真空泵定义
真空泵基础知识及选型指导
真空泵基础知识及选型指导一、基础知识1、真空的概念“真空”一词来自拉丁语“vacuum”，原意为“虚无”、“空的”。
真空是指在给定空间内低于环境大气压力的气体状态，即该空间内的气体分子密度低于该地区大气压力的气体分子密度，并不是没有物质的空间。
水环真空泵应用于低真空（105—103 Pa）领域2、真空的测量单位在真空技术中，表示处于真空状态下气体稀薄程度的量称为真空度，可用压力、分子数密度、平均自由程和形成一个单分子层的时间常数等来表征，但通常用气体的压力（剩余压力）值来表示。
气体压力越低，表示真空度越高；反之，压力越高，真空度越低。
法定的压力计量单位为帕［帕斯卡］，符号为Pa1Pa=1N.m-2 此外，还可用真空度的百分数作测量单位。
δ——真空度百分数（%）P——绝对压力（Pa）Pb-P 表示真空压力表读数，表压力（用Pe表示）真空度百分数δ（%）与压力P对照表3、单位换算1atm（标准大气压）=1013.25hPa（百帕）1mmHg（毫米汞柱）=1Torr（托）=1.333 hPa（百帕）1bar（巴）=1000 hPa（百帕）1mbar（毫巴）=1 hPa（百帕）１inHg（英寸汞柱）=25.4mmHg（毫米汞柱）=33.8 hPa（百帕）4、相关术语◇气量——水环真空泵的气量是指入口在给定真空度下，出口为大气压1013.25hPa时，单位时间通过泵人口的吸入状态下的气体容积，m3/min或m3/h 。
◇最大气量——水环真空泵的最大气量是指气量曲线上的气量最大值，m3/min或m3/h。
◇真空度（或称作压力）——水环真空泵的真空泵是指入口处在真空状态下气体的稀薄程度，以绝对压力表示，Pa、hPa、kPa。
◇极限真空度（或称作极限压力）——水环真空泵的极限真空度是指入口处气量为零时的真空度，Pa、hPa、kPa。
◇压缩比——吸入压力下气体容积与压缩后气体容积之比◇饱和蒸汽压——在给定温度下，某种物质的蒸汽与其凝聚相处于相平衡状态下的该种物质的蒸汽压力。
真空泵培训资料
应用范围
适用于对噪音和振动要求 较高的场合，如食品、医 药等。
罗茨式真空泵
工作原理
通过两个8字形的转子在泵壳内相互 啮合旋转，将气体吸入、压缩并排出 。
结构特点
应用范围
广泛应用于真空冶炼、真空镀膜、真 空干燥等领域。
结构紧凑、运转平稳、噪音低、寿命 长。
各类真空泵性能比较
• 抽速与极限真空度：旋片式真空泵和滑阀式真空泵具有较高的抽速，而 罗茨式真空泵则具有更高的极限真空度。
故障诊断与排除
配备专业的故障诊断工具和技术人员 ，对系统故障进行及时诊断和排除。
冗余设计
在关键部位采用冗余设计，如备用真 空泵、备用电源等，提高系统容错能 力和可靠性。
CHAPTER 05
真空泵在工业生产中应用实 例
电子行业应用
半导体制造
在半导体制造过程中，真空泵用于提供洁净的真空环境，确保生产 过程的稳定性和产品质量的可靠性。
真空泵培训资料
目录
• 真空泵基本概念与原理 • 真空泵选型及使用注意事项 • 常见类型真空泵介绍与比较 • 真空系统设计与优化建议 • 真空泵在工业生产中应用实例 • 未来发展趋势和新技术展望
CHAPTER 01
真空泵基本概念与原理
真空泵定义及作用
真空泵定义
真空泵是一种利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而 获得真空的器件或设备。
显示器生产
真空泵在显示器生产线上发挥重要作用，如LCD、OLED等显示面 板的制造过程中，需要真空泵来实现薄膜沉积、真空干燥等关键工 艺。
电子元器件制造
真空泵在电子元器件的制造过程中也有广泛应用，如电容器、电阻器 等元器件的生产线上，真空泵用于实现真空浸渍、真空烘干等工艺。
第三讲：机械真空泵
第三讲：机械真空泵[简介]:真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。
真空泵可以定义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。
随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。
极限压力(极限真空)从粗真空到10-12Pa以上的超高真空范围。
一、机械真空泵的分类及主要性能参量(一)机械真空泵的分类真空泵是用各种方法在某一封闭空间中产生、改善和维持真空的装置。
真空泵可以定义为：利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。
随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。
极限压力(极限真空)从粗真空到10-12Pa以上的超高真空范围。
由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。
为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。
凡是利用机械运动(转动或滑动)以获得真空的泵，称为机械真空泵。
机械真空泵按其工作原理及结构特点分述如下：1．变容真空泵它是利用泵腔容积的周期变化来完成吸气和排气以达到抽气目的的真空泵。
气体在排出泵腔前被压缩。
这种泵分为往复式及旋转式两种。
(1)往复式真空泵利用泵腔内活塞往复运动，将气体吸入、压缩并排出。
又称为活塞式真空泵。
(2)旋转式真空泵利用泵腔内转子部件的旋转运动将气体吸入、压缩并排出。
它大致有如下几种分类：1)油封式真空泵它是利用真空泵油密封泵内各运动部件之间的间隙，减少泵内有害空间的一种旋转变容真空泵。
这种泵通常带有气镇装置。
它主要包括旋片式真空泵、定片式真空泵、滑阀式真空泵、余摆线真空泵等。
2)液环真空泵将带有多叶片的转子偏心装在泵壳内。
真空泵介绍
真空泵型号
我们这台PECVD所用的泵型号：爱德华GV600-EH42 00 本泵由上泵和下泵两部分组成。上泵是罗茨泵，下泵 是三级爪型一级罗茨结构。 它利用了在低压下罗茨泵抽气比较有效，在较高压强 下爪型干式真空泵比较有效的特点，将这两种泵各 自的优势匹配起来，组成干式真空泵，其结果性能 比较优良。
罗茨泵的抽气过程
如图为罗茨泵转子由0°转到180°的抽气过程。在0°位置时（图中a）， 下转子从泵入口封入v0体积的气体。当转到45°位置时（图中b），该腔 与排气口相通。由于排气侧压强较高，引起一部分气体返冲过来。当转到 90°位置时（图中c），下转子封入的气体，连同返冲的气体一起排向泵 外。这时，上转子也从泵入口封入v0体积的气体。当转子继续转到135°时 （图中d），上转子封入的气体与排气口相通，重复上述过程。180°（图 e）位置和0°位置是一样的。转子主轴旋转一周共排出四个v0体积的气体。Biblioteka 爪型干式真空泵吸排气的过程
S 具体抽气过程分四个冲程：第一个冲程如 图（a）所示，开始转子对在初始位置，S 腔的体积最小，而且和吸气口接通，S腔所 处的容积不断增加，被抽气体进入S腔，体 积较大的T腔则处于不断缩小状态。第二个 冲程：随着转子对的不断运动，如图（b） 所示。S腔正在不断加大，吸入的气体也越 来越多，T腔正不断缩小，当和排气口刚好 接通时开始排气。第三冲程：如图(c)所示， 转子对继续运动，使T腔变的最小，气体得 到最大限度压缩，S腔变的最大，吸气排气 快要结束。第四冲程：如图(d)所示，S腔 和T腔合为一体，泵腔不再吸排气，进、排 气口都自行关闭。这就是爪式真空泵抽气 工作的全过程。
本地上泵变频调速设定值 表示本地模式是上泵正常运行频率
远程变频节能设定值 表示在远程节能模式下下限频率
真空泵培训资料课件
调试与试运行
完成安装后进行调试和试运行 ，检查真空泵的性能参数是否
满足要求。
验收与交付
完成调试和试运行后，进行验 收并交付使用，同时提供相关
操作和维护培训。
真空泵安全与环保
04
真空泵的安全操作规程
启动前检查
确保真空泵的润滑油、冷却水 、密封液等充足，检查电源、
管道连接等是否正常。
启动操作
按照规定的顺序启动真空泵， 注意泵内气体排出情况，及时 调整。
漏油
可能是由于密封件老化、损坏或安装 不当等原因引起。应检查密封件，如 有需要应更换密封件，并确保安装正 确。
真空泵性能参数与
03
选型
真空泵的性能参数
抽气速率
表示真空泵在单位时间 内能抽走的空气流量， 是衡量真空泵性能的重
要参数。
极限真空度
指在一定条件下，真空 泵所能达到的最低压力 ，反映真空泵的抽气能
真空泵培训资料课件
汇报人：任老师 2023-12-30
目录
• 真空泵基础知识 • 真空泵操作与维护 • 真空泵性能参数与选型 • 真空泵安全与环保 • 真空泵案例分析
真空泵基础知识
01
真空泵的定义与分类
总结词
了解真空泵的定义和分类是掌握其工作原理和应用的基础。
详细描述
真空泵是一种能够将密闭容器中的气体抽出，使其内部形成 负压的装置。根据工作原理和应用的不同，真空泵有多种分 类，如干式螺杆真空泵、水环式真空泵、旋片式真空泵等。
总结词
了解真空泵的应用领域有助于更好地选择和使用适合特定需求的真空泵。
详细描述
真空泵广泛应用于多个领域，如化工、制药、食品、电子、环保等。在化工和制药领域，真空泵用于各种反应釜 的负压操作；在食品工业中，真空泵用于包装机械的负压吸附和物料输送；在电子工业中，真空泵用于制造和加 工过程中的气体抽除；在环保领域，真空泵用于废气处理和烟尘排放控制等。
真空泵与阀门.
真空泵：一、概要：真空泵是获得真空的设备，根据自身极限真空的能力将真空泵分为低真空泵和高真空泵。
表1.对常用真空泵进行了分类归纳。
表1.常用真空泵的分类：二、各类真空泵的特性表2.各类真空泵的特性：（六）、分子泵（turbo molecular pump）分子泵是使用高速旋转的叶片，使气体分子有一定方向的动量，藉以获得排气能力的机械泵。
抽真空的范围为10-10Torr。
图（10）是分子泵的工作原理示意图，这种泵之所以称为分子泵，因为它必须在进气端的气体处于分子流的情况下，才能有效的操作，此时的压力约在10-3Torr以下，所以需要一个回转泵做辅抽泵。
高级的分子泵有磁浮式（magnatically levitated）无油。
转子以锻造铸模一体成型式，抽气速度可达800l/s或以上。
本体连接电缆线和电源供应器均可以定期交换，任何零件更换后，不需再做调整，电源供应器有自行诊断功能。
停电时磁浮会藉由再生刹车而自动维持。
触地轴承可承受250次停电事件。
一个分子泵的构造如图（11）所示。
其各组成部分之作用为：1、入气口，2、定子，3、转子，4、轴承，5、马达，6、马达轴，7、冷却水，8、背压口。
转子定子转子定子 -4-10 法兰轴承背面扩散供水图（10）分子泵的工作原理示意图图（11）分子泵的构造图（七）、冷泵(cryogenic pump)冷泵系统由压缩机（compressor）和冷泵（cryopump）二部分组成。
内部有一耐用的闭回路冷冻（refrigeration）单元，如图（12）所示。
工艺腔冷泵供气图（12）冷泵的结构及配置先利用压缩机将氦气（He）压缩，以热交换方式除去其所产生的热量。
再使氦气急速膨胀，并导入到冷泵内，它吸收大量的热，使泵内调节板（baffle温度降为80K（K:绝对温度），而将水蒸气凝聚。
另一冷冻面板（Cryopanel）更降为15K。
当气体分子和此面板接触，即被陷住而凝聚。
除氩、氦、氖外，所有气体均液化为液体，蒸气压降至10-10Torr以下。
真空泵培训课件
域。
02
真空泵结构与工作原理
真空泵主要部件介绍
进气口
进气口是真空泵的入 口，与大气相通，允 许气体进入泵内。
叶轮
叶轮是真空泵的核心 部件，它快速旋转， 将气体从进气口吸入 ，并排向排气口。
排气口
排气口是真空泵的出 口，将经过压缩的气 体排出泵外。
温度过高
可能是由于真空泵内部热量控制不当 、冷却系统故障等原因导致。应检查 真空泵的冷却系统，确保冷却效果良 好。
可能是由于轴承磨损、齿轮啮合不良 等原因导致。应检查轴承和齿轮的磨 损情况，及时更换磨损严重的部件。
预防性维护保养建议
建立定期维护保养制度
01
制定详细的维护保养计划，并按照计划进行维护保养。
定期更换易损件
如真空泵的密封件、轴承等易损件，应定期更换，以保证真空泵的 正常运行。
保持真空泵的清洁
定期清理真空泵内部的灰尘和杂质，防止对真空泵造成损害。
常见故障原因分析及排除方法
真空度不足
可能是由于真空泵内部泄漏、过滤器 堵塞等原因导致。应检查真空泵的密 封件和过滤器，及时更换损坏的部件 。
噪音过大
泵体
泵体是真空泵的支撑 结构，它支撑着叶轮 、轴承和密封件。
轴承和密封件
轴承用于支撑叶轮， 密封件用于防止气体 泄漏。
真空泵工作原理详解
01
02
03
04
吸气过程
当叶轮旋转时，叶片带动气体 运动，使气体从进气口进入泵
内。
压缩过程
叶轮将气体压缩，使其压力升 高。
排气管路
经过压缩的气体通过排气管路 排出泵外。
THANKS
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化工原理第二章(气体输送机械)
【全风压的确定 全风压的确定】 全风压的确定 在通风机的进、出口截面之间列柏努利方程，忽 忽 略两截面的位差和阻力损失，则： 略两截面的位差和阻力损失
2 2 ps2 − ps1 u2 − u1 H= + ρg 2g
式中 ps1——通风机进口静压，Pa； ps2——通风机出口静压，Pa； u1——通风机进口气速，m/s； u2——通风机出口气速，m/s。
2011-6-9
转速 r/ 3～3452
流量 m3/h
2198～4122
电动机 型号
Y112M Y132S2-2 Y132S2-2 Y160M2-2 Y160M2-2 Y 160L-2 Y225M-2 Y280S-2
功率kW
4-7.5
2900
4933～4374
3130～5868
（1）气体进入叶轮中 心后，作圆周运动； （2）首先得到动能 动能； 动能 （3）一部分在蜗装壳 体内转换成静压能 静压能。 静压能
2011-6-9
3、离心式通风机的性能参数和特性曲线 、 何谓离心式通风机的性能参数？ 何谓离心式通风机的性能参数？ 【定义 定义】用以描述一台离心式通风机性能的一组物 定义 一组物 理量，该组参数通常标注在铭牌 铭牌上。包括： 理量 铭牌 （1）流量（风量）； （2）风压； （3）轴功率； （4）效率； （5）转速。
2011-6-9
全风压－ 全风压－流量 曲线 pt～qv
η pt pst
效率－ 效率－流量曲 线 η～qv ～
P 轴功率－ 轴功率－流量 曲线 P～qv ～
静风压－流量 静风压－ 曲线 pst～qv
qv
离心通风机特性曲线
2011-6-9
4、离心式通风机的选型 、 （1）确定风（流）量和全风压。风量根据生产任务 风 量和全风压 风量根据生产任务 来定；全风压按柏努利方程来求。 来定；全风压按柏努利方程来求。但均要按标准条 件进行校正，即：