微压力传感器接口电路设计

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MEMS光纤压力传感器检测电路系统设计分析

MEMS光纤压力传感器检测电路系统设计分析

MEMS光纤压力传感器检测电路系统设计分析MEMS光纤压力传感器是一种基于光纤传感技术和MEMS技术相结合的新型传感器。

它通过对光纤的应变进行监测和测量,实现压力信号的获取和传输。

光纤压力传感器具有体积小、重量轻、精度高、响应速度快等优点,在工业、医疗、航空航天等领域具有广泛的应用前景。

本文对MEMS光纤压力传感器的检测电路系统进行了设计和分析。

一、MEMS光纤压力传感器的工作原理MEMS光纤压力传感器由光纤传感元件和光电检测电路组成。

光纤传感元件一端固定,另一端则与受力物体相连。

当受力物体受到外界压力作用时,光纤被应变,导致传感元件长度发生微小变化,从而改变光纤传输的光功率。

光电检测电路通过检测光功率的变化来获得压力信号。

二、MEMS光纤压力传感器的检测电路系统设计要点1. 光纤传感元件的选用:光纤传感元件的选择应考虑其灵敏度、稳定性、线性度等因素。

一般而言,采用光纤光栅或光纤光学腔等结构较为常见。

2. 光电检测电路的设计:光电检测电路的设计需要考虑光电二极管的工作点选择、放大电路的设计等因素。

由于传感器的输出光功率较小,因此需要采用高灵敏度的光电二极管,并通过放大电路将微小的光功率变化放大到适合A/D转换的电压范围。

3. 温度补偿电路的设计:光纤传感元件的灵敏度和稳定性受到温度的影响较大,因此需要设计温度补偿电路来抵消温度引起的误差。

一种常见的方法是采用温度传感器测量环境温度,并通过微处理器进行温度补偿。

三、MEMS光纤压力传感器的检测电路系统设计分析1. 光纤传感元件的设计分析:光纤传感元件的设计需要考虑其应变灵敏度和机械结构的可靠性。

光纤光栅可以通过周期性的折射率调制来实现对光纤传输的调控,具有灵敏度高、线性度好的优点,适用于高精度的压力测量。

光纤光学腔则通过改变光纤的长度来改变光纤的传输特性,具有响应速度快的优点,适用于需要快速响应的场合。

MEMS光纤压力传感器的检测电路系统设计需要综合考虑光纤传感元件的选用、光电检测电路的设计和温度补偿电路的设计等因素。

MEMS压力传感器原理与应用简介

MEMS压力传感器原理与应用简介
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如图7所示。MEMS压力传感器管芯可以与仪表放大器和ADC 管芯封装在一个封装内(MCM),使产品设计师很容易使用 这个高度集成的产品设计最终产品。
图7 各种压力传感器产品
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(2)、变面积型电容传感器
(3)、变介电常数型电容传感器
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硅电容式压力传感器利用MEMS技术在硅片上制造出横隔栅状,上下二根横隔栅成 为一组电容式压力传感器,上横隔栅受压力作用向下位移,改变了上下二根横隔栅的间
距,也就改变了板间电容量的大小(图5)。电容式压力传感器实物如图6。
图5 电容式压力传感器结构
图6 电容式压力传感器实物
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4 MEMS压力传感器的应用
❖ MEMS压力传感器广泛应用于汽车电子:如 TPMS、发动机机油压力传感器、汽车刹车系统空气 压力传感器、汽车发动机进气歧管压力传感器 (TMAP)、柴油机共轨压力传感器;消费电子:如 胎压计、血压计、橱用秤、健康秤,洗衣机、洗碗机、 电冰箱、微波炉、烤箱、吸尘器用压力传感器,空调压 力传感器,洗衣机、饮水机、洗碗机、太阳能热水器用 液位控制压力传感器;工业电子:如数字压力表、数 字流量表、工业配料称重等。
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硅压阻式压力传感器结构如图3所示,上下二层是玻璃体,中间是硅片,硅片中 部做成一应力杯,其应力硅薄膜上部有一真空腔,使之成为一个典型的压力传感器。 应力硅薄膜与真空腔接触这一面经光刻生成如图2的电阻应变片电桥电路。当外面的压 力经引压腔进入传感器应力杯中,应力硅薄膜会因受外力作用而微微向上鼓起,发生 弹性变形,四个电阻应变片因此而发生电阻变化,破坏原先的惠斯顿电桥电路平衡,

基于MEMS技术的微型压力传感器设计与制备

基于MEMS技术的微型压力传感器设计与制备

基于MEMS技术的微型压力传感器设计与制备随着科技的不断进步,微电子力学系统(MEMS)技术在各个领域得到越来越广泛的应用。

其中,微型压力传感器作为MEMS技术的一个重要应用之一,具有非常广阔的应用前景。

本文将针对基于MEMS技术的微型压力传感器的设计与制备进行探讨。

首先,我们来了解一下什么是MEMS技术。

MEMS技术是Micro Electro-Mechanical Systems的缩写,即微电子机械系统。

它是一种将微米级机械结构和电子器件集成在一起的技术。

MEMS技术具有体积小、功耗低、响应速度快等特点,适合用于制备微型压力传感器。

微型压力传感器设计的关键之一是选择合适的工作原理。

常见的工作原理有压阻式、电容式和压电式等。

其中,压阻式传感器是基于材料电阻值的变化来检测压力的,电容式传感器则是基于电容值的变化来检测压力的,而压电式传感器则是利用压电材料的机械变形产生电荷的原理来检测压力的。

不同的工作原理适用于不同的应用场景,设计者需要根据具体需求选择合适的工作原理。

其次,合适的材料选择对于微型压力传感器的性能至关重要。

在MEMS技术中,常用的材料包括硅、玻璃和聚合物等。

硅材料具有优异的机械性能和化学稳定性,适合用于制备高精度的压力传感器。

玻璃材料具有良好的气密性和化学稳定性,适用于制备微型压力传感器的封装。

聚合物材料具有低成本和良好的加工性能,适合用于制备大规模的微型压力传感器。

在制备微型压力传感器时,关键的步骤之一是制备微结构。

常用的制备方法包括光刻、薄膜沉积和离子刻蚀等。

光刻技术是通过将光敏材料暴露于特定的光源下,然后进行显影和腐蚀等步骤,最终制备出所需的微结构。

薄膜沉积技术是将所需材料通过物理或化学方法沉积在基底上,形成所需的薄膜层。

离子刻蚀技术是通过将离子束轰击在材料表面,使材料发生腐蚀,最终制备出所需的微结构。

在设计微型压力传感器时,还需要考虑电路设计和信号处理等问题。

由于微型压力传感器输出的信号较小,通常需要进行放大和滤波等处理,以便得到准确可靠的信号。

压力传感器信号采集电路

压力传感器信号采集电路

1 引言压力测量对实时监测和安全生产具有重要的意义。

在工业生产中,为了高效、安全生产,必须有效控制生产过程中的诸如压力、流量、温度等主要参数。

由于压力控制在生产过程中起着决定性的安全作用,因此有必要准确测量压力。

为了测到不同位置的压力值,研制了基于C8051F020单片机的测量仪。

通过压力传感器将需要测量的位置的压力信号转化为电信号,再经过OP07运算放大器进行信号放大,送至C805lF020单片机内部的高速率12位A/D转换器,然后将模拟信号转换成单片机可以识别的数字信号,再经单片机转换成液晶显示器可以识别的信息,最后显示输出。

与此同时,可以利用SD卡存储器将各通道设定的压力值、系统参数存储起来,以便在系统断电或复位后,能使其继续运行,增强系统的抗干扰性能。

2 硬件电路图l给出多路压力测量仪的系统框图。

其硬件部分主要由压力传感器、C8051F020单片机、SD卡存储器、液晶显示器、键盘及信号调理电路等组成。

2.1 压力传感器信号采集电路图2给卅压力传感器信号采集电路。

它选用了测量范围广,精度较高,性能价格比好的电阻应变式压力传感器;信号放大部分采用功耗低,输入失调电压小,线性度好的OP07运算放大器:A/D转换模块采用C8051F020内部设置的高速率12位A/D转换器。

图2中OP07的输出失调电压为2 mV,通过滑动变阻器R8可调节输出失调电压的大小。

2.2 单片机处理电路单片机处理电路是测量仪的核心。

在此采用美国Cygnal公司生产的C805lF020 微控制器。

该器件采用独特的CIP-8051结构,对指令运行实行流水作业,大大提高了指令的运行速度,可在25 MHz时钟频率下提供高达25 MI/s 的输出,并具有下述独特功能:①真正12位、100 Ks/s的8通道A/D转换器,并带PGA和模拟多路开关;②64 K字节可在系统编程的Flash存储器,其扇区为512字节;③两个12位D/A转换器,具有可编程数据更新方式;④工作电压为2.7~3.6V;⑤用于硬件实现的SPI,SMBus/I2C和两个UART串行接口;⑥片内看门狗定时器、VDD监视器和温度传感器。

压力传感器电路设计及动态响应测试方法

压力传感器电路设计及动态响应测试方法

压力传感器电路设计及动态响应测试方法概述:压力传感器是一种测量介质压力的装置,广泛应用于工业控制、汽车电子、医疗仪器等领域。

压力传感器电路设计及动态响应测试方法对于保证传感器的准确性和稳定性至关重要。

本文将介绍压力传感器电路设计的基本原理、关键要素以及动态响应测试方法。

一、压力传感器电路设计1. 压力传感器基本原理压力传感器的基本原理是利用压力作用在传感器感应元件上时产生的形变,通过传感器内的电路将这种形变转换为电信号输出。

常见的压力感应元件包括压阻、电容、电感等。

2. 传感器感应元件选择根据应用需求选择合适的感应元件非常重要。

常见的压力传感器感应元件有电阻式元件和式微型应变片。

电阻式传感器适用于较小的压力范围,而式微型应变片传感器适用于较大的压力范围。

选择感应元件时需要考虑压力范围、灵敏度和稳定性等因素。

3. 信号调理电路设计信号调理电路用于放大、滤波和线性化传感器输出信号。

在设计信号调理电路时,需要考虑传感器的输出信号强度以及噪声干扰。

常见的信号调理电路包括运算放大器、滤波器和放大电路等。

4. 供电电路设计供电电路的设计对传感器的性能和稳定性有重要影响。

供电电路需要提供稳定的电压和电流,同时能够抵抗电源的纹波和噪声。

常见的供电电路设计包括稳压器、滤波电路和电源管理电路等。

二、压力传感器动态响应测试方法1. 静态响应测试静态响应测试是评估压力传感器在稳定压力状态下的性能指标。

测试过程中,将压力传感器置于预定的静态压力条件下,记录传感器输出的电压或电流信号。

根据输出的信号数据分析传感器的灵敏度、线性度和稳定性等指标。

2. 动态响应测试动态响应测试是评估压力传感器对快速压力变化的响应能力。

测试过程中,通过应用突然的压力变化刺激传感器,记录传感器输出的电压或电流信号的变化情况。

根据输出信号的时间响应曲线分析传感器的响应时间、动态范围和频率响应等指标。

3. 使用合适的测试设备为了准确地进行压力传感器的动态响应测试,需要使用合适的测试设备。

压力传感器调理电路的设计

压力传感器调理电路的设计

资料范本本资料为word版本,可以直接编辑和打印,感谢您的下载压力传感器调理电路的设计地点:__________________时间:__________________说明:本资料适用于约定双方经过谈判,协商而共同承认,共同遵守的责任与义务,仅供参考,文档可直接下载或修改,不需要的部分可直接删除,使用时请详细阅读内容天津大学毕业设计(论文)题目:压力传感器信号调理电路的设计学院电气与自动化工程学院专业电气自动化技术学生姓名汪文腾学生学号 4009203024指导教师陈曦提交日期 2012年 6月 2日摘要随着微电子工业的迅速发展,压力传感器广泛的应用于我们的日常生活中,为了使同学们对压力传感器有较深入的理解。

经过综合的解析选择了由实际中的应用作为研究项目,本文通过介绍一种基于压力传感器实现的实际电路搭建的设计方法,该控制器以压力传感器为核心,通过具备运放来实现放大电路等功能。

另外,使用运放的压力传感器再实际电路搭建中被广泛应用。

通过对模型的设计可以非常好的延伸到具体的应用案例中。

关键词:压力传感器;运放;电路;目录TOC \o "1-3" \h \z \u HYPERLINK \l "_Toc326965022" 第一章绪论 PAGEREF _Toc326965022 \h 1HYPERLINK \l "_Toc326965023" 1.1器械基本组成及制作工艺PAGEREF _Toc326965023 \h 1HYPERLINK \l "_Toc326965024" 1.2压力传感器 PAGEREF_Toc326965024 \h 3HYPERLINK \l "_Toc326965025" 1.2.1压力传感器的原理 PAGEREF _Toc326965025 \h 3HYPERLINK \l "_Toc326965026" 1.3通过运放实现的放大电路的压力传感器 PAGEREF _Toc326965026 \h 4HYPERLINK \l "_Toc326965027" 1.3.1三运放差分放大电路 PAGEREF _Toc326965027 \h 4HYPERLINK \l "_Toc326965028" 1.3.2 UA741运放型号的介绍PAGEREF _Toc326965028 \h 5HYPERLINK \l "_Toc326965029" 1.3.3运算放大器在实际中的应用PAGEREF _Toc326965029 \h 5HYPERLINK \l "_Toc326965030" 第二章电路仿真 PAGEREF_Toc326965030 \h 6HYPERLINK \l "_Toc326965031" 2.1 EWB简介 PAGEREF_Toc326965031 \h 6HYPERLINK \l "_Toc326965032" 2.2 EWB5.0的基本功能 PAGEREF _Toc326965032 \h 6HYPERLINK \l "_Toc326965033" 2.2.1建立电路原理图方便快捷PAGEREF _Toc326965033 \h 6HYPERLINK \l "_Toc326965034" 2.2.2用虚拟仪器仪表测试电路性能参数及波形准确直观 PAGEREF _Toc326965034 \h 6HYPERLINK \l "_Toc326965035" 2.3实际电路的搭建流程 PAGEREF _Toc326965035 \h 7HYPERLINK \l "_Toc326965036" 2.4实际电路在EWB上的波形图PAGEREF _Toc326965036 \h 11HYPERLINK \l "_Toc326965037" 第三章实际电路的搭建 PAGEREF _Toc326965037 \h 21HYPERLINK \l "_Toc326965038" 3.1实际实验电路的搭建 PAGEREF _Toc326965038 \h 21HYPERLINK \l "_Toc326965039" 第四章误差分析 PAGEREF_Toc326965039 \h 24HYPERLINK \l "_Toc326965040" 4.1误差分析 PAGEREF_Toc326965040 \h 24HYPERLINK \l "_Toc326965041" 第五章总结与展望 PAGEREF _Toc326965041 \h 24HYPERLINK \l "_Toc326965042" 5.1总结 PAGEREF_Toc326965042 \h 24HYPERLINK \l "_Toc326965043" 5.2展望 PAGEREF_Toc326965043 \h 25HYPERLINK \l "_Toc326965044" 致谢 PAGEREF_Toc326965044 \h 26HYPERLINK \l "_Toc326965045" 参考文献 PAGEREF_Toc326965045 \h 27第一章绪论传感器是将各种非电量(包括物理量、化学量、生物量等)按一定规律转换成便于处理和传输的另一种物理量(一般为电量)的装置。

mems压力传感器原理

mems压力传感器原理

mems压力传感器原理1. 引言在现代科技发展的浪潮下,MEMS(Microelectromechanical Systems)技术被广泛应用在各个领域中,其中包括压力传感器。

本文将深入探讨MEMS压力传感器的原理,并从多个方面分析其工作机制和应用。

2. MEMS压力传感器的工作原理MEMS压力传感器是一种将机械和电气技术相结合的微纳技术,其工作原理基于微机电系统的制造工艺。

其基本流程如下:(1)传感器结构:MEMS压力传感器通常由微型膜片构成,膜片上有微小的导线或电阻,以及测量腔室与被测介质连接的微小孔隙。

(2)工作方式:当外界施加压力到传感器表面时,传感器膜片会发生微小变形,从而导致电阻或导线产生相应的变化。

(3)信号读取:通过连接到传感器的电路,可以读取并转换电阻或导线的变化成为压力值。

这样就可以实时监测、记录和分析压力变化。

3. MEMS压力传感器的特点与优势MEMS压力传感器具有以下特点和优势,使其成为许多领域中的理想选择:(1)微小化:由于MEMS技术的特性,该传感器可以制造得极小,适用于空间受限的应用场景。

(2)灵敏度与可靠性:传感器的微小尺寸使其对微小压力变化非常敏感,同时具备较高的可靠性和重复性。

(3)低功耗:MEMS压力传感器的制造工艺和电路设计使其具有低功耗特性,适用于便携式和无线传感器网络等应用。

(4)成本效益:相比于传统的压力传感器,MEMS压力传感器的制造成本较低,可以用于大规模生产。

4. MEMS压力传感器的应用领域由于其特点和优势,MEMS压力传感器在各个领域中得到了广泛应用,包括但不限于以下几个方面:(1)工业领域:用于工业控制和监测中,例如汽车制造、航天航空、石油化工等。

(2)医疗领域:用于医疗设备中,例如呼吸机、血压计、人工心脏等。

(3)环境领域:用于气象观测、水质检测、气体监测等环境相关应用。

(4)消费电子领域:用于智能手机、平板电脑、智能手表等便携式设备中。

MEMS光纤压力传感器检测电路系统设计分析

MEMS光纤压力传感器检测电路系统设计分析

MEMS光纤压力传感器检测电路系统设计分析MEMS光纤压力传感器是一种基于MEMS技术制造的微型传感器,可以用于测量各种物体的压力。

在光纤压力传感器中,光纤作为传感元件,通过测量光纤的弯曲程度来获取被测物体施加的压力。

光纤压力传感器检测电路系统设计的目标是实现对光纤弯曲程度的检测和压力值的测量。

主要包括光纤弯曲检测电路和压力测量电路两部分。

光纤弯曲检测电路主要用来检测光纤的弯曲程度。

一种常见的设计方法是采用光电二极管和激光二极管构成的传感电路。

光纤上的激光光束被光电二极管接收后会产生电流信号,信号的强弱与光纤的弯曲程度成正比。

该电流信号经过放大和滤波处理后送至微处理器进行数字化处理。

微处理器可以根据光纤弯曲程度的变化来判断被测物体施加的压力。

压力测量电路主要用来测量被测物体施加的压力值。

一种常见的设计方法是采用压电传感器和放大电路构成的压力测量电路。

压电传感器能够将压力信号转换为电荷信号,然后通过放大电路对电荷信号进行放大。

将放大后的信号送至模数转换器进行数字化处理。

经过数字处理后,可以得到被测物体施加的压力值。

在光纤压力传感器检测电路系统中,还需要设计和实现一种快速数据采集和处理的方法。

一种常见的设计方法是使用高速模数转换器和专用芯片进行数据采集和处理。

高速模数转换器能够以较高的采样率对压力信号进行数字化处理,而专用芯片则可以实现对数字信号的快速处理和分析。

为了提高系统的准确性和可靠性,还可以采用校准技术对传感器进行校准,以消除电路中的误差和非线性问题。

在设计光纤压力传感器检测电路系统时,需要考虑传感器的灵敏度、精度和稳定性等因素。

可以通过采用优质的传感器材料和精确的电路元件,以及合理的电路布局和参数设置来提高系统的性能。

还需要进行系统的可靠性和稳定性测试,以确保系统能够在各种工作环境和条件下正常运行。

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( 4 )
,式
式 ( 为 电桥转换 原理 的一 般形 式 。 A 为 电桥输 出 电压 。作 为全等 臂 电桥 ,△ =△ = 4)
( )变 为 △ =U 4 Kc。
2 微 压 力传 感 器 接 口申。 路
应 用微压 力传感 器对 压力 的感 应特 性 ,将 压力 转换 为
值。
当有压力时各桥臂的电阻状态都将改变 ,电桥 的电压输出会有变化 。

‘ I+ R2 + 尺41 R3 f L一 R

() 1
式中:
为输 出电压 , 为输入 电压 。
当输入电压一定且 A , e 《 . , 时
dU : ” O Rl
= dl堡 d2盟 d3翌 d R- 盟 t - R R+ R 4
工艺制造出的压力传感器往往存在 :零点输 出和零点温漂 ,灵敏度温漂 ,输出信号非线性 ,输出信号幅值 低或不标准化等问题 。本文的研究工作 ,主要集 中在以下几个方面 :
() 1 介绍微压力传感器接 口电路总体方案设计 、系统的组成和工作原理 。 () 2 系统的硬件设计 , 介绍主要硬件的选型及接 口电路 , 包括 AD转换 电路 、 / 单片机接 口电路 、 62 10
电路 、放大 电路 、AD转换 电路 、L D显 示 电路 。 / C
21 电桥 放大 电路 .
图 l 微 压力 传感 器接 口电路框 图
由于所 测 出的微压 力传感 器 两端 的
电压信号较弱 , 所以电压在进行 AD转 /
换 之前必须 经过放 大 电路 的放 大 ( 图 见
2 oN 18由 3 A 1 I 个运算放大器组成差分 放 大结构 ,内置输 入 过压保 护 ,且 可通
微压力传感器信号是控制器的前端 ,它在测试或控制系统中处于首位 , 对微压力传感器获取的信号能 否进行准确地提取 、处理是衡量一个系统可靠性 的关键因素。后续接 1电路主要指信号调节和转换 电路 , : 3 即能把传感元件输出的电信号转换为便于显示 、记益 。 由于 R 的稳定 性 和温度
显 示 电路 。
() 3 对系统采用 的软件设计进行研究 ,并简要 阐述主要流程图,包括主程序 、AD 转换程序 、10 / 62
显示程序 。
1 电阻应变式 压力传 感器工作原理
电阻应变式压力传感器是由电阻应变片组成的测量电路和弹性敏感元件组合起来 的传感器。当弹性敏 感元件受到压力作用时 ,将产生应变 ,粘贴在表面的电阻应变片也会产生应变 ,表现为电阻值的变化。这 样弹性体 的变形转化为电阻应变片阻值的变化 。把 4 个电阻应变片按照桥路方式连接 ,两输人端施加一定 的电压值 ,两输 出端输出的共模 电压随着桥路上电阻阻值 的变化增加或者减d o一般这种变化的对应关系 , 具有近似线性的关系。找到压力变化和输 出共模电压变化的对应关系 ,就可 以通过测量共模电压得到压力
(. 1 黑龙江大学 电子工程学院 ,哈尔滨 10 8 ;2 大庆市龙凤 经济计划局 ,黑龙江 大庆 1 3 1 ) 50 0 . 6 7 1
摘要 :完成 了微 压力传 感器接 I 电路设 计。采用惠斯通电桥滤出微压力传感器输 出的模拟变 量 ,然后用 I A18 7 1 N 1 放大器将此信号放大 ,用 7 1 AD进行模数转换 , 75 / 将转换完成的数字量经单片机处理 ,最后 由 L D将其 示 , C 采 用L 3 M34做的精密 5V恒流源为 电桥 电路供 电。既能保证检测的实时性 ,也能提高测量精度。 关键词 :微压力传感器 ;电桥 电路 ;放 大电路 ;显示 中图分类号 :T 2 29 P 1. 文献标识码 :A 文章编号 :10 — 8X( 1)3 0 1— 4 0 7 9 4 2 1 — 0 7 0 0 0
O R2 O R3 O R4
() () 2
对于全等臂电桥 ,R = = = . 足 足 R,各桥臂 电阻应变片灵敏系数 相同,式 ( ) 2 可简化为
收 稿 日期 :2 1- 一 6 0 1叭 l
作 者简 介 :李 宇住 ( 96 ,女 ,在 泼硕 士研 究 生 ,主要从 事 嵌入式 控制 与模 拟集 成电路 设计 方而 的研 究 ,jj 8 1@13 o 。 18一) ii 4 8 6 . l aa cn
过 外置不 同大小 的 电阻实现 不 同 的增 益 ( 1 10) 从 到 0,冈而 应用 范 围很广 。 0 通 过在脚 l 和脚 8之 间外 接一 电 阻 凡来 实现不 同 的增 益 ,该增 益 可从 1 到
1 0 不等。电阻 忍为 0 0
R = o( 1 5/ c一)
压 力 信 卜—— I压力传感器 _ 卜——- . {放 大 电
模拟的电压输出,此输出信号不能直接 F单片机处理。因 } 1 此, 需要经 AD转换为数字量。单片机通过对此数字量的 / 处理, 获得实际的压力值 ,并通过液晶屏显示。 F图 l } 1 可以看出,整个电路的设计分 4 大部分 :电桥
第 2 卷第 3 7 期
2 1 年 5月 01
齐 齐 哈 尔 大 学 学 报
J u n l f qh ieri o r a iar o Qi Unv st y
Vo.7 No3 1 . . 2
M a 2 y,011
微 压 力 传 感 器 接 口电路 设计
李 宇佳 ,王天鹏 ,张冲
齐 齐 哈 尔 大 学 学 报
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由于 △ 《 ,用 电压 增量 可表 示为
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