超纯水系统原理及设计
吨双级反渗透EDI超纯水设计方案
吨双级反渗透EDI超纯水设计方案双级反渗透（Reverse Osmosis, RO）EDI（Electrodeionization）超纯水是一种高纯度、无菌无化学污染的水质。
它通过双级反渗透技术将原水进行预处理，然后再通过EDI技术除去残留的离子和有机物，最终得到超纯水。
设计方案如下：1.原水处理系统：原水处理系统主要用于去除原水中的悬浮物、胶体物、有机物和溶解性无机盐等杂质。
可以采用混凝、沉淀、过滤等工艺进行预处理。
在这个阶段，需要注意选择适当的预处理工艺，以适应特定的原水质量。
2.第一级反渗透系统：第一级反渗透系统是将预处理后的水通过RO膜进行处理，去除大部分的溶解性无机盐和有机物。
RO膜一般为半透膜，能够将水中的溶解性无机盐逆向渗透过膜，而不溶解在水中。
通过此过程，可以将原水中的溶解性盐浓度降低到较低水平。
3.第二级反渗透系统：第二级反渗透系统是在第一级反渗透系统后进一步处理水质，消除RO膜的残余污染物。
这个阶段使用的RO膜通常具有更高的分离效率，以确保溶质的完全去除。
此阶段的目标是提高水质的结构完整性，以便EDI 系统能够更好地工作。
4.EDI系统：EDI系统是由离子选择性膜、阳极和阴极组成的电化学设备。
此系统通过外部电场和离子选择性膜将水中的离子和有机物转化为溶液中的离子，并将其输送到阳极或阴极中，在阳极和阴极中存在电离现象，从而去除溶质。
EDI系统可实现连续运行，无需化学试剂再生，因此被广泛应用于制备高纯度水。
5.监控与控制系统：在整个处理过程中，需要安装监控系统来实时监测水质和设备状态。
监控系统可用于报警，以便及时处理问题。
控制系统则用于自动控制设备的操作参数，确保系统的稳定运行。
总结：吨双级反渗透EDI超纯水设计方案需要包括原水处理系统、第一级反渗透系统、第二级反渗透系统、EDI系统以及监控与控制系统。
通过这些设备的组合，可以有效去除水中的杂质，获得高纯度、无菌无化学污染的超纯水。
超纯水系统工作原理
超纯水系统工作原理
超纯水系统是通过一系列的物理、化学和生物技术处理步骤，将原水中的悬浮物、溶解物、离子、有机物等杂质去除，从而获得如同纯净水一样的水质。
它的工作原理主要包括以下几个步骤：
1. 原水处理：原水通常通过物理过滤步骤，如过滤器或活性炭吸附，去除较大颗粒的悬浮物、杂质和某些有机物。
2. 高效离子交换：将原水通过离子交换树脂床，树脂中的固定离子与原水中的杂质进行离子交换反应，使得原水中的阳离子和阴离子得以去除。
3. 反渗透：经过离子交换后的水通过反渗透膜，利用半透膜原理去除水中的溶解物、离子、有机物和微生物等。
4. 紫外线消毒：经过反渗透处理的水经过紫外线消毒器，紫外线能够杀灭水中的细菌、病毒等微生物，确保水的安全性。
5. 流量稳定：系统中的流量控制装置能够稳定调节和控制水流量，确保系统的工作稳定。
6. 水质监测与控制：超纯水系统还配备了水质监测和控制设备，可以实时监测水质，根据需要调节处理过程，保证输出水的质量符合要求。
通过以上步骤的连续运作，超纯水系统可以将原水处理成高纯
度、纯净无菌的水质，适用于实验室、制药工业、电子工业等对水质要求较高的领域。
超纯水制备系统
超纯水制备系统
超纯水在许多领域的应用中起着至关重要的作用，如制药、电子、
化工等。
为了满足对超纯水的需求，超纯水制备系统应运而生。
本文
将对超纯水制备系统的工作原理、组成部分以及应用进行详细介绍。
一、工作原理
超纯水制备系统通过一系列工艺来去除水中的各种杂质，从而获得
高纯度水。
其工作原理主要包括预处理、反渗透、电离交换等过程。
首先，原水经过预处理设备去除大部分的固体颗粒、胶体和有机物质；然后，通过反渗透膜的作用，去除水中的溶解盐和无机物质；最后，
通过电离交换树脂的吸附作用，进一步去除水中的离子杂质，得到超
纯水。
二、组成部分
超纯水制备系统一般由进水过滤器、活性炭过滤器、反渗透膜组件、电离交换柱、紫外线消毒器等部分组成。
进水过滤器用于去除水中的
大颗粒杂质，活性炭过滤器用于去除有机物质和氯等物质，反渗透膜
组件是去除溶解盐和无机物质的关键部件，电离交换柱用于去除水中
的离子杂质，紫外线消毒器则是为了保证超纯水的无菌性。
三、应用
超纯水制备系统广泛应用于制药、电子、化工、实验室等领域。
在
制药行业，超纯水用于药品生产的洗涤、溶解、配制等过程；在电子
行业，超纯水被用于半导体芯片的制造过程；在化工领域，超纯水则
用于精细化工产品的生产；在实验室中，超纯水则是科研工作中必不可少的实验试剂。
综上所述，超纯水制备系统通过一系列的工艺步骤，去除水中的各种杂质，获得高纯度水，满足不同领域对超纯水的需求。
其在制药、电子、化工和实验室等领域具有广泛的应用前景，对推动相关产业的发展起着至关重要的作用。
超纯水处理原理,工艺及技术简介
超纯水处理原理, 工艺流程及技术简介1.超纯水制备原理威立雅实验室超纯水器通常由原水预处理系统、反渗透纯化系统、超纯化后处理系统三部分组成。
预处理的目的主要是使原水达到反渗透膜分离组件的进水要求，保证反渗透纯化系统的稳定运行。
反渗透膜系统是一次性去除原水中98%以上离子、有机物及100%微生物(理论上)最经济高效的纯化方法。
超纯化后处理系统通过多种集成技术进一步去除反渗透纯水中尚存的微量离子、有机物等杂质，以满足不同用途的最终水质指标要求。
2.原水预处理系统预处理系统通常由聚丙烯纤维(PP)过滤器和活性炭(AC)过滤器组成。
对硬度较高的原水还需加装软化树脂过滤器。
PP滤芯可高效去除原水中5μm以上的机械颗粒杂质、铁锈及大的胶状物等污染物，保护后续过滤器，其特点是纳污量大, 价格低廉。
AC活性炭滤芯可高效吸附原水中余氯和部分有机物、胶体，保护聚酰胺反渗透复合膜免遭余氯氧化。
软化树脂可脱除原水中大部分钙镁离子，防止后续RO膜表面结垢堵塞，提高水的回收率。
3.反渗透纯化系统反渗透(Reverse Osmosis，简称RO)是以压力差为推动力的一种高新膜分离技术，具有一次分离度高、无相变、简单高效的特点。
反渗透膜“孔径”已小至纳米(1nm=10-9m)，在扫描电镜下无法看到表面任何“过滤”小孔。
在高于原水渗透压的操作压力下，水分子可反渗透通过RO半透膜，产出纯水，而原水中的大量无机离子、有机物、胶体、微生物、热原等被RO膜截留。
通常当原水电导率<200μS/cm时，一级RO纯水电导率≤5μs/cm，符合实验室三级用水标准。
对于原水电导率高的地区，为节省后续混床离子交换树脂更换成本，提高纯水水质，客户可考虑选择二级反渗透纯化系统，二级RO纯水电导率约1~5μS/cm，与原水水质有关。
4.超纯化后处理系统①混床离子交换纯化柱混床离子交换纯化柱由阴离子交换树脂和阳离子交换树脂按比例混合而成。
阳离子交换树脂用其H+交换去除水中的阳离子，阴离子交换树脂用其OH-交换去除水中的阴离子，在混床树脂中被交换出来的H+和OH-结合生成H2O，因此混床离子交换纯化柱可用来深度去除RO纯水中尚存的微量离子。
生化仪检测用超纯水机设备工艺原理
生化仪检测用超纯水机设备工艺原理背景介绍生化仪是生物学、医学等领域中常用的分析实验仪器，能够对生物样品中的分子及其结构进行精细分析。
而在分析过程中，需要使用各种实验液体，其中包含的杂质及离子浓度会对实验结果产生较大影响。
而超纯水是生化实验中最常用的实验液之一，因其无色、无味、无臭，不含有机物和微生物，具有很好的清洁性和稳定性。
因此，超纯水机设备在现代生化实验领域中得到了广泛应用，本文将详细介绍其工艺原理。
超纯水机设备介绍超纯水机设备是一种能够通过一系列的处理工艺，将自来水中的杂质、离子和生物质等完全去除，获得纯净度非常高的水的设备，也称为纯水机。
超纯水机设备主要由进水系统、预处理系统、纯化系统和储水系统等组成，整个系统采用封闭式设计，可以有效地保障水质的纯度和稳定性。
进水系统进水系统是超纯水机设备中的第一步，其主要作用是将自来水中的大颗粒杂质和悬浮物去除。
进水系统包括滤芯和预处理，滤芯是一种物理过滤器，通常采用聚酯纤维等材质制成，可以有效防止难以溶解的固体颗粒和浮游生物的进入。
预处理则是采用荷电颗粒、树脂和活性炭等材料对进水进行化学分离和吸附过滤，有效去除水中的大部分离子和金属离子等杂质，为后续的纯化工艺提供了必要的保障。
预处理系统进过进水系统的水将会被送入预处理系统，预处理系统主要采用反渗透技术，将水源中尤其是含有大量离子的自来水进行强烈的过滤和分离，其中的原理和设备与膜分离技术相似。
反渗透膜是一种半透性膜，其孔径非常细小，在1纳米左右，只允许水分子通过，而不允许离子、金属离子、有机物等大分子穿过，因此可以有效地分离纯水和杂质水。
反渗透膜的设备大多采用压力泵进行泵送，将水液从其表面硬性压入并通过滤膜，其后我们可以获得剩余的纯水。
预处理系统内的反渗透技术能够去除水中的大部分无机离子，包括硅、锰、铁、锌等，同时还能去除水中的99%以上的细菌、病毒、异物和胶体等。
纯化系统纯化系统是超纯水机设备中最重要的部分。
超纯水制备技术工艺及其原理全面解析
超纯水制备技术工艺及其原理全面解析对于超纯水的需求随着半导体工业的发展，对超纯水质量要求提高，从而大大的推动了纯水技术的发展，膜技术得到了广泛的应用，微滤，超滤，电渗析和反渗透技术先进的水处理技术得到了飞速的发展，膜法制备纯水取代了传统的离子交换器系统，解决了TOC问题，满足了电子行业对纯水质量的要求。
超纯水制备工艺1.传统超纯水制备工艺流程：原水—多介质过滤器—活性炭过滤器—一级除盐—混床—超纯水2.膜法超纯水制备工艺流程：原水—超滤—反渗透—EDI—超纯水在膜法工艺中，超滤，微滤替代澄清，石英砂过滤器，活性炭过滤器，除去水中的悬浮物胶体和有机物，降低浊度，SDI，COD等，可以实现反渗透装置对污水回用的安全，高效运行，以反渗透替代离子交换器脱盐，进一步除去有机物，胶体，细菌等杂志，可以保证反渗透出水满足EDI进水的要求，以EDI代替混床深度脱盐，利用电而不是酸碱对树脂再生，避免了二次污染。
原水水质概论水中的杂质按存在的形态的不同可以分为悬浮物，胶体和溶解性固体三种，其中固体含量用总固体量作为指标，把一定量水样在105-110°烘箱中烘干到恒重，所得的重量及为总固含量。
第一类是悬浮物物指悬浮于水中的物质，颗粒直径在10-4mm 以上，如泥沙，粘土，动植物残骸，微生物，有机物，藻类等第二类是胶体，指水中带电荷的胶体为例，颗粒直径在10-5mm之间，胶体颗粒是许多分子或离子集合体，这种细小颗粒具有较大的比表面积，从而使他具有特殊的吸附能力，而被吸附的物质往往是水中的离子，因此胶体颗粒带有一定的电荷，如硅铁铝化合物及一些高分子有机物如腐殖质等，也有一些在此粒径范围的细菌，病毒等。
第三类是溶解物，只被水所溶解的，分子或离子状态的溶质或气体如氯化物，硫酸盐等。
悬浮物和胶体是使天然水产生浑浊的主要原因。
原水的预处理反渗透因为膜材料及元件的关系，对进水水质有一定的要求，预处理解决的问题是赌赛，结构，污染和波坏，堵塞时指水中的颗粒，悬浮物，胶体，铁氧化物沉淀等堵塞膜元件的流道，结垢是指难溶盐在浓水侧浓缩厚结晶析出，可预先除去或加阻垢剂。
超纯水器的原理与构造
超纯水器的原理与构造超纯水器是一种通过物理、化学或电学方法去除水中各种杂质，得到高纯度水的设备。
它的原理主要包括反渗透、离子交换和电渗析等。
超纯水器的构造主要包括进水系统、预处理系统、纯化系统和出水系统等几个部分。
进水系统是超纯水器的入口，它通常由进水阀、进水管和进水泵等组成。
其中，进水阀用于控制水的流量和压力，进水管用于将水引入超纯水器，进水泵则起到增压的作用，确保水能顺利进入预处理系统。
预处理系统是超纯水器中的一个重要模块，它主要对水进行机械过滤、活性炭吸附、软化处理等预处理工序，以去除水中的悬浮物、有机物和硬水成分等。
其中，机械过滤是通过滤网或滤器对水进行初步的过滤，去除较大的悬浮物；活性炭吸附则通过活性炭的吸附作用，去除水中的有机物和一些有害气体；软化处理则通过钠离子交换树脂，去除水中的硬水成分，防止管路和设备的结垢。
纯化系统是超纯水器中的核心部分，它通过反渗透、离子交换和电渗析等工艺来进一步纯化水质。
其中，反渗透是一种通过半透膜将水和杂质分离的方法。
在反渗透膜中，水分子可以通过，而离子、有机物和微粒等则被拦截，从而实现对水质的纯化。
离子交换是一种用具有离子选择性的树脂去除水中阳离子或阴离子的方法。
树脂具有与被交换物质相对应的离子，通过离子交换，可以将水中的阳离子或阴离子与树脂上的离子进行交换，从而得到纯净水。
电渗析则是一种利用离子在电场作用下的迁移速度不同的原理进行分离的方法。
通过电极的正负极性和电场强度的调节，可以使水中的离子迁移至相应的电极，从而得到纯净水。
出水系统是超纯水器的出口，它通常由出水阀、出水管和出水泵等组成。
其中，出水阀用于调节水的流量和压力，出水管用于将纯水引出超纯水器，出水泵则起到增压的作用，确保纯水能够顺利供应给用户。
除了上述主要构造，超纯水器还可能包括控制系统和监测系统。
控制系统通常由电控柜、传感器和控制仪表等组成，用于控制超纯水器的运行状态和参数。
监测系统通常由水质传感器和水质监测仪表等组成，用于监测和记录超纯水器的出水水质。
milli-q超纯水仪工作原理
milli-q超纯水仪工作原理一、引言milli-q超纯水仪是一种用于制备高纯度水的设备，广泛应用于实验室、医药、生物技术等领域。
本文将介绍milli-q超纯水仪的工作原理。
二、工作原理milli-q超纯水仪的工作原理主要包括预处理系统、反渗透膜系统、离子交换树脂系统和纯化柱系统。
1. 预处理系统进水经过预处理系统，去除悬浮物、胶体物质、有机物和微生物等杂质。
预处理系统包括粗颗粒过滤器、活性炭过滤器和微孔过滤器。
粗颗粒过滤器能够去除大颗粒的悬浮物，活性炭过滤器则能吸附有机物和余氯，微孔过滤器则能去除微生物和细菌。
2. 反渗透膜系统经过预处理后的水进入反渗透膜系统。
反渗透膜是一种过滤水的膜，具有微孔结构，能够有效去除水中的溶解物质、离子和微生物。
水在反渗透膜上形成一定压力，通过膜的微孔进入膜内，而溶解物质、离子和微生物则被滞留在膜外形成浓缩液。
经过反渗透膜系统的处理，水质得到明显改善。
3. 离子交换树脂系统反渗透膜系统处理后的水进入离子交换树脂系统。
离子交换树脂是一种能够选择性吸附或释放离子的材料。
水中的离子通过树脂床层时，与树脂上的离子发生交换作用，使水中的离子得到进一步去除或净化。
4. 纯化柱系统离子交换树脂系统处理后的水进入纯化柱系统，通过特殊的吸附剂进一步去除残余的有机物和微量离子。
纯化柱系统的吸附剂能够高效地吸附有机物和微量离子，使水质达到超纯水的要求。
三、总结milli-q超纯水仪通过预处理系统去除水中的悬浮物、胶体物质、有机物和微生物，然后通过反渗透膜系统去除溶解物质、离子和微生物，接着经过离子交换树脂系统去除离子，最后通过纯化柱系统去除残余的有机物和微量离子，从而制备出高纯度的水。
这些系统的相互配合使得milli-q超纯水仪能够高效地制备出高质量的水，为实验室和各个行业提供了可靠的实验用水。
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超纯水水质对半导体制程的影响：
*PARTICLE
：当大颗粒之PARTICLE附着在Die与Die之线槽间会造成产品之电性不良使YIELD 降低。
*DO
：1.溶氧过高易使管路内之纯水滋长细菌。 2.溶氧过高易导致离子交换树脂性能劣化。 3.溶氧过高影响芯片负氧化薄膜之厚度 据Dr. Ohmi 之实验芯片在 40-60 PPB溶氧之纯水清洗后，导致约3A°(埃)厚度之 负氧化膜形成，这使得要求半导体氧化层越来越薄膜化之组件性能劣化。
水泵的安装高度
水泵故障：望 闻 听 切
管道管件材质
现行给排水管材分类主要有以下三种，： 1.塑料管：塑料管是个庞大的家族，种类繁多、性质各异，不同的塑料 管材，各由不相同的原料构成，也相应有各种不相同的性能特点、连接方 式和适用范围。 2.复合管：复合管一般由金属和非金属复合而成，它兼有金属管材强度 大、刚性好和非金属管材耐腐蚀的优点，同时也摒弃了两类管材的缺点。 3.金属管：应用最广泛的管材，除了黑色金属管材以外现在许多有色金 属管材为环保节能带来了更多新选择。 另外还有排水陶管以及混凝土输水管由于其使用范围小。
送达我司的自来水
UPW定义
DI=Deionized ， DI Water=Deionized Water ，为去离子 ( 阴阳离子） 之意，亦 即通称之纯水(Pure water)。 UPW Ultra pure water:近来由于半导体制程对design rule之需求朝更精密更 细小的趋势发展，因而对纯水水质的要求也越趋严格，在此一严格水质要求下 所制造出来的纯水称之为超纯水 (Ultra pure water), 除了除去水中离子之外， 亦将水中之 SiO2, Particles, Bacteries, Organic Matters, Microbiology 。 一并予以有限度的去除，使水达到完全纯净的程度， 。
＞ 16.5 M Ω ＞16.5 MΩ-CM(0.2um) CM(0.2um) ＜10 ppb ＜10 ppb
TOC
Bacteria Pressure Temperature(℃) 位置 1F 1F
＜50 ppb
＜10 CFU/L
＜50 ppb
＜10 CFU/L POU 2.5 ± 0.5 ㎏ / ㎝ 2 稳压可 调变频控制 25±2℃
有机玻璃
塑胶管材一般使用性能
材质 简称 一般化学性能 可耐大部分的“酸” 、“碱”、“盐”由低到高浓度 的腐蚀，但不耐“芳香烃”、“酮”、“醚”、“氯 55℃ 化碳烃类”腐蚀。 耐化学腐蚀性与PVC相似，仅耐温性比PVC好。 95℃ 最高工作温度 长时间 短暂 60℃
聚氯乙烯
PVC
氯化聚氯乙烯CORZAN
储存于地球的总储水量约13860亿立方米
大自然中的水循环
水的监测指标由以下几部分组成： ①一般指标:T、Con、DS、DO、FI、DD等。 ②水质的污染度指标：BOD、COD、 TOC、TOD等。 ③水质的污染成分：金属离子、氰化 物、酚、农药等。 ④水质的生物指标：大肠杆菌、细菌总数等。 伴随能量流动与物质循环，不同地方指标含量本底值不同
市政自来水厂给水
天然水的特性 (1) 地表水 (LAKE RIVER) ：较少含 DISSOLVED MINERAL，但含大量S.S.，有机物（树叶，生活 污 水 等 ） and D.G. （ 来 自 大 气 和 有 机 物 的 分 解）。 (2)地下水(井水)：较少含S.S. 和D.G. 但含 较高的DISSOLVED MINERAL.（例如Ca dnd SiO2） (3)自来水：无菌.无色.无臭.（若添加过量 氯“Cl2”则会导致刺激性臭味。）
泵
影响水泵参数：流量Q，扬程H，转速N，效率。 其中关系：P2=Q*H*C(常数）
离心泵的特性曲线
气蚀余量NASH
汽蚀余量指泵入口处液体所具有的总水头与液体汽化时的压力头 之差，单位用米（水柱）标注，用（NPSH）表示。 离心泵运转时，液体压力沿着泵入口到叶轮入口而下降，在叶片入口附近的K点上，液体压力pK最低。此后由于叶 轮对液体作功，液体压力很快上升。当叶轮叶片入口附近的压力pK小于液体输送温度下的饱和蒸汽压力pv时，液体 就汽化。同时，使溶解在液体内的气体逸出。它们形成许多汽泡。当汽泡随液体流到叶道内压力较高处时，外面的 液体压力高于汽泡内的汽化压力，则汽泡又重新凝结溃灭形成空穴，瞬间内周围的液体以极高的速度向空穴冲来， 造成液体互相撞击，使局部的压力骤然增加(有的可达数百个大气压)。这样，不仅阻碍液体正常流动，尤为严重的 是，如果这些汽泡在叶轮壁面附近溃灭，则液体就像无数个小弹头一样，连续地打击金属表面。其撞击频率很高(有 的可达2000～3000Hz)，于是金属表面因冲击疲劳而剥裂。如若汽泡内夹杂某种活性气体(如氧气等)，它们借助汽 泡凝结时放出的热量(局部温度可达200～300℃)，还会形成热电偶，产生电解，形成电化学腐蚀作用，更加速了金 属剥蚀的破坏速度。上述这种液体汽化、凝结、冲击、形成高压、高温、高频冲击负荷，造成金属材料的机械剥裂 与电化学腐蚀破坏的综合现象称为汽蚀。
管道
包含：直管、 管子联接件和 阀门 输送载体 限定流向 通行/载止
举例：纯水系统
原水池 水泵 板换 前处理 水桶
MMF
ACF
前处理 水桶
水泵
板换
CE
DG
脱气塔 水槽
脱气塔 水槽
水泵
AE
CP
DI水桶
Deionized
DI水桶
水泵
GF
水泵
RO
UPW水 桶
POU
Ultra pure water
嵌段共聚聚丙烯（PP-B）（II型） 无规共聚聚丙烯（PP-R）（III型）
聚丁烯（PB） 工程塑料
玻璃钢
氟塑料
聚碳酸脂 氯化聚醚 聚砜(PBU) 聚铣胺 丙稀睛-丁二烯－苯乙烯共聚物（ABS） 酚醛（PE） 环氧（EP） 呋喃（FF） 不饱和聚酯树脂 聚四氟乙烯(PTFE) 聚三氟氯乙烯(PCTFE) 氟－40
集积度与超纯水水质的关系
水质 项目
纯水纯净度判定要项： (1)Resistively (MΩ-CM). (2)Particles (PCS/cc). (3)Bacteria (COLONIES/100cc). (4)T.D.S (PPM). (5)T.O.C (PPB). (6)SiO2 (PPB).
4 M bit 16 M bit 64 M bit 18 18 18
10 100 1000 500 30 20 200 100 10 1 5 50 100 10 0.5 10 1 20 50 5 0.1 5
5 10 0.5 10 10 1 0.05 3 0.1 5 5 0.5 0.005 1
微 量 离 子 Na K. Zn. Fe.Cu. Al. Cl(µg/1) 全蒸发残余物 (µg/1)
纯水系统基本原理
陈勇
UPW概念
输送模型 纯水系统各单元 控制系统 优劣之分：各种系统比较
水资源及其储量 地球上的水资源，从广义来说是指水圈内水量 的总体。包括经人类控制并直接可供灌溉、发 电、给水、航运、养殖等用途的地表水和地下 水，以及江河、湖泊、井、泉、潮汐、港湾和 养殖水域等。
水的含量及其分布
64 K bit 15-17 150
比电阻
M Ω-cm at 25 °C 0.2 µm 微粒子 0.1 µm (个/ml) 0.05 µm 0.03 µm 生菌(群/100ml) TOC (µg C/1) DO(µg O/1) SiO 2(µg C/1)
256 K bit 17-13 50
1 M bit 18 20
UPW水 桶
水泵
TOCUV
MP
FF
UPW水 桶
Ultra pure water
•设计说明 本超纯水系统可分为四个部分：前处理系统、一次去离子系统、反渗透系统、终端处 理系统。 1.前处理系统 原水经过多介质过滤器和活性炭过滤器可去除悬浮物、部分有机物和水中余 氯，使处理后的水质达到后续的离子交换系统的要求。 1.一次去离子系统 2.前处理后的水，经过阳离子树脂塔、脱气塔、阴离子树脂塔和精炼阳离子树脂塔 ，可去除原水中的大部分离子。水质可高达10MΩ-CM以上。 3.反渗透系统 原水经过前处理的过滤和离子的去除后，以RO设备再将细微的颗粒、细菌、 有机物等去除。RO设计为不停地运转，以维持最佳的水质状态。 1.终端处理系统 DI水由循环泵加压，经过有机物紫外线杀菌器（UV-TOC）以185NM波长之紫外线降低水 中TOC含量并杀菌，再经过混床不再生树脂塔，将DI中残余极微量的离子交换后，使水 质达到18MΩ-CM。然后再经过0.2μm绝对过滤器，将水中细微粒子滤除，使水质达到纯 净无菌之要求。
塑料管材
不锈钢管材
塑料管材 因纯水系统使用的管材主要为塑料管材，所在在此主要讲解塑料管材 的特性。
塑料管 氯乙稀PVC 硬聚氯乙稀(PVC-U)
聚乙烯PE
聚丙烯(PP)
软聚氯乙稀(PVC-P) 氯化聚氯乙稀(PVC-C) 低密度（高压）聚乙烯(PE-LD) 中密度（中压）聚乙烯(PE-MD) 高密度（低压）聚乙烯(PE-HD) 线形低密度聚乙烯(PE-LLD) 交联聚乙烯(PE-X) 均聚聚丙烯(PP-H)(I型) 共聚（氯化）聚丙烯
CPVC
110℃
聚丙烯
PP
耐化学性非常好，对一般的酸的抵抗性也好，唯较不 耐两种不同酸的混合液，如：硝酸＋硫酸或硫酸＋氢 90℃ 氟酸。对一般有机溶剂。 耐化性非常好，只会被“发烟硫酸、三氧化硫、强碱 140℃ 胺类、酮类“等腐蚀。 几乎不被任何化学药品腐蚀，只有在高温下才会被少 250℃ 数化学药品腐蚀。 耐侯性、耐臭氧、耐油、耐热性、耐化学药品性均好。 200℃ 是自熄性橡胶，但耐寒性不好（-45℃脆化点）。 耐侯性、耐臭氧、耐化学药品性优，耐油性好，是自 90℃ 熄性橡胶，耐低温性差，不耐芳香烃类。