zygo干涉仪使用说明
ZYGO干涉仪使用说明书
1目的为了使员工正确熟悉的使用ZYGO干涉仪。
本文详细说明了如何使用ZYGO 干涉仪来测试晶体的平行度、波前、平面度等指标。
2范围本文件涉及用ZYGO 干涉仪检测平面元件的一般方法。
3 录取数据在检验过程中将会生成以下记录：3.1干涉图（保存文件名为*.Tif），在实时窗口上点击FILE-SAVE保存。
3.2测试数据（保存文件名为*.Dat），测试完成后点击SAVE DATE保存。
4 Zygo干涉仪的定义4.1 应用（application）应用是ZYGO 干涉仪中一系列功能的组合，保存为后缀名为“*.app”的文件。
不同的应用用于不同项目的测量。
比较常用的是GIP.app 用于一般的平面和球面的测量，GPI-Cylinde.app 用于柱面面形的测量，Angle.app用于平行角度的测试。
4.2 猫眼像（cateye）又称为标准镜的像。
标准镜的出射光在焦点处被返回时出现的干涉条纹，是透过干涉仪的光线与和它对称的标准面之间的干涉图形。
4.3 镜片像从标准镜出射的光在整个零件表面被原路反射回来与标准面的反射光发生干涉产生的干涉图形。
包含待测零件的表面或波前信息，是面形检测的主要信息来源。
4.4 升降台可以升降的平台，带有小倾角调节功能，一般用于放置平面元件。
4.5 Align/View 模式按下控制盒上的align/view 切换的2 个模式之一。
align模式可以看到一个黑色固定的十字线和反射回干涉仪的光点，一般用于零件对准，特点是视场较大。
View 模式是按下控制盒上的align/view 切换的2 个模式之一，可以看到干涉条纹，特点是放大率较高，但是视场较小。
一般在align界面对准后在view 界面观察条纹。
4.6 标准镜 干涉仪上使用的参考表面，用于生成理想的平面、球面波，作为测量基准。
4.7 长度基准设定图像的长度基准，因为放大率不同或者屈光度不同，同样大小的干涉图所代表的零件大小可能有很大的差异。
干涉仪的使用方法和干涉谱的分析技巧
干涉仪的使用方法和干涉谱的分析技巧干涉仪是一种用于测量光学路径差的仪器，广泛应用于物理学、化学、生物学等领域的研究中。
本文将介绍干涉仪的使用方法以及干涉谱的分析技巧。
一、干涉仪的使用方法1. 调节光源：首先需要确保光源的亮度和稳定性。
可以使用氙灯、钠灯等白光源或激光器作为光源。
调节光源的亮度和位置，使光线尽可能地垂直射入干涉仪。
2. 调整干涉仪的干涉臂长度：干涉仪的干涉臂长度决定了光程差的大小。
通过调整干涉仪的干涉臂长度，可以改变干涉谱的特性。
一般可以通过调节干涉仪的反射镜或移动反射镜的位置来实现。
3. 调节干涉仪的角度：干涉仪的两个反射镜之间的夹角也会对干涉谱产生影响。
调节干涉仪的角度可以改变干涉条纹的间距和形状。
通常可以通过调节干涉仪的支架或移动一个反射镜来实现。
4. 实施干涉实验：当调整好干涉仪的参数后，可以进行干涉实验。
将待测样品放入干涉仪中，观察干涉条纹的变化。
可以通过调整样品的位置、旋转样品或调节光源的亮度来改变干涉条纹。
二、干涉谱的分析技巧1. 干涉条纹的形状：观察干涉条纹的形状可以获得关于样品的信息。
例如，干涉条纹的明暗交替说明样品存在厚度或折射率变化。
条纹的形状还可以用于测量样品的表面形貌或薄膜的厚度。
2. 干涉谱的解析：干涉谱是干涉仪输出的光信号在频率域上的分布。
通过分析干涉谱可以获得关于样品的更多信息。
可以利用光源的光谱信息和干涉仪的干涉谱来推断样品的光学性质。
3. 干涉谱的拟合：通过将实际测量得到的干涉谱与理论模型的干涉谱进行拟合，可以得到样品的参数。
对干涉谱进行拟合需要掌握数学拟合方法和理论模型，并根据实际情况选择合适的模型。
4. 干涉谱的计算：干涉仪输出的光信号一般是电压信号或强度信号。
可以利用傅里叶变换等方法将信号转化为干涉谱。
计算干涉谱需要掌握信号处理和数值计算的方法。
干涉仪的使用方法和干涉谱的分析技巧是进行干涉实验和研究的基础。
掌握这些方法和技巧可以帮助研究者更准确地获得样品的光学信息，并推断样品的性质。
干涉仪的使用教程详解
干涉仪的使用教程详解干涉仪是一种重要的科学研究工具，它能够根据光的干涉现象来进行精密测量。
干涉仪广泛应用于光学、物理、天文等领域，具有优良的测量精度和灵敏度。
本文将详细介绍干涉仪的使用方法和注意事项。
一、基本原理干涉仪的基本原理是利用光的干涉现象进行测量。
光的干涉是指光波的相遇和叠加，分为相长干涉和相消干涉两种情况。
相长干涉时，光波叠加后得到的干涉条纹亮度增强；相消干涉时，叠加后的干涉条纹则呈现暗纹。
通过观察和分析干涉条纹的形态和变化，可以得到待测物体的特性参数。
二、使用步骤1. 设置实验装置：首先将干涉仪放置在稳定的台架上，并垂直于水平方向。
保证光源稳定，并对其进行准直处理，以获得单色、平行光。
2. 调整反射镜：根据干涉仪的类型不同，调整反射镜的位置和角度，确保光线能够正确地通过干涉仪的光程差调节装置。
3. 干涉条纹的观察：将待测物体放置在干涉仪的光程差调节装置上，通过调整该装置的位置或者改变待测物体的位置，观察和记录干涉条纹的形态和变化。
4. 数据处理与分析：根据记录的干涉条纹数据，利用干涉仪的相关公式进行计算和分析，得出待测物体的参数。
三、注意事项1. 实验环境的稳定：干涉仪对实验环境的稳定性要求较高，应确保光源的稳定性、噪声的减小以及实验装置的固定。
2. 防止光源污染：在进行干涉仪实验时，要注意保持光源的洁净，避免灰尘或其他污染物对光的质量和干涉条纹的观察造成干扰。
3. 干涉仪仪器的校准：定期对干涉仪的仪器进行校准，以确保其测量结果的准确性和可靠性。
4. 干涉条纹的观察技巧：观察和记录干涉条纹时，应利用光学仪器和图像处理软件等工具，以提高观察和分析的精度。
四、应用领域1. 光学研究：干涉仪被广泛应用于光学相关的实验研究中，如光学材料的折射率测量、光学组件的表面形貌检测等。
2. 物理实验：干涉仪可用于测量物体的形变、位移等参数，如材料的热膨胀系数、振动的频率和幅度等。
3. 天文观测：干涉仪在天文观测中有着重要的地位，例如进行星际介质的研究、天体形貌的探测等。
zygo干涉仪gpi-p-d使用说明
ZYGO干涉仪使用说明目的制定本文件是为了详细说明如何使用ZYGO干涉仪测量平面、球面、柱面晶体元件的曲率半径、面形（平行度、平面度）、以及透过波前畸变，并提高检验过程的准确性和可重复性。
范围本文件涉及用ZYGO干涉仪检测平面、球面、柱面元件的一般方法。
记录在检验过程中将会生成以下记录：干涉图（保存文件名为*.Tif），在实时窗口上点击FILE-SAVE保存。
测试数据（保存文件名为*.Dat），测试完成后点击SAVE DATE保存。
相关文件与本文件相关的文件有：•待测零件图纸定义应用（application）应用是ZYGO干涉仪中一系列功能的组合，保存为后缀名为“*.app”的文件。
不同的应用用于不同项目的测量。
比较常用的是用于一般的平面和球面的测量，用于柱面面形的测量，用于平行角度的测试。
猫眼像（cateye）又称为标准镜的像。
标准镜的出射光在焦点处被返回时出现的干涉条纹，是透过干涉仪的光线与和它对称的标准面之间的干涉图形。
镜片像从标准镜出射的光在整个零件表面被原路反射回来与标准面的反射光发生干涉产生的干涉图形。
包含待测零件的表面或波前信息，是面形检测的主要信息来源。
升降台可以升降的平台，带有小倾角调节功能，一般用于放置平面元件。
Align/View 模式按下控制盒上的align/view切换的2个模式之一。
align模式可以看到一个黑色固定的十字线和反射回干涉仪的光点，一般用于零件对准，特点是视场较大。
View模式是按下控制盒上的align/view切换的2个模式之一，可以看到干涉条纹，特点是放大率较高，但是视场较小。
一般在align界面对准后在view界面观察条纹。
标准镜干涉仪上使用的参考表面，用于生成理想的平面、球面波，作为测量基准。
长度基准设定图像的长度基准，因为放大率不同或者屈光度不同，同样大小的干涉图所代表的零件大小可能有很大的差异。
设定长度基准的目的就是告诉干涉仪图形中的一段长度相当于镜片中长度的多少，方便控制测量区域和设定掩膜。
干涉仪器的使用方法和标准
干涉仪器的使用方法和标准
一、功能介绍：用于检查研磨后镜片面形精度（牛顿环、局部误差），
检查范围≤∮75，放大比例：１：１
二、精度描述：标准板精度为λ/ 20
三、操作规程
a)确认校验有效期：看干涉仪的标识校验有效期是否超过，若
超过有效期，则先向校验员提出校验后再使用。
b)开电源：打开变压器（２２０Ｖ变为１１０Ｖ），此时激光
干涉仪电源驱动器进入对激光管驱动工作。
c)电源驱动激光管约15分钟左右，干涉仪专用电源稳定后指
示灯亮，进入稳定状态。
d)清理台面，将待检品、不良、良品按标示区域整理准备检测
镜片。
e)擦拭干净放置镜片的检测治具，戴好手指套、口罩。
f)放置镜片到载物台或载物台的治具上，将对焦/成像开关切
换到对焦，在目视视场中可见三个光点，调节载物台的旋
扭，让屏幕上可移动按扭中较亮点与原视场点重合；再将
对焦/成像开关切换至成像。
g)调整载物台旋扭，读取需要数据，最好是将干涉条纹调到
3-5条相对数据比校准确。
四、保管保养
a)仪器玻璃表面严禁用手触摸，可用镜头纸或脱脂棉蘸酒精清
擦。
b) 清洁毛巾不能沾水，放置场地需保持干燥、清洁。
c) 若需在2H以内需使用则不需关闭电源，但需关闭显示器的
电源；若需超2H再使用则需关闭电源。
开电源：打开变压器（２２０Ｖ变为１１０Ｖ），此时
五、注意事项
a)放置干涉仪桌子与墙壁不能接触，干涉仪及干涉仪桌子不能受外力震动，否则会影响检测精度。
b)室内需恒温在１℃以内，否则会影响检测精度。
ZYGO干涉仪使用说明
1目的为了使员工正确熟悉的使用ZYGO干涉仪。
本文详细说明了如何使用ZYGO 干涉仪来测试晶体的平行度、波前、平面度等指标。
2范围本文件涉及用ZYGO 干涉仪检测平面元件的一般方法。
3 录取数据在检验过程中将会生成以下记录：3.1干涉图（保存文件名为*.Tif），在实时窗口上点击FILE-SA VE保存。
3.2测试数据（保存文件名为*.Dat），测试完成后点击SA VE DATE保存。
4 Zygo干涉仪的定义4.1 应用（application）应用是ZYGO 干涉仪中一系列功能的组合，保存为后缀名为“*.app”的文件。
不同的应用用于不同项目的测量。
比较常用的是GIP.app 用于一般的平面和球面的测量，GPI-Cylinde.app 用于柱面面形的测量，Angle.app用于平行角度的测试。
4.2 猫眼像（cateye）又称为标准镜的像。
标准镜的出射光在焦点处被返回时出现的干涉条纹，是透过干涉仪的光线与和它对称的标准面之间的干涉图形。
4.3 镜片像从标准镜出射的光在整个零件表面被原路反射回来与标准面的反射光发生干涉产生的干涉图形。
包含待测零件的表面或波前信息，是面形检测的主要信息来源。
4.4 升降台可以升降的平台，带有小倾角调节功能，一般用于放置平面元件。
4.5 Align/View 模式按下控制盒上的align/view 切换的2 个模式之一。
align模式可以看到一个黑色固定的十字线和反射回干涉仪的光点，一般用于零件对准，特点是视场较大。
View 模式是按下控制盒上的align/view 切换的2 个模式之一，可以看到干涉条纹，特点是放大率较高，但是视场较小。
一般在align界面对准后在view界面观察条纹。
4.6 标准镜 干涉仪上使用的参考表面，用于生成理想的平面、球面波，作为测量基准。
4.7 长度基准设定图像的长度基准，因为放大率不同或者屈光度不同，同样大小的干涉图所代表的零件大小可能有很大的差异。
ZYGO干涉仪使用指导书
ZYGO干涉仪使用指导书
ZYGO干涉仪使用指导书
本文档旨在为用户提供关于ZYGO干涉仪的详细使用指导。
请按照以下章节逐步操作，以确保正确使用干涉仪并获取准确的测量结果。
1：干涉仪简介
1.1 仪器概述
1.2 技术原理
2：仪器安装与连接
2.1 安装步骤
2.2 供电与连接
3：仪器参数设置
3.1 参数调节与选择
3.2 光路对齐
3.3 系统校准
4：测量准备
4.1 样品准备
4.2 测量环境设置
5：测量操作
5.1 测量步骤
5.2 数据记录与分析
6：维护与保养
6.1 日常维护
6.2 故障排除
7：附件使用及注意事项
7.1 附件清单
7.2 使用方法
7.3 注意事项
8：法律名词及注释
8.1 法律名词解释
本文档涉及附件：
附件一、ZYGO干涉仪操作示例视频附件二、ZYGO干涉仪参考手册
注释：
1：干涉仪：一种用来测量光程差的仪器，利用光干涉的原理
实现测量。
2：技术原理：指干涉仪工作的基本原理，主要包括光干涉理
论和干涉信号处理技术。
3：参数调节与选择：指根据具体测量要求，对干涉仪参数进
行调节和选择。
4：光路对齐：指调整光路以保证光的传输和干涉的有效进行。
5：系统校准：指对干涉仪进行系统性静态和动态校准，以提
高测量精度和可靠性。
6：数据记录与分析：指记录测量数据并进行数据处理和分析，如计算干涉图中的相位信息等。
7：日常维护：指干涉仪的日常保养和常见故障的处理。
8：附件清单：列出本文档所提及的附件名称和数量。
zygo干涉仪工作原理
zygo干涉仪工作原理介绍如下：
Zygo干涉仪（Zygo Interferometer）是一种高精度光学测试仪器，用于测量物体表面形状和平整度等参数。
它主要基于干涉原理，通过将光束分成两部分，再将其重新合并，来检测光束通过物体后发生的光程差，从而得到物体表面的高度差异信息。
下面是Zygo干涉仪的基本工作原理：
1.首先，干涉仪将一束激光光束分成两束，一束经过反射镜后被反射回来，另一束经
过被测试物体的表面后被反射回来。
这两束光线再次交汇，形成干涉。
2.在干涉的区域中，光束的光程差取决于被测试物体的表面高度差异。
如果被测试物
体的表面是平整的，两束光线会完全重合，形成明亮的干涉条纹；如果被测试物体
的表面存在高度差异，则两束光线的相位差会引起干涉条纹的相移，形成暗纹和亮
纹交替的条纹。
3.Zygo干涉仪使用一台高精度的控制器来计算这些条纹的位置和数量，并从中推断出
被测试物体表面的高度差异。
4.为了提高测量的精度和减少干涉条纹的噪声，Zygo干涉仪通常使用一些附加的技术，
如使用一个可调谐的激光源来保持干涉条纹的稳定性，以及使用相干的光源来减少
光源的噪声和干涉条纹的抖动等。
总的来说，Zygo干涉仪利用光的干涉原理来检测被测试物体表面的高度差异，具有高精度、高灵敏度和高可靠性等特点，广泛应用于光学制造、半导体制造、航空航天等领域的表面形状和平整度的测量和检测。
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1目的为了使员工正确熟悉的使用ZYGO干涉仪。
本文详细说明了如何使用ZYGO 干涉仪来测试晶体的平行度、波前、平面度等指标。
2范围本文件涉及用ZYGO 干涉仪检测平面元件的一般方法。
3 录取数据在检验过程中将会生成以下记录：3.1干涉图（保存文件名为*.Tif），在实时窗口上点击FILE-SA VE保存。
3.2测试数据（保存文件名为*.Dat），测试完成后点击SA VE DATE保存。
4 Zygo干涉仪的定义4.1 应用（application）应用是ZYGO 干涉仪中一系列功能的组合，保存为后缀名为“*.app”的文件。
不同的应用用于不同项目的测量。
比较常用的是GIP.app 用于一般的平面和球面的测量，GPI-Cylinde.app 用于柱面面形的测量，Angle.app用于平行角度的测试。
4.2 猫眼像（cateye）又称为标准镜的像。
标准镜的出射光在焦点处被返回时出现的干涉条纹，是透过干涉仪的光线与和它对称的标准面之间的干涉图形。
4.3 镜片像从标准镜出射的光在整个零件表面被原路反射回来与标准面的反射光发生干涉产生的干涉图形。
包含待测零件的表面或波前信息，是面形检测的主要信息来源。
4.4 升降台可以升降的平台，带有小倾角调节功能，一般用于放置平面元件。
4.5 Align/View 模式按下控制盒上的align/view 切换的2 个模式之一。
align模式可以看到一个黑色固定的十字线和反射回干涉仪的光点，一般用于零件对准，特点是视场较大。
View 模式是按下控制盒上的align/view 切换的2 个模式之一，可以看到干涉条纹，特点是放大率较高，但是视场较小。
一般在align界面对准后在view界面观察条纹。
4.6标准镜 干涉仪上使用的参考表面，用于生成理想的平面、球面波，作为测量基准。
4.7 长度基准设定图像的长度基准，因为放大率不同或者屈光度不同，同样大小的干涉图所代表的零件大小可能有很大的差异。
设定长度基准的目的就是告诉干涉仪图形中的一段长度相当于镜片中长度的多少，方便控制测量区域和设定掩膜。
4.8 掩膜（mask ）表明干涉图中有效区域的工具。
可以根据需要设定有效区域的形状、大小、位置， 也可以从有效区域中挖去一部分不需要的。
5 职责主要包括以下几个方面：5.1 zygo 干涉仪使用和维护部门为品管部。
品管部经理负责保证过程实施所需的培训及资源。
5.2 按照校准计划对设备定期检定。
5.3 指定的仪器使用者需保证使用过程按按照操作规程操作仪器。
5.4 定期对设备进行保养。
6 操作主要内容.6.1开机依次开启ZYGO 显示器电源，机箱控制面板上电源按钮：MASTER 、MONITOR 、AUX1、AUX2，以及干涉仪主机箱右侧下方POWER 。
6.2运行程序进入Windows 后，双击桌面上的Metropro.exe （如图一）操作软件，运行程序，进入ZYGO 测试操作桌面。
启动完成后会自动进入GPI.app ，如果没有，关闭当前的窗口，待其缩小为按钮后，在应用选择窗口中点击相应的应用。
图一6.3平行度测试作 业 文 件文件编号 ZYGO 干涉仪使用说明版本/修订 页码 2/8作 业 文 件文件编号 ZYGO 干涉仪使用说明 版本/修订页码 3/8主要测试步骤如下：6.3.1按监视器遥控器上的显示切换键（ALIGN/VIEW），使监视器处于排列状态。
扭动参考反射镜上方的调节旋钮，调整镜面方向，使得反射镜反射回的最亮光斑与十字分划线交点重合。
完成后,按遥控器上的显示切换键（ALIGN/VIEW），使监视器处于浏览状态。
双击ZYGO测试操作桌面中angle.app 按钮进入平行测试操作界面。
6.3.2调整好后将待测晶体放置到样品支架上，通过观察监视器调整晶体，使晶体垂直于测试光（监视器中晶体边缘清晰可见。
）6.3.3点击操作界面左下角Measure Controls 对话框中的Refractive index, 录入待测晶体的折射率（选择632.8nm时对应晶体的折射率，如图二），按回车键确定。
图二6.3.4点击测试界面左上角的Calibrate按钮，在弹出的对话界面中点击Fringe 按钮,对话框中图像显示会进行更新，锁定并显示监视器中画面。
使用鼠标标记晶体通光面宽度，在弹出的对话框中，录入晶体通光面宽度，按回车键确定。
6.3.5点击测试界面中左上角Mask Data按钮（如图三、四所示）, 在弹出的有动态图像的对话框中，首先从下部选项中选择晶体外形标定（例如正方形则选择square）。
在动态图像中，使用鼠标准确标定待测晶体，要求标定范围不能超出晶体。
并在动态图像上方无晶体的空间内，选择与待测晶体规格相近的区域，此区域将作为参考区域。
图三然后，点击下部选项中的BG Inc 使该按钮变为BG EXC ，锁定选择区，点击Define ，定义Acq 。
之后点击Test ，选择Unfill ，去除最后标定的参考区域，图四点击Define ，定义Test （晶体测试区域）。
再点击Ref ，选择Fill ，添加最后标定的参考区域，点击Pick ，然后用鼠标点击待测晶体区域边框，选择Unfill ，去除晶体待测区域，点击Define ，定义Ref （参考区域）。
6.3.6点击测试界面中左上角Measure 按钮，系统进行自动测算。
当监视器中左下角出现Wedge X.X sec （表示被测量器件两表面的夹角为X.X 秒）时，记录下此时X.X 即为晶体的平行度。
测试完毕后关闭平行度测试操作界面，点击左上角X 符号，退回到ZYGO 主测试操作桌面。
作业 文 件文件编号 ZYGO 干涉仪使用说明 版本/修订页码 4/86.4.1 调整监视器遥控器上的显示切换键（ALIGN/VIEW ），使监视器处于排列状态。
移除标准参考反射镜面，将晶体放置到样品支架上，调整晶体方向，使其反射回的光斑与十字分划线交点重合。
完成后，按监视器遥控器上的显示切换键，使监视器处于浏览状态。
点击ZYGO 测试操作桌面中GPI.app 按钮进入平面度测试操作界面。
6.4.2点击测试界面左上角的Calibrate 按钮（如图五所示），在弹出的对话界面中点击Fringe 按钮,对话框中图像显示会进行更新，锁定并显示监视器中画面。
使用鼠标标记晶体通光面宽度，在弹出的对话框中，录入晶体通光面宽度，按回车键确定。
6.4.3点击测试界面中左上角Mask Data 按钮（如图五所示）, 在弹出的有动态图像的对话框中，首先从下部选项中选择晶体外形标定（例如正方形则选择square ）。
在动态图像中，使用鼠标准确标定待测晶体，要求标定范围不能超出晶体。
点击Define ，定义待测区域。
6.4.4点击测试界面中左上角Measure 按钮，系统进行自动测算。
当监视器中左上角出现PV X.XXX Wave （表示被测样品最高点与最低点之间的距离为X.XXXλ）时（如图六所示），记录此时X.XXX 即为晶体的平面度值。
测试完毕后关闭测试操作界面，点击左上角X 符号，退回到ZYGO 主测试操作桌面。
图五 图六6.5 波前畸变测试主要测试步骤如下：6.5.1调整监视器遥控器上的显示切换键（ALIGN/VIEW ），使监视器处于排列状态。
扭动参考反射镜上方的调节旋钮，调整镜面方向，使得反射镜反射回的 页码 5/8（ALIGN/VIEW ），使监视器处于浏览状态。
点击ZYGO 测试操作桌面中GPI.app 按钮进入波面测试操作界面。
6.5.2将待测晶体放置到样品支架上，通过观察监视器调整晶体，使晶体垂直于测试光（监视器中晶体边缘清晰可见）。
6.5.3点击测试界面左上角的Calibrate 按钮，在弹出的对话界面中点击Fringe 按钮,对话框中图像显示会进行更新，锁定并显示监视器中画面。
使用鼠标标记晶体通光面宽度，在弹出的对话框中，录入晶体通光面宽度，按回车键确定。
6.5.4 点击测试界面中左上角Mask Data 按钮, 在弹出的有动态图像的对话框中，首先从下部选项中选择晶体外形标定（例如正方形则选择square ）。
在动态图像中，使用鼠标准确标定待测晶体，要求标定范围不能超出晶体。
点击Define ，定义待测区域。
6.5.5点击测试界面中左上角Measure 按钮，系统进行自动测算。
当监视器中左上角出现PV X.XXX Wave （表示被测样品最高点与最低点之间的距离为X.XXXλ）时，记录此时X.XXX 即为晶体的波面数值（如图五所示）。
测试完毕后关闭波面测试操作界面，点击左上角X 符号，退回到ZYGO 主测试操作桌面。
7 细节说明和结语7.1 安全要求7.1.1 测量过程中，注意对透镜的防护，尤其是表面和边角容易损坏的部位。
7.1.2 标准镜使用时要插入到位，螺丝拧紧。
不用时要摆放到盒子中避免意外损坏。
7.1.3使用干涉仪测量面形主要包括以下步骤：开机，选择、安装标准镜，找到待测零件表面干涉条纹，输入零件号等相关信息，设定长度基准，取掩膜，测量，结果保存和打印。
不同的零件在找干涉条纹和一些设定方面有所区别，但是基本步骤差不多。
7.2 选择、安装标准镜选择：平面和柱面选择平面标准镜TF ，球面选择球面标准镜。
球面标准镜在选择的时候要考虑镜片的曲率半径和口径，参照JENfizar 的标准镜选择。
安装：将标准镜的两个插销对准标准镜安装支架上的卡口插入，旋转，安装到位，旋转锁死螺钉固定好。
按下控制盒上align/view 切换到align 模式，将光点调到十字线的中心。
7.3 寻找干涉条纹平面：将待测面正对干涉仪主机放置到升降台上，如果是楔角较小的平片或者直角棱镜之类的可能需要把背面事先涂上凡士林来消除杂光影响。
按下控制盒上的align/view 按钮切换到align 模式，调整待测零件的俯仰和水平旋转在动态窗口中找到零件表面反射回来的光点，并将其调整到十字线中心。
再次按下align/view 按钮切换到view 模式，微调零件或者标准镜的俯仰和水平旋转，将条纹调到3 根左右。
球面：将镜片夹到六位调整架上，待测面正对干涉仪主机。
切换到view 界面，沿导轨前后移动调整架至干涉仪的出射光聚焦到零件表面（可用一张小纸条贴于零件表面观察）。
此时干涉仪中出现的条纹称为猫眼像（cateye），也常称作标准镜的像。
调整六位调整架，使零件上下移动把条纹调到充满整个视场，微调标准镜的位置，使得条纹对称。
凸面靠近，凹面远离干涉仪主机寻找表面像，紧盯刚才找到的猫眼条纹，它会渐渐变小然后又慢慢变大，再次变大的条纹就是零件的表面像，微调六维调整架将条纹调到 3 根。
在整个寻找过程中，光点可能会移动，通过调整来保持光点始终在屏幕中心。