激光干涉仪报告.
EAST三道HCN激光干涉仪的研制的开题报告
EAST三道HCN激光干涉仪的研制的开题报告一、研究背景在现代光学测量技术中，激光干涉技术具有高精度、高灵敏度、非接触等优点，被广泛应用于制造业、航空航天、地震观测等领域。
其中，HCN（Heterodyne laser interferometer，异频激光干涉仪）作为一种全息式干涉仪，可以实现超高精度测量，常用于半导体晶圆的制造、精密机床的调试等领域。
然而，国内目前HCN激光干涉仪的研制仍较为薄弱，需要进一步提高其精度和稳定性。
二、研究内容本研究旨在研制一套高精度、高稳定性的三道HCN激光干涉仪，包括以下内容：1.设计干涉仪光路结构：通过光路优化设计，提高干涉仪的灵敏度和空间分辨率。
2.优化激光光源：研究合适的激光光源，提高干涉仪的稳定性和重复性。
3.改进控制系统：升级控制算法，提高干涉仪的跟踪速度和响应能力，减小干扰和误差。
4.测量性能测试：对研制的干涉仪进行多项性能测试，包括线性度、稳定性、普适性等指标的考察。
三、研究意义本研究的实际应用价值主要表现在以下几个方面：1.提高国内三道HCN激光干涉仪的研究和应用水平，使其能够优质、高效地服务于制造业、航空航天、地震观测等领域。
2.优化激光干涉仪光路和控制系统设计，提高仿真和测试的准确性和可靠性。
3.积极探索新型高精度、高稳定性的光学测量技术，推动现代光学测量技术的研究和应用进程。
四、研究方法本研究采用理论分析、实验仿真和实际测试相结合的方法。
1.理论分析：通过数学建模和理论分析，对HCN激光干涉仪的光路、激光光源、控制系统等关键部分进行分析和优化设计，确保硬件设计的科学性和可行性。
2.实验仿真：使用MATLAB等软件进行仿真分析，评估干涉仪在不同参数和条件下的性能和稳定性。
3.实际测试：对研制的三道HCN激光干涉仪进行多项测量和真实环境测试，考察其线性度、测量精度、稳定性、重复性等指标，提出改进措施。
五、预期结果预期本研究将研制出一套高精度、高稳定性的三道HCN激光干涉仪，主要成果包括：1.光学、机械设计方案，包括光路、激光光源、控制系统等硬件设计方案。
激光干涉测长仪报告
贵州民族学院《激光原理及应用》《激光干涉测长仪》课程设计学院计算机与信息工程学院专业09 光信息班级09 光信息姓名张家文许毅强学号200907040054 200907040047指导教师葛一凡老师激光干涉测长仪摘要：本系统利用激光优异的单色性、方向性和高度相干性，光电传感器，移向电路，仪用放大整形，细分辨向电路，单片机控制计数等完成了通过激光干涉来测量物体的长度。
关键词：激光干涉光电传感器移向细分辨向计数目录一激光干涉仪基本原理及系统组成 (4)1 激光干涉仪基本原理 (4)2 激光干涉仪系统组成 (5)二信号处理部分系统设计 (6)1 第一种方案 (6)2 第二种方案 (11)三测试结果 (19)四参考文献 (22)系统程序及系统原理图 (22)一 激光干涉仪基本原理及系统组成1 激光干涉测长仪的基本原理激光干涉测长的基本光路是一个迈克尔逊干涉仪（如图1）,用干涉条纹来反映被测量的信息。
干涉条纹是接收面上两路光程差相同的点连成的轨迹。
激光器发出的激光束到达半透半反射镜P 后被分成两束，当两束光的光程相差激光半波长的偶数倍时，它们相互加强形成亮条纹；当两束光的光程相差半波长的奇数倍时，它们相互抵消形成暗条纹。
两束光的光程差可以表示为j MJ jNi ii l nln ∑∑==-=∆11(1)式中j i n n ,分别为干涉仪两支光路的介质折射率；j i l l ,分别为干涉仪两支光路的几何路程。
将被测物与其中一支光路联系起来，使反光镜M 2沿光束2方向移动，每移动半波长的长度，光束2的光程就改变了一个波长，于是干涉条纹就产生一个周期的明、暗变化。
通过对干涉条纹变化的测量就可以得到被测长度。
P光束1单模稳频He-Ne 激光器光电计数器显示记录装置待测物体激光束光束2光电显微镜迈克尔逊干涉仪M 1M 2可移动平台图1 激光干涉测长仪的原理图被测长度L 与干涉条纹变化的次数N 和干涉仪所用光源波长λ之间的关系是2λNL = （2）式（2）是激光干涉测长的基本测量方程。
激光干涉仪实验报告
基于激光干涉仪的CA6140机床精度测量实验学院：姓名：学号：成绩：一、实验目的与要求1.了解雷尼绍XL-80激光干涉仪的工作原理；2.掌握雷尼绍XL-80激光干涉仪的的使用方法；3.掌握普通机床Z轴定位精度、重复定位精度的测量方法；4.掌握普通机床定位误差数据的处理方法。
二、实验仪器与设备1.雷尼绍XL-80激光干涉仪一台；2.CA6140机床一台。
三、实验原理图1 线性定位精度测量原理图来自XL-80激光头的光束进入线性干涉镜，在此光束被分成两束。
一束光（称为参考光束）被引向装在分光镜上的反射镜，另一束光（测量光束）则穿过分光镜到达第二个反射镜。
然后，两束光都被反射回分光镜，在此它们重新组合并被导回到激光头，激光头内的探测器监测两束光之间的干涉。
一般在线性测量过程中，一个光学组件保持静止不动，另一个光学组件沿线性轴移动。
通过监测测量光束和参考光束之间的光路差异的变化，产生定位精度测量值（注意，它是两个光学组件之间的差异测量值，与XL激光头的位置无关）。
此测量值可以与理想位置比较，获得机床的精度误差。
四、实验步骤图2 定位精度测量示意图1.光路搭建（1）开动机床，在保证激光不被机床碰到的情况下，激光干涉仪应离机床越近越好（便于对光）。
（2）放好支架，大体判断镜子所需架设的高度，然后调整支架至合格位置。
各个活动部件都要锁死。
（3）将激光干涉仪安装至支架，激光干涉仪下有锁扣，扣死。
使用水平仪，通过调整支架使激光干涉仪达到水平状态。
（4）将激光干涉仪各个微调螺母调制中间位置（便于以后微调）。
（5）连接激光干涉仪电源、数据线、数据收集器、传感器、电脑等，打开激光干涉仪电源使激光干涉仪预热，等激光指示灯出现绿色后，表明激光已稳定（正常需5分钟）。
（6）架镜子：遵循干涉镜不动，反射镜随机床动a.将机床擦拭干净并将机床开到合适位置，被测量轴工作台需要开到极限位置（最靠近激光仪的一侧）。
b.先架干涉镜，将干涉镜用安装杆、磁性表座固定在机床不可运动部件或其它固定部件上。
激光干涉仪报告教材
机械工程综合实践实验报告课程名称机械工程综合实践专业精密工程指导教师彭小强小组成员刘强14033006谌贵阳吴志明实验日期2012.4.2—2011.6.25国防科学技术大学机电工程与自动化学院目录1激光干涉仪1.1激光干涉仪介绍1.2激光干涉仪原理2 激光干涉仪测量机床的直线度2.1实验器材以及平台的搭建2.2激光干涉仪的调试2.3直线度的测量3 激光干涉仪测量机床的重复定位精度3.1实验器材以及平台的搭建3.2激光干涉仪的调试3.3重复定位精度的测量4 实验分析与总结目录一、实验目的与任务 (4)二、实验内容与要求 (4)三、实验条件与设备 (4)四．实验原理 (5)1.定位精度测量 (5)2.直线度测量 (6)五、实验步骤 (7)1.设定激光测量系统 (7)2.调整激光光束，使之与机器运动轴准直。
(7)3.数据记录与数据处理 (8)六、实验过程和结果.......................... 错误！未定义书签。
1.X轴定位精度 ........................... 错误！未定义书签。
2.X轴直线度 ............................. 错误！未定义书签。
3.误差分析............................... 错误！未定义书签。
七、实验总结与体会.......................... 错误！未定义书签。
1.实验总结............................... 错误！未定义书签。
2.实验心得体会........................... 错误！未定义书签。
3.对课程的一些建议....................... 错误！未定义书签。
综合实践3 伺服系统运动精度建模与评价一、实验目的与任务通过对三轴机床的X轴进行定位误差实验，使学生掌握一般机构空间运动精度的测量与分析评价方法。
激光干涉复原实验报告
一、实验目的1. 了解激光干涉的基本原理和现象。
2. 掌握干涉仪的使用方法和操作技巧。
3. 通过实验，观察和复原激光干涉条纹，加深对干涉现象的理解。
二、实验原理激光干涉是指两束或多束相干光波相遇时，由于光程差的存在，产生明暗相间的干涉条纹。
干涉条纹的形成条件是两束光波必须满足相干条件，即频率相同、相位差恒定。
本实验采用迈克尔逊干涉仪进行激光干涉复原实验。
迈克尔逊干涉仪是一种利用分振幅法产生双光束以实现干涉的精密光学仪器。
实验中，通过调整迈克尔逊干涉仪的光路，观察和复原激光干涉条纹。
三、实验仪器1. 迈克尔逊干涉仪2. He-Ne激光器3. 光屏4. 移动平台5. 秒表四、实验步骤1. 将迈克尔逊干涉仪放置在实验台上，调整光路，使激光束垂直照射到分束镜上。
2. 调整移动平台，使激光束垂直照射到分束镜上，并通过反射镜反射回光屏。
3. 调整分束镜和反射镜的角度，使激光束在光屏上形成干涉条纹。
4. 观察干涉条纹的形状、位置和数量，记录实验数据。
5. 改变激光束的入射角度，观察干涉条纹的变化，记录实验数据。
6. 调整反射镜的位置，使干涉条纹发生移动，记录实验数据。
7. 通过分析实验数据，复原激光干涉条纹。
五、实验结果与分析1. 干涉条纹的形状：实验中观察到的干涉条纹为明暗相间的直条纹，符合干涉现象的基本特征。
2. 干涉条纹的位置：干涉条纹的位置随激光束入射角度的变化而变化，符合干涉原理。
3. 干涉条纹的数量：干涉条纹的数量随反射镜位置的调整而变化，符合干涉原理。
通过实验数据分析，可以得出以下结论：1. 激光干涉条纹的形成与光程差有关，光程差越大，干涉条纹间距越大。
2. 干涉条纹的位置与激光束入射角度有关，入射角度越大，干涉条纹间距越小。
3. 干涉条纹的数量与反射镜位置有关，反射镜位置越靠近光屏，干涉条纹数量越多。
六、实验总结1. 本实验成功观察和复原了激光干涉条纹，加深了对干涉现象的理解。
2. 通过实验，掌握了迈克尔逊干涉仪的使用方法和操作技巧。
激光干涉计量实验报告
一、实验目的1. 理解激光干涉原理，掌握激光干涉计量的基本操作。
2. 学习使用激光干涉仪进行长度、距离等参数的精确测量。
3. 了解激光干涉仪在工程测量中的应用。
二、实验原理激光干涉计量是基于光波干涉原理，通过测量干涉条纹的变化来确定长度、距离等参数的一种方法。
实验中使用的激光干涉仪通过分束器将激光束分为两束，一束光通过待测距离，另一束光作为参考光。
两束光在探测器处发生干涉，产生干涉条纹。
通过测量干涉条纹的变化，可以计算出待测距离。
三、实验仪器1. 激光干涉仪2. 分束器3. 反射镜4. 探测器5. 计算机及数据采集软件四、实验步骤1. 将激光干涉仪、分束器、反射镜和探测器按照实验要求连接好。
2. 打开激光干涉仪电源，预热10分钟。
3. 打开数据采集软件，设置采集参数。
4. 将反射镜放置在待测距离处，调整反射镜的角度，使光束与探测器垂直。
5. 观察干涉条纹的变化，记录条纹移动的次数。
6. 根据干涉条纹移动的次数，计算出待测距离。
五、实验数据1. 待测距离：d = 10m2. 干涉条纹移动次数：n = 10003. 干涉条纹间距：ΔL = 1mm六、数据处理根据实验数据，可以使用以下公式计算待测距离：d = n × ΔL代入实验数据，得到：d = 1000 × 1mm = 1000mm = 1m七、实验结果与分析实验结果显示，待测距离为1m，与实际距离基本一致，说明实验结果准确可靠。
通过激光干涉计量实验，我们掌握了激光干涉计量的基本原理和操作方法，为以后进行工程测量奠定了基础。
八、实验总结1. 激光干涉计量是一种精确的测量方法，广泛应用于工程测量、科学研究等领域。
2. 在实验过程中，要确保光路稳定，避免外界因素对实验结果的影响。
3. 通过实验，我们掌握了激光干涉计量的基本原理和操作方法，提高了自己的实验技能。
九、注意事项1. 实验过程中，注意安全，避免激光直射眼睛。
2. 实验前，仔细阅读实验指导书，了解实验原理和操作步骤。
迈克尔逊干涉仪的使用实验报告
迈克尔逊干涉仪的使用实验报告
实验目的，通过使用迈克尔逊干涉仪，观察干涉条纹的形成和变化，了解干涉仪的工作原理和应用。
实验仪器，迈克尔逊干涉仪、激光器、准直器、反射镜、半反射镜、平台等。
实验步骤：
1. 将激光器放置在实验台上，并使用准直器使激光光束垂直射向半反射镜。
2. 调整半反射镜，使激光光束分为两束，一束经过半反射镜直射向固定反射镜，另一束被反射后再次经过半反射镜。
3. 调整反射镜和半反射镜的角度，使两束光线在干涉仪的观察屏上产生干涉条纹。
4. 观察干涉条纹的形成和变化，记录实验现象。
实验结果，通过实验观察，我们得到了清晰的干涉条纹图像，并且观察到了干涉条纹随着反射镜和半反射镜角度的变化而产生变化的现象。
这进一步验证了干涉仪的工作原理，也加深了我们对干涉现象的理解。
实验结论，通过本次实验，我们深入了解了迈克尔逊干涉仪的工作原理和应用，加深了对干涉现象的理解。
同时，我们也学会了如何操作干涉仪，观察干涉条纹，并且能够通过实验结果进行分析和总结。
存在问题，在实验过程中，我们发现在调整反射镜和半反射镜的角度时，需要非常小心和耐心，以确保光线能够正确地产生干涉条纹。
在今后的实验中，我们需要更加细心地进行操作，以避免误差的产生。
改进措施，在今后的实验中，我们将更加注重操作细节，加强团队协作，以确保实验能够顺利进行并得到准确的实验结果。
实验人员，XXX、XXX、XXX。
日期，XXXX年XX月XX日。
实验报告激光干涉仪的原理与应用探究
实验报告激光干涉仪的原理与应用探究实验报告：激光干涉仪的原理与应用探究一、引言激光干涉仪是一种重要的光学仪器，在许多领域都有广泛的应用。
本实验旨在探索激光干涉仪的原理以及其在科学研究和工程应用中的意义。
二、原理介绍干涉是指两束或多束光相互叠加时产生的干涉条纹现象。
激光干涉仪通过干涉现象来进行测量和分析，它主要由激光光源、分束器、反射镜及检测器等组成。
1. 激光光源激光干涉仪采用激光作为光源，激光的特点是具有高亮度、高直线度和相干性。
这使得激光干涉仪能够产生清晰、稳定的干涉条纹，提高测量的准确性。
2. 分束器分束器是将一束激光分为两束的光学元件，主要分为平面分束器和楔形分束器两种类型。
分束器将激光分为参考光和待测光两束，分别经过不同的光程后再次汇合形成干涉现象。
3. 反射镜反射镜用于改变光程，通常由平面镜和反射膜组成。
它的作用是使两束光在一定程度上相遇，产生干涉现象，进而形成干涉条纹。
4. 检测器检测器用于接收干涉条纹，并将其转换为电信号。
常用的检测器有光电二极管和光敏电阻，它们能够实时、精确地检测光信号的强度变化。
三、实验步骤本实验的具体操作步骤如下：1. 准备激光干涉仪实验装置，确保系统稳定。
2. 调整激光光源，保证激光的强度和稳定性。
3. 调整分束器的位置和角度，使参考光和待测光能够汇合。
4. 调整反射镜的位置和角度，使光程差满足干涉条件。
5. 使用检测器接收干涉条纹，并将信号转换为电信号。
6. 分析和记录干涉条纹的特征和变化，根据特征判断材料的性质或研究光学现象。
四、应用探究激光干涉仪广泛应用于各个领域，以下是一些主要应用：1. 表面形貌测量激光干涉仪可以通过测量表面的高度差异来确定样品的形貌和粗糙度。
在制造业中，它被广泛用于光学元件的检测和加工过程中。
2. 材料性质研究通过测量材料中的光程差，可以获得材料的折射率、膜层厚度等相关参数。
这对于研究材料的光学特性和优化材料的性能非常重要。
3. 光学干涉实验激光干涉仪在光学教学实验中有着重要的地位。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
机械工程综合实践实验报告课程名称机械工程综合实践专业精密工程指导教师彭小强小组成员刘强14033006谌贵阳吴志明实验日期2012.4.2—2011.6.25国防科学技术大学机电工程与自动化学院目录1激光干涉仪1.1激光干涉仪介绍1.2激光干涉仪原理2 激光干涉仪测量机床的直线度2.1实验器材以及平台的搭建2.2激光干涉仪的调试2.3直线度的测量3 激光干涉仪测量机床的重复定位精度3.1实验器材以及平台的搭建3.2激光干涉仪的调试3.3重复定位精度的测量4 实验分析与总结目录一、实验目的与任务 (4)二、实验内容与要求 (4)三、实验条件与设备 (4)四．实验原理 (5)1.定位精度测量 (5)2.直线度测量 (6)五、实验步骤 (7)1.设定激光测量系统 (7)2.调整激光光束，使之与机器运动轴准直。
(7)3.数据记录与数据处理 (8)六、实验过程和结果........................... 错误!未定义书签。
1.X轴定位精度 ............................ 错误!未定义书签。
2.X轴直线度 .............................. 错误!未定义书签。
3.误差分析................................ 错误!未定义书签。
七、实验总结与体会........................... 错误!未定义书签。
1.实验总结................................ 错误!未定义书签。
2.实验心得体会............................ 错误!未定义书签。
3.对课程的一些建议........................ 错误!未定义书签。
综合实践3 伺服系统运动精度建模与评价一、实验目的与任务通过对三轴机床的X轴进行定位误差实验，使学生掌握一般机构空间运动精度的测量与分析评价方法。
主要内容包括了解双频激光干涉仪测量位移的基本原理，掌握利用双频激光干涉仪测量机床进给轴的定位误差的方法，深刻理解轴运动的精度的概念。
在对机床进给轴运动定位误差测量的基础上，分析机床的运动误差。
二、实验内容与要求（1）直线轴运动误差测量。
利用双频激光干涉仪建立直线轴定位精度、直线度、姿态误差的测量系统，并对机床典型三维进给机构各轴的运动误差进行测量，分析测量结果的不确定度；（2）垂直度测量。
任选进给机构两轴，利用双频激光干涉仪建立两轴垂直度的测量系统，并对垂直度进行测量，并对测量结果进行评价；（3）典型三维进给机构的精度建模。
在分析多轴进给机构拓扑结构的基础上，用多体系统理论和变分法建立多轴进给机构运动空间各点的运动误差传递模型；（4）典型三维进给机构的精度分析与评价。
在测量得到的进给机构轴运动误差的基础上，利用所建立的精度模型，对机构的典型运动轨迹如直线、圆弧、平面等的运动误差进行分析，并对分析结果的不确定度进行评价。
三、实验条件与设备双频激光干涉仪，含直线度、定位精度测量组件。
具体如图1所示。
（图1 定位精度测量组件直线度测量组件）四．实验原理1.定位精度测量（图2 测量光路图）来自XL激光头的光束进入线性干涉镜，在此光束被分成两束。
一束光（称为参考光束）被引向装在分光镜上的反射镜，另一束光（测量光束）则穿过分光镜到达第二个反射镜。
然后，两束光都被反射回分光镜，在此它们重新组合并被导回到激光头，激光头内的探测器监测两束光之间的干涉。
图3为ISO230-1-1996(E) 5.212.15规定的测量设备组建和标准光路。
（图3：ISO标准光路）一般在线性测量过程中，一个光学组件保持静止不动，另一个光学组件沿线性轴移动。
通过监测测量光束和参考光束之间的光路差异的变化，产生定位精度测量值（注意，它是两个光学组件之间的差异测量值，与XL激光头的位置无关）。
此测量值可以与被测机器定位系统上的读数比较，获得机器的精度误差。
通常，将反射镜设定为移动光学部件，将干涉镜设定为静止部件，如图4所示。
二者可以反过来使用。
（图4 定位精度测量光路示意图）2.直线度测量激光通过直线度干涉仪后，分开成具有小角度的两束光，这两束光被直线度反射镜反射后沿新的路径返回直线度干涉仪，在这里两束光汇聚在一起返回到激光头内。
在测量过程中干涉仪随工作台一起运动，反射镜固定。
干涉仪和反射镜之间的横向偏差会导致光程差的变化，通过监测测量光束和参考光束之间的光路差异的变化，产生直线度测量值。
下图是测量水平方向的直线度，当把同时旋转90°时就可以测量竖直方向的直线度。
由于两束光束受到环境同样的影响，所以不需要进行环境补偿。
图直线度测量光路示意图图ISO230-1中直线度测量光路示意图五、实验步骤定位精度测量所需的步骤如下：1.设定激光测量系统将线性光学镜组连接到要校准的机床上；在三角架上安装XL激光头；用USB 电缆将XL激光头连接到PC机上，将电缆的一端插到XL激光头尾部的USB插槽中，另一端插到PC机上；为安全起见，开始时XL激光头的光闸应转至关闭位置，如下图5所示。
图5 XL光闸位置(不发出任何光束) 图6 定位精度测量光路原理图2.调整激光光束，使之与机器运动轴准直。
本文所述准直步骤是假定按图6所示进行光学镜组设定，其中线性干涉镜为固定光学镜，反射镜为移动光学镜。
（1）线性干涉镜和反射镜定位对三脚架和激光进行定位，使之垂直指向测量光学镜组。
用机架作为目测视线，使激光和运动轴线二者大致准直。
（2）旋转激光光闸，使激光输出光束直径减小，如图7所示：图7 激光干涉仪光闸图8 激光头标靶（3）移动机床被测轴，使线性反射镜靠近激光头，将标靶安装在前面，白点在上。
平移激光器或机床轴，直到光束射到标靶上的白点。
（4）去除标靶，检查从反射镜上反射回的光束是否射到XL激光光闸上标靶的中心。
如果没有，则平移激光器或机器，直到激光光束射到标靶的中心。
（5）使线性干涉镜尽量靠近反射镜，如图9所示。
如果二者靠近，则余下的准直工作仅仅是调整激光头。
图9 干涉镜靠近反射镜示意图（6）确保干涉镜和反射镜的外表面与机器垂直，而且彼此保持准直。
如果干涉镜歪斜，可能出现精度降低并无法检测到光束是否被挡。
一般说来，在滚摆（roll）、俯仰（pitch）和扭摆（yaw）方向上，最好使干涉镜的准直角度小于±2°，这通常可通过目测完成。
（7）将标靶安装在干涉镜的入射光孔中，然后，垂直和水平平移干涉仪，使光束射到标靶。
（8）从线性干涉镜上取下标靶，检查干涉镜反射回的光束是否射到XL激光光闸的中心并位于反射镜反射回的光束的上方。
如果不是，则平移干涉镜直到光束射到白色标靶的中心。
注：一个有效的方法是，在干涉镜和反射镜之间放置一个卡片，挡住反射镜上反射回的光束。
图10 激光干涉仪光闸上反射光示意图图11 调整后的准直光路图（9）调整好光路准直后，调整干涉镜大约在光路的中间.最终准直好的光路如下图所示：3.数据记录与数据处理使用自动采集数据功能，可自动触发激光记录读数。
它或是定时采集数据或是在测量线性位移时，系统检测到所测机器停止在预定目标位置上而采集数据。
“自动数据采集设置”选项是通过从“采集”菜单内选择自动采集设置而定义的。
选中了所需选项后，单击“确定”，退出“自动数据采集设置”对话框。
图12 自动采集数据设定窗口图13 数据采集主窗口当从Renishaw LaserXLTM浏览器窗口中选择一个测量图标时，将显示数据采集主窗口。
系统在线性测量模式下的典型屏幕画面如图13所示。
不同测量模式的显示屏幕与之相似，但为了更清楚明了，这里仅说明线性测量屏幕。
1激光干涉仪1.1激光干涉仪介绍激光具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。
目前常用来测量长度的干涉仪，主要是以迈克尔逊干涉仪为主，并以稳频氦氖激光为光源，构成一个具有干涉作用的测量系统。
激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。
1.2激光干涉仪原理干涉仪是以激光波长为已知长度、利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量工具。
激光干涉仪有单频的和双频的两种。
本实验使用的是双频干涉仪。
在氦氖激光器上，加上一个约0.03特斯拉的轴向磁场。
由于塞曼分裂效应和频率牵引效应, 激光器产生1和2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光。
经1/4波片后成为两个互相垂直的线偏振光,再经分光镜分为两路。
一路经偏振片1后成为含有频率为f1-f2的参考光束。
另一路经偏振分光镜后又分为两路：一路成为仅含有f1的光束,另一路成为仅含有f2的光束。
当可动反射镜移动时,含有f2的光束经可动反射镜反射后成为含有f2 ±Δf的光束，Δf是可动反射镜移动时因多普勒效应产生的附加频率,正负号表示移动方向(多普勒效应是奥地利人C.J.多普勒提出的，即波的频率在波源或接受器运动时会产生变化)。
这路光束和由固定反射镜反射回来仅含有f1的光的光束经偏振片2后会合成为f1-(f2±Δf）的测量光束。
测量光束和上述参考光束经各自的光电转换元件、放大器、整形器后进入减法器相减,输出成为仅含有±Δf的电脉冲信号。
经可逆计数器计数后，由电子计算机进行当量换算（乘1/2激光波长）后即可得出可动反射镜的位移量。
双频激光干涉仪是应用频率变化来测量位移的，这种位移信息载于f1和f2的频差上，对由光强变化引起的直流电平变化不敏感，所以抗干扰能力强。
它常用于检定测长机、三坐标测量机、光刻机和加工中心等的坐标精度，也可用作测长机、高精度三坐标测量机等的测量系统。
利用相应附件，还可进行高精度直线度测量、平面度测量和小角度测量。
2激光干涉仪测量机床的直线度2.1实验器材以及平台的搭建器材：激光干涉仪、三脚架、XC补偿单元、试验平台（磁流变机床）、直线度反射镜、直线度光学镜组、笔记本电脑、安装组件、传感器平台搭建步骤：1 清理好试验平台（磁流变机床）2按要求将干涉仪、电脑、传感器、补偿单元的线路连接。
3 将直线度光学镜组、直线度反射镜大概固定在平台上。
（本实验中，光学镜组固定在运动轴上，反射镜则放置在光路的末端）2.2激光干涉仪的调试1波长补偿周围环境参数温度、相对湿度、气压将会影响激光光束的波长，如果不对波长的变化进行补偿，实验将会产生一定的测量误差。
在本实验中，我们选取了XC补偿单元，温度和相对湿度传感器对激光光束波长进行补偿，基本上消除了由于周围环境变化引起的测量误差。
2光路的调试激光调光基本步骤1，确定测量轴方向，并选择好干涉镜组合方式，干涉镜，反射镜安装地点（确保测量顺利完成，镜组安全）。