扫描电镜操作流程
扫描电镜操作规程
扫描电镜操作规程扫描电镜操作规程一、开机（电源开关和准备开关均为打开状态）1、开水(系统不报警方可)；2、开总电源；3、电气柜后面开关打开，将自动/手动（AUTO/MAN）开关拔到自动（AUTO）的位置，此时电炉进行加热；4、抽真空30分钟后，断开准备开关；5、开系统软件；6。
、打开主机前面面板上的电气柜开关（CONSOLE POWER），抽真空10分钟。
二、准备观测图像1、打开V1阀，此时镜筒真空已准备好，用左手延径水平方向拉开V1阀，阀杆下面的弹片将V1阀固定在打开位置；2、加高压（30KV）导电性不好的产品（20-25KV），加高压时最好按着每步的速度逐步增加，如果长按按钮，高压会连续快速增加，不容易控制到要求的数值；3、调节对比度和亮度：①调节对比度，使图像上出现一些噪声为最佳，一般情况下在60左右；②调节图像亮度，使屏幕显示的灰度合适，一般情况下，相应的数字参数值为0-20左右；4、加灯丝：顺时针慢慢旋转灯丝加热旋钮，直至发射束流饱和，灯丝加热旋钮指示正常在6-7之间，调节偏压束流为100uA左右；5、机械对中：每次换灯丝后需旋转镜筒头上的三个螺钉，使图像显示到最清楚的点；6、物镜光阑对中（合轴）：①选区，并挑选图像上的一个特征点；②选择放大倍数1000-2000范围；③反复调节粗调，使图像聚焦至不聚焦往反进行，观察图像的移动；④调节物镜光阑的两个螺钮，使图像不发生位移或图像移动最小为止；7、像散消除：选择“选区”位置，从放大倍数1000倍开始消像散，增加到欲观察的放大倍数下再次消像散直至图像没有拉长现象；8、拍照、保存。
三、系统停机1、关闭加热灯丝：逆时针旋转灯丝加热旋钮到底，旋钮标记指示在“ON”的位置，束流显示的束流为0UA；2、将对比度降至最低，使其数字参数值为0，关闭高压，使其数字参数值为0；3、关闭V1阀：用左手将V1阀阀杆下面的弹片沿上按在阀杆上，用手掌径向水平推V1阀，当V1阀完全推到底后，再用力推一下V1阀的阀杆，确保V1阀完全关闭；4、关闭主机面板上的电气柜开关，打开准备开关，将主机后的开关自动/手动(AUTO)/(MAN)打到手动(MAN)的位置，冷却电炉30分钟。
扫描电镜使用说明书
扫描电镜使用说明书一、产品概述扫描电镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种高分辨率的显微镜，能够通过扫描样品表面并检测扫描电子束的反射电子，从而获取样品的形貌和元素成分信息。
本说明书将详细介绍扫描电镜的使用方法和注意事项。
二、安全操作1. 在使用扫描电镜之前，请确保机器的电源已经正确接入地线，避免触电事故的发生。
2. 在打开扫描电镜之前，先检查样品台和操作盖是否已经安装好并正确固定。
3. 使用扫描电镜时，应该配戴好相关的防护眼镜和手套，确保个人安全。
4. 禁止将未经处理的有毒或易燃物质放入扫描电镜中进行观察。
三、仪器操作流程1. 打开电源开关，等待仪器自检完成，并确保控制面板上的指示灯正常。
2. 使用适当的工具调整样品台的位置和角度，使样品处于扫描电子束正下方。
3. 将待观察的样品放置到样品台上，并使用夹具或胶带固定，避免因振动而影响图像质量。
4. 根据样品特性和需要，选择合适的放大倍数和扫描模式，并进行相关设置。
5. 确保样品台和探针头之间的距离适当，并调整探针电子的聚焦和对准。
6. 点击开始扫描按钮，此时电子束将开始扫描样品表面，并生成相应的图像。
7. 观察并分析样品表面的形貌，使用相关软件进行图像处理和测量。
8. 在观察结束后，关闭电源开关，并进行必要的清洁和维护。
四、注意事项1. 在操作过程中，应该避免触摸样品表面，以免影响图像质量。
2. 在调整参数时，应该谨慎操作，避免产生误操作，导致损坏仪器或样品。
3. 镜头和样品台需要保持干净，可使用专门的清洁剂和软布进行清洁。
4. 扫描电镜不适合长时间连续工作，应该注意适当间隔，避免过热或损坏。
5. 扫描电镜需要定期进行保养和维护，以保证其正常工作。
6. 使用扫描电镜时应该有足够的耐心和耐心，避免急躁操作和粗心大意。
五、故障排除1. 若扫描电镜出现异常现象，如图像模糊、偏移等，可先通过重新校准参数来尝试解决问题。
SEM扫描电镜的使用流程
SEM扫描电镜的使用流程1. 准备工作在使用SEM扫描电镜之前，需要进行一些准备工作，以确保仪器能够正常运行并获取高质量的扫描电镜图像。
•确保SEM仪器的供电和连接正常。
检查电源线和连接线是否完好，并确保适配器与电源插座连接良好。
•校准仪器。
使用专用的校准标样对扫描电镜进行校准，以确保电子束的准确聚焦和定位。
•检查样品台的清洁度。
清除可能影响电子束的尘埃和污垢，以避免对图像质量的影响。
•准备好样品。
根据实验需求，选择合适的样品，并进行必要的样品制备，如表面涂覆金属或导电剂。
2. 启动仪器在准备工作完成后，可以启动SEM扫描电镜。
•打开SEM软件。
在计算机上打开SEM软件，并确保与扫描电镜的连接正常。
•打开仪器电源。
按照SEM仪器的操作手册上的指示，打开扫描电镜的电源。
•等待仪器启动。
SEM仪器需要一段时间进行启动和自检过程，等待仪器完全启动并进入工作状态。
3. 设置实验参数在SEM扫描电镜启动后，需要设置一些实验参数，以获得所需的图像。
•选择加速电压。
根据样品的性质和所需分辨率，选择合适的加速电压。
较低的加速电压适合观察表面形貌，较高的加速电压适合观察内部结构。
•确定扫描速度。
根据样品的特点和要求，选择合适的扫描速度，较高的扫描速度可快速获得图像，较低的扫描速度可获得更高的分辨率。
•设置探针电流。
根据样品的导电性，调整探针电流。
较高的探针电流适用于导电样品，较低的探针电流适用于非导电样品。
•设置探头聚焦。
通过调整探头聚焦参数，确保电子束的聚焦和定位良好，获得清晰的图像。
4. 放置样品并调整在设置好实验参数后，需要放置样品并调整到合适的位置。
•将样品放置在样品台上。
小样品可以直接放置在样品台上，大样品可以使用夹具固定在样品台上，确保样品与电子束的距离适当。
•调整样品位置。
使用显微镜调节样品的位置，使其处于电子束的入射区域，以便获取清晰的图像。
•调整对焦和亮度。
通过调节对焦和亮度参数，确保所观察的区域清晰可见，并且亮度适中。
扫描电镜操作手册
扫描电镜操作手册扫描电镜操作手册一、目的本操作手册旨在为使用扫描电镜（Scanning Electron Microscope，简称SEM）的用户提供操作步骤和指南，以确保仪器的正确使用和延长其使用寿命。
二、操作步骤1、准备样品：根据SEM的要求，准备需要观察的样品。
确保样品具有足够的稳定性和导电性。
2、打开仪器：按顺序打开SEM的电源开关，并确保仪器稳定运行。
3、选择工作模式：根据样品的特性选择适当的工作模式（如高分辨率、低分辨率等）。
4、调整工作参数：根据需要，手动设置电子束加速电压、扫描速率、扫描分辨率等参数。
5、安装样品：将样品固定在样品台上，确保其稳定不动。
6、聚焦和校准：通过操作台面上的按钮或软件界面，调整电子束的聚焦位置和校准参数，确保图像的清晰度和准确性。
7、观察和记录：启动扫描过程，观察样品的微观结构，并使用计算机软件记录观察到的图像。
8、调整和优化：根据需要，对扫描参数进行调整和优化，以获得更好的图像质量。
9、关闭仪器：在完成观察后，按顺序关闭SEM的电源开关，并确保仪器完全停止运行。
三、注意事项1、在操作SEM之前，请务必阅读并了解仪器的操作手册和安全规范。
2、确保SEM的工作环境干燥、清洁，并避免强磁场、振动的干扰。
3、在安装和移动样品时，请避免与仪器碰撞，以免损坏设备。
4、在操作过程中，请勿将身体任何部位置于仪器内部，以防意外伤害。
5、若遇到任何操作问题，请及时联系专业人员进行处理。
四、维护与保养为了保持SEM的性能和延长其使用寿命，建议定期进行以下维护与保养工作：1、清洁真空系统：定期清洗或更换真空系统的组件，以确保仪器在高真空状态下运行。
2、检查电子枪：定期检查电子枪及其组件，确保其正常工作。
如需要，请更换老化的组件。
3、校准和调整：定期进行仪器的校准和调整，以保证图像的准确性和清晰度。
4、更换消耗品：根据需要，更换老化的真空泵油、过滤器等消耗品。
5、软件更新：定期更新SEM的软件系统，以确保其兼容性和稳定性。
扫描电子显微镜的操作步骤和注意事项
扫描电子显微镜的操作步骤和注意事项扫描电子显微镜的操作步骤与注意事项一、样品制备将分散好的样品滴于铜片上，干燥后将载有样品的铜片粘在样品座上的导电胶带上（对于大颗粒样品可直接将样品粘在导电胶带上）。
对于导电性不好的样品必须蒸镀导电层，通常为蒸金：将样品座置于蒸金室中，合上盖子，打开通气阀门，对蒸金室进行抽真空。
选择好适当的蒸金时间，达到真空度定好时间后加电压并开始计时，保持电流值，时间到后关闭电压，关闭仪器。
取出样品。
（注意：打开蒸金室前必须先关闭通气阀门，以防液体倒流。
）二、扫描电镜的操作1.安装样品1) 按“Vent”直至灯闪，对样品交换室放氮气，直至灯亮；2) 松开样品交换室锁扣，打开样品交换室，取下原有的样品台，将已固定好样品的样品台，放到送样杆末端的卡抓内（注意：样品高度不能超过样品台高度，并且样品台下面的螺丝不能超过样品台下部凹槽的平面）；3) 关闭样品交换室门，扣好锁扣；4) 按“EVAC”按钮，开始抽真空，“EVAC”闪烁，待真空达到一定程度，“EVAC”点亮；5) 将送样杆放下至水平，向前轻推至送样杆完全进入样品室，无法再推动为止，确认“Hold”灯点亮，将送样杆向后轻轻拉回直至末端台阶露出导板外将送样杆竖起卡好。
（注意：推拉送样杆时用力必须沿送样杆轴线方向，以防损坏送样杆）2.试样的观察（注意：软件控制面板上的背散射按钮千万不能点，以防损坏仪器）1) 观察样品室的真空“PVG”值，当真空达到9.0×10-5Pa时，打开“Maintenance”，加高压5kv，软件上扫描的发射电流为10μA，工作距离“WD”为8mm，扫描模式为“Lei”（注意：为减少干扰，有磁性样品时，工作距离一般为15mm左右）；2) 操作键盘上按“Low Mag”、“Quick View”，将放大倍率调至最低，点击“Stage Map”，对样品进行标记，按顺序对样品进行观察；3) 取消“Low Mag”，看图像是否清楚，不清楚则调节聚焦旋钮，直至图像清楚，再旋转放大倍率旋钮，聚焦图像，直至图像清楚，再放大……，直到放大到所需要的图；4) 聚焦到图像的边界一致，如果边界清晰，说明图像已选好，如果边界模糊，调节操作键盘上的“X、Y”两个消像散旋钮，直至图像边界清晰，如果图像太亮或太暗，可以调节对比度和亮度，旋钮分别为“Contrast”和“Brightness”，也可以按“ACB”按钮，自动调整图像的亮度和对比度；5) 按“Fine View”键，进行慢扫描，同时按“Freeze”键，锁定扫描图像；6) 扫描完图像后，打开软件上的“Save”窗口，按“Save”键，填好图像名称，选择图像保存格式，然后确定，保存图像；7) 按“Freeze”解除锁定后，继续进行样品下一个部位或者下一个样品的观察。
扫描电镜基本操作
扫描电镜基本操作扫描电子显微镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种高分辨率的显微镜，可以对样品表面进行扫描，获得高清晰度、高放大倍数的图像。
下面将介绍扫描电镜的基本操作流程。
1.准备工作：a.打开电镜室门，确保电镜室的温度和湿度处于适宜范围内。
b.穿戴好实验室所需的个人防护装备，如手套、护目镜和实验服等。
c.打开电镜主机的电源，等待电镜系统启动完成。
2.样品制备：a.选择适当的样品，并将其切割成小块，大小约为2-5毫米。
b.将样品固定在样品架上，并使用导电胶固定好。
c.将样品架放入样品台的样品仓中，并调整好样品的位置。
3.调节参数：a. 调节电子束对准仪（Electron Beam Alignment）：使用电子束对准仪对电子束进行调节，使其准直，并使束斑圆形对称。
b.调节电镜放大倍数：根据样品的大小和需要的分辨率，选择合适的放大倍数。
c. 调节工作距离（Working Distance）：调节样品与电子枪的距离，以获得最清晰的图像。
4.图像获取：a. 打开电子枪（Electron Gun）和电子镜（Objective Lens），调节电子束的亮度和对比度，使图像清晰可见。
b.调节扫描线圈和透镜电流，根据需要调整图像的聚焦和深度。
c.使用电子束扫描样品表面，通过检测电子的散射信号，生成图像。
d.调整扫描速率和扫描模式，以获得更多的图像细节。
5.图像处理：a.将图像转移到计算机上，进行存储和分析。
b.使用图像处理软件对图像进行增强、增加对比度、调整亮度等操作，以改善图像质量。
c.使用测量工具对图像中的尺寸、表面形貌等进行检测和分析。
6.清洁和保养：a.使用真空泵或气体吹枪等清理系统内的灰尘和杂质，以保持显微镜的清洁。
b.对电子枪和电子镜等关键部件进行定期维护和清洁，以保证其正常运行和寿命。
以上是扫描电子显微镜的基本操作流程。
在实际操作中，还需要根据具体的样品和要求进行一些细微的调整和处理。
扫描电镜操作说明书
扫描电镜操作说明书一、准备工作1.1 准备扫描电镜操作所需的材料和设备，包括扫描电镜主机、计算机、样品支架、镊子、电镜屏幕清洁布等。
1.2 确保扫描电镜主机已接通电源，并处于待机状态。
1.3 打开计算机，并确保与扫描电镜主机连接正常。
二、样品处理2.1 确保样品已按照预定的方法进行制备，并处理掉可能对扫描电镜操作产生干扰的杂质。
2.2 将样品放置在样品支架上，并通过镊子轻轻固定。
三、开始扫描3.1 打开扫描电镜软件，并在计算机上进行相应的设置。
3.2 将样品支架插入扫描电镜主机，确保插入深度适当。
3.3 根据样品特性和所需观察的区域，选择适当的扫描电镜模式和参数。
3.4 等待扫描电镜主机进行自检，确保操作正常。
四、调整参数4.1 通过软件界面调整所需观察的放大倍数。
4.2 调整电子束的加速电压和亮度，以获得清晰的图像。
4.3 根据样品的导电性和形态，选择合适的工作模式和探针电流。
五、观察与记录5.1 在电镜屏幕上观察样品表面的图像。
5.2 根据需要，可以通过扫描电镜软件对图像进行操作，如调整对比度、亮度、灰度等。
5.3 如需记录图像，可以使用截屏工具保存图像到计算机中。
同时，应对图像进行必要的标注和注释。
六、操作注意事项6.1 在进行扫描电镜操作时，要小心谨慎，避免对设备和样品造成损坏。
6.2 避免触摸或碰撞扫描电镜主机，以免影响其正常工作。
6.3 在更换样品或进行其他操作前，应先关闭扫描电镜软件和电镜主机，并断开与计算机的连接。
七、操作结束7.1 在使用完扫描电镜后，将样品从样品支架上取下，并妥善保存。
7.2 关闭扫描电镜软件和电镜主机，并断开与计算机的连接。
7.3 清洁电镜屏幕和设备表面，确保无灰尘、指纹等污染。
7.4 检查设备和周围环境，确保没留下个人物品和其他杂物。
以上为扫描电镜操作说明书的内容，仅供参考。
实际操作时，请遵循设备和软件的使用说明，并严格遵守相关安全规定。
扫描电镜的使用流程解
扫描电镜的使用流程解析1. 简介扫描电镜（Scanning Electron Microscope，SEM）是一种利用电子束来扫描样品表面并对电子束与样品间的相互作用进行分析的仪器。
它能提供高分辨率的表面图像，并对样品的形貌和组织结构进行详细研究。
本文将介绍扫描电镜的使用流程，帮助用户了解如何正确操作扫描电镜。
2. 准备工作在使用扫描电镜之前，需要进行以下准备工作：•清洁工作台和样品架，确保无尘。
•检查电镜是否处于正常工作状态，例如电源是否连接、真空泵是否正常工作等。
•准备好待观察的样品，并确保其表面干净、平整。
3. 样品装载使用扫描电镜之前，需要将待观察的样品进行装载。
以下是样品装载的具体步骤：1.将待观察的样品放置在样品架上。
2.将样品架插入扫描电镜的样品台中。
3.确保样品架与样品台连接牢固，以避免在扫描过程中发生移动或倾斜。
注意：在进行样品装载时，要避免直接用手接触待观察的样品，以防留下指纹或污染样品表面。
4. 真空操作在样品装载完成后，需要进行真空操作，以确保扫描电镜内部处于高真空状态。
以下是真空操作的步骤：1.打开真空泵，启动真空泵工作。
2.等待一段时间，直到真空泵将电镜内部抽成高真空状态。
3.监测真空度，确保真空度达到所需的工作要求。
注意：在真空操作期间，避免在电镜周围产生灰尘或其他粉尘，以免影响观察结果。
5. 参数设置在进行实际观察之前，需要设置扫描电镜的参数。
以下是常用的参数设置：•加速电压：根据样品性质和观察要求设置合适的加速电压。
•探针电流：根据样品性质和观察要求设置合适的探针电流。
•焦距：根据样品距离和观察要求设置合适的焦距。
•扫描速度：根据样品的细节和观察要求设置合适的扫描速度。
6. 图像观察设置参数完成后，即可进行实际的图像观察。
以下是图像观察的步骤：1.通过调节焦距和放大倍数，找到合适的观察尺寸和焦距。
2.调节扫描速度和图像对比度，以获得清晰的图像。
3.使用不同的检测方式（如二次电子检测和反射电子检测），观察样品的不同表面形貌。
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SIRION场发射扫描电镜操作规程
一.开机
1.首先检查循环水系统,压力显示约4.5，温度显示约11-18度,为正常范围。
2.检查不间断电源的”LINE”，”INV.”指示灯亮，上部6只灯仅一只亮是为正常。
3.开电镜电脑(白色机箱)的电源，通过密码进入WINDOWS后，先启动”SCS”，然后启
动”Microscope Control”。
二.操作过程
1.有关样品的要求：
需用电镜观测的样品，必须干燥，无挥发性，有导电性，能与样品台牢固粘结（块状试样的下底部需平整，利于粘结）。
粉末样品用导电胶带粘结后，需敲击检查，或用吹风机吹去粘结不牢固的粉末。
含有机成份的样品（包括聚合物等），需经过干燥处理。
2.交换样品特别注意点：
该电镜的样品台是4轴马达驱动的精密机械，定位精度1微米，同时也可以手动旋钮驱动。
样品室中暴露着镜头极靴，二次电子探头，低压背散射电子探头，能谱探头，红外相机，涡轮分子泵等电镜的核心部件，样品台驱动过程中存在着碰撞的可能性，交换样品和驱动样品台时要特别小心。
比如样品室门应轻拉轻推；样品要固定牢固，防止掉到镜筒里去；样品高度要合适，Z轴移动样品或手动倾斜样品前，用CCD图象检查样品位置等等。
3.换样品过程：换样品前必须先检查加速电压是否已经关闭，条件符合，可按放气键（“VENT”）。
交换样品台操作必须戴干净手套。
固定好样品台后（固紧内六角螺丝），必须用专用卡尺测量样品高度，不允许超过规定高度。
推进样品室，左手按住样品室门上手柄，右手点击抽真空软件键”PUMP”。
整个换样品过程中，不要手动调节样品台位置（倾动除外）。
4.关高压过程：按下软件键“xx kV”，稍等待，听到V6阀的动作声音后，键颜色由黄色变灰色,表示高压已正式关闭。
5.开高压过程：样品室抽真空到达5e -5 mBar以上，可以开高压，观察图象。
开高压：检查“Detector”菜单项中的“SE”或“TLD”被选中，按“HT”键，数秒后按软键“xx kV”，应听到V6阀开启的声音，等待键颜色变黄色。
图象出来后，同时会弹出一个窗口，提示首先必须聚焦图象，然后按“OK”，使电脑能测出实际的样品高度，次序不可颠倒。
在数千倍聚焦完成后（In Focus），按“OK”。
6.聚焦图象：按住鼠标右键，左或右向移动鼠标来聚焦图象。
7.消像散：按住左Shift键，按住鼠标右键移动，消除像散。
8.拍照：按“F2”键，电镜开始单次扫描。
扫描结束，过数秒，冻结键（雪花图形）自动激活（变黄色）。
这时可用“InOut”菜单中的Image保存图象。
9.拷贝图象：须用新光盘或未开封的新软盘拷贝。
三.关机
1.先关高压，放气后，取出样品后，重抽真空，然后关“Microscope Control”，再关WINDOWS。
电镜的电脑是控制整台电镜的，电脑的CMOS管理，显示卡及驱动程序等与普通电脑不同，请不要当作普通电脑来使用。
禁止修改电脑的任何设置，禁止安装任何软件。
禁止使用USB
接口（包括优盘）。
使用光驱或软驱等需经电镜管理人员检查同意，严防病毒感染。
电脑的许多指令要驱动电镜中的电气部件或机械部件的一系列动作，时间可能较长，千万不要连续点击或按键，否则可能引起电脑死机。
文件名不要超过8位，要以字母开头。
2.样品高度问题
同一次装入电镜的样品，高度差不要超过1.5mm（包括同一块样品的表面高度也是如此）。
对镶嵌块，断面样品等高度大的样品，千万不要对样品台平面聚焦，只能对样品上表面聚焦。