ZYGO干涉仪使用指导书
ZYGO干涉仪使用说明书
1目的为了使员工正确熟悉的使用ZYGO干涉仪。
本文详细说明了如何使用ZYGO 干涉仪来测试晶体的平行度、波前、平面度等指标。
2范围本文件涉及用ZYGO 干涉仪检测平面元件的一般方法。
3 录取数据在检验过程中将会生成以下记录：3.1干涉图（保存文件名为*.Tif），在实时窗口上点击FILE-SAVE保存。
3.2测试数据（保存文件名为*.Dat），测试完成后点击SAVE DATE保存。
4 Zygo干涉仪的定义4.1 应用（application）应用是ZYGO 干涉仪中一系列功能的组合，保存为后缀名为“*.app”的文件。
不同的应用用于不同项目的测量。
比较常用的是GIP.app 用于一般的平面和球面的测量，GPI-Cylinde.app 用于柱面面形的测量，Angle.app用于平行角度的测试。
4.2 猫眼像（cateye）又称为标准镜的像。
标准镜的出射光在焦点处被返回时出现的干涉条纹，是透过干涉仪的光线与和它对称的标准面之间的干涉图形。
4.3 镜片像从标准镜出射的光在整个零件表面被原路反射回来与标准面的反射光发生干涉产生的干涉图形。
包含待测零件的表面或波前信息，是面形检测的主要信息来源。
4.4 升降台可以升降的平台，带有小倾角调节功能，一般用于放置平面元件。
4.5 Align/View 模式按下控制盒上的align/view 切换的2 个模式之一。
align模式可以看到一个黑色固定的十字线和反射回干涉仪的光点，一般用于零件对准，特点是视场较大。
View 模式是按下控制盒上的align/view 切换的2 个模式之一，可以看到干涉条纹，特点是放大率较高，但是视场较小。
一般在align界面对准后在view 界面观察条纹。
4.6 标准镜 干涉仪上使用的参考表面，用于生成理想的平面、球面波，作为测量基准。
4.7 长度基准设定图像的长度基准，因为放大率不同或者屈光度不同，同样大小的干涉图所代表的零件大小可能有很大的差异。
干涉仪的使用教程详解
干涉仪的使用教程详解干涉仪是一种重要的科学研究工具，它能够根据光的干涉现象来进行精密测量。
干涉仪广泛应用于光学、物理、天文等领域，具有优良的测量精度和灵敏度。
本文将详细介绍干涉仪的使用方法和注意事项。
一、基本原理干涉仪的基本原理是利用光的干涉现象进行测量。
光的干涉是指光波的相遇和叠加，分为相长干涉和相消干涉两种情况。
相长干涉时，光波叠加后得到的干涉条纹亮度增强；相消干涉时，叠加后的干涉条纹则呈现暗纹。
通过观察和分析干涉条纹的形态和变化，可以得到待测物体的特性参数。
二、使用步骤1. 设置实验装置：首先将干涉仪放置在稳定的台架上，并垂直于水平方向。
保证光源稳定，并对其进行准直处理，以获得单色、平行光。
2. 调整反射镜：根据干涉仪的类型不同，调整反射镜的位置和角度，确保光线能够正确地通过干涉仪的光程差调节装置。
3. 干涉条纹的观察：将待测物体放置在干涉仪的光程差调节装置上，通过调整该装置的位置或者改变待测物体的位置，观察和记录干涉条纹的形态和变化。
4. 数据处理与分析：根据记录的干涉条纹数据，利用干涉仪的相关公式进行计算和分析，得出待测物体的参数。
三、注意事项1. 实验环境的稳定：干涉仪对实验环境的稳定性要求较高，应确保光源的稳定性、噪声的减小以及实验装置的固定。
2. 防止光源污染：在进行干涉仪实验时，要注意保持光源的洁净，避免灰尘或其他污染物对光的质量和干涉条纹的观察造成干扰。
3. 干涉仪仪器的校准：定期对干涉仪的仪器进行校准，以确保其测量结果的准确性和可靠性。
4. 干涉条纹的观察技巧：观察和记录干涉条纹时，应利用光学仪器和图像处理软件等工具，以提高观察和分析的精度。
四、应用领域1. 光学研究：干涉仪被广泛应用于光学相关的实验研究中，如光学材料的折射率测量、光学组件的表面形貌检测等。
2. 物理实验：干涉仪可用于测量物体的形变、位移等参数，如材料的热膨胀系数、振动的频率和幅度等。
3. 天文观测：干涉仪在天文观测中有着重要的地位，例如进行星际介质的研究、天体形貌的探测等。
ZYGO干涉仪使用指导书
零件号
序列号
如果测量的是球面还需要在ISO10110窗口中输入曲率半径标称值、实测值、测试波长、零件有效口径。
标称半径
实测半径
波长
有效口径
9.6.3掩膜去除
去除自动掩膜在analysis control窗口中将 auto aperture栏中的ON改成
去除手动掩膜在mask窗口中选择pick然后选中需要去除的掩膜，点击
有掩膜都被清除。
测量
点击measure按钮或者控制盒上的measure按钮或按下键盘上“F1”键开始测量。
10.0 特殊测量：透过波前
10.1平面的透过波前
将干涉仪，待测平片，反射镜按光轴方向依次放置。
如果是棱镜，则将反射镜放置到与出射光垂直的位置。
ZYGO干涉仪使用说明
1目的为了使员工正确熟悉的使用ZYGO干涉仪。
本文详细说明了如何使用ZYGO 干涉仪来测试晶体的平行度、波前、平面度等指标。
2范围本文件涉及用ZYGO 干涉仪检测平面元件的一般方法。
3 录取数据在检验过程中将会生成以下记录：3.1干涉图（保存文件名为*.Tif），在实时窗口上点击FILE-SA VE保存。
3.2测试数据（保存文件名为*.Dat），测试完成后点击SA VE DATE保存。
4 Zygo干涉仪的定义4.1 应用（application）应用是ZYGO 干涉仪中一系列功能的组合，保存为后缀名为“*.app”的文件。
不同的应用用于不同项目的测量。
比较常用的是GIP.app 用于一般的平面和球面的测量，GPI-Cylinde.app 用于柱面面形的测量，Angle.app用于平行角度的测试。
4.2 猫眼像（cateye）又称为标准镜的像。
标准镜的出射光在焦点处被返回时出现的干涉条纹，是透过干涉仪的光线与和它对称的标准面之间的干涉图形。
4.3 镜片像从标准镜出射的光在整个零件表面被原路反射回来与标准面的反射光发生干涉产生的干涉图形。
包含待测零件的表面或波前信息，是面形检测的主要信息来源。
4.4 升降台可以升降的平台，带有小倾角调节功能，一般用于放置平面元件。
4.5 Align/View 模式按下控制盒上的align/view 切换的2 个模式之一。
align模式可以看到一个黑色固定的十字线和反射回干涉仪的光点，一般用于零件对准，特点是视场较大。
View 模式是按下控制盒上的align/view 切换的2 个模式之一，可以看到干涉条纹，特点是放大率较高，但是视场较小。
一般在align界面对准后在view界面观察条纹。
4.6 标准镜 干涉仪上使用的参考表面，用于生成理想的平面、球面波，作为测量基准。
4.7 长度基准设定图像的长度基准，因为放大率不同或者屈光度不同，同样大小的干涉图所代表的零件大小可能有很大的差异。
zygo激光干涉仪原理
zygo激光干涉仪原理
ZYGO激光干涉仪是一种精密光学测量设备，利用干涉原理测量光程差来评估物体表面的形状和大小。
该设备通过发射激光光束，并将其分为两个光路，然后将这两个光路重新合并，形成一系列干涉带。
当测量物体表面发生微小变形时，两条光线的光程差就会发生变化，因此干涉带也会发生变化。
该变化通过计算和分析验证，可以得出物体表面的形状和大小的毫米级测量精度。
ZYGO激光干涉仪主要应用于半导体、光学和航空航天等领域的研究中，以提高产品质量和性能。
ZYGO干涉仪使用指导书
ZYGO干涉仪使用指导书
ZYGO干涉仪使用指导书
本文档旨在为用户提供关于ZYGO干涉仪的详细使用指导。
请按照以下章节逐步操作，以确保正确使用干涉仪并获取准确的测量结果。
1：干涉仪简介
1.1 仪器概述
1.2 技术原理
2：仪器安装与连接
2.1 安装步骤
2.2 供电与连接
3：仪器参数设置
3.1 参数调节与选择
3.2 光路对齐
3.3 系统校准
4：测量准备
4.1 样品准备
4.2 测量环境设置
5：测量操作
5.1 测量步骤
5.2 数据记录与分析
6：维护与保养
6.1 日常维护
6.2 故障排除
7：附件使用及注意事项
7.1 附件清单
7.2 使用方法
7.3 注意事项
8：法律名词及注释
8.1 法律名词解释
本文档涉及附件：
附件一、ZYGO干涉仪操作示例视频附件二、ZYGO干涉仪参考手册
注释：
1：干涉仪：一种用来测量光程差的仪器，利用光干涉的原理
实现测量。
2：技术原理：指干涉仪工作的基本原理，主要包括光干涉理
论和干涉信号处理技术。
3：参数调节与选择：指根据具体测量要求，对干涉仪参数进
行调节和选择。
4：光路对齐：指调整光路以保证光的传输和干涉的有效进行。
5：系统校准：指对干涉仪进行系统性静态和动态校准，以提
高测量精度和可靠性。
6：数据记录与分析：指记录测量数据并进行数据处理和分析，如计算干涉图中的相位信息等。
7：日常维护：指干涉仪的日常保养和常见故障的处理。
8：附件清单：列出本文档所提及的附件名称和数量。
干涉仪的操作方法
5.干涉仪的保养事项 5.干涉仪的保养事项 1. 在主体的非润滑面、光学器件和除标准镜头外的各附 件表面使用一块软布，擦去指印和灰尘等；
2. 显示器除了日常擦拭外壳及屏幕外，无需其它 维护； 3. 对干涉仪主机之螺丝、旋钮、螺杆、导轨用润 滑油或防锈油进行擦拭； 4. 检查干涉仪各紧固元件是否有松动，滑丝等现 象，保证其牢固可靠；
干涉仪标准镜头选用计算公式: 干涉仪标准镜头选用计算公式: (R:镜片 镜片R ,D:镜片外径 镜片外径) F=R/D (R:镜片R值,D:镜片外径) 若已知镜片R值为16,镜片外径为25.8,求出可选用标准镜头? 16,镜片外径为25.8,求出可选用标准镜头 例:若已知镜片R值为16,镜片外径为25.8,求出可选用标准镜头? 解:F=16/25.8=0.62 注:若无0.62的镜头时,只能选取比0.62小的镜头. 若无0.62的镜头时,只能选取比0.62小的镜头. 0.62的镜头时 0.62小的镜头 公式:D=R/F 公式:D=R/F
5.干涉仪的保养事项 5.干涉仪的保养事项
5. 点检者按规定定期负责气垫旋钮，气垫水 准，恒扭力弹簧，平衡微调旋钮，工作台 锁紧旋钮，X\Y轴微调旋钮的检查； 6. 对每项保养工作，予以如实记录TPM点检 保养状况。由担当者签名，管理人员作确 认。
6.标准镜头的保养 6.标准镜头的保养 1. 标准镜头属高精密元件，温度变化、振动、冲击都会 造成性能上的影响，因此使用时需特别小心，不要弄 脏和碰伤标准表面； 2. 上下移动工作台或者标准镜头时，应避免标准镜头被 碰伤； 3. 安装标准镜头时，应带上干净的手套或手指套将镜头 从箱子里取出旋转装到主机上，取下时应及时放入箱 内； 4. 不可将镜片掉入镜头中，操作时应杜绝标准镜头的任 何磕碰伤。
zygo干涉仪工作原理
zygo干涉仪工作原理介绍如下：
Zygo干涉仪（Zygo Interferometer）是一种高精度光学测试仪器，用于测量物体表面形状和平整度等参数。
它主要基于干涉原理，通过将光束分成两部分，再将其重新合并，来检测光束通过物体后发生的光程差，从而得到物体表面的高度差异信息。
下面是Zygo干涉仪的基本工作原理：
1.首先，干涉仪将一束激光光束分成两束，一束经过反射镜后被反射回来，另一束经
过被测试物体的表面后被反射回来。
这两束光线再次交汇，形成干涉。
2.在干涉的区域中，光束的光程差取决于被测试物体的表面高度差异。
如果被测试物
体的表面是平整的，两束光线会完全重合，形成明亮的干涉条纹；如果被测试物体
的表面存在高度差异，则两束光线的相位差会引起干涉条纹的相移，形成暗纹和亮
纹交替的条纹。
3.Zygo干涉仪使用一台高精度的控制器来计算这些条纹的位置和数量，并从中推断出
被测试物体表面的高度差异。
4.为了提高测量的精度和减少干涉条纹的噪声，Zygo干涉仪通常使用一些附加的技术，
如使用一个可调谐的激光源来保持干涉条纹的稳定性，以及使用相干的光源来减少
光源的噪声和干涉条纹的抖动等。
总的来说，Zygo干涉仪利用光的干涉原理来检测被测试物体表面的高度差异，具有高精度、高灵敏度和高可靠性等特点，广泛应用于光学制造、半导体制造、航空航天等领域的表面形状和平整度的测量和检测。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
零件号
序列号
如果测量的是球面还需要在ISO10110窗口中输入曲率半径标称值、实测值、测试波长、零件有效口径。
标称半径
实测半径
波长
有效口径
9.6.3掩膜去除
去除自动掩膜在analysis control窗口中将 auto aperture栏中的ON改成
去除手动掩膜在mask窗口中选择pick然后选中需要去除的掩膜，点击
有掩膜都被清除。
测量
点击measure按钮或者控制盒上的measure按钮或按下键盘上“F1”键开始测量。
10.0 特殊测量：透过波前
10.1平面的透过波前
将干涉仪，待测平片，反射镜按光轴方向依次放置。
如果是棱镜，则将反射镜放置到与出射光垂直的位置。