真空泵培训讲义基础知识说课材料
2024年真空泵培训课件(版)
真空泵培训课件(附件版)真空泵培训课件一、引言真空泵是一种广泛应用于各个领域的设备，其主要功能是抽取或压缩气体，使容器内形成真空状态。
为了更好地了解和使用真空泵，本课件将详细介绍真空泵的原理、分类、应用、操作方法及维护保养等内容。
二、真空泵的原理与分类1.真空泵原理真空泵的工作原理是通过机械或物理方法，将容器内的气体抽出或压缩，从而降低容器内的气压。
根据工作原理的不同，真空泵可分为两大类：容积式真空泵和速度式真空泵。
（1）容积式真空泵：通过改变泵腔的体积，使气体在泵腔内产生周期性的膨胀和压缩，从而达到抽气或压缩气体的目的。
常见的容积式真空泵有旋片式真空泵、滑阀式真空泵等。
（2）速度式真空泵：通过高速旋转的叶轮或叶片，使气体产生离心力，从而将气体甩出泵腔，达到抽气或压缩气体的目的。
常见的速度式真空泵有罗茨泵、涡旋泵等。
2.真空泵分类（1）旋片式真空泵：具有结构简单、体积小、重量轻、噪音低等特点，广泛应用于实验室、医疗、食品等领域。
（2）滑阀式真空泵：具有抽气速率高、抗水蒸气能力强等特点，适用于化工、制药等行业。
（3）罗茨泵：具有抽气速率高、无油压缩、维修方便等特点，适用于电子、半导体、真空镀膜等领域。
（4）涡旋泵：具有抽气速率高、结构紧凑、无油压缩等特点，适用于分析仪器、真空干燥等领域。
三、真空泵的应用1.实验室：用于真空过滤、真空干燥、真空蒸馏等实验操作。
2.医疗：用于真空采血、真空包装、真空敷料等。
3.食品：用于真空包装、真空冷却、真空干燥等。
4.化工：用于真空蒸馏、真空吸料、真空输送等。
5.电子：用于真空镀膜、真空焊接、真空封装等。
6.半导体：用于真空刻蚀、真空沉积、真空吸附等。
7.分析仪器：用于真空采样、真空分析等。
四、真空泵的操作方法1.开机操作（1）检查真空泵及附件是否完好，连接管道是否牢固。
（2）打开电源开关，启动真空泵。
（3）观察真空泵的运行状态，确保正常工作。
2.关机操作（1）关闭真空泵的电源开关。
真空泵培训资料
应用范围
适用于对噪音和振动要求 较高的场合，如食品、医 药等。
罗茨式真空泵
工作原理
通过两个8字形的转子在泵壳内相互 啮合旋转，将气体吸入、压缩并排出 。
结构特点
应用范围
广泛应用于真空冶炼、真空镀膜、真 空干燥等领域。
结构紧凑、运转平稳、噪音低、寿命 长。
各类真空泵性能比较
• 抽速与极限真空度：旋片式真空泵和滑阀式真空泵具有较高的抽速，而 罗茨式真空泵则具有更高的极限真空度。
故障诊断与排除
配备专业的故障诊断工具和技术人员 ，对系统故障进行及时诊断和排除。
冗余设计
在关键部位采用冗余设计，如备用真 空泵、备用电源等，提高系统容错能 力和可靠性。
CHAPTER 05
真空泵在工业生产中应用实 例
电子行业应用
半导体制造
在半导体制造过程中，真空泵用于提供洁净的真空环境，确保生产 过程的稳定性和产品质量的可靠性。
真空泵培训资料
目录
• 真空泵基本概念与原理 • 真空泵选型及使用注意事项 • 常见类型真空泵介绍与比较 • 真空系统设计与优化建议 • 真空泵在工业生产中应用实例 • 未来发展趋势和新技术展望
CHAPTER 01
真空泵基本概念与原理
真空泵定义及作用
真空泵定义
真空泵是一种利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而 获得真空的器件或设备。
显示器生产
真空泵在显示器生产线上发挥重要作用，如LCD、OLED等显示面 板的制造过程中，需要真空泵来实现薄膜沉积、真空干燥等关键工 艺。
电子元器件制造
真空泵在电子元器件的制造过程中也有广泛应用，如电容器、电阻器 等元器件的生产线上，真空泵用于实现真空浸渍、真空烘干等工艺。
真空泵培训资料
2023
PART 06
实验操作与技能培训
REPORTING
实验设备介绍及使用方法
真空泵的种类与工作原理
介绍不同类型的真空泵，如机械泵、扩散泵、分子泵等，以及它 们的工作原理和适用范围。
真空计的选择与使用
讲解各种真空计的原理、使用方法及注意事项，如热传导真空计、 电离真空计等。
真空系统的组成与搭建
介绍真空系统的基本组成，包括真空室、真空泵、真空计、阀门等 ，并演示如何搭建一个简单的真空系统。
实验操作流程演示
1 2
真空泵的启动与关闭
演示如何正确启动和关闭真空泵，以及注意事项 。
真空度的测量与记录
演示如何使用真空计测量真空度，并正确记录实 验数据。
3
真空系统的检漏与故障排除
演示如何对真空系统进行检漏，以及如何处理常 见的故障。
操作技能考核标准
真空泵操作技能
能够熟练掌握真空泵的启动、关闭及日常维护等 操作。
真空系统检漏与故障排除技能
能够熟练掌握真空系统的检漏方法，以及常见故 障的排除技巧。
ABCD
真空度测量技能
能够正确使用真空计测量真空度，并准确记录实 验数据。
安全意识与规范操作
在实验过程中，始终保持安全意识，遵守实验室 规章制度和操作规程。
结构组成
真空泵的结构组成也因类型而异。一般来说，机械真 空泵主要由气缸、活塞、阀门、曲轴箱等部件组成； 物理真空泵则包括磁体、电极、冷却系统等部件；化 学真空泵则有吸附剂或冷凝剂填充的吸附室或冷凝室 等部件。此外，各类真空泵还可能配备有密封装置、 润滑系统、控制系统等辅助部件。
2023
PART 02
2023
REPORTING
真空泵培训资料课件
调试与试运行
完成安装后进行调试和试运行 ，检查真空泵的性能参数是否
满足要求。
验收与交付
完成调试和试运行后，进行验 收并交付使用，同时提供相关
操作和维护培训。
真空泵安全与环保
04
真空泵的安全操作规程
启动前检查
确保真空泵的润滑油、冷却水 、密封液等充足，检查电源、
管道连接等是否正常。
启动操作
按照规定的顺序启动真空泵， 注意泵内气体排出情况，及时 调整。
漏油
可能是由于密封件老化、损坏或安装 不当等原因引起。应检查密封件，如 有需要应更换密封件，并确保安装正 确。
真空泵性能参数与
03
选型
真空泵的性能参数
抽气速率
表示真空泵在单位时间 内能抽走的空气流量， 是衡量真空泵性能的重
要参数。
极限真空度
指在一定条件下，真空 泵所能达到的最低压力 ，反映真空泵的抽气能
真空泵培训资料课件
汇报人：任老师 2023-12-30
目录
• 真空泵基础知识 • 真空泵操作与维护 • 真空泵性能参数与选型 • 真空泵安全与环保 • 真空泵案例分析
真空泵基础知识
01
真空泵的定义与分类
总结词
了解真空泵的定义和分类是掌握其工作原理和应用的基础。
详细描述
真空泵是一种能够将密闭容器中的气体抽出，使其内部形成 负压的装置。根据工作原理和应用的不同，真空泵有多种分 类，如干式螺杆真空泵、水环式真空泵、旋片式真空泵等。
总结词
了解真空泵的应用领域有助于更好地选择和使用适合特定需求的真空泵。
详细描述
真空泵广泛应用于多个领域，如化工、制药、食品、电子、环保等。在化工和制药领域，真空泵用于各种反应釜 的负压操作；在食品工业中，真空泵用于包装机械的负压吸附和物料输送；在电子工业中，真空泵用于制造和加 工过程中的气体抽除；在环保领域，真空泵用于废气处理和烟尘排放控制等。
真空泵培训课件
域。
02
真空泵结构与工作原理
真空泵主要部件介绍
进气口
进气口是真空泵的入 口，与大气相通，允 许气体进入泵内。
叶轮
叶轮是真空泵的核心 部件，它快速旋转， 将气体从进气口吸入 ，并排向排气口。
排气口
排气口是真空泵的出 口，将经过压缩的气 体排出泵外。
温度过高
可能是由于真空泵内部热量控制不当 、冷却系统故障等原因导致。应检查 真空泵的冷却系统，确保冷却效果良 好。
可能是由于轴承磨损、齿轮啮合不良 等原因导致。应检查轴承和齿轮的磨 损情况，及时更换磨损严重的部件。
预防性维护保养建议
建立定期维护保养制度
01
制定详细的维护保养计划，并按照计划进行维护保养。
定期更换易损件
如真空泵的密封件、轴承等易损件，应定期更换，以保证真空泵的 正常运行。
保持真空泵的清洁
定期清理真空泵内部的灰尘和杂质，防止对真空泵造成损害。
常见故障原因分析及排除方法
真空度不足
可能是由于真空泵内部泄漏、过滤器 堵塞等原因导致。应检查真空泵的密 封件和过滤器，及时更换损坏的部件 。
噪音过大
泵体
泵体是真空泵的支撑 结构，它支撑着叶轮 、轴承和密封件。
轴承和密封件
轴承用于支撑叶轮， 密封件用于防止气体 泄漏。
真空泵工作原理详解
01
02
03
04
吸气过程
当叶轮旋转时，叶片带动气体 运动，使气体从进气口进入泵
内。
压缩过程
叶轮将气体压缩，使其压力升 高。
排气管路
经过压缩的气体通过排气管路 排出泵外。
THANKS
谢谢您的观看
真空泵日常维护知识培训
降低压力到规定值
2) 与设备要求的流量相比，风机流量太 将多余气体放到大气中 大，因而压力增大 或降低鼓风机转速 7.电机超载 3) 进口过滤堵塞，出口管道障碍或堵塞 清除障碍物
(4) 转动部件相碰和磨擦(卡住)
立即停机，检查原因
(5) 油位太高 将油位调到正确位置 (6) 窄B型皮带过热，振动过大,皮带轮 检查皮带张力，换成大 过小 直径的皮带轮
真空泵知识学习
一.真空泵知识学习
1 2 真空泵的基础知识 工作原理及结构说明
3
4
故障分析及处理
日常维护及保养
一.真空泵基础知识
• 真空泵的工作目的: 排出气体，获得真空。 • 真空泵的分类方法： 利用获得真空的原理方法 或用途进行分类。
一.真空泵基础知识
一.真空泵基础知识
一.真空泵基础知识
二.水环真空泵工作原理及结构说明
2.1水环真空泵日常监控：
在运行中，应时常观察如下情况： 1.供电电压和轴功率（电流）是否正常,机组的轴承温升是否正常，轴承温升不超 过35℃，实测温度最高应不超过75℃。电机、减速机轴承温升按电机、减速机 安装使用说明书。 2.液环真空泵的供水量是否正常，如果是轴封外供水，检查轴封供水是否正常。 注意：液环真空泵的前轴承由一个圆柱滚子轴承承担径抽载荷，后轴承由两个圆锥 滚子轴承组合承担径向和轴向载荷，所以液环真空泵在运转时，后轴承体的 测量温度会高于前轴承体的温度。 3.适当压紧填料，松紧度可通过填料压盖的螺栓来调节。轴封处允许有滴漏。填料 长时间使用后不能进一步调整时，应更换新的填料，更换时，应移出旧填料， 并清洗填料函。装填料时，填料切口位置应错开90°。 注意:停车一段时间后,因填料干涸,如果盘车时发现转子比较难转动,需松开填料压 盖,然后向填料喷一些机油,则能够使转子容易转动。 4.当用水作工作液时，尽可能使用软水。若不能满足，要定期清除水垢。如停泵后， 叶轮因水垢卡死，应充以10%草酸浸泡约30分钟，或用6%的盐酸快速冲洗，然后用 清水冲洗干净。如水垢较厚，要作解体清除。 注意：不要让清洗酸液接触到皮肤或溅入眼睛，必须穿戴相关的防护用品。
真空知识及真空泵幻灯片培训
电子工业
在半导体制造、电子元器件生产等领域 中，用于提供洁净的真空环境。
医疗领域
在医疗设备如核磁共振成像仪中，用于 提供稳定的磁场环境。
05
真空泵操作与维护保养
操作规程及注意事项
操作前准备
检查真空泵及其附件是否完好，确保 电源接线正确，接地良好。
启动操作
按照启动顺序逐步开启真空泵，注意 观察启动过程中的异常情况。
缺点
需要定期更换吸附剂，且吸附剂再 生过程较为复杂。
应用范围
适用于抽吸腐蚀性气体、有毒气体 以及含少量固体颗粒的气体。
喷射式真空泵
01
工作原理
利用高速射流将气体或蒸汽带 入扩散器，通过扩散器的减速 增压作用实现气体的压缩和排
出。
02
优点
结构简单、紧凑，无运动部件 ，维护方便。
03
缺点
效率相对较低，需要消耗一定 的能量。
。
02
考虑真空泵的可靠性和维护 性。选择质量可靠、维护方 便的真空泵可以降低使用成
本和提高工作效率。
03
注意真空泵的噪音和振动是 否符合要求。噪音和振动过 大会影响工作环境和设备的 稳定性，因此需要选择噪音
和振动较小的真空泵。
04
05
典型案例分析
案例一
某电子厂使用旋片式真空泵进行电子元器件的干燥处理，由于抽速不足导致生产效率低下 。经过分析，选择了更大抽速的真空泵后，生产效率得到了显著提高。
优点
结构简单、工作可靠、维护方便。
缺点
对气体和蒸汽的抽吸能力有限，易受到 气体性质的影响。
应用范围
适用于抽吸干燥、无腐蚀性、不含固体 颗粒的气体。
吸附式真空泵
工作原理
真空泵培训讲义基础知识
3.1 概述3.1.1 真空的获得方法人们通常把能够从密闭容器中排出气体或使容器中的气体分子数目不断减少的设备称为真空获得设备或真空泵。
目前在真空技术中，采用各种不同的方法，已经能够获得和测量从大气压力105Pa到10-13Pa，宽达18个数量级的压力范围。
显然，只用一种真空泵，获得这样宽的低压空间的气体状态，是十分困难的。
在真空获得技术中，目前用以获得真空的技术方法有两种，一种是通过某此机构的运动把气体直接从密闭容器中排出；另一种是通过物理、化学等方法将气体分子吸附或冷凝在低温表面上。
利用这两种方法所制造的各种真空泵种类较多，分类方法各异，但是，最常用的方法还是按泵的工作原理或其结构特点加以分类。
这一点，我们将在下一节中介绍。
3.1.2 真空泵的分类按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体传输泵和气体捕集泵。
随着真空应用技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，因此选用不同类型真空泵组成的真空抽气机组进行抽气的情况较多。
为了方便起见，将这些泵按其工作原理或其结构特点进行一些具体的详细的分类是必要的。
现分述如下：3.1.2.1 气体传输泵气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出，借以达到抽气目的的真空泵，这种泵基本上有两种类型：1）变容真空泵变容真空泵是利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气过程的一种真空泵。
气体在排出前被压缩。
这种泵分为往复式及旋转式两种：⑴往复真空泵：是利用泵腔内活塞做往复运动，将气体吸入、压缩并排出。
因此，又称为活塞式真空泵。
⑵旋转真空泵：是利用泵腔内活塞做旋转运动，将气体吸入，压缩并排出。
旋转真空泵又有如下几种型式：①油封式真空泵：它是利用油类密封各运动部件之间的间隙，减少有害空间的一种旋转变容真空泵。
这种泵通常带有气镇装置，故又称气镇式真空泵。
按其结构特点分为如下五种型式。
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3.1 概述3.1.1 真空的获得方法人们通常把能够从密闭容器中排出气体或使容器中的气体分子数目不断减少的设备称为真空获得设备或真空泵。
目前在真空技术中，采用各种不同的方法，已经能够获得和测量从大气压力105Pa到10-13Pa，宽达18个数量级的压力范围。
显然，只用一种真空泵，获得这样宽的低压空间的气体状态，是十分困难的。
在真空获得技术中，目前用以获得真空的技术方法有两种，一种是通过某此机构的运动把气体直接从密闭容器中排出；另一种是通过物理、化学等方法将气体分子吸附或冷凝在低温表面上。
利用这两种方法所制造的各种真空泵种类较多，分类方法各异，但是，最常用的方法还是按泵的工作原理或其结构特点加以分类。
这一点，我们将在下一节中介绍。
3.1.2 真空泵的分类按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体传输泵和气体捕集泵。
随着真空应用技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，因此选用不同类型真空泵组成的真空抽气机组进行抽气的情况较多。
为了方便起见，将这些泵按其工作原理或其结构特点进行一些具体的详细的分类是必要的。
现分述如下：3.1.2.1 气体传输泵气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出，借以达到抽气目的的真空泵，这种泵基本上有两种类型：1）变容真空泵变容真空泵是利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气过程的一种真空泵。
气体在排出前被压缩。
这种泵分为往复式及旋转式两种：⑴往复真空泵：是利用泵腔内活塞做往复运动，将气体吸入、压缩并排出。
因此，又称为活塞式真空泵。
⑵旋转真空泵：是利用泵腔内活塞做旋转运动，将气体吸入，压缩并排出。
旋转真空泵又有如下几种型式：①油封式真空泵：它是利用油类密封各运动部件之间的间隙，减少有害空间的一种旋转变容真空泵。
这种泵通常带有气镇装置，故又称气镇式真空泵。
按其结构特点分为如下五种型式。
a)旋片式真空泵：转子以一定的偏心距装在泵壳内并与泵壳内表面的固定面靠近，在转子槽内装有两个（或两个以上）旋片，当转子旋转时旋片能沿其径向槽往复滑动且与泵壳内壁始终接触，此旋片随转子一起旋转，可将泵腔分成几个可变容积。
b）滑阀式真空泵：在偏心转子外部装有一个滑阀，转子旋转带动滑阀沿泵壳内壁滑动和滚动，滑阀上部的滑阀杆能在可摆动的滑阀导轨中滑动，而把泵腔分成两个可变容积。
c）定片式真空泵：在泵壳内装有一个与泵内表面靠近的偏心转子，泵壳上装有一个始终与转子表面接触的径向滑片，当转子旋转时，滑片能上、下滑动将泵腔分成两个可变容积。
d）余摆线式真空泵：在泵腔内偏心装有一个型线为余摆线的转子，它沿泵腔内壁转动并将泵腔分成两个可变容积。
e）多室旋片式真空泵：在一个泵壳内并联装有由同一个电动机驱动的多个独立工作室的旋片真空泵。
②干式真空泵：它是一种不用油类（或液体）密封的变容真空泵。
③液环式真空泵：带有多叶片的转子偏心装在泵壳内，当它旋转时，把液体（通常为水或油）抛向泵壳形成泵壳同心的液环，液环同转子叶片形成了容积周期变化的几个小容积，故亦称旋转变容真空泵。
④罗茨真空泵：泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子，转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。
它属于旋转变真空泵。
机械增压泵即为这种型式的真空泵。
2）动量传输泵这种泵是依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。
具体可分为下述几种类型。
⑴分子真空泵：它是利用高速旋转的转子把能量传输给气体分子，使之压缩、排气的一种真空泵。
它有如下几种型式：①牵引分子泵：气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量，被送到出口，因此，是一种动量传输泵。
②涡轮分子泵：泵内装有带槽的圆盘或带叶片的转子，它在定子圆盘（或定片）间旋转。
转子圆周的线速度很高。
这种泵通常在分子流状态下工作。
③复合分子泵：它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联组合起来的一种复合式分子真空泵。
⑵喷射真空泵：它是利用文丘里（Venturi）效应的压力降产生的高速射流把气体输送到出口的一种动量传输泵，适于在粘滞流和过渡流状态下工作。
这种泵又可详细地分成以下几种：①液体喷射真空泵：以液体（通常为水）为工作介质的喷射真空泵。
②气体喷射真空泵：以非可凝性气体作为工作介质的喷射真空泵。
③蒸气喷射真空泵：以蒸气（水、油或汞等蒸气）作为工作介质的喷射真空泵。
⑶扩散泵：以低压高速蒸气流（油或汞等蒸气）作为工作介质的喷射真空泵。
气体分子扩散到蒸气射流中，被送到出口。
在射流中气体分子密度始终是很低的，这种泵适于在分子流状态下工作。
可分为：①自净化扩散泵：泵液中易挥发的杂质经专门的机械输送到出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵。
②分馏式扩散泵：这种泵具有分馏装置，使蒸气压强较低的工作液蒸气进入高真空工作的喷嘴，而蒸气压强较高的工作液蒸气进入低真空工作的喷嘴，它是一种多级油扩散泵。
⑷扩散喷射泵：它是一种有扩散泵特性的单级或多级喷嘴与具有喷射真空泵特性的单级或多级喷嘴串联组成的一种动量传输泵。
油增压泵即属于这种型式。
⑸离子传输泵：它是将被电离的气体在电磁场或电场的作用下，输送到出口的一种动量传输泵。
3.1.2.2 气体捕集泵这种泵是一种使气体分子被吸附或凝结在泵的内表面上，从而减小了容器内的气体分子数目而达到抽气目的的真空泵，有以下几种型式。
1）吸附泵它主要依靠具有大表面的吸附剂（如多孔物质）的物理吸附作用来抽气的一种捕集式真空泵。
2）吸气剂泵它是一种利用吸气剂以化学结合方式捕获气体的真空泵。
吸气剂通常是以块状或沉积新鲜薄膜形式存在的金属或合金。
升华泵即属于这种型式。
3）吸气剂离子泵它是使被电离的气体通过电磁场或电场的作用吸附在有吸气材料的表面上，以达到抽气的目的。
它有如下几种型式。
⑴蒸发离子泵：泵内被电离的气体吸附在以间断或连续方式升华（或蒸发）而覆在泵内壁的吸气材料上，以实现抽气的一种真空泵。
⑵溅射离子泵：泵内被电离的气体吸附在由阴极连续溅射散出来的吸气材料上，以实现抽气目的的一种真空泵。
4）低温泵利用低温表面捕集气体的真空泵3.1.3 真空泵的性能参数及使用范围3.1.3.1 真空泵的性能参数1）真空泵的极限压强泵的极限压强单位是Pa，是指泵在入口处装有标准试验罩并按规定条件工作，在不引入气体正常工作的情况下，趋向稳定的最低压强。
2）真空泵的抽气速率泵的抽气速率单位是m3/s或l/s，是指泵装有标准试验罩，并按规定条件工作时，从试验罩流过的气体流量与在试验罩指定位置测得的平衡压强之比。
简称泵的抽速。
3）真空泵的抽气量真空泵的抽气量单位是Pa m3/s或Pa l/s。
是指泵入口的气体流量。
4）真空泵的起动压强真空泵的起动压强单位为Pa，它是指泵无损坏起动并有抽气作用时的压强。
5）泵的前级压强真空泵的前级压强单位是Pa，它是指排气压强低于一个大气压的真空泵的出口压强。
6）真空泵的最大前级压强真空泵口最大前级压强单位是Pa，它是指超过了能使泵损坏的前级压强。
7）真空泵的最大工作压强真空泵的最大工作压强单位是Pa，它是指对应最大抽气量的入口压强。
在此压强下，泵能连续工作而不恶化或损坏。
8）压缩比压缩比是指泵对给定气体的出口压强与入口压强之比。
9）何氏系数泵抽气通道面积上的实际抽速与该处按分子泻流计算的理论抽速之比。
10）抽速系数泵的实际抽速与泵入口处按分子泻流计算的理论抽速之比。
11）返流率泵的返流率单位是g/cm2.s。
它是指泵按规定条件工作时，通过泵入口单位面积的泵流质量流率。
12）水蒸气允许量水蒸气的允许量单位是kg/h，它是指泵在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时能抽除的水蒸气质量流量。
13）最大允许水蒸气入口压强最大允许水蒸气入口压强单位是Pa 。
它是指在正常环境条件下，气镇泵在连续工作时所能抽除的水蒸气的最高入口压强。
3.1.3.2 真空泵的使用范围由于各种真空泵所具有的工作压强范围及起动压强均有所不同，因此在选用真空泵时必须满足这些要求。
表3-1给出了各种常用真空泵的工作压强范围及泵的起动压强值，以供参用。
表3-1 常用真空泵的工作压强范围及起动压强真空泵种类工作压强范围（Pa）起动压强（Pa）活塞式真空泵旋片式真空泵水环式真空泵罗茨真空泵涡轮分子泵水蒸气喷射泵油扩散泵油蒸气喷射泵分子筛吸附泵溅射离子泵钛升华泵锆铝吸气剂泵低温泵1×105—1.3×1021×105—6.7×10-11×105—2.7×1031.3×103—1.31.3—1.3×10-51×105—1.3×10-11.3×10-2—1.3×10-71.3×10—1.3×10-21×105—1.3×10-11.3×10-3—1.3×10-91.3×10-2—1.3×10-91.3×10—1.3×10-111.3—1.3×10-11 1×1051×1051×1051.3×1031.31×1051.3×10<1.3×1051×1056.7×10-11.3×10-21.3×101.3—1.3×10-13.1.4 真空泵在真空系统中所承担的工作任务由于各种真空泵的性能除均能满足对容器进行抽真空的共同点之外，尚具有不同之处。
因此在选用时必须明确泵在真空系统中所承担的工作任务是十分重要的，泵在各种不同工作领域中所起的作用归纳起来主要有如下几个方面1）在系统中做主泵所谓主泵就是对真空系统被抽容器直接进行抽真空，以获得满足工艺要求所需真空度的真空泵。
2）粗抽泵粗抽泵是指从大气压开始降低真空系统压强达到另一抽气系统可以开始工作的真空泵。
3）前级泵前级泵是指用于使另一个泵的前级压强维持在其最高许可的前级压强以下的真空泵。
4）维持泵维持泵是指当真空系统抽气很小时，不能有效的利用主要前级泵。
为此，在真空系统中另配一种抽气速度较小的辅助前级泵来维持主泵的正常工作或维持已抽空的容器所需的低压的真空泵。
5）粗真空泵或低真空泵粗、低真空泵是指从大气开始，降低被抽容器的压强后工作在低真空或粗真空压强范围内的真空泵。
6）高真空泵高真空泵是指在高真空范围工作的真空泵。
7）超高真空泵超高真空泵是指在超高真空范围工作的真空泵。
8）增压泵增压泵通常指工作在低真空泵和高真空泵之间，用以提高抽气系统在中间压强范围的抽气量或降低前级泵抽气速率要求的真空泵。