电容传感器及其应用
从而改变了两极板间的电容量。当θ=0时，则
C0
0 r S0
d0
(5-8)
式中： εr——介质相对介电常数； d0——两极板间距离； S0——两极板间初始覆盖面积。
当θ≠0时， 则
0 r S0 1 C C C 0 0 d0
（5-9）
于用数字仪器测量， 并与计算机通讯，抗干扰能力强，
可以发送、 接收， 以达到遥测遥控的目的。
5.4.2 运算放大器式电路
由于运算放大器的放大倍数非常大，而且输入阻抗Zi很
高, 运算放大器的这一特点可以作为电容式传感器的比较理
想的测量电路。如图5-12示。 由运算放大器工作原理可得
C U Uo i Cx
式中： C0——由变换器的基本尺寸决定的初始电容值, 即 (5-10)
2H C0 D 1n d
可见：此变换器的电容增量正比于被测液位高度h。
D d
H h
1
图5-7 电容式液位变换器结构原理图
变介质型电容传感器有较多的结构形式，图5-8是一种 常用的结构形式。 图中两平行电极固定不动，极距为d0，相对介电常数 为εr2的电介质以不同深度插入电容器中，从而改变两种介 质的极板覆盖面积。 传感器总电容量C为
略去高次项，则ΔC/C0与Δd/d0近似成为如下的线性关系：
(5-24)
C d 2 C0 d0
3 2
(5-25)
如果只考虑式（5-24）中的线性项和三次项, 则电容式传感 器的相对非线性误差δ近似为
d 2 | ( d / d 0 ) | 100% d 100% 2 | d / d 0 | 0 (5-26)
1 f0 2 (C1 C2 C0 ) L
(5-30)
当被测信号不为0时，ΔC≠0， 振荡器频率有相应变化， 此时频 率为
1 f f 0 f 2 (C1 C2 C0 C ) L
(5-31)
调频电容传感器测量电路具有较高的灵敏度， 可 以测量高至0.01μm级位移变化量。信号的输出频率易
差动的好处
• 灵敏度得到一倍的改 善
2 C d C0 d0
1 C d C0 d0
• 线性度得到改善
d 100% d0
2
d 100% d0
5.４ 电容式传感器的测量电路
5.4.1 调频电路
把电容式传感器作为振荡器谐振回路的一部分, 当输入量导
C
S
d
（5-1）
当被测参数变化使得S、 d或ε发生变化时， 电容
量C也随之变化。 如果保持其中两个参数不变，而仅改变其中一个 参数， 就可把该参数的变化转换为电容量的变化，通 过测量电路就可转换为电量输出。 电容式传感器可分为变极距型、 变面积型和变介 电常数型三种。
(a)
(b)
(c)
(d)
从式（5-9）可以看出，传感器的电容量C与角位移θ呈线性关系。
5.1.3 变介质型电容式传感器
如图5-7示。 此时变换器电容值为：
21h 21 ( H h) 2H 2h(1 ) 2h(1 ) C C0 D D D D D 1n 1n 1n 1n 1n d d d d d
d d 2 d 3 d C C0 1 C0 1 （5-4） d0 d0 d0 d0 此时C与Δd近似呈线性关系，所以变极距型电容式传感器只
有在Δd/d0很小时，才有近似的线性关系。
电容值总的变化量为
(5-21)
(5-22)
d d 3 d 5 C C1 C2 2C0 d d d0 0 0
(5-23)
电容值相对变化量为
d 2 d 4 C d 2 1 d d C0 d0 0 0
若电容器极板间距离由初始值d0缩小了Δd，电容量增大了
C0 C C0 C d0 d 1 d d0
0 r S
（5-3）
C C
C1 C1 C2 C
2
OO
d 1d d 2 d
1
2
d
图5-3 电容量与极板间距离的关系
在式（5-3）中，若Δd/d0<<1时，则展成级数：
(5-12)
可见，电容量的变化与电介质εr2的移动量L成线性关系。
L0 L
r2
r1
d0
图5-8 变介质型电容式传感器
表5-1 电介质材料的相对介电常数
5.2 电容式传感器的灵敏度及非线性
前面已得到： 电容的相对变化量为
C 1 C0 1 d d0
当|Δd/d0|<<1时，按级数展开，可得
C C1 C2 0b0
r1 ( L0 L) r 2 L
d0
(5-11)
若 电 介 质 εr1=1, 当 L=0 时 ， 传 感 器 初 始 电 容 C0=ε0εrL0b0/d0 。 当被测介质εr2 进入极板间L深度后，引
起电容ห้องสมุดไป่ตู้对变化量为
C C C0 ( r 2 1) L C0 C0 L0
另外，在d0 较小时，对于同样的Δd变化所引起的ΔC可以增
大，从而使传感器灵敏度提高。但d0过小，容易引起电容器击穿
或短路。为此，极板间可采用高介电常数的材料（云母、 塑料 膜等）作介质, 如图 5-4 所示，此时电容C变为
C
S dg
0 g
0
d0
（5-5）
式中：εg——云母的相对介电常数，εg=7； ε0——空气的介电常数，ε0=1； d0——空气隙厚度； dg——云母片的厚度。
2
(e)
1
(f)
(g)
(h)
(i)
(j)
( k)
(l)
图5-1 电容式传感元件的各种结构形式
5.1.1 变极距型电容传感器
A
d
r
图5-2 变极距型电容式传感器
当传感器的εr和S为常数，初始极距为d0时，由式（5-1）可 知其初始电容量C0为
C0
ΔC，则有
0 r S
d0
（5-2）
这种形式的传感器其电容量C与水平位移Δx呈 线性关系。
(5-7)
a d x S
b
x
图5-5 变面积型电容传感器原理图
动极板 定极板
图5-6 电容式角位移传感器原理图
r S 2
2
r
图5-6是电容式角位移传感器原理图。当动极板有一 个角位移θ时，与定极板间的有效覆盖面积就发生改变，
由此可得出传感器的相对非线性误差δ为
(5-17)
( d / d 0 )2 d 100% 100% | d / d 0 | d0
(5-18)
由式（5-16）与式（5-18）可以看出：要提高灵 敏度，应减小起始间隙 d0 ，但非线性误差却随着
d0的减小而增大。
在实际应用中，为了提高灵敏度，减小非线性误差， 大都采用差动式结构。如图5-9示。 在差动式平板电容器中，当动极板位移Δd时，电容器 C1的间隙d1变为d0-Δd，电容器C2的间隙d2变为d0+Δd, 则
0
图5-4 放置云母片的电容器
d0
dg
g
云母片的相对介电常数是空气的7倍，其击穿电压不
小于1000 kV/mm，而空气仅为3 kV/mm。因此有了云母片， 极板间起始距离可大大减小。 一般变极板间距离电容式传感器的起始电容在
20~100pF之间， 极板间距离在25~200μm 的范围内。最大 位移应小于间距的1/10， 故在微位移测量中应用最广。
1 C1 C0 1 d / d 0 1 C2 C0 1 d / d 0
(5-19)
(5-20)
0 0
C1
d1
C2
图5-9 差动平板式电容传感器结构图
d2
S
在Δd/d0<<1时, 按级数展开得
d d 2 d 3 C1 C0 1 d0 d0 d0 d d 2 d 3 C2 C0 1 d0 d0 d0
(5-13)
d d 2 d 3 C d (5-14) 1 d d C0 d0 d0 0 0
可见，输出电容的相对变化量ΔC/C0与输入位移Δd之间成 非线性关系，当|Δd/d0|<<1时可略去高次项，得到近似的 线性关系：
第５章 电容式传感器
主要内容
5.1 电容式传感器的工作原理和结构
5.2 电容式传感器的灵敏度及非线性 5.3 电容式传感器的等效电路（自学） 5.4 电容式传感器的测量电路 5.5 电容式传感器的应用
5.1 电容式传感器的工作原理和结构
由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器，如 果不考虑边缘效应，其电容量为
式中： C——振荡回路的总电容，C=C1+C2+Cx，其中C1为 振荡回路固有电容, C2为传感器引线分布电容, Cx=C0±ΔC 为传感器的电容。
f u
f 限幅放大器 鉴频器
Cx
L Cx电容变换器
振荡器
u
图5-11 调频式测量电路原理框图
当被测信号为0时，ΔC=0，则C=C1+C2+C0 ，所以振荡器有 一个固有频率f0, 其表示式为
致电容量发生变化时，振荡器的振荡频率就发生变化。 可将频率作为输出量用以判断被测非电量的大小，但此时 系统是非线性的，不易校正，因此必须加入鉴频器，将频率的 变化转换为电压振幅的变化，经过放大就可以用仪器指示或记
电容传感器的应用及原理
电容传感器的应用及原理1. 电容传感器的原理电容传感器是一种通过电容变化来测量物理量的传感器。
其工作原理基于电容的大小与电容器的位置、形状、介质厚度等相关。
电容传感器主要由两个电极和一个电介质组成。
当外部物体接近或离开传感器时，电介质的介电常数或电容器的形状发生变化，从而导致电容的变化。
这个变化可以通过测量电容器中存储的电荷的变化来检测。
2. 电容传感器的应用2.1 温度传感电容传感器可以用于测量温度。
通过改变电容器的介质温度，可以检测到温度的变化。
这种传感器广泛应用于温度控制、温度监测和自动化系统中。
2.2 湿度传感电容传感器还可以用于测量湿度。
通过改变电容器内部的湿度，可以检测到湿度的变化。
这种传感器广泛应用于湿度控制、空调系统和气象预测中。
2.3 距离测量电容传感器可以用于测量物体与传感器之间的距离。
当物体靠近传感器时，电容的变化可以被测量，从而推算出物体与传感器之间的距离。
这种传感器广泛应用于无人驾驶、防撞系统和机器人领域。
2.4 位移测量电容传感器还可以用于测量物体的位移。
通过改变电容器的形状或位置，可以检测到位移的变化。
这种传感器广泛应用于工业自动化、机械控制和仪器仪表中。
3. 电容传感器的优缺点3.1 优点•高灵敏度：电容传感器对电容的变化非常敏感，可以检测微小的变化。
•宽测量范围：电容传感器可以覆盖很大的测量范围，从微米到米级别的距离。
•高精度：电容传感器可以实现高精度的测量，可以满足各种精度要求。
•无需物理接触：电容传感器可以实现无接触的测量，提高了系统的可靠性和耐用性。
•可靠性高：电容传感器具有较高的信号-to-noise 比率，抗干扰性能强。
3.2 缺点•受环境干扰：电容传感器的测量结果可能会受到环境的影响，例如温度、湿度和电场干扰等。
•涉及电路设计：为了准确测量电容的变化，需要精心设计电路以提供准确的测量和分析。
•价格较高：相比其他传感器，电容传感器的价格相对较高。
4. 总结电容传感器是一种应用广泛的传感器技术，可以用于测量温度、湿度、距离和位移等物理量。
电容式传感器原理和应用
2(d)
d0
d0
比较以上式子可见，电容传感器做成差动式之 后，灵敏度提高一倍，而且非线性误差大大降 低了。
4.3 特点及应用中存在的问题
4.3.1 电容式传感器的特点
1．优点： ●温度稳定性好
电容式传感器的电容值一般与电极材料无关， 有利于选择温度系数低的材料，又因本身发热 极小，影响稳定性甚微。而电阻传感器有电阻， 供电后产生热量；电感式传感器有铜损、磁游 和涡流损耗等，易发热产生零漂。 ●结构简单 电容式传感器结构简单，易于制造，易于保证
4.1电容式传感器的工作原理和结构
4.1.2 变面积型电容式传感器
图4-3 变面积型电容传感器原理图
上图是变面积型电容传感器原理结构示意图。 被测量通过动极板移动引起两极板有效覆盖面 积S改变，从而改变电容量。
4.1电容式传感器的工作原理和结构
当动极板相对于定极板延长度a方向平移Δx时，
可得：
图4-1 变极距型电容传感器原理图
4.1电容式传感器的工作原理和结构
若电容器极板间距离由初始值d0缩小Δd，电容量增大
Δ由C式，(则4C -3有)知C0传 感C器d的00输rA出d特C1性0(1(Cdd =0d2)d02f()d)不是(4线3)性关系，
而是如图4-2所示的曲线关系。
C d 1d
(1 )
C0 d0
d0
由此可得出传感器的相对非线性误差δ为：
(d)2 d
100%
d
100%
d
d0
d
由以上三个式可以看出：要提高灵敏度，应减 小起始间隙d0，但非线性误差却随着d0的减小而 增大。在实际应用中，为了提高灵敏度，减小 非线性误差，大都采用差动式结构。
电容传感器的原理及应用
电容传感器的原理及应用电容传感器（Capacitive Sensor）是一种利用电容变化来感知和测量物体位置、形状、压力等参数的传感器。
它基于电容的定义，即两个导体之间的介电常数乘以电容公式中电容的基本构成：两个导体之间的距离以及导体间的面积。
本文将介绍电容传感器的原理和其在实际应用中的各种场景。
一、电容传感器的原理基于电容传感器的工作原理是通过改变电容的值来检测和测量目标的物理量，其基本原理可以分为静电式电容传感器和变容式电容传感器两种。
静电式电容传感器是利用物体与传感器之间的静电场来产生电容变化，进而通过测量电容值的改变来获取物体位置、形状、体积等信息。
在静电式电容传感器中，将一个导电板作为传感器的感应电极，当目标物体靠近导电板时，它的存在会改变电极周围的电场分布，从而改变了电容值。
通过测量电容的变化可以计算出物体与传感器之间的距离或者形状等信息。
变容式电容传感器则是利用可变电容器（Varactor）来测量目标物体的参数。
可变电容器是一种能随外界电压变化而改变电容值的器件，它包含有两个金属板（电极）和介电常数可调的绝缘材料。
当外加电压改变时，绝缘材料的介电常数发生变化，从而导致电容值的变化。
通过测量可变电容器的电容值，可以得到目标物体的参数。
二、电容传感器的应用电容传感器广泛应用于许多领域，例如汽车、医疗、机械等。
下面将介绍几个典型的应用案例。
1. 触摸屏电容传感器在触摸屏技术中得到了广泛应用。
触摸屏利用电容变化来感知用户的触摸操作，以实现对显示屏的控制。
当用户触摸屏幕时，手指与传感器之间会形成电容耦合，这种耦合会改变传感电极之间的电容值。
通过测量电容的变化，可以得到用户触摸的位置，从而实现对显示屏的交互操作。
2. 接近开关电容传感器也常被用作接近开关。
传感器可以检测目标物体与传感器之间的距离，当目标物体靠近传感器时，电容值会发生变化，从而触发开关的动作。
这种接近开关广泛应用于自动化控制系统中，例如安全门、自动水龙头等设备。
《自动检测技术及应用》第4章 电容式传感器及其应用
4
两平行板组成的平行板电容器，电容传感 器的基本理想公式为：
C A 0r A
dd
请思考：上式中，哪几个参量是变量？可
以做成哪几种类型的电容传感器？
4/14/2020
5
C A 0r A
dd
改变A、d、 三个参量中的任意一个量，均可 使平板电容的电容量C 改变。
固定三个参量中的两个，可以做成三种类型的 电容传感器。
4/14/2020
8
变面积式电容传感器的特性
变面积式电容传感器的输出特性是线性的， 灵敏度是常数。这一类传感器多用于检测直线位 移、角位移、尺寸等参量。
你能否画出变面积式电容传感器的输出特性 曲线??
4/14/2020
9
2、变极距（d）式电容传感器
当动极板受被测物体作用引起位移时，改变了两
极板之间的距离d，从而使电容量发生变化。
成差动形式后，能使灵敏度提高一倍。
请思考：我们已经学习了哪些差动形式？
4/14/2020
18
休息一下
4/14/2020
19
§4.2 电容式传感器的 测量转换电路
4/14/2020
20
被测非电量
电容式 传感器
转换电路
电容变化
电量
转换电路实现将微小的电容变化转换为电压、 电流或频率等信号。
电容转换电路有电桥电路、调频电路、运算 放大器式电路、二极管双T型交流电桥等。
4/14/2020
16
4、差动电容传感器
在实际应用中，为了提高传感器的灵敏度，减 小非线性，常常把传感器做成差动形式。
变极距式差 动电容器
4/14/2020
旋转形差 动电容器
圆柱形差 动电容器
电容式传感器原理及其应用
当传感器工作时，电容
C
发生变化，电桥失
x
去平衡，从而输出交流电压信号。
➢ 此信号先经过交流放大器将电压进行放大，再经过 相敏检波器和低通滤波器检出直流电压、并滤掉交 流分量，最后得到直流电压输出信号，它的幅值随 着电容的变化而变化。
➢ 电桥的输出电压为：
第十四页，编辑于星期二：二十一点 十九分。
2.2 变压器电桥电路
（3）寄生电容影响大：电容式传感器的初始电容很小， 而其引线电容、测量电路的杂散电容以及传感器极板 与其周围导体构成的电容等“寄生电容”却较大。例 如，将信号处理电路安装在非常靠近极板的地方可以 削弱泄露电容的影响。
第二十六页，编辑于改善措施
➢ 电容式传感器所具有的高灵敏度、高精度等独特的优点是与其正确设计、 选材以及精细的加工工艺分不开的。
2．电容式传感器的缺点 （1）输出阻抗高，带负载能力差：电容的容抗大还要求传
感器绝缘部分的电阻值极高（几十兆欧以上），否则绝缘 部分将作为旁路电阻而影响传感器的性能，为此要注意温 度、湿度、清洁度等环境对绝缘材料绝缘性能的影响。 （2）输出特性为非线性：虽可采用差动结构来改善，但 不可能完全消除。其他类型的电容传感器只有忽略了电 场的边缘效应时，输出特性才成线性，否则边缘效应所 产生的附加电容量将与传感器电容量直接叠加，使输出 特性非线性。
第八页，编辑于星期二：二十一点 十九分。
2.4 变介电常数式电容传感器
根据前面的分析可知，介质的介电常数也是影响电 容式传感器电容量的一个因素。通常情况下，不同介质 的介电常数各不相同。
第九页，编辑于星期二：二十一点 十九分。
➢ 当电容式传感器的电介质改变时，其介电常数变化，也 会引起电容量发生变化。
电容式传感器的应用
4、电容传声器
采用聚四氟乙烯材料作为振动膜片。这种材料经特殊 电处理后，表面永久地驻有极化电荷，取代了电容传声器 极板，故名为驻极体电容传声器。
变极距型应用：电容式传声器
7、电容式接近开关 被测物体 感应电极
振荡电路
被测电容
传感器技术及应用
传感器技术及应用
电容式传感器的应用
1.2 电容式传感器的应用举例 1、电容式测微仪
探头
高灵敏度电容式测微仪采用
非接触方式精确测量微位移和振 S
动振幅。在最大量程为（100±5）
h
μm时，最小检测量为0.01μm。 右图为电容式测微仪测头原 被测件
理图。
图4.17 电容式测微仪原理图
2、电容式压力传感器
压力变送器 陶瓷电容压力传感器
3.电容式加速度传感器
右图为电容式加速 度传感器的结构示意图。
4
5
A面
6
2
质量块4由两根簧片3支
Cx1
3
撑于充满空气的壳体2
内，弹簧较硬使ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱ统的 2
固有频率较高，因此构
Cx2
成惯性式加速度计的工 作状态。
B面
1
1、5—固定极板；2—壳体；3—簧片；4—质量块；6—绝缘体
图4.20（a）为单只变极距型电容式传感器原理图。 用于测量气体或液体压力。
图4.20（b）为一种 小型差动电容式压 力传感器。可用于 微小压力。
3 P
1
2
4
5
6
P
（a）单只电容式压力传感器 （b）差动电容式压力传感器 图 4.20 电容式压力传感器
产品.
液体压力 作用在陶 瓷膜片的 表面，使 膜片产生 位移。
电容式传感器原理及其应用
电容式传感器原理及其应用
传感器通常由两个电极组成：一个是探测电极，用于和物体接触形成
电容；另一个是参考电极，用于和环境隔离，提供一个参考电容。
当物体
接近传感器时，探测电极和参考电极之间的电容会发生变化。
1.位置检测：在机器人、自动门、车辆等设备上，可以使用电容式传
感器来检测物体的位置，以便进行准确控制。
2.形状检测：电容式传感器可以根据物体所形成的电容来检测物体的
形状，适用于模具、雕塑、冲压等领域。
3.压力检测：电容式传感器可以根据物体施加的压力来测量电容的变化，常用于汽车空调系统、机械手等设备中的压力控制。
4.湿度检测：在湿度计、空调、除湿器等设备中，电容式传感器可以
通过测量物体和介质之间的相对湿度来判断湿度的变化。
5.液位检测：电容式传感器可以通过测量液体的介电常数来判断液位
的高低，用于液位测量仪表、储罐等设备。
6.运动检测：电容式传感器可以通过检测物体运动时电容的变化来实
现运动检测，常用于门禁系统、人体感应灯等。
7.接近开关：电容式传感器可以检测物体与传感器之间的距离，常用
于接近开关、自动水龙头、触摸屏等设备。
8.手势识别：电容式传感器可以检测手的位置和动作，实现手势识别，常用于智能手机、智能手表等设备中。
总结来说，电容式传感器具有广泛的应用领域，可以用于位置检测、形状检测、压力检测、湿度检测等。
其原理是通过测量电容的变化来获取物体或环境的相关信息，为现代科技领域提供了重要的技术支持。
电容式传感器的原理与应用
电容式传感器的原理与应用电容式传感器是一种常见的传感器，其原理是利用电容的变化来检测所测量的物理量的变化。
本文将介绍电容式传感器的原理、类型以及应用。
一、电容式传感器的原理电容式传感器利用电容变化的原理来检测所测量的物理量的变化。
其基本构造为两个电极之间留有空气或被测介质的电容器。
当电容器的电极间距离变化时，电容值会随之变化，因为电容与电极间距离的平方成反比。
电容式传感器的基本结构包括电极、隔离板、悬浮件和支撑件等组成部分。
其中悬浮件被设计成可弯曲或可振动的形式，当所测量的物理量施加到悬浮件上时，悬浮件会变形或振动，会导致电极之间的距离产生变化，进而改变电容的值。
二、电容式传感器的类型电容式传感器根据其工作原理和应用场景的不同，可分为多种类型，如下：1.振动型电容传感器振动型电容传感器是利用悬浮件或振动片的振动来改变电容值的。
其优点是量程大、精度高，广泛应用于加速度、压力等测量。
例如，加速度传感器中的电容式传感器就属于振动型电容传感器。
2.压电型电容传感器压电型电容传感器利用压电效应来检测物理量。
该传感器常用于测量某些材料的内部应力和变形情况，如岩石、混凝土等。
压电型电容传感器的优点在于测量范围宽、灵敏度高。
3.电流型电容传感器电流型电容传感器是在电容体中加入激励电流，通过检测电容的交流电流来测量物理量。
电流型电容传感器主要用于流量、液位、水位等测量。
其优点在于对介质粘度、温度等影响较小。
三、电容式传感器的应用电容式传感器广泛应用于多种物理量的测量，包括加速度、压力、位移、形变、流量、温度等，下面举几个例子：1.安全气囊电容式传感器常常被用于测量车辆的加速度和碰撞计算，从而触发安全气囊的充气。
2.坐标测量在机器人和自动化控制系统中，电容式传感器可以用于测量工具或物品的精确位置和距离。
医学领域中，电容式传感器也可以用于手术操作的精确定位。
3.液位传感器电容式液位传感器是测量液体或粉状物体液位或介质密度的重要设备。
简述几种电容传感器的应用
简述几种电容传感器的应用
电容传感器是一种常见的传感器，其应用范围非常广泛。
下面简述几种电容传感器的应用：
1. 接近开关：电容传感器可以用作接近开关，用于检测物体是否接近传感器。
这种应用场景非常常见，例如机械装置中的接近开关、自动门的开关等。
2. 液位测量：电容传感器可以测量液体的液位，通过检测电容的变化来确定液位高低。
这种应用在工业、农业等领域非常常见。
3. 湿度测量：电容传感器可以测量环境中的湿度，通过检测电容的变化来判断湿度的大小。
这种应用在气象、农业、医疗等领域都有广泛的应用。
4. 重量传感：电容传感器可以用来测量物体的重量，通过测量电容的变化来确定物体的质量。
这种应用在工业、医疗、家庭等领域都有广泛的应用。
综上所述，电容传感器的应用非常广泛，无论是在工业、医疗、家庭等领域都有重要的作用。
- 1 -。
电容式传感器的应用
电容式传感器的原理及应用电容传感器是将被测的非电量的变化转换为电容量变化的一种传感器,它不仅能测量荷重、位移、振动、角度、加速度等机械量,还能测量液面、料面、成分含量等热工参量。
这种传感器具有高阻抗、小功率、动态范围大、动态响应较快、几乎没有零漂、结构简单和适应性强等优点。
因此,电容传感器在自动检测技术中占有很重要的地位,并得到广泛的应用。
电容式传感器有着许多优点,应用也非常广泛,本文介绍了电容式传感器的工作原理,应用及发展趋势。
一．基本原理电容式传感器的基本原理是将被测量的变化转换成传感元件电容量的变化，再经过转换电路变成电信号输出。
由物理学可知,两个平行金属板组成的电容器,如果忽略了边缘效应,其电容为C=εS/d。
可见在三种参数中保持其中两个不变而仅仅改变第三个参数电容就会改变,因此电容式传感器可以分为三种类型。
1.1变间距型电容传感器如图(1)所示,1为固定极板,2为可动极板。
当可动极板向上移动x,则电容的增量为ΔC=εS/(d-x)-εS/d=-εS/d(x/(d-x))=C0/d(x/(1-x/d))所以灵敏度S=Δx=C0/d=C0/d(1+x/d+x/d2+x/d3+……)。
从上式中可以看出,电容的变化量与极板移动的位移有关,而且当x/d<<1时,可以近似地认为ΔC=S·x，成线性关系。
为了提高灵敏度可以适当减小电容器初始间距和增大初始电容值。
1.2变面积型电容传感器如图所示,下面的极板为动片,上面的极板为定片。
当动片与定片有一相对线位移时,两片金属极板的正对面积变化,引起电容量的变化。
当线位移x=0时,设初始电容量为C0=εab/d,当x≠0时,Cx=ε(a-x)b/d=C0(1-x/a),因此ΔC=-C0x/a,灵敏度S=-C0/a。
可见变面积型传感器是线性传感器,增大初始电容可以提高灵敏度。
1.3变介质型电容传感器二．电容式传感器的应用1.触摸屏广泛应用于我们日常生活各个领域，如手机、媒体播放器、导航系统数码相机、PDA、游戏设备、显示器、电器控制、医疗设备等。