干涉仪。
两束相干光间光程差的任何变化会非常灵敏地导致干涉场的变化（如条纹的移动等），而某一束相干光的光程变化是由它所通过的几何路程或介质折射率的变化引起，所以通过干涉场的变化可测量几何长度尺寸或折射率的微小改变量，从而测得与此有关的其他物理量。
测量精度决定于测量光程差的精度，如传统迈克尔逊干涉仪中干涉条纹每移动一个条纹间距，光程差就改变1/2个波长，所以干涉仪是以光波波长为单位测量光程差的。
现代激光干涉仪是以波长高度稳定的稳频激光器为测量工具，其稳定度一般优于10的—7次方。
激光干涉仪的测量精度之高是任何其他测量方法所无法比拟的。
（一） 第一代激光干涉仪
最早的干涉仪以单频激光器作光源，基本与迈克尔逊干涉仪一样，只是平面镜被角锥棱镜代替，同时加入了两个探测器来探测干涉场，如图1所示。
系统设法使两个探测器探测到的信号相位差90°，以便实现可逆计数。
单频干涉仪的输出信号可以表示为
()()⎥⎦⎤⎢⎣⎡±+=⎰t
dt t v A A t u 0004cos λπϕ 其中0A 为直流分量，A 为交流分量振幅（有用的信号）。
在短距离测量时，一般来说直流分量变化不大，认为是恒定值，单频干涉仪以其简单、反射镜移动速度不受原理限制、有用信号占有的频带范围较窄等表现出它的优越性。
但是激光功率的飘移，光电接收系统飘移，长距离测量时测量光束强度下降等因素，使直流分量和交流分量均不断下降，轻则造成工作点飘移、干涉条纹分数部分测量误差等，严重时整形电路停止工作，干涉仪失效。
因此第一代干涉仪由于可靠性的问题，在实际应用中受到很大限制。
（二） 第二代激光干涉仪
1. 内相位调制干涉仪
内相位调制干涉仪是在参考镜上加上某一振幅和频率的调制振动信号，那么干涉仪的光程差就会相对于平均位置正负的交替变化，干涉仪信号为
()()⎥⎦
⎤⎢⎣⎡⎪⎭⎫ ⎝⎛++=⎰t dt t v A A t u m t ωελπcos 4cos 00
其中ε和m ω分别是调制信号的振幅和圆频率。
当以频率π
ω2m 进行同步滤波后，去掉直流分量和二次以上谐波分量，就可以得到只剩基波成分的信号。
但是这种方法也有限制，因为高于调制频率的信号会全部被滤掉，测量速度就不能高于某一值，否则测量信号将会丢失。
2. 外相位调制干涉仪（双频干涉仪）
为了克服单频干涉仪背景和直流放大噪音的问题，惠普公司在20世纪70年代推出了双频激光干涉仪。
采用给激光管加纵向磁场的方法产生塞曼效应，得到双频激光，频率分别为1f 和2f 。
当这两个频率的光叠加在一起，便会干涉出拍频信号，其频率为21f f -。
当测量镜移动时，探测器与激光光源间的距离改变，相当于发生了相对运动，此时探测器接收到的激光频率便会发生多普勒频移。
设测量镜的移动速度为u ，考虑到其回程特性，探测器接收到的激光频率变为：
u
c u c f f 22 ±=' 当测量镜向分光棱镜靠近时，取上+下-；当测量镜远离分光棱镜时，取上-下+。
由于c u <<2，上式可以化为：
c
u f
f f 2±=' 于是多普勒频移为 λ
u c u f f 22±=±=∆ 此时的拍频信号频率为f f f ∆±-21，减去之前固定的拍频频率就只剩下多普勒频移量，它和位移的关系是
()N dt t f l t λλ21200=∆±
=⎰ 式中()N dt t f t =∆⎰0
0的意义是在0=t 到0t t =时间内由于频率的改变而导致的周期数量的改变量。
当测量镜远离分光棱镜时，周期数量减少，反之增加。
因为测量镜不动时测量信号依然具有频率21f f -，所以双频干涉仪采用交流放大器，不存在直流飘移，放大倍数可以很大，当光强损耗时还可以采用自动增益电路，允许光强损耗达95%，这个优点使双频干涉仪可以适应长距离测量和多通道多参数测量。
但是塞曼双频激光器频差不够高，制约了测量速度，而大频差的双频激光器制造难度大，操作复杂，对探测器的频率响应要求高。
3. 新型单频激光干涉仪（圆偏振光干涉仪）
为了克服第一代单频激光干涉仪的重重缺点，一种新型的单频激光干涉仪诞生了——圆偏振光干涉仪。
用两束偏振方向相互垂直的线偏振光分别作为参考光和测量光，当它们通过一个四分之一波片后，分别变成一个左旋和右旋圆偏振光，两圆偏振光干涉成线偏振光。
而此线偏振光的偏振方向正反映了之前两束光的相位关系，且其角度与相位差为线性关系。
要得到两束圆偏振光的相位关系，就要测量干涉得到的线偏振光的偏振方向。
测量过程中被测物的移动速度、方向等都是不确定的，所以得到的线偏振光的偏振方向也可能是任意方向的，而且随时都可能在发生变化。
这就要求我们要能够实时、准确的测量线偏振光的偏振方向，因此在圆偏振光干涉仪中我们采取了用三个光电探头同时测量的方法。
我们将线偏振光等分成三束，在三个光电探头D1、D2和D3前放置限偏装置，使它们的通光方向两两互成︒45角。
假设第一束光路（D1）的通光方向水平，第二束光路（D2）的通光方向斜︒45，第三束光路（D3）的通光方向垂直。
对于一偏振方向与x 轴正方向夹角为[)()︒︒∈180,0θθ的线偏振光，它在三个通光方向上的电场分量为：
()θ
θθ
sin 45cos cos 45//E E E E E E =︒-==⊥
D1接收到的光强为
θ222//1cos E E I D ==
D2接收到的光强为
()⎪⎭
⎫ ⎝⎛-=︒-==θθθcos sin 2145cos 2222452E E E I D D3接收到的光强为
θ2223sin E E I D ==⊥
我们用D1光强减去D2光强，D2光强减去D3光强，得到
()()︒+=+=⎪⎭
⎫ ⎝⎛+-=-452sin 222sin 2cos 2cos sin 21cos 222221θθθθθθE E E I D D
()()︒+=-=⎪⎭
⎫ ⎝⎛--=-452cos 222sin 2cos 2sin cos sin 21222232θθθθθθE E E I D D
从上面两式中我们看到21D D I -和32D D I -分别具有同相位的正、余弦信号的特征，其频率大小取决于线偏振光偏振方向的变化快慢，即被测物移动的快慢。
现在来分析测量光路光程的变化与这两个信号变化的关系。
在圆偏振光干涉仪中，当测量光路的光程变化一个波长，则线偏振光的偏振方向旋转︒180，即θ变化︒180，此时21D D I -和32D D I -均变化一个周期。
在实际测量中，通常是在被测物上固定一个反射镜，测量光束射到反射镜后返回，故被测物移动半个波长，测量光束光程变化一个波长。
同样被测物的移动方向也会反映在线偏振光的旋转方向上，从而在光信号上体现出来。
如果我们将21D D I -和32D D I -的信号转化成数字信号，即当大于0时输出高电平，小于
0时输出低电平，那么我们将会得到这两个信号的时序图，通过特定的电路，可以判断出信号的变化方向，同时可以四分之一个波长计数，在测量中以实现高速计数，整数部分测量分辨率为1/8个波长，小数部分则由最终光强差值来计算得到。
总分辨率达到1nm 。
可以看到，上述测量方法可以有效去除直流背景分量，并实现共模抑制。
三个信号完全共路，有效的去处了外界振动噪声，保证了其低频稳定性。
同时此测量方法理论上没有速度限制，仅与电路的响应速度有关。
︒315Fig. 2 Light signal sequence chart ︒45︒135︒225︒315︒45︒135︒225︒315︒45︒135︒2252
1D D I -3
2D D I -θ
2。