近场光学显微技术原理及应用
近场光学显微镜介绍
近场光学显微镜1.概述新型的近场光学显微镜的出现，使人们的视野拓宽到波长的十分之一以下，即纳米尺度。
在近场光学显微镜中，采用孔径远小于光波长的探针代替光学镜头。
当把这样的亚波长探针放置在距离物体表面一个波长以内，即近场区域时，通过探测束缚在物体表面的非辐射场，可以探测到丰富的亚微米光学信息。
随着扫描探针显微学、微弱光信号探测技术的发展，人们可以制备孔径小于50 nm 的光纤探针，并且精确地在样品表面几十纳米以内稳定、可靠地进行光学信息的扫描成像，即扫描近场光学显微镜，其光学分辨率达到波长的几十分之一。
由于光子具有一些特殊的性质，如没有质量、电中性、波长比较长(与电子相比较)、容易改变偏振特性、可以在空气及许多介电材料中传播等等，近场光学在纳米尺度观察上起到其他扫描隧道显微镜、原子力显微镜所不能取代的作用，引发了近场光学显微镜在纳米尺度光学成像、纳米尺度光学微加工与光刻、超高密度信息存储、以及生物样品的原位与动态观察等一系列研究。
在这个领域中，另一个新的发展是近场光学技术与近场光谱及时间分辨的结合。
人们不但能够分辨单一的分子，并且能得到单一分子发出的荧光光谱及与时间分辨(10 - 15s)相结合的介观体系信息。
同时，也提出了近场条件下分辨率、衬度、偏振及光的传播特性的新的理论问题。
2.近场光学显微镜的原理传统的光学显微镜由光学镜头组成，可以将物体放大至几千倍来观察细节，由于光波的衍射效应，无限提高放大倍数是不可能的，因为会遇到光波衍射极限这一障碍，传统的光学显微镜的分辨率不能超过光波长的一半。
比如，以波长λ=400nm的绿光作为光源，仅能分辨相距为200nm的两个物体。
实际应用中λ>400nm，分辨率要更低些。
这是因为一般的光学观察都在距离物体很远的位置（>>λ）。
近场光学显微镜根据非辐射场的探测和成像原理，能够突破普通光学显微镜所受到的衍射极限，可以在超高光学分辨率下进行纳米尺度光学成像与纳米尺度光谱研究。
近场光学显微镜的原理与应用
近场光学显微镜的原理与应用近场光学显微镜是一种高分辨率的显微镜，其分辨率比传统的光学显微镜高出数倍，由于其具有显著的优势，被广泛的应用于生物学、化学以及物理学领域。
近场光学显微镜的原理是利用阴影和高斯分布的原理，在极短距离内记录样品，从而实现高分辨率成像。
与传统的光学显微镜不同，近场光学显微镜使用的是非球形的探针，其可以显著的提高成像的分辨率。
探针可以通过针尖控制光的传播和聚焦，从而取代传统光学系统中的透镜。
近场光学显微镜有两种类型：激光扫描近场光学显微镜（SNOM）和原子力显微镜（AFM）。
SNOM利用了光的境界效应，在激光束射到探头和样品之间形成了一个非常小的空气隙，光束在这里发生折射、反射和散射。
探头测量位于芯片的表面上的交变光强度。
这种技术允许使用单个探头高效提取光信号并增强局部场，进而得到非常高分辨率的成像结果。
在AFM中，探针不是扫描光束，而是通过机械力与样品表面相互作用，记录样品表面的形态和物理各向异性特性，通过扫描电镜的探头与样品的亲密接触生成形态和力学特性的映像。
在这种情况下，由于电磁力的交互，探头会受到样品表面的微小变形和反弹，探针的垂直与样品表面的距离可以被计算。
近场光学显微镜的应用非常广泛，例如在纳米电子学领域中，通过这种技术可以对晶体结构进行分析，从而更好地理解其物理和电学特性。
在化学领域中，近场光学显微镜可以增加化学计量成像的分辨率，并通过分析分子跳变和化学反应来研究它们的反应和组成。
在生物医学领域中，这种方法可以精确地研究肿瘤细胞、细胞器、脂质体和分子间相互作用的等。
此外，近场光学显微镜还可以用于制备仿生材料、制备高分辨率传感器等。
近场光学显微镜的出现大大扩展了显微镜的应用范围，为各个领域的研究提供了极有价值的工具和方法。
地球上的很多领域都可以应用这种技术，相信这种技术将有不同层面的突破。
近场光学显微镜的使用技巧与调试方法
近场光学显微镜的使用技巧与调试方法近场光学显微镜（SNOM）是一种基于近场效应的高分辨显微镜，能够实现纳米尺度下的图像采集和表面分析。
本文章将介绍近场光学显微镜的使用技巧与调试方法，希望能为研究人员提供一些帮助。
一、近场光学显微镜的基本原理近场光学显微镜是利用近场效应实现高分辨率成像的一种显微镜。
在SNOM 中，光束通过探测器下方的孔径探针（探头）聚焦到样品表面，形成一个极小的光斑。
样品表面的结构或性质会改变光场的分布情况，这些信息被探针收集并转换成电信号，通过信号处理可以得到高分辨率的图像。
二、近场光学显微镜的使用技巧1. 环境控制：由于近场光学显微镜对环境变化敏感，使用时需确保实验室内的温度、湿度和气流等环境因素的稳定。
特别是对于高分辨率的成像，环境的微小变化可能会对结果产生影响。
2. 探针的选择：探针是近场光学显微镜最关键的部件之一。
在使用时应根据样品的性质和实验要求选择合适的探针，如金属探针、光纤探针等。
另外，探针的制备和处理也需要注意，保证探针的清洁和尖端的光滑度。
3. 样品的准备：样品的制备对于近场光学显微镜的成像结果至关重要。
表面的平整度和洁净度都会影响成像的质量。
在样品准备时应避免产生尘埃或杂质污染，可采用特殊的清洁方法，如超声波洗涤或离子注入。
4. 成像参数的调整：在进行成像前，需要调整一些参数以获得最佳的成像效果。
如探针和样品之间的距离（探测高度）、激光功率、扫描速度等。
这些参数的调整要根据具体的样品特性和要求进行优化，可通过观察成像结果实时调整。
三、近场光学显微镜的调试方法1. 光纤对准：光纤的对准是近场光学显微镜调试的关键步骤之一。
要确保光纤的耦合效率和光束聚焦质量，可通过光功率的最大输出以及成像结果的清晰度来评估调试效果。
2. 探针调试：探针的调试对于获得高质量的近场光学成像至关重要。
可通过调整探针的位置、旋转角度和倾斜角度等来优化探针与样品的接触状态，以获得最佳成像效果。
近场光学显微镜的工作原理
近场光学显微镜的工作原理近场光学显微镜（Near-field optical microscope, NSOM）是一种非常重要的显微镜技术，它可以突破传统光学显微镜的分辨率极限，实现纳米尺度下的超高分辨率成像。
它常被用于研究纳米结构材料、生物分子和量子器件等领域，有着广泛的应用前景。
近场光学显微镜的工作原理可以简单地描述为通过置于样品表面附近的微小探针实现的。
这个探针被称为光纤探针或是光纤尖端探针，它具有非常尖锐的末端，并且在末端附近可以发生近场增强效应。
当激光光束从光纤探针传输到样品表面时，近场增强效应使得光场能够显著缩小，并且得到了比传统光学微镜更高的分辨率。
在近场光学显微镜的成像过程中，有两种主要的成像模式，即透射式和反射式。
在透射式近场光学显微镜中，探针位于样品上方，激光在探针的末端聚焦。
样品被置于玻璃基片上，玻璃的透明度可以提高可见光的传播效率。
当激光透过探针聚焦在样品表面上时，通过激发样品表面的等离子体共振效应，可以获得显著增强的光场。
反射式近场光学显微镜与透射式不同，探针位于样品的侧面，激光从侧面照射样品，并通过探针进行观测。
在反射式近场光学显微镜中，探针末端附近的近场增强效应可以显著提高反射信号的强度，并且可以实现更高的分辨率。
这种模式常被用于研究金属纳米结构和光子器件等。
近场光学显微镜的关键在于控制和操纵光纤探针的末端。
一种常用的技术是通过金刚石刀将探针制备成尖锐的形状。
另一种常用的技术是通过电化学腐蚀来制备探针，可以得到更加均匀且尖锐的探针。
利用这些探针，可以实现纳米尺度的分辨率，并观察到一些传统显微镜无法看到的微观结构和现象。
近场光学显微镜的应用非常广泛。
在生物医学方面，它可以用于观察细胞的亚细胞结构和巨分子间的相互作用。
在材料科学领域，它可以用于研究纳米材料的光学性质和表面增强拉曼散射效应。
在半导体行业，近场光学显微镜被广泛应用于碳纳米管和纳米线的研究。
此外，近场光学显微镜还可以用于制备纳米器件和光子学元件等领域。
近场光学显微镜在生命科学中的应用
近场光学显微镜在生命科学中的应用随着现代生命科学研究的不断推进，研究者们对生物分子的细节结构和运动动态也有了越来越高的要求。
但是，传统显微镜的分辨率无法满足这种高要求。
此时，近场光学显微镜就应运而生。
它极大地推动了生命科学领域的发展，成为研究生物分子结构与行为的重要工具。
一、近场光学显微镜的原理近场光学显微镜是一种能用来观察高分辨率样品的仪器，它能够消除光学衍射限制，有非常高的分辨率。
其工作原理与传统的显微镜不同，不是利用透镜的几何光学成像原理，而是利用光学的短距离相互作用，从而直接在样品表面对其进行观察。
其结构简单，通常由光源、探针、样品和检测系统四个部分组成。
其中光源产生的光经过探针的尖端照射到样品表面，然后由检测系统采集反射或透射的信号，通过数据分析可得到表面的信息。
二、1. 生物体系的纳米结构观察近场光学显微镜可以观察生物体系的纳米结构，比如纳米晶体、纳米管、细胞膜和生物分子等。
这些领域中，近场光学显微镜的应用已经非常广泛。
例如，经过修饰后的玻璃探头可以成为纳米粘合剂，以将生命分子定位在合适的位置，通过近场光学显微镜可以观察到分子和探针之间的特殊相互作用。
2. 测量生物分子的力学性质近场光学显微镜还可以通过测量生物分子表面的力学性质，如硬度、弹性、摩擦系数等，直接对生命分子进行强行拉伸或压缩等实验，从而直接测量其强度和稳定性。
这种方法可以在很小的压力下进行精细的操作，对测量细胞表面的黏着性、弹性、粘度等方面有着非常重要的作用，也对生物纳米学领域的发展作出了重要的贡献。
3. 生物分子的光学图像对比在高分辨率成像方面，近场光学显微镜可以获取细胞表面的高分辨率图像，并比较不同的样品在相同条件下的光学图像。
这项技术可以有效地检测分子间的微小变化，如蛋白质在细胞膜上的扭曲变化、蛋白质和DNA之间的相互作用等。
这些研究对于深入了解生物分子的功能和结构非常重要。
4. 生命分子动力学研究此外，近场光学显微镜还可以研究生命分子的动力学。
近场光学显微镜原理
近场光学显微镜原理是使用由熔拉或腐蚀光纤波导所制成之探针，在外表镀上金属薄膜已形成末端具有15nm至100nm直径尺寸之光学孔径的近场光学探针，再以可作精密位移与扫描探测之压电陶瓷材料配合原子力显微技术所提供精确的高度回馈控制，将近场光学探针非常精确地控制在被测样品表面上1nm至100nm的高度，进行三维空间可回馈控制的近场扫描，而具有奈米光学孔径之光纤探针即可做接收或发射光学讯息之用，由此获得一真实空间之三维近场光学影像，因其与样品表面距离远小于一般光波波长，测得的信息皆属近场光学作用的信息，无平常常见的远场光学中绕射极限的光学解析度限制。
近场光学实验技术的使用方法与成像优化
近场光学实验技术的使用方法与成像优化近场光学是研究和应用光学现象在纳米尺度下的科学与技术领域。
与传统的远场光学相比，近场光学在成像分辨率和光学探测灵敏度方面有着明显的优势，广泛应用于纳米材料、生物医学、信息存储与通信等领域。
在本文中，将介绍近场光学实验技术的基本原理、常见的使用方法以及如何优化成像效果。
一、近场光学实验技术的基本原理近场光学实验技术是利用探针与样品之间的微观距离，通过局域电磁场的相互作用来实现高分辨成像和光学探测的一种方法。
其基本原理主要包括两个方面：近场效应和探测技术。
1. 近场效应：近场效应是指当光与样品相互作用时，电磁场的强度和分布与样品形状、介电性质等有关。
在近场区域内，光的电磁场具有非均匀性和极化效应，可以实现超分辨成像。
2. 探测技术：实现近场光学成像和探测的关键是选择合适的探测技术。
常见的近场探测技术包括原子力显微镜（AFM）、光纤探针、金属探针等。
这些探测技术可以通过感知局域电磁场的变化来实现高分辨成像和探测。
二、近场光学实验技术的常见使用方法近场光学实验技术的常见使用方法包括近场光学显微镜、近场光学拉曼光谱仪和近场光学操纵等。
1. 近场光学显微镜：近场光学显微镜是近场光学实验技术的常见应用之一。
它可以通过将探测探针置于样品表面附近，实时观察和测量样品表面的形貌和光学性质。
近场光学显微镜具有高分辨率、高灵敏度和非接触测量等优点，适用于纳米材料、生物医学和材料科学等领域的研究。
2. 近场光学拉曼光谱仪：近场光学拉曼光谱是将近场光学技术与拉曼光谱相结合的一种方法。
通过将探测探针置于样品表面附近，可以实现对样品的拉曼光谱分析。
近场光学拉曼光谱仪具有高成像分辨率和高灵敏度的特点，对于研究纳米材料的结构和表面增强拉曼散射效应具有重要意义。
3. 近场光学操纵：近场光学操纵是利用近场光学技术实现对微观物体的操纵和搬运。
通过控制近场光场的强度和分布，可以实现对微观粒子的加速、聚集和操纵。
近场光学显微镜的原理与应用
近场光学显微镜的原理与应用近场光学显微镜是一种利用近场光学原理进行显微观察的仪器。
它的原理是通过将探测器置于样品表面附近，利用样品表面产生的近场光信号来获取高分辨率的显微图像。
近场光学显微镜具有高分辨率、高灵敏度和非破坏性等特点，已广泛应用于生物学、材料科学和纳米技术领域。
近场光学显微镜的原理基于近场光学效应。
传统的光学显微镜的分辨率受到光的衍射极限的限制，无法观察到更小尺寸的细节。
而近场光学显微镜通过将光源与探测器之间的距离缩短到波长的几个或几十个纳米，使得光的衍射极限被打破，从而实现了超分辨率的显微观察。
近场光学显微镜的应用非常广泛。
在生物学领域，它可以用于观察细胞和组织的微观结构，研究细胞的生物过程和病理变化。
通过近场光学显微镜，科学家可以观察到细胞膜的形态变化、蛋白质的分布以及细胞器的运动等细节，为生命科学研究提供了重要的工具。
在材料科学领域，近场光学显微镜可以用于研究材料的表面形貌和物理性质。
传统的光学显微镜无法观察到纳米尺度的表面结构，而近场光学显微镜可以实现纳米级的分辨率。
科学家可以利用近场光学显微镜观察材料的表面形貌、颗粒的分布和材料的光学性质等，为材料科学研究和应用提供了重要的手段。
在纳米技术领域，近场光学显微镜是不可或缺的工具之一。
纳米技术研究和制备的对象通常具有纳米尺度的特征，传统的显微镜无法观察到这些细节。
而近场光学显微镜可以实现纳米级的分辨率，可以观察到纳米颗粒的形态、大小和分布等细节。
这对于纳米材料的研究和纳米器件的制备具有重要意义。
近场光学显微镜的发展离不开技术的进步。
近年来，随着光学器件和探测器的不断改进，近场光学显微镜的分辨率和灵敏度得到了大幅提升。
同时，近场光学显微镜的成本也逐渐降低，使得更多的科研机构和实验室可以采用这一技术进行研究。
总之，近场光学显微镜是一种重要的显微观察工具，具有高分辨率、高灵敏度和非破坏性等特点。
它在生物学、材料科学和纳米技术等领域的应用已经取得了显著的成果，并为相关领域的研究和应用提供了重要的支持。
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本章小节
1、基本概念： 近场：
（4） （5）
一、辐射场和隐失场
3、光栅衍射场和精细结构
y
•1)光栅周期大于波长（d>λ）
d
1/v x
u2
v2
1
2
2 2 1
1/u
A(
,
,
z)
A0
(
,
)
exp[i
2
(1 2 2)z]
（5）改写A(
,
,
z)
A0 (
,
) exp[i(z)，] 实数
(z)
2）光栅周期小于波长（d<λ）
隐失场的表达式 ：
E(x,
y,
z,
t)
A(
x,
y,
z)
exp[-i(k
x
x
kx
y)]
exp(
-z Rd
)
二、隐失场理论 1、隐失场的特征
隐失波 (evanescent wave，衰逝波，倏逝波等) 尺寸小于波长的信息，包含在隐失场中； 隐失场离开物体表面在空间急剧衰减； 隐失场是非辐射场或非传播场。
三、近场光学显微镜概述 2、 提高显微镜分辨率的历史概貌
分辨率/nm 1000 100 10 1
0.1
1800 1850 1900 1950 2000 年
传统光学显微镜 电子显微镜 场离子显微镜 扫描隧道显微镜 近场光学显微镜
三、近场光学显微镜概述
3、近场光学显微镜的优点： ✓ 样品不一定必须是导体，也可以是非导体或
三、近场光学显微镜概述
1、 近场光学显微镜之演进历史
• 1928年E.H.Synge第一 个提出突破分辨率极限的 构想。
1）强光源 2）nm量级微调 3）nm量级小孔
光电池
三、近场光学显微镜概述
1956年 J.A. O’Keefe 也提出了一个近场光学扫描显微 镜的构想。
1973年 E.A. Ash & G. Nichols 在微波条件下，制作 出了突破分辨率极限的显微镜
扫描近场光学显微技术 原理及应用
(Scanning Near-field Optical Microscopy, SNOM)
本章主要内容：
0. 传统光学显微镜概述 1. 近场光学及近场光学显微镜概念 2. 近场光学理论 3. 近场光学显微镜基本结构 4. 近场光学显微镜的应用
传统光学显微镜概述
传统光学显微镜
其次，通过探针的光流量得到 很大的增强。
二、近场光学显微镜的主要部件
光纤探针缺点 ： 首先，光纤抗热性能差，不能传输高功率激光; 其次，光纤脆性大，极易因与样品碰撞而损坏。
金属化的透光探针 目前分辨率通常为100nm
二、近场光学显微镜的主要部件
无孔探针 把入射光变为局域光源。因
为没有了探针窗口尺寸的限制 ，分辨率极限可达1nm。
1、传统光学显微镜分辨本领
肉眼 显微镜筒
样品台 聚光镜
• 传统光
相对光强曲线 I / I0
学显微
主极大
镜
第一极小
－光学透镜
sin
组成
• 光学衍 射极限
－艾里斑
艾里斑
光源
2、瑞利判据
刚可分辨
不可分辨
如一个物点的衍射光斑的 主极大与另一个物点的衍 射光斑第一极小恰好重合， 便认为两个物点的像刚好 能被分辨开。
二、近场光学显微镜的主要部件 几种典型光路：
图a,b是透射方式，适用于观察透光性好的样品
二、近场光学显微镜的主要部件 几种典型光路：
图c,d反射方式，适用于观察不透明样品
二、近场光学显微镜的主要部件
4）近场光学显微镜的配置方式 ✓ 照明模式
(a,b) ✓ 收集模式
(c,d) ✓ 照明/收集
模式(e)
(1)
u, v, w
一、辐射场和隐失场
2、傅里叶光学角谱方法
物场 y
像场 y
x
E(x,y,z)
x
z
E(x,y,0)
采用傅里叶光学平面波展开法，原点（x,y,0）得到的角谱
A0 (u,v) E(x, y,0) exp[i2 (ux vy)]dxdy
(2)
A0 ( , )
五、近场光谱学
近场光谱 目前的各类光谱测量方法只限于微米尺度观察
。传统的光谱方法无法分辨诸如纳米尺度的发光区 域与本征频谱等。而与近场光学显微镜联用的近场 光谱则填补了这一空缺。
近场光谱，包括紫外-可见光谱，红外光谱，荧 光光谱和拉曼光谱等。
五、近场光谱学——近场光谱仪
近场光学光谱
光学探头
五、近场光谱学——光致发光（荧光） PL谱
第三节 近场光学显微镜基本结构
近场光学显微镜系统的典型结构
二、近场光学显微镜的主要部件 1、近场光学显微镜的主要部件 ： ➢光学探针
➢探针至样品 间距测控装置
➢光路
二、近场光学显微镜的主要部件
1）光学探针
❖小孔探针：光纤探针和非光纤探针。 光纤探针优点： 首先，分辨率有很大提高。
目前最好的分辨率12nm
一、辐射场和隐失场
1、精细结构与空间频率
空间周期- d (光栅常纹数 )
频率越高，d 代表物体或光场的结构越精细。
三维情况 : 空间频率分u量, v,(w
),电磁场的传播波矢
k与直角坐标轴的三个交角、为、(
)
cos, cos, cos
并且 2 2 2 1
四、高分辨率光刻和三维加工
The NSOM was used to create structures on a photoresist sample. The smallest line written was 60 nm wide.
• Naber, A., H. Kock, et al. (1996). High-Resolution Lithography with Near-Field Optical Microscopy.?Scanning 18: 567-571.
二、在生物分子研究中的应用 对细胞和细胞精细结构的观察：
SNOM检测小鼠的肺脏和肝脏切面
三、在信息存储中的应用 高密度信息存储
三、在信息存储中的应用
CD由于受衍射极限的限制，读写斑的尺寸被控制在 lum左右；存储密度约55Mb/cm2
采用近场技术，读写斑的尺寸可以减小到20nm，存 储密度约为125Gb/cm2。
者溶液； ✓ 对于样品环境要求不是很高，可以是静态或
动态。 ✓ 对样品不造成损害。
三、近场光学显微镜概述
（a）是美国标准局用原子力显微镜检测直径为100nm聚乙烯 材料的像，分辨率为1nm； （b）采用近场光学显微镜观测的影像，分辨率为20nm。
第二节 近场光学理论
傅立叶光学的基本思想
单色波入射，空间频率信息会被特定方向的衍射波输送出来，衍射 波在近场彼此交织，到了远场它们分开，从而达到分频的目的.
1982年 G. Binning & H. Rohrer 第一部 扫描隧道显微 镜（ STM ）诞生
1984年 D. W. Phol 等人把近场光学技术与 STM 技术的 結合，制成了第一台近场光学显微镜SNOM (scanning nearfield optical microscope)。分辨率达到了1/20波长。
二、近场光学显微镜的主要部件 5）近场光学显微镜系统的功能扩展和集成
D C
A B
E
第四节 近场光学显微镜的应用
一、超分辨成像 （一）样品信息成像
AgIBr晶体，范围为7.5μm见方。
(a) 表面形貌
(b) 透射SNOM像
一、超分辨成像 （一）样品信息成像
一、超分辨成像 (三）观测微小的光场图像
入射光经物平面发生夫琅和费衍射，在频谱面上形成一 系列衍射光斑,各衍射光斑发出的球面次波在相面上相干叠加， 形成像。
F
A
C’
B
B’
C
A’
一、辐射场和隐失场
远场 (> ) 近场(~< )
电磁波 ( ) 隐失波
辐射场：该分量能够向外传 播。（电磁波）
物体
隐失场：该分量局限于物体表面且急剧衰减 。（隐失波）其 性质与物体的表面结构，材料紧密相关（非辐射场）
二、隐失场理论 1、隐失场的特征
开口直径
微小开口产生的隐失场
二、隐失场理论 1、隐失场的近场探测原理
1）近场探测的基本原理 ： 将隐失场中的携带有物体表面精细结构信息，尽
量不失真的带到位于远处的探测成像装置中，再转变 成人眼所能够观察的图像信号。
二、隐失场理论 3、隐失场的近场探测原理
探头准确地放在物体 表面纳米尺度而又不碰撞 ，采用逐点成像的方法：
1）将纳米尺度的光信号收集, 将其转变为电流；再将其传播 到探测系统。
2）再将逐点采集的信息扫描成为二维图像。
三、近场光学基本原理
(1)具有突变边缘的物体, 无论它被传播波照明还是被隐失波 照射, 都会产生隐失波；
(2) 产生的隐失场不服从瑞利判据, 它在小于一个波长的距离 范围内呈现强烈的局域振荡；
二、近场光学显微镜的主要部件
2）探针与样品间距的测控： ✓ 隧穿电流强度测控技术 ✓ 近场光强度测控技术 ✓ 切变力强度测控技术 ✓ 接触型测控技术
二、近场光学显微镜的主要部件
3）光路 光源和照明光路：
采用激光单色光源，并通过光纤输送照射样品 收集光路和光探测器：
高灵敏度而且可以快速采集信号的光电倍增管。