电子能量损失谱
电子能量损失谱
高分辨率、高灵敏度、高空间分辨能 力，能够提供关于物质内部结构和化 学信息。
电子能量损失谱的应用领域
材料科学
研究材料微观结构和化学组成 ，如金属、陶瓷、高分子等。
生物学
研究生物大分子结构和功能， 如蛋白质、核酸等。
环境科学
检测大气、水体中的污染物和 有毒物质。
医学
研究生物组织、药物和医疗器 械的相互作用。
CHAPTER
电子能量损失谱的产生
当高能电子束与物质相互作用 时，电子会损失能量并产生非
弹性散射。
损失的能量以热、光、声等 形式释放，同时产生电子激
发和离化等过程。
电子能量损失谱是通过测量电 子束与物质相互作用后电子能 量分布的变化来研究物质内部
结构和能量的方法。
电子能量损失谱的测量
使用电子能量损失谱仪（EELS） 测量电子能量分布的变化。
在本研究中，我们成功地应用电子能量 损失谱对多种材料进行了实验研究，并 获得了丰富的实验数据和结果。
通过电子能量损失谱，可以深入了解材 料的电子结构和物理性质，为材料科学 和凝聚态物理学的发展提供重要信息。
实验结果表明，电子能量损失谱在研究材料 电子结构和能量损失机制方面具有很高的灵 敏度和分辨率，为未来的研究提供了有力支 持。
医学诊断和病理研究
电子能量损失谱可以用于医学诊断和病理研究，通过检测生物样 品中元素的特征能量损失，可以用于诊断疾病和了解病理过程。
环境监测
大气污染监测
电子能量损失谱可以用于监测大气中的有害 物质，如二氧化硫、氮氧化物等，有助于评 估空气质量和环境污染程度。
水质监测
通过电子能量损失谱可以检测水体中元素的含量， 有助于评估水质和了解水体的污染状况。
eels能量损失谱
eels能量损失谱eels能量损失谱（Electron Energy Loss Spectroscopy，简称EELS）是一种用于研究材料电子结构和化学键合状态的实验技术。
它利用电子在材料中传播时损失的能量来获取材料的信息。
EELS具有高分辨率和高灵敏度，可以提供有关材料中原子和分子的结构、化学键合状态、电子能级等重要信息。
一、EELS实验原理当电子束入射到材料表面时，由于电子与材料中的原子和分子相互作用，电子的能量会发生变化。
EELS实验通过测量电子束在材料中传播时损失的能量，可以获得有关材料电子结构和化学键合状态的信息。
在EELS实验中，电子束被加速到一定能量，然后入射到材料表面。
当电子与材料中的原子和分子相互作用时，电子的能量会发生变化。
这种能量变化与材料中的电子结构和化学键合状态密切相关。
通过测量电子束在材料中传播时损失的能量，可以获得有关材料电子结构和化学键合状态的信息。
二、EELS实验方法EELS实验通常包括以下步骤：1. 选择适当的加速电压和电子束流，以便获得所需的能量分辨率和灵敏度。
2. 将样品制备成适合EELS实验的形态，如薄膜或微米尺度的样品。
3. 在扫描电镜或透射电镜中安装EELS谱仪，以便在实验过程中实时测量电子束在材料中传播时损失的能量。
4. 将样品放置在扫描电镜或透射电镜的样品台上，并调整工作距离和电子束入射角度，以便获得最佳的实验效果。
5. 进行实验并记录EELS谱，可以通过调节电子束的能量范围和扫描速度来优化实验结果。
6. 对获得的EELS谱进行分析和处理，以提取有关材料电子结构和化学键合状态的信息。
三、EELS谱分析EELS谱可以提供有关材料中原子和分子的结构、化学键合状态、电子能级等重要信息。
通过对EELS谱进行分析，可以确定材料中的元素种类、化学键合状态、分子结构等信息。
此外，还可以通过比较不同材料的EELS谱来确定它们之间的相似性和差异性。
在EELS谱分析中，通常使用以下方法：1. 元素识别：通过比较已知元素的EELS谱和实验获得的EELS谱来确定材料中的元素种类。
电子能量损失谱人原理及其应用(精品资源)
电子衍射图中包含了弹 性和非弹性散射的信息
非弹性散射： Phonons Interband transition Plasma ionization
电子能量损失谱和非弹性散射
1：零损失峰和phonons损失 2：等离子振荡和带间跃迁损失 3：电离化过程损失 4：本底
Al的电子能量损失谱图
和其它谱仪的比较—由收集原子中电子跃迁信号提
内置Ω型 JEM2010FEF
Energy dispersion
内置Ω型 JEM2010FEF
X orbit (the plane perpendicular to the magnetic field)
Y orbit (the plane parallel to the magnetic field)
电子能量损失谱原理与应用
内容
1、电子与物质交互作用 2、电子显微镜/电子能量损失谱仪组合 3、电子能量损失谱仪的一些重要参数 4、电子能量损失谱的谱图及谱图处理 5、电子通道效应和 momentum-
resolved ENEFS 6、能量过滤像和Z-衬度像
电子与物质交互作用
弹性散射与非弹性散射
DSTEM: 由聚焦电子束确定样品上对EELS譜有贡献的区域 有可能获得接近一个原子柱的空间分辨率
三种模式的光路图
虚线表示沿着β角的束散射
三种模式采集EELS谱时的参数考虑
电子能量损失谱的谱图、 谱图处理及应用
电子能量损失与动量转换
q = K0 – K 在E很小时，近似可得 q2 = K02(θ2+ θE2) θE 是一表征能量损失的特征角
TEM Diff mode: Screen: “diff. pattern” 投影镜后焦面 “image” image coupling 谱仪的物 “image”
电子能量损失谱的测量方法与实验技巧
电子能量损失谱的测量方法与实验技巧电子能量损失谱（Electron Energy Loss Spectroscopy，EELS）是一种用于研究材料电子能量损失和元素成分分析的重要实验手段。
本文将介绍一些常用的电子能量损失谱的测量方法与实验技巧。
一、电子能量损失谱的测量方法1. 传统能量损失谱法传统电子能量损失谱测量方法采用电子能量损失定向分析仪（Electron Energy Loss Spectrometer，EELS）进行，其基本原理是通过透射电子束的能量损失来分析材料的性质。
在测量时，首先校准仪器，确定电子束的能量，并使其垂直入射样品。
然后，记录透射电子的散射强度随能量的变化，并通过对比标准样品能量损失谱，得到样品的元素成分和特性信息。
2. 原位电子能量损失谱法原位电子能量损失谱（In situ Electron Energy Loss Spectroscopy，I-EELS）是一种透射电子显微镜与电子能量损失谱结合的测量方法。
通过在原位下观察样品，并结合图像的信息，可以实时获得材料的电子能量损失谱，使分析结果更加准确。
这种方法广泛应用于材料科学、纳米技术等领域的研究中。
二、电子能量损失谱的实验技巧1. 样品制备样品制备是电子能量损失谱测量的关键步骤。
首先，样品应展现出优异的导电性和厚度，以保证电子束能够透射并损失能量。
其次，样品应尽量减少含有轻元素的杂质，以避免在能量损失谱分析中产生干扰。
最后，样品制备过程中需要保证样品的成分和结构不发生重大的变化，以确保测量结果的可靠性。
2. 数据处理与分析测量得到的原始数据需要经过处理和分析，才能得到有意义的结果。
首先，要进行峰值拟合和线性背景修正，以消除干扰和纠正信号。
然后，通过对比标准样品和参考文献，确定能量损失峰对应的元素和化学键。
最后，利用得到的数据进行定性和定量分析，并结合其他实验手段，比如透射电子显微镜（Transmission Electron Microscopy，TEM）等，进行综合分析和验证。
eels能谱原理
eels能谱原理eels（透射电子能量损失谱）是一种利用电子透过固体样品，损失能量的分布特性来研究物质的结构和性质的分析技术。
这种技术主要用于研究材料的元素组成、化学键特性以及电子结构等方面。
EELS是通过实验测量透射电子的能量损失来获得电子和样品之间发生的相互作用、散射和激发等信息。
eels的实验原理主要包括以下几个方面：1.基本原理：eels 测量的基本原理是把能量 E 的高速电子作为探针射入样品，并且测量纵深方向上，透射电子损失的能量与强度。
电子射入样品后，与原子核或电子发生散射，散射会使电子损失能量，同时，还会通过离子激发或电子激发等方式释放能量，形成能量损失峰。
这些能量损失峰的位置和峰形特征提供了关于样品结构的信息。
2.能量分辨率：电子电路可以通过低通滤波器来将噪音和背景信号剔除掉，提高能谱的分辨率。
同时，减小能量分辨度也有助于进一步提高能谱的分辨率，减小仪器系统的响应宽度。
3.电子损失过程：能量传递过程主要由电子和样品中的自由载流子（如电子、空穴等）相互作用驱动。
在透过样品的过程中，电子可以通过碰撞和散射来损失能量。
这些散射作用包括电子-电子散射、电子-原子核散射、电子-电子轰击等。
这些散射事件造成了电子能量的损失。
4.能量损失谱的特征：通过测量透射电子的能量损失，可以获得一系列能量损失峰。
这些能量损失峰反映了样品中原子和分子的结构和磁性等性质。
根据经典物理学的散射理论，能量损失谱能够提供关于样品的元素组成、电子结构、化学键、晶体结构等信息。
5.仪器设备：为了获得高质量的能量损失谱，通常需要使用高分辨率的透射电子显微镜和能谱仪。
透射电子显微镜提供了必要的束缚电子束制备、聚焦和探测样品的能力。
能谱仪则用于测量透射电子的能量并进行谱线分析。
eels技术在材料科学、固体物理学、电子学等领域有着广泛的应用。
它能够提供关于材料的微观结构和化学键的信息，帮助科学家研究材料的性质、表面特性、界面反应等。
电子能量损失谱
电子能量损失谱
电子能量损失谱（EELS）是一种电子显微分析技术，用于测量物体表面和内部深层中各种电子结构的谱图。
它最初是用来研究原子和分子的晶体电子结构的。
它的使用范围扩大到了单层材料的原子位置及其电子结构的分析。
它的特点是可以采集高分辨率电子能量损失谱图，从而对原子距离，核磁共振和各种复杂材料构型进行测量。
EELS是在电子显微镜（TEM）中使用的一种方法，通过在外加一个电场来激发已在TEM检测管投影中强烈衰减的微量电子束。
其原理是电子被击中原子的表面，并会遭受能量的损失，其能量从塞贝克效应衰减到电子移动至原子内部时发生变化。
从而，根据被测物体的电子结构，可以得到一个电子分辨率的能量损失谱图。
EELS在特定应用方面表现出强大的功能，其中包括：研究添加物，分析表面电荷分布以及在微尺度材料中调控原子位置。
现代电子分析中该技术被广泛应用于检测材料表面，抵消外加的腐蚀剂，探测电荷分布以及检测微结构材料的电荷状态等。
电子能量损失谱（EELS）技术在金属，金属化合物，特种半导体，具有连接功能的组装体，绝缘体表面成分研究，材料颗粒大小检测和生物材料中均得到了应用。
它使得科学家可以探索自然界更深层、更复杂的地方，是将有机和无机材料研究到更深层次的重要工具。
物理实验技术中的分子束实验方法
物理实验技术中的分子束实验方法分子束实验是物理学中重要的实验方法之一，它在材料研究、表面科学、催化化学等领域起着关键作用。
本文将介绍分子束实验的基本原理、技术方法以及其在科学研究中的应用。
一、分子束实验的原理分子束实验是一种利用极高真空环境下的分子束进行研究的方法。
其基本原理是将化合物气体放入低压釜中，利用高压差和导向器，将气体分子加速并导向到需要研究的样品表面上。
在这个过程中，分子束和样品表面的相互作用被实时观察和记录。
二、分子束实验的技术方法1. 电子能量损失谱（EELS）电子能量损失谱是通过测量电子束与样品相互作用后的能量变化来研究样品表面的技术方法。
通过分析电子束在与样品相互作用中失去能量的特征谱线，可以获得关于样品表面元素种类、电子能带结构以及化学键结构等信息。
2. 原子力显微镜（AFM）原子力显微镜是一种基于探针-样品相互作用力的显微技术。
通过扫描样品表面，记录探针与样品之间的力曲线，可以获取样品表面的拓扑结构、力学性质以及表面催化活性等信息。
3. 飞行时间质谱（TOF-MS）飞行时间质谱是一种基于原子或分子物质质量与飞行时间之间的关系来分析样品成分的技术方法。
通过将分子束引入不同质荷比的飞行时间质谱仪，从飞行时间分布中得到分子的质量信息，进而推断出样品中不同分子的组成。
三、分子束实验在科学研究中的应用1. 表面科学研究分子束实验在表面科学研究中具有重要意义。
通过分子束在样品表面的吸附、解离等过程，可以研究表面反应的机理和动力学行为，从而为新材料设计和催化剂开发提供理论指导和实验依据。
2. 纳米材料研究分子束实验对纳米材料的研究也起着关键作用。
通过调控分子束的能量和束流密度，可以控制纳米材料的生长过程和物理性质。
例如，通过分子束外延技术可以在表面上制备单层薄膜，从而实现纳米电子器件的制备和性能优化。
3. 生物分子研究分子束实验在生物分子研究中也有重要应用。
通过将生物大分子（如蛋白质、DNA等）搭载在分子束上，可以研究其结构、功能以及与其他分子的相互作用。
电子能量损失谱eels
复习 原子中的电子的四个量子数：壳层 K L 角量子数l 0 0 1 M 0 1 2 N 0 1 2 3 自旋量子数j 电子数 2 8 电子在亚层中的分布 1s2 2s22p22p4½ ½ ½3/2½ ½3/2 3/2 5/2183s23p23p42s23d43d6½ ½3/2 3/2 5/2 5/2 7/2324s24p24p44s24d44d64f64f8M5 M4 M3 M2 (n-3)M1Lα1Kβ1L3 (2p 3/2) L2 (2p1/2) L1 (2s) (n-2)Kα2Kα1K (n=1, 1s轨道)分析电子显微镜 设备: 超高真空扫描透射电镜(STEM) 分析型透射电子显微镜(电子束可会聚的很小的,通常配有 扫描附件, EDX, EELS) 主要分析方法: 结构---微衍射和会聚束衍射 成分---X射线能谱和电子能量损失谱X射线能谱的缺点 1 探测效率低 X光的荧光产额低,特别是轻元素(Z<11),远小于2% Backscattered electrons 接收角小,只有1%的信号能收到 2 能量分辨率低 轻元素的谱线重叠比较严重 电子能量损失谱的优点 1 接收效率高, 非弹性散射电子集中在顶角很小的圆锥内 2 能量分辨率高~1 eV 可进行定性定量分析,精细结构可以提供化学键态信息 适合做mapping 3 在探测轻元素上有优势 电子能量损失谱的缺点Secondary electronsProbe electronsAuger electronsX rays (EDXS)SpecimenElastic scattering (Diffraction)Inelastic scattering(EELS)厚样品多重散射的问题比较严重,背底相对较高,信号的定域性较差电子能量损失谱的提供的信息: Z>1的所有元素成分 元素比例 样品厚度 高级: 化学键 带结构 价带和导带电子密度 极化Atomic view of sampleProbe electron (Energy = E0 )∆E-|EB|E0-∆EEB = Binding energy of electron in sampleHitachiHD 2000STEM电子能量损失谱（EELS）一 电子和材料的相互作用： 弹性散射： 非弹性散射： 内壳层——俄歇电子或电磁辐射 外壳层——二次电子、电磁辐射可见光、 永久性破坏（离子化）、等离子（plasma） 二 EELS谱图 按动能分类电子 A 1）零损峰（弹性峰）：能量无损失或损失能量在分辨率以下，对称的高斯分布 2）5－50eV：低能损失区或者等离子峰，为一个或几个峰（厚样品），为激发等离 子震荡和激发晶体内电子的带间跃迁的透射电子（等离子震荡频率正比于价电子密度） P(1)/P(0)=t/Lp (P(1)：第一个等离子峰强度；P(0)：零损峰强度；t：样品厚度； Lp：等离子峰震荡的平均自由路程） 用途：可测样品厚度、元素浓度变化、介电常数等 3）50eV－ ：在指数下降的背底上内壳层激发的电离损失峰（edge），激发原子内壳 层电子的透射电子 背底——无信息, 定量分析时要扣除 电离损失峰——辨别元素 电离损失峰阈值 B 近阈电离精细结构ELNES（在电离损失峰约50 eV内） 反映能带结构，与晶体学状态有关Low-loss (Valence electrons) Zero-loss Oxygen edgeHigh-loss (Core electrons) Nickel edgeDielectric function Thickness BondingELNES BondingEXELFS Coordination Interat. dist.Elemental compositionIntensityx1000Plasmon01005006007008009001000Energy-loss [eV]c 广延精细结构EXELFS（高于在电离损失峰50-300 eV的精细结构） ——周期长，振幅弱，是被入射电子电离出来的出射电子波函数与被近邻原子背散射回来的电子波函数之间的相干效应；可给出该元素的配位原子数及配位距离等近邻原子配位 的信息，研究非晶态和短程有序三 谱仪结构和数据处理 1 基本组成： 电子源、谱仪（Gatan磁棱镜, omega）、数据显示和处理系统 内置式和后置式 1）聚焦谱仪 谱仪物平面经常放在投影镜的后焦平面 parallel收集系统：需要调整谱仪使零损峰宽度最小，高度最大； serial收集系统：散射面上有狭缝，需要调整狭缝2）校正谱仪：现带电镜漂移不严重，但操作中应注意检查 2 获得EELS谱 serial收集系统： 闪烁体可能被零损峰破坏 0.1eV/channel—10eV/channel parallel收集系统: 效率高比较： SEELS：一次收集一通道，操作简单 PEELS：一次收集所有谱，二极管难优化 PEELS：有假相，包含复杂的电子光学，但比SEELS的效率高 3 能量分辨率、空间分辨率： EDX： Z<11，X射线的产生小于2％ X射线的发射为各向同性，EDX探头只收到大概1％ 背底主要来自韧致辐射 EELS：透过的电子几种在有限的角度范围，谱仪的收集效率20%-50% 非弹性散射引起的背底较高 特征峰为边而不是峰，不如EDX峰明显 与EDX相比，可以探测较低密度的低原子数元素 有较高的空间分辨率 能量损失信号不受荧光和二次电子的产生的影响I EELS空间分辨率高——只受电子束尺寸限制 场发射源、1nm探针、1nA电流，到1－2个原子 I I 能量分辨率 1）目前最小可探测量 一般电子源 10-18—10-12克 W丝：～100keV，2.5eV LaB6：～100keV，>1eV 场发射源 10-21克 冷场，0.35-0.5 eV 最小可探测百分数 0.3%-5% 可以用灯丝欠饱和方法提高分辨率： LaB6：～100keV，1eV 2）能量分辨率随能损的增加而增加（<1.5倍） 入射电子能量增加，分辨率降低 Zero-Loss Peak 3）受操作者影响大： HD-2000 如：slit宽度的调整（SEELS)、 200keV / 150pA 光阑的大小（PEELS）0.37eV @FWHM Field emission distribution4 成像和衍射模式 1）收集角：应知道EELS谱的收集角，不同角下得到的结果不宜比较 2）使用光阑选择样品区域 5 能量过滤： Gatan Imaging Filter四 EELS分析θE ≈E （m0 电子静质量，v 电子速度） 2 (γ m0ν )2 − 1 2⎛ ν ⎞ γ = ⎜1 − 2 ⎟ ⎝ c ⎠1 零损峰：一般不收集 2 低能损峰： 1）等离子自由电子等离子模型——h h ⎛ ne 2 ⎞ ωp = Ep = ⎜ ⎟ （ε0自由空间的介电常数，n自由电子密度） 2π 2π ⎝ ε 0 m ⎠特点：散射角较小，收集角在10mrad足够；自由程在100nm左右； 厚度测量 t=λIp/I0 (Ip为第一个等离子峰的强度）1 22）键内和键间过渡单电子相互作用3 高能损峰1）内壳层离子化：特点：与等离子比，散射截面小，平均自由程大；因此边的强度低。
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TiO2/ SiO2 Nanocable 表征
6000 5500 5000 4500
Ti2p 3/2
Data: dTi2p_C
Model: Gauss
Equation: y=y0 + (A/(w*sqrt(PI/2)))*exp(-2*((x-xc)/w)^2)
W eighting:
（p
d 白线）
(2p 3/2-3d)
L3
L2(2p 1/2-3d)
456ev
462ev
L3 L2
855ev
872ev
TiNiFe合金相变前后Ti的L2,3边变化
TiNiFe白线L2,3的P/B
六、Cu和Cu合金的L2,3边：2p 3d
L3: 931ev
Cu1－x Alx
L2: 951ev
Al＝0.8 Al＝0.5 Al＝0.25
IF1 IF2 GB1 GB2
140ev
N:O, N:Si ratio
1 0. 8 0. 6 0. 4 0. 2
0 0
GB1
IF1
IF2
GB2
d (nm)
2.24 0.99 1.65 0.73
N:O
0.20 0.26 0.34 0.65
N:Si
0.31 0.35 0.45 0.79
N%@TP
2.62 0.27
w2 3.0482 ? .15844
A2 4067.43829 ? 22.62831
Counts
4000 3500
Ti2p 1/2
3000
2500
2000
450
455
460
465
470
Binding Energy (eV)
成分过滤像
EELS谱线的CCD过滤像
一维衍射花样能量过滤的CCD像
元素面分布
Fe2O3会聚束衍射的能量过滤
AlInAs的电子衍射花样能量过滤
107K
ΔE= +5EV
矩形区漫散射强度分布等强线
A：1/3 1/3 1/3 B: 1/2 1/2 1/2
TEM衍衬像
二、BN的B-K边与散射角的关系
C //
2Pz轨道
C面:X-Y
2Px－Py轨道
188ev
BN电子散射矢量几何
000 ¼ ½
散射角的选择
1/2 1/4d
00
10
0
1/d
0
α α=1/50d
三、非晶碳、石墨和金刚石的EELS谱
C-K = 284 ev
284ev
291ev
π σ
石墨的C-K边及石墨的径向分布函数
y
No weighting
Chi^2/DoF = 32442.08206 R^2 = 0.94843
y0 2431.29635 ? 9.43089
xc1 458.12483 ? .01683
w1 1.53871
? .03563
A1 6100.84287 ? 37.15406
xc2 463.87289 ? .07026
元素面分布的双窗口法原理
Is(x,y)＝I2（x，y）/ I1（x，y）
Ni合金的能量过滤像
零损失像
Ti－L双窗口法像
元素面分布的三窗口法原理
Is(x,y)=I3(x,y)－IB(x,y)
IB=CEexp{-r}
SiC和SiN能量过滤像
零损失像
C元素分布像（C－K ） N元素分布像（N－K）
碳-（硼-氮）-碳套管
Probe position
碳-（硼-氮）-碳套管
4.AEM：二维 “谱•像”
4.AEM： “谱分离”晶界膜
O
La
Si
N
STEM-ADF
1100 nnmm
Si: Si3N4
Si: GB
N: Si3N4
N: GB
4.AEM： 晶界膜变化
100ev
4 3 2 1 0
120ev
F 高能区
0.14nm
四、(Bi,Ca)MnO3相变引起O－K边变化 (1s 2p)
527ev
Ca＝0.95
O-K=532ev
Ca＝0.85
(Bi,Ca)MnO3相变引起O－K边变化
室温相 低温相
O-K=532ev
527ev
五、TiNiFe的母相和马氏体
TiNiFe马氏体的Ti、Ni的L2,3边
材料的电子能量 损失谱分析
内容
1 基本原理：1】电子散射 2】表征
2 仪器结构: 1】谱仪
2】能量过滤
3 应用举例：1】元素分析
3】过滤像
2】电子状态
EELS基本原理
电子的非弹性散射
电子散射的表征
散射截面：σ= N/nm ne 平均自由程：
b = 6.25×102(ρ/A)1/2(Z/E)t3/2 束扩展：λ= A/N0ρ 吸收系数：dI = -μ0Idt 穿透能力：1/μ0
x 1000
.8
6 Ca
O
2 1.5
4
1.0
Weight to Model
x 1000
2
0 6 5
4 Ti
3 2 1 0
1.5
0.5
0 1.0
0.8
ELNESC:aTiO3 0.6
0.4
0.2
0
ELNESC:aO to Model
1.0 Ca/Ti
1.0
0.5
0.5
00 2 4 6 8 0 2 4 6 8 0
N:O N:Si
GB2
0. 5
1 d (nm)
1. 5
2
GB21. 5
4.AEM： “谱分离”定义晶界
Bulk: T2iO
S5: Fe=0.5 wt. %
S5: Fe=0.1 wt.%
S5: no Fe Bulk: SrT3 iO
520
540
560
Energy Loss (eV)
层错面能损谱-像的获得 钛酸钙中多余氧化钙原子层
Al＝0.0
探测几何影响空间分辨率 能谱、能损谱、Z衬度像有不同分辨率
能损谱空间分辨率高于能谱
能损谱-扫描像 能量过滤像
能损谱-线扫描（一维“谱•像”） 二维“谱•像”——三维图象
4.AEM：“谱•像”——碳纳米管
一维“谱-像” 可定量分析 定量强度分布 碳空心管 锰的填充
碳-（硼-氮）-碳套管
BF
HADF
5 nm
CaTiO3
Ca4Ti3O
10
CaO
Fault
CaO
Bulk
Energy Loss (eV)
Energy-Filtered TEM
Zero-Loss (10 eV)
B Mapping
CMapping
NMapping
OMapping
STEM-EELS分析
Si
O
Ti
x 1000
EELS的典型谱线
强度比较
NiO边（Edge）的形成
吸收边能量
能级位置
K边 1s壳层
L2,3边 2p壳层 M4,5边 3d壳层 N6,7边 4f壳层
谱仪结构
TEM-EELS结构(串行检测)
EELS结构(并行检测)
能量过滤器
能量过滤器和损失谱仪比较
CCD
应用举例
一、AlSiON陶瓷的元素分析