现代精密测量技术现状及发展
现代工程测量技术发展分析
现代工程测量技术发展分析摘要：随着我国经济的发展，工程项目施工日益增多，工程测量技术越来越受人们的关注，并对其提出了更高的要求。
因为，工程测量是与我国经济建设与国防建设息息相关，测量学是一门紧密与生产实践相结合的学科，也是我国社会可持续发展的保障。
本文主要是对我国现代工程测量技术发展现状进行探讨分析，并提出了其发展趋势与展望。
代写论文关键词：现代工程测量；测量技术；现状；发展趋势作为一门工程实践学科——工程测量，主要是指在实际工程施工建设过程中勘测设计.施工技术和管理阶段中所运用到的各种测量技术.理论和方法的总称。
其研究的主要对象是工程开发和建设过程中的各项测量工作的理论和技术情况。
然而，现代工程测量技术已经打破了传统的工程测量服务本意，不仅仅涉及到水利.矿山.交通等传统工程测量技术的服务领域，同时还涵盖了工程施工的动态.静态几何与物理量测定，并通过分析测量结果来预测工程施工的发展趋势。
由此可见，现代工程测量技术应用范围广泛，属于一种跨学科的工程领域，它所涵盖的技术含量较高，对今后社会的发展和科学的进步有重要的促进作用。
一、我国工程测量技术现状分析1.GPS定位系统在工程测量中的应用自从上个世纪末期美国年全面建成GPS导航系统以来,GPS技术成功地应用到有海.陆.空等全方位三维导航与定位，并发挥重要作用。
近年来，随着先进科学技术的发展，新一代卫星导航与GPS定位技术的不断改进,软.硬件的不断完善,长期使用的测距.测角.测水准为主体的常规地面定位技术,正在逐步被以一次性确定三维坐标的费用省.高速度.高精度.操作简单的GPS技术代替。
同时，在我国GPS定位技术也在各行各业得到广泛应用，因而，工程测量技术领域也不例外，借助于先进的GPS定位技术，极大地提高工程测量质量与效率。
例如，在高速公路施工建设.石油勘探工程.地铁修建.隧道贯通.大坝监测.地震的形变监测以及山体滑坡测量等也已广泛地使用G P S技术。
浅谈精密测量技术现状及发展
浅谈精密测量技术现状及发展精密测量技术是一种广泛应用于各种工业和科学领域的技术，它主要用于实现对各种物理量的高精度测量，包括长度、角度、电流、压力、温度等。
随着科技的不断发展和进步，精密测量技术也在不断创新和突破，为各种领域的科研和生产提供了更准确、更可靠的测量手段。
本文将对精密测量技术的现状和发展进行浅谈。
一、精密测量技术的现状1. 高精度、高稳定性随着现代工业的发展，对于产品的精度和稳定性要求越来越高，而精密测量技术正是能够满足这种需求的技术之一。
现在的高精度测量设备，能够实现纳米级甚至亚纳米级的测量精度，可以满足微电子、微机械和其他高精度行业的要求。
这些设备的稳定性也得到了显著提高，可以长时间稳定地工作，满足生产线上的连续测量需求。
2. 宽泛的应用领域精密测量技术的应用领域非常广泛，涉及到机械制造、航空航天、汽车制造、电子电器、医疗器械、生物医药、环境监测等诸多领域。
与此随着科技的发展，精密测量技术也逐渐应用于新兴领域，如人工智能、无人机、智能制造等，为这些领域的发展提供了强有力的支撑。
3. 多元化的测量方法随着科技的发展，精密测量技术的方法也变得越来越多元化。
除了传统的机械测量、光学测量、精密电子测量等方法外，现在还出现了一些新的测量方法，如激光干涉测量、超声波测量、微纳米加工测量等，为不同领域的测量需求提供了更多的选择。
4. 发展的趋势1. 新材料的应用新材料的应用是精密测量技术发展的重要推动力。
随着新材料的不断涌现和应用，对于材料的精密测量需求也日益增加。
精密测量技术将会不断与新材料相结合，研发出更加适用于新材料测量的方法和设备，以更好地满足市场需求。
2. 智能化与自动化智能化与自动化是精密测量技术发展的重要趋势。
随着人工智能、互联网、大数据等新技术的不断应用，智能化和自动化将成为未来精密测量技术发展的重要方向。
智能测量系统将更加智能化、自动化，能够实现自主识别、自主判断和自主纠正，大大提高了测量效率和可靠性。
精密测量技术的发展与应用
精密测量技术的发展与应用随着科学技术的不断进步和工业化水平的提高，精密测量技术在各个领域的应用越来越广泛。
精密测量技术的发展不仅对科学研究起到了重要推动作用，而且在制造业、医疗领域、环境保护等方面也发挥着重要作用。
本文将介绍精密测量技术的发展历程以及应用领域，并探讨其对社会发展的影响。
一、精密测量技术的发展历程精密测量技术的发展经历了长期的积累和不懈的努力。
最早期的测量技术主要依赖于人工观察和简单的测量工具，由于测量结果的不准确和不可信，限制了许多工程项目以及科学研究的发展。
19世纪末和20世纪初，随着光学、电子学等学科的发展，精密测量技术迈入了一个新的时代。
光学干涉仪、雷达测距仪、等离子体发射光谱仪等精密测量仪器的出现，为测量技术的提高提供了强大的支持。
近几十年来，伴随着计算机技术的飞速发展，精密测量技术得到了进一步的突破和发展，其中包括全球定位系统（GPS）、激光干涉仪等新型测量技术的应用。
二、精密测量技术的应用领域1. 制造业精密测量技术在制造业中起着核心作用。
通过对产品进行精密测量，可以确保产品的质量符合标准要求。
例如，在汽车制造中，各种精密测量仪器被广泛应用于汽车零部件制造中，保证了汽车的安全性能和可靠性。
此外，精密测量技术还在航空航天、电子设备等领域的制造过程中发挥着重要的作用，使产品的精度和可靠性更高。
2. 科学研究精密测量技术在科学研究领域中的应用范围广泛。
无论是物理学、化学、生物学还是天文学等领域，都需要使用到精密测量技术。
例如，在物理学中，精密测量技术被用于粒子物理学研究中，如加速器中的粒子轨迹测量等；在生物学中，精密测量技术被应用于细胞测量、DNA测序等领域。
3. 医疗领域精密测量技术在医疗领域的应用也非常广泛。
医学影像技术，如CT、MRI等，都是通过精密测量技术来获取人体内部结构的详细信息。
此外，精密测量技术还可以在手术过程中进行引导，提高手术的准确性和安全性。
4. 环境保护精密测量技术在环境保护领域也发挥着重要作用。
精密仪器行业
精密仪器行业精密仪器是指能够进行精确测量和控制的设备，广泛应用于航空航天、电子、医疗、制造等领域。
随着科技的进步和工业制造的发展，精密仪器行业越来越受到重视。
本文将对精密仪器行业的发展现状、应用领域、技术创新以及行业前景进行探讨。
一、精密仪器行业的发展现状随着技术的不断进步，人们对精密测量和控制的需求越来越高，促使了精密仪器行业的迅速发展。
在全球范围内，精密仪器行业已经成为高科技产业和先进制造业的重要组成部分。
我国在该行业的发展也取得了长足的进步，一些企业在技术和市场竞争力上已经达到国际水平。
二、精密仪器行业的应用领域精密仪器广泛应用于各个领域，以下是几个主要应用领域的介绍：1. 航空航天领域：在航空航天领域，精密仪器用于飞行器的导航、测量、控制等方面，为飞行器提供准确的数据和可靠的控制系统，确保飞行安全。
2. 电子领域：在电子领域，精密仪器用于半导体生产、电子设备测试以及电路板制造等方面，为电子产品的研发和生产提供支持。
3. 医疗领域：在医疗领域，精密仪器用于医学影像、手术器械以及生命体征监测等方面，为医生提供准确的诊断和治疗手段，提高医疗水平。
4. 制造领域：在制造领域，精密仪器用于工件检测、加工控制以及质量监测等方面，提高制造过程的精度和效率，降低产品的缺陷率。
三、精密仪器行业的技术创新精密仪器行业的发展离不开技术创新，以下是几个主要的技术创新方向：1. 传感技术：传感器是精密仪器的核心部件，通过测量物理量转化为电信号，为仪器提供准确的输入数据。
目前，微纳传感技术的发展使得传感器的尺寸越来越小，精度越来越高，适用范围也越来越广。
2. 数据处理技术：随着大数据和人工智能的兴起，精密仪器行业也开始应用这些技术。
数据处理技术的创新可以提高仪器的计算能力，实时处理大量的数据，并为用户提供更加智能化的服务。
3. 材料技术：新材料的研发和应用是精密仪器行业的重要方向。
新材料的应用可以提高仪器的稳定性、抗干扰能力，同时降低成本和能源消耗。
工程测量技术的发展趋势
工程测量技术的发展趋势摘要：随着科学技术的发展，尤其是计算机技术、电子技术等方面的发展，工程测量的智能化、一体化、自动化、数字化水平越来越高，工程测量的可靠性、实时性、简便性、精确性也越来越高，极大的提升了工程测量水平。
本文就工程测量技术发展的现状以及应用进行了阐述，并对其未来发展趋势进行了的探讨。
关键词：工程测量；发展现状；发展趋势引言工程测量是为各项建设项目的勘测、设计、施工、安装、竣工、监测以及运营管理等一系列工程工序服务的。
能够为工程建设的各个环节提供必要的测量数据，在规范施工管理的同时，还能为工程的施工质量提供有效的保障。
一、工程测量的发展现状1、测量仪器数字化20世纪80年代以来，各种较为专业的地面测量仪器应运而生，给工程测量提供了极大的便捷与支持。
例如，激光水准仪、数字水准仪、全站仪、光电测距仪等不断研发，并迅速取代了传统的工程测量设备被应用于工程测量领域。
目前的工程测量设备体系已经实现了全面的数字化、自动化。
同时，这些测量仪器的数字化，有力的提高了测量的精度、准确度和速度，实现了测图、放样的数字化发展。
2、数据采集自动化在传统工程测量中，需要大量人工参与实际测量过程，但随着数据采集自动化程度的不断提高，实际测量过程所需要的人工参与越来越少，甚至仅一两人通过操作仪器即可完成测量工作。
如电子经纬仪即能够通过自动记录、自动修正、自动归化计算、自动角量扫描、自动消除误差，并能自动记录数据，有效的减少了整个测量过程的人工操作，实现对目标的自动测量；再如激光水准仪、记录式精密补偿水准仪等，能实现自动安平、自动读数、自动记录、自动校验测量数据，使几何水准测量自动化；再如陀螺经纬仪通过微机控制，也实现了矿山、隧道工程测量中干扰补偿、连续测量的自动化，有效提高了测量作业效率。
3、测量控制智能化目前，在工程测量作业中，传统的光学仪器、电磁波仪器已经逐渐退出工程测量实践，取而代之的是智能化程度越来越高的电子测量设备。
浅谈精密测量技术现状及发展
浅谈精密测量技术现状及发展精密测量技术是指利用精确的仪器设备和科学的方法对各种物理量进行准确测量的技术。
精密测量技术在现代工业生产、科学研究和生活中都扮演着重要的角色，它的发展水平直接影响着生产制造的质量和效率，科学研究的深度和广度，以及人们生活的舒适和便利程度。
目前，精密测量技术已经取得了许多重要的成就，并且在不断推进着发展。
下面我们就来浅谈一下精密测量技术的现状及发展趋势。
从测量设备的角度来看，随着微电子技术的飞速发展和功能集成度的不断提高，各种先进的测量仪器在外观上趋向于小型化、轻量化和智能化，功能上也趋于多样化和全面化。
传感器技术的不断创新和应用，使得现代精密测量技术得以实现对多种复杂物理量的实时监测和测量，而且在工业生产过程中，传感器的使用还能够实现自动化控制，提高生产效率和产品质量。
随着激光技术、光学技术和电子技术的进步，各种高精度的测量装置也不断涌现，使得测量的范围和精度得以进一步提高。
从测量方法和实现技术来看，随着计算机技术和信息技术的不断革新，精密测量技术也在不断地丰富和完善。
利用计算机模拟技术和数值分析方法，可以对复杂的物理量进行快速、准确的仿真计算，从而在理论上使得测量的精度得以提高。
借助于互联网和云计算技术，可以实现远程监测和数据共享，从而使得测量的范围大大扩展。
随着人工智能技术的不断成熟和应用，精密测量技术也有望实现更加智能化和自动化，从而减少人为因素的干扰，提高测量的准确性和稳定性。
从应用领域来看，精密测量技术已经不仅仅局限于工业生产领域，而且在许多其他领域也得到了广泛的应用。
在科学研究领域，各种精密的测量技术被用于对微观世界和宇宙空间的探测和研究，为科学家们提供了宝贵的数据来源。
在医疗领域，精密测量技术也被用于对人体健康状态进行监测和诊断，帮助医生提早发现疾病，及时给予治疗。
在环境监测领域，各种精密测量技术被用于对大气、水质和土壤等环境因素进行监测和评估，为环保工作提供了科学依据。
现代精密测量技术发展现状综述
现代精密测量技术发展现状综述摘要：现代精密测量技术是一门集光学、电子、传感器、图像、制造及计算机技术为一体的综合性交叉学科，涉及广泛的学科领域，它的发展需要众多相关学科的支持。
在现代工业制造技术和科学研究中，测量仪器具有精密化、集成化、智能化的发展趋势。
关键词：现代精密测量，现状，发展趋势。
引言：在科学技术高度发展的今天，现代精密测量技术对一个国家的发展起着十分重要的作用。
如果没有先进的测量技术与测量手段，就很难设计和制造出综合性能和单相性能均优良的产品，更谈不发展现代高新尖端技术，因此世界各个工业发达国家都很重视和发展现代精密测量技术。
1.国内外形势：三坐标测量机：三坐标测量机即三次元，它是指在一个六面体的空间范围内，能够表现几何形状、长度及圆周分度等测量能力的仪器，又称为三坐标测量仪或三坐标量床。
三坐标测量仪可定义为“一种具有可作三个方向移动的探测器，可在三个相互垂直的导轨上移动，此探测器以接触或非接触等方式传送讯号，三个轴的位移测量系统(如光学尺)经数据处理器或计算机等计算出工件的各点坐标(X、Y、Z)及各项功能测量的仪器”。
三坐标测量仪的测量功能应包括尺寸精度、定位精度、几何精度及轮廓精度等。
三坐标测量机在机械、电子、仪表、塑胶等行业广泛使用。
三坐标测量机是测量和获得尺寸数据的最有效的方法之一，因为它可以代替多种表面测量工具及昂贵的组合量规，并把复杂的测量任务所需时间从小时减到分钟，这是其它仪器而达不到的效果。
组成结构：1、主机机械系统（X、Y、Z三轴或其它）；2、测头系统；3、电气控制硬件系统；4、数据处理软件系统（测量软件）；三坐标测量机在现代设计制造流程中的应用逆向工程定义：将实物转变为CAD模型相关的数字化技术，几何模型重建技术和产品制造技术的总称。
德国CarlZeiss公司最近开发的CNC小型坐标测量机采用热不灵敏陶瓷技术，使坐标测量机的测量精度在17.8～25.6℃范围不受温度变化的影响。
浅谈精密测量技术现状及发展
浅谈精密测量技术现状及发展【摘要】精密测量技术在现代社会起着举足轻重的作用，其发展历程漫长而丰富。
本文首先介绍了精密测量技术的定义和其在不同领域的应用，同时也指出了存在的问题并展望了未来的发展方向。
精密测量技术的重要性不可替代，其发展前景广阔，将持续推动科技进步。
通过对技术的精准测量，可以提高生产效率，推动科学研究，保障产品质量，进而影响整个社会的发展进步。
对精密测量技术的研究和应用具有重要意义，其在未来将发挥更加重要的作用，助力社会不断向前发展。
【关键词】精密测量技术、现状、发展、重要性、定义、发展历程、分类、应用、问题、未来、发展方向、社会影响、前景、科技进步。
1. 引言1.1 精密测量技术的重要性精密测量技术的重要性体现在其在工业生产、科学研究和社会发展中的广泛应用。
精密测量技术可以用来测量各种物理量，如长度、质量、温度、压力等，精确度高，精度高，可靠性强。
在工业生产中，精密测量技术可以帮助生产企业提高产品质量，减少生产成本，提高生产效率。
在科学研究中，精密测量技术可以帮助科学家们获取更准确、更可靠的实验数据，推动科学研究不断向前发展。
在社会发展中，精密测量技术可以帮助各行各业更好地解决问题，提高生产效率，提高服务质量，促进社会发展。
精密测量技术的重要性不可替代，它是现代社会发展不可或缺的重要工具，对于推动科技进步和社会发展起着不可替代的重要作用。
1.2 精密测量技术的定义精密测量技术是一种利用高精度仪器和设备进行测量的技术。
它通过精确的测量手段和方法，可以获取目标对象的各种参数和特性，如尺寸、形状、表面质量、物理性质等。
精密测量技术在工业、科学研究、医疗等领域都有重要的应用价值，可以帮助人们更准确地了解和控制事物的状态和性能。
精密测量技术的研究和应用，为人类社会的进步和发展提供了有力支撑，成为科技创新和产业升级的重要基础。
通过不断地改进和创新，精密测量技术已经成为现代社会不可或缺的工具之一。
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现代精密测量技术现状及发展现代精密测量技术是一门集光学、电子、传感器、图像、制造及计算机技术为一体的综合性交叉学科，涉及广泛的学科领域，它的发展需要众多相关学科的支持。
在现代工业制造技术和科学研究中，测量仪器具有精密化、集成化、智能化的发展趋势。
三坐标测量机(CMM)是适应上述发展趋势的典型代表，它几乎可以对生产中的所有三维复杂零件尺寸、形状和相互位置进行高准确度测量。
发展高速坐标测量机是现代工业生产的要求。
同时，作为下世纪的重点发展目标，各国在微/纳米测量技术领域开展了广泛的应用研究。
1 坐标测量机的最新发展三坐标测量机作为几何尺寸数字化检测设备在机械制造领域得到推广使用，而科学研究和机械制造行业的技术进步又对CMM提出更多新的要求，作为测量机的制造者就需要不断将新技术应用于自己的产品以满足生产实际的需要［1，2］。
1.1 误差自补偿技术德国Carl Zeiss公司最近开发的CNC小型坐标测量机采用热不灵敏陶瓷技术(Thermally insensitive ceramic technology)，使坐标测量机的测量精度在17.8～25.6℃范围不受温度变化的影响。
国内自行开发的数控测量机软件系统PMIS包括多项系统误差补偿、系统参数识别和优化技术。
1.2 丰富的软件技术Carl Zeiss公司开发的坐标测量机软件STRATA-UX，其测量数据可以从CMM 直接传送到随机配备的统计软件中去，对测量系统给出的检验数据进行实时分析与管理，根据要求对其进行评估。
依据此数据库，可自动生成各种统计报表，包括X-BAR&R及X_BAR&S图表、频率直方图、运行图、目标图等。
美国Brown & Sharp 公司的Chameleon CMM测量系统所配支持软件可提供包括齿轮、板材、凸轮及凸轮轴共计50多个测量模块。
日本Mitutoyo公司研制开发了一种图形显示及绘图程序，用于辅助操作者进行实际值与要求测量值之间的比较，具有多种输出方式。
1.3 系统集成应用技术各坐标测量机制造商独立开发的不同软件系统往往互不相容，也因知识产权的问题，这些工程软件是封闭的。
系统集成技术主要解决不同软件包之间的通信协议和软件翻译接口问题。
利用系统集成技术可以把CAD，CAM及CAT以在线工作方式集成在一起，形成数学实物仿形制造系统，大大缩短了模具制造及产品仿制生产周期。
1.4 非接触测量基于三角测量原理的非接触激光光学探头应用于CMM上代替接触式探头。
通过探头的扫描可以准确获得表面粗糙度信息，进行表面轮廓的三维立体测量及用于模具特征线的识别。
该方法克服了接触测量的局限性。
将激光双三角测量法应用于1700mm×1200mm×200mm测量范围内，对复杂曲面轮廓进行测量，其精度可高于1μm。
英国IMS公司生产的IMP型坐标测量机可以配用其他厂商提供的接触式或非接触式探头。
2 微/纳米级精密测量技术科学技术向微小领域发展，由毫米级、微米级继而涉足到纳米级，即微/纳米技术。
微/纳米技术研究和探测物质结构的功能尺寸与分辨能力达到微米至纳米级尺度，使人类在改造自然方面深入到原子、分子级的纳米层次。
纳米级加工技术可分为加工精度和加工尺度两方面。
加工精度由本世纪初的最高精度微米级发展到现有的几个纳米数量级。
金刚石车床加工的超精密衍射光栅精度已达1nm，实验室已经可以制作10nm以下的线、柱、槽。
微/纳米技术的发展，离不开微米级和纳米级的测量技术与设备［3～5］。
具有微米及亚微米测量精度的几何量与表面形貌测量技术已经比较成熟，如HP5528双频激光干涉测量系统(精度10nm)、具有1nm精度的光学触针式轮廓扫描系统等。
因为扫描隧道显微镜(STM,Scanning Tunning Microscope)、扫描探针显微镜(SPM，Scanning Probe Microscope)和原子力显微镜(AFM，Atomic Force Microscope)用来直接观测原子尺度结构的实现，使得进行原子级的操作、装配和改形等加工处理成为近几年来的前沿技术。
2.1 扫描探针显微镜1981年美国IBM公司研制成功的扫描隧道显微镜(STM)，把人们带到了微观世界。
STM具有极高的空间分辨率(平行和垂直于表面的分辨率分别达到0.1nm和0.01nm，即可以分辨出单个原子)，广泛应用于表面科学、材料科学和生命科学等研究领域，在一定程度上推动了纳米技术的产生和发展。
与此同时，基于STM相似的原理与结构，相继产生了一系列利用探针与样品的不同相互作用来探测表面或界面纳米尺度上表现出来的性质的扫描探针显微镜(SPM)［6，7］，用来获取通过STM无法获取的有关表面结构和性质的各种信息，成为人类认识微观世界的有力工具。
下面为几种具有代表性的扫描探针显微镜。
(1)原子力显微镜(AFM)。
为了弥补STM只限于观测导体和半导体表面结构的缺陷，Binnig等人发明了AFM，AFM利用微探针在样品表面划过时带动高敏感性的微悬臂梁随表面的起伏而上下运动，通过光学方法或隧道电流检测出微悬臂梁的位移，实现探针尖端原子与表面原子间排斥力检测，从而得到表面形貌信息。
就应用而言，STM主要用于自然科学研究，而相当数量的AFM已经用于工业技术领域。
1988年中国科学院化学所研制成功国内首台具有原子分辨率的AFM。
安装有微型光纤传导激光干涉三维测量系统，可自校准和进行绝对测量的计量型原子力显微镜可使目前纳米测量技术定量化［8］。
利用类似AFM的工作原理，检测被测表面特性对受迫振动力敏元件产生的影响，在探针与表面10～100nm距离范围，可以探测到样品表面存在的静电力、磁力、范德华力等作用力，相继开发磁力显微镜(MFM，Magnetic Force Microscope)、静电力显微镜(EFM，Electrostatic Force Microscope)、摩擦力显微镜(LFM，Lateral Force Microscope)等，统称为扫描力显微镜(SFM，Scanning Force Microscope)。
(2)光子扫描隧道显微镜(PSTM，Photon Scanning Tunning Microscope)。
PSTM的原理和工作方式与STM相似，后者利用电子隧道效应，而前者利用光子隧道效应探测样品表面附近被全内反射所激起的瞬衰场，其强度随距界面的距离成函数关系，获得表面结构信息。
(3)其他显微镜。
如扫描隧道电位仪(STP，Scanning Tunning Potentiometry)可用来探测纳米尺度的电位变化；扫描离子电导显微镜(SICM，Scanning Ion_Conductation Microscope)适用于进行生物学和电生理学研究；扫描热显微镜(Scanning Thermal Microscope)已经获得了血红细胞的表面结构；弹道电子发射显微镜(BEEM，Ballistic Electron Emission Miroscope)则是目前唯一能够在纳米尺度上无损检测表面和界面结构的先进分析仪器，国内也已研制成功。
2.2 纳米测量的扫描X射线干涉技术以SPM为基础的观测技术只能给出纳米级分辨率，却不能给出表面结构准确的纳米尺寸，这是因为到目前为止缺少一种简便的纳米精度(0.10～0.01nm)尺寸测量的定标手段。
美国NIST和德国PTB分别测得硅(220)晶体的晶面间距为192015.560±0.012fm和192015.902±0.019fm。
日本NRLM在恒温下对220晶间距进行稳定性测试，发现其18天的变化不超过0.1fm。
实验充分说明单晶硅的晶面间距具有较好的稳定性。
扫描X射线干涉测量技术是微/纳米测量中的一项新技术［9，10］，它正是利用单晶硅的晶面间距作为亚纳米精度的基本测量单位，加上X射线波长比可见光波波长小两个数量级，有可能实现0.01nm的分辨率。
该方法较其他方法对环境要求低，测量稳定性好，结构简单，是一种很有潜力的方便的纳米测量技术。
自从1983年D.G.Chetwynd将其应用于微位移测量以来，英、日、意大利相继将其应用于纳米级位移传感器的校正。
国内清华大学测试技术与仪器国家重点实验室在1997年5月利用自己研制的X射线干涉器件在国内首次清楚地观察到X射线干涉条纹。
软X射线显微镜、扫描光声显微镜等用以检测微结构表面形貌及内部结构的微缺陷。
迈克尔逊型差拍干涉仪，适于超精细加工表面轮廓的测量，如抛光表面、精研表面等，测量表面轮廓高度变化最小可达0.5nm，横向(X，Y向)测量精度可达0.3～1．0μm。
渥拉斯顿型差拍双频激光干涉仪在微观表面形貌测量中，其分辨率可达0.1nm数量级。
2.3 光学干涉显微镜测量技术光学干涉显微镜测量技术，包括外差干涉测量技术、超短波长干涉测量技术、基于F-P(Febry-Perot)标准的测量技术等，随着新技术、新方法的利用亦具有纳米级测量精度。
外差干涉测量技术具有高的位相分辨率和空间分辨率，如光外差干涉轮廓仪具有0.1nm的分辨率；基于频率跟踪的F-P标准具测量技术具有极高的灵敏度和准确度，其精度可达0.001nm，但其测量范围受激光器的调频范围的限制，仅有0.1μm。
而扫描电子显微镜(SEM，Scanning Electric Microscope)可使几十个原子大小的物体成像。
美国ZYGO公司开发的位移测量干涉仪系统，位移分辨率高于0.6nm，可在1.1m/s的高速下测量，适于纳米技术在半导体生产、数据存储硬盘和精密机械中的应用。
目前，在微/纳米机械中，精密测量技术一个重要研究对象是微结构的机械性能与力学性能、谐振频率、弹性模量、残余应力及疲劳强度等。
微细结构的缺陷研究，如金属聚集物、微沉淀物、微裂纹等测试技术的纳米分析技术目前尚不成熟。
国外在此领域主要开展用于晶体缺陷的激光扫描层析(Laser Scanning Tomograph)技术，用于研究样品顶部几个微米之内缺陷情况的纳米激光雷达技术(Nanoladar)，其探测尺度分辨率均可达到1nm。
3 图像识别测量技术随着近代科学技术的发展，几何尺寸与形位测量已从简单的一维、二维坐标或形体发展到复杂的三维物体测量，从宏观物体发展到微观领域。
被测物体图像中即包含有丰富的信息，为此，正确地进行图像识别测量已经成为测量技术中的重要课题。
图像识别测量过程包括：(1)图像信息的获取；(2)图像信息的加工处理，特征提取；(3)判断分类。
计算机及相关计算技术完成信息的加工处理及判断分类，这些涉及到各种不同的识别模型及数理统计知识。
图像测量系统一般由以下结构组成，如图1所示。