设备配置及技术规格表

设备配置及技术规格表

、曝光面积：英寸

、曝光波长：

*、分辨力：μ（胶厚μ的正胶）

、对准精度：±μ

、掩模样片整体运动范围：：：

、掩模尺寸：英寸、英寸、英寸、英寸

*、样片尺寸：直径φ～φ

厚度：～(可扩展为)

、曝光方式：定时（倒计时方式）和定

剂量

*、照明不均匀性：（φ范围）

*、双目双视场对准显微镜：既可通过

目镜目视对准，也可通过显示器对准，

光学合像，光学最大倍数倍，光学电子

放大倍

物镜三对：倍、倍、倍

目镜三对：倍、倍、倍

、掩模相对于样片运动行程：：±：±

θ：±度

专家论证：