单晶炉的机械结构与维修研讨
论单晶炉的设计优化
论单晶炉的设计优化单晶炉是生产单晶材料的关键设备。
它的性能对单晶材料的质量和产量有着重要的影响。
因此，单晶炉的设计优化是提高单晶炉性能的重要手段。
本文就单晶炉的设计优化进行探讨，主要包括单晶炉结构设计、炉内温度场优化、工艺参数优化等方面。
单晶炉结构设计单晶炉的结构设计对于单晶材料生产至关重要。
在实际生产过程中，优先考虑单晶炉内部结构的合理布局，确保单晶材料的生长过程处于合理的环境和条件下。
单晶炉结构要满足以下几个原则：1. 炉膛结构应该简洁，减小热量的散失。
2. 炉膛内的炉壁材料应该具有良好的耐温性和抗腐蚀性。
3. 炉膛内热电阻应该均匀布局，并且能够有效控制炉膛温度。
4. 炉内气氛能够有效控制，保证单晶材料生长过程处于良好的气氛环境中。
5. 炉膛内设有温度传感器，以及其他过程参数的传感器，确保生长过程处于良好的控制状态。
炉内温度场优化单晶炉生产过程中，温度场分布情况影响着单晶材料的质量和产量。
因此，在单晶炉的设计优化过程中，优化炉内温度场分布是非常关键的。
优化炉内温度场分布的方法主要有以下两种：1. 建立数学模型，通过计算得出炉内温度分布情况，并进行优化。
2. 借助现有的实验数据，将温度场分布情况绘制成图形，并以此为依据进行优化设计。
工艺参数优化在单晶炉生产过程中，除了上述两个方面之外，工艺参数的选取也对单晶材料的质量和产量有着重要的影响。
根据熔体的特性和生长过程的特点，对熔体内的温度、流动情况和压力等工艺参数进行优化，通过实验和理论计算，确定合理的共振炉、热量补偿和温度梯度等工艺参数，以实现单晶材料的高效生长。
总之，针对单晶炉的设计优化，需要综合考虑多个方面，以求最终的优化效果。
在实践中，我们还需要不断探索创新，借助现代科技手段和完善的管理方式，确保单晶炉的质量和效率稳步提升，为单晶材料的生产提供有力保障。
单晶炉培训总结
单晶炉培训总结单晶炉是一种用于生产单晶材料的设备。
它通过高温熔融和凝固的过程，将多晶材料转变为单晶材料。
单晶材料在电子、光电、光学等领域具有广泛的应用，因此单晶炉的培训显得尤为重要。
单晶炉培训的目的是使学习者了解单晶炉的工作原理、操作方法以及安全注意事项，掌握单晶材料的生产工艺和相关技术。
在单晶炉培训中，学习者首先需要了解单晶炉的基本结构和工作原理。
单晶炉由炉体、加热装置、温度控制系统、晶体生长装置等部分组成。
炉体是单晶炉的外壳，起到保温和隔热的作用。
加热装置通常采用电加热，可以提供高温环境。
温度控制系统可以实时监测和调节炉内温度，确保温度稳定。
晶体生长装置是单晶炉的核心部分，它通过熔融和凝固的过程，将多晶材料转变为单晶材料。
晶体生长装置通常由炉膛、炉管、炉底和移动机构等部分组成。
在晶体生长过程中，需要控制炉内温度梯度、气氛、压力等参数，以获得高质量的单晶材料。
在单晶炉培训中，学习者需要学习单晶炉的操作方法和技巧。
首先是炉体的操作，学习者需要了解如何正确开启和关闭炉体，如何调节炉内温度和炉壁温度。
其次是加热装置的操作，学习者需要了解如何设置加热功率和加热时间，以及如何调节加热速度和加热均匀度。
此外，学习者还需要学习如何正确操作晶体生长装置，包括装载晶体原料、设置晶体生长参数、监测晶体生长过程等。
在单晶炉培训中，学习者还需要了解单晶材料的生产工艺和相关技术。
单晶材料的生产过程包括晶体生长、晶体切割、晶体抛光等步骤。
学习者需要了解每个步骤的原理和操作方法，掌握单晶材料的生产流程。
同时，学习者还需要学习单晶材料的性能测试和分析方法，以确保产品质量。
在单晶炉培训中，学习者还需了解单晶炉的安全注意事项。
单晶炉操作涉及高温、高压等危险因素，学习者需要了解如何正确佩戴个人防护装备，如何避免烫伤和火灾等事故。
此外，学习者还需了解单晶炉的维护和保养方法，以延长设备的使用寿命。
通过单晶炉培训，学习者能够掌握单晶炉的工作原理、操作方法以及安全注意事项，了解单晶材料的生产工艺和相关技术。
单晶炉结构调研报告
单晶炉结构调研报告【摘要】本文以单晶炉结构为研究对象，进行了调研分析。
首先介绍了单晶炉的概念和用途，然后对单晶炉的结构进行了详细的解析，包括炉体、炉膛、加热系统、温度控制系统等。
接着，通过对国内外单晶炉结构的比较，总结了其发展趋势和存在的问题，并提出了改进和优化的建议。
最后，对单晶炉结构的发展前景进行了展望。
【关键词】单晶炉、结构、调研、发展趋势、问题、优化建议、前景展望1.引言单晶炉是用于制备单晶材料的关键设备，其结构设计对材料的品质和产量具有重要影响。
本文对单晶炉结构进行了调研分析，旨在为单晶炉的改进和优化提供参考依据。
2.单晶炉的概念和用途单晶炉是一种用于制备单晶材料的专用炉，广泛应用于半导体、光电子、材料科学等领域。
其主要作用是提供恒定的温度环境，保证材料的均匀加热和生长。
3.单晶炉的结构解析3.1 炉体单晶炉的炉体一般由高温抗氧化性能良好的材料构成，如石墨、高纯度陶瓷等。
炉体应具备稳定的结构和优良的隔热性能，以提供良好的工作环境。
3.2 炉膛单晶炉的炉膛是材料生长的空间，其形状和尺寸需要根据具体材料的要求进行设计。
炉膛材料应具备高温耐热、耐腐蚀等特性，以确保材料的生长质量和产率。
3.3 加热系统单晶炉的加热系统通常由加热元件和温度传感器组成。
加热元件一般采用电阻加热或电感加热，其目标是提供恒定的加热功率和均匀的温度分布。
温度传感器用于实时监测和控制炉膛温度。
3.4 温度控制系统单晶炉的温度控制系统通常由温度控制器和温度调节装置组成。
温度控制器负责接收温度信号，并根据设定值进行调节。
温度调节装置则根据控制信号，对加热系统进行实时调节，以实现温度的精确控制。
4.国内外单晶炉结构比较通过对国内外单晶炉结构的比较，发现其在炉体、炉膛、加热系统和温度控制系统等方面存在一些差异。
其中，国外单晶炉结构在炉体材料和隔热性能方面较为先进，而国内单晶炉在温度控制系统的精确性和稳定性方面有所优势。
5.存在的问题与优化建议根据调研结果，发现当前单晶炉结构存在一些问题，如炉体隔热性能不足、温度控制不精确等。
单晶炉资料范文范文
单晶炉资料范文范文单晶炉是现代工业生产中的一项重要设备，具有高效、精确的特点，在许多行业中都有广泛应用。
单晶炉技术是一种通过控制熔融的材料在特定温度条件下逐渐形成单晶体的方法。
下面是一份关于单晶炉的资料范文，详细介绍了单晶炉的原理、结构和应用。
单晶炉（Monocrystalline Furnace）是一种利用溶液的化学性质和温度控制来合成单晶体的设备。
其工作原理是通过控制熔融的材料在特定温度条件下逐渐形成单晶体。
单晶炉可以用于生产各种单晶材料，例如硅片、蓝宝石、锗单晶等。
单晶炉的结构一般包括炉体、温度控制系统、搅拌装置、冷却系统等组成部分。
炉体是单晶炉的主体，通常由石英、陶瓷等材料制成，具有良好的耐高温性能。
温度控制系统用于控制单晶炉的工作温度，保证单晶材料的生长质量。
搅拌装置用于搅拌熔融的溶液，防止其中的杂质和气泡对单晶材料的生长产生不良影响。
冷却系统则用于对熔融材料进行降温，使其逐渐形成单晶体。
单晶炉广泛应用于半导体、光电子、光学、化学等领域。
在半导体领域，单晶炉用于制造硅片，是IC芯片生产过程中的关键设备。
硅片是集成电路的基础材料，单晶炉通过高温熔融和凝固技术，将硅材料逐渐生长成为单晶体，再通过切割和加工，制成晶圆用于芯片制造。
在光电子和光学领域，单晶炉用于制造蓝宝石和其他光学单晶材料，用于制造高亮度LED和激光器等器件。
在化学领域，单晶炉用于合成有机无机杂化材料和无机单晶材料，用于研究材料的结构和性质。
单晶炉的主要优点是生产效率高和生长质量好。
由于单晶炉可以通过控制温度和其他条件，使得单晶材料在特定方向上逐渐生长，因此可以实现高效的生产。
其次，单晶炉可以消除晶界和颗粒间的结构缺陷，使得单晶材料具有良好的物理和化学性质。
此外，单晶炉还可以通过控制溶液的成分和掺杂，制备出特定性能的单晶材料，满足不同领域的需求。
然而，单晶炉也存在一些挑战和限制。
首先，单晶炉的设备成本和运行成本较高，需要高温、高压和复杂的控制系统。
单晶炉设备维修工工作总结
单晶炉设备维修工工作总结一、工作概况。
咱干单晶炉设备维修这工作啊，可老有挑战性了。
单晶炉这玩意儿那可是相当精密的设备，就像一个娇贵的小宝贝一样。
咱每天的工作呢，就是围着这个小宝贝转，要保证它随时都能正常工作。
这工作啊，就像是一场和故障的战斗。
有时候设备突然出毛病了，那咱就得像超级英雄一样，立刻冲上去。
不管是白天还是晚上，只要设备一声“咳嗽”，咱就得赶到现场。
就说上次吧，大半夜的，电话铃一响，说设备出问题了。
我那困劲儿一下子就没了，赶紧套上衣服就往车间跑。
到了那儿一看，原来是一个小零件有点磨损，差点就影响了整个生产流程。
我这心里就想啊，还好来得及时，不然这损失可就大了。
二、维修技能的提升。
干这行久了，技能那肯定是得不断提高的。
刚接触单晶炉设备维修的时候，我就像个啥都不懂的小菜鸟。
那些复杂的线路啊，精密的部件啊，看着就头疼。
但是呢，咱不怕困难呀。
我就跟着老师傅们学，他们怎么操作我就怎么学，他们说的每一个小窍门我都记在小本本上。
慢慢地，我开始自己动手解决一些小故障了。
从最开始换个简单的螺丝，到后来能自己排查复杂的电路问题，这个过程就像升级打怪一样，可带劲了。
而且每次解决一个新的故障，我就觉得自己又厉害一点了。
就像学会了一个新的魔法一样，下次再遇到类似的问题，我就可以轻松搞定了。
为了提高自己的维修技能，我还自己找了很多相关的资料来看。
那些专业的书籍和网上的教程就像我的宝藏一样。
有时候遇到不懂的地方，我就和同行的朋友们聊天，互相交流经验。
这就像我们一起组队打BOSS，大家分享各自的攻略，然后一起变得更强大。
三、与团队的合作。
咱这工作可离不开团队啊。
单晶炉设备维修不是一个人能搞定的事儿。
我和我的小伙伴们就像一个大家庭一样。
我们互相帮忙，互相支持。
比如说，有一次设备出现了一个大故障，我自己捣鼓了半天也没弄好。
这时候我的一个同事过来了，他看了看情况，然后和我一起研究。
他从他的角度提出了一些想法，我从我的角度也提供了一些思路。
试分析单晶炉的设计优化
试分析单晶炉的设计优化单晶炉是一种用于制备单晶材料的设备，其设计优化是提高单晶材料制备效率和质量的关键。
下面将从材料选择、结构设计和热控制三个方面进行分析和优化。
材料选择是单晶炉设计的重要一环。
由于单晶材料制备过程中需要承受高温和较大的热应力，因此炉体材料需要具有较高的耐高温和耐热应力能力。
常见的材料选择包括石墨、陶瓷和金属材料等。
石墨具有良好的耐高温和导热性能，但易氧化和热膨胀系数较大。
陶瓷材料具有较好的热稳定性和耐腐蚀性，但导热性能较差。
金属材料的热导率和热膨胀系数较大，但相对脆性较低。
在设计优化中需要综合考虑材料的热稳定性、导热性和机械强度等因素，选择合适的材料以提高单晶炉的性能。
单晶炉的结构设计也是决定其性能的重要因素。
炉体结构应具有良好的隔热性能，以减小能量的损失和外界温度的干扰。
炉体内部结构应合理布置，以实现均匀的热量传递和温度分布。
通过合理设计加热元件、炉体壁厚度和外壳结构等，可以有效降低热辐射和热传导损失，提高能量利用率。
单晶炉还需要考虑真空密封性能，以避免氧化和杂质的侵入。
在设计优化中，需要综合考虑结构的隔热性能、热量传递性能和真空密封性能等因素，以实现单晶炉结构的优化。
热控制是保证单晶材料制备质量的关键环节。
在单晶炉中，通过控制加热元件的能量输入和温度分布，可以实现对单晶生长过程中温度的控制。
在设计优化中，需要合理选择加热元件的功率和布置方式，以实现对炉体的均匀加热。
还需要考虑单晶炉内部温度的均匀性和稳定性，以避免温度梯度过大导致的热应力和单晶生长不均匀。
热控制还包括对冷却系统的优化，以实现对单晶材料制备过程中温度的快速降低。
在设计优化中，需要综合考虑加热元件的选择和布置、温度分布均匀性和冷却系统的性能等因素，以实现单晶炉的热控制优化。
试分析单晶炉的设计优化
试分析单晶炉的设计优化单晶炉是用于生产单晶材料的重要设备，其设计优化对于提高单晶材料的质量和生产效率具有重要意义。
本文将从炉体结构、加热方式、气氛控制等方面对单晶炉的设计优化进行分析。
炉体结构是单晶炉设计的关键因素之一。
对于炉体结构的优化，主要是在保证单晶材料的均匀生长和降低杂质的掺入方面进行改进。
一般而言，单晶炉的炉体都是采用石墨材料制成，这是因为石墨具有良好的导热性能和化学稳定性。
由于石墨材料本身存在有害气体的释放，容易对单晶材料产生负面影响。
在设计中需要考虑采用导热性能更好、无害气体释放的新型材料，以提高单晶材料的纯度和质量。
加热方式也是单晶炉设计的重要考虑因素之一。
当前常用的加热方式包括辐射加热和感应加热两种方式。
辐射加热通常采用电阻丝或电石墨等材料作为加热元件，通过加热元件产生的热辐射来加热单晶材料。
感应加热则是利用感应加热炉产生的交变磁场，使导体内部产生涡流并产生热量。
在设计中，可以通过优化加热元件的材料、布局和参数来提高加热效率和均匀性。
还可以考虑采用组合加热方式，例如结合辐射和感应加热，以综合提高加热效果。
气氛控制也是单晶炉设计的关键环节之一。
气氛控制的主要目的是保证单晶材料在生长过程中处于合适的环境中，以防止杂质的掺入和单晶材料的氧化。
在设计中，可以通过引入惰性气体或控制气氛中的气体成分来实现气氛控制。
使用氮气作为惰性气体，可以有效减少杂质的掺入。
通过控制氧气的含量和压力，可以有效控制单晶材料的氧化程度，提高单晶材料的质量。
还可以考虑引入真空技术，以进一步提高气氛控制的精度。
真空技术可以减少气氛中的杂质和氧气含量，提高单晶材料的纯度和质量，并且可以减少杂质的挥发和背面扩散现象。
单晶炉的自动化控制也是设计优化的重要考虑因素之一。
单晶材料的生长过程需要精确的控制参数和步骤，而自动化控制系统可以实时监测和调节控制参数，使得生长过程更加稳定和可控。
在设计中可以考虑引入传感器、PLC控制系统等自动化设备，以提高生产过程的稳定性和效率。
试分析单晶炉的设计优化
试分析单晶炉的设计优化单晶炉是一种用于生产单晶材料的设备，它的设计优化直接决定了单晶的质量和产量。
单晶炉的设计优化需要考虑多方面的因素，下面将从炉体、炉具、加热方式、气氛控制等方面探讨单晶炉的设计优化。
1. 炉体的设计优化炉体是单晶炉的主体结构，负责提供加热和温度控制的环境，因此炉体的设计优化至关重要。
炉体的设计应该考虑以下几个方面：(1) 保持温度均匀为了使单晶结构均匀，炉体内的温度必须保持均匀。
为此，可以在炉体内添加隔板，以把炉体分为若干独立的区域，进行单独的控制。
此外，还可以添加多个加热区，以获得更精确的温度控制。
(2) 提高温度控制能力为了获得更高的温度控制能力，炉体可以采用多层结构设计，并在不同层中放置热电偶进行实时温度监测，从而提高温度控制的精度。
(3) 耐高温耐腐蚀单晶生长过程中要求炉体内气氛环境纯净，在高温和腐蚀性气氛下长期使用下，炉体材料需要耐高温、耐腐蚀，常用的耐腐蚀材料如石墨、氧化锆等。
炉具是单晶炉的核心部件，炉具中的单晶生长。
因此，在设计上必须严格按照生长单晶材料的需要进行设计。
炉具的设计应该考虑以下几个方面：(1) 良好的热传导性能炉具材料应具有良好的热传导性能，以便在整个晶体收缩过程中均匀传输热量。
(2) 适当的热膨胀率在单晶生长的整个过程中，炉具应具有适当的热膨胀率，以避免产生应力和变形。
(3) 抽取方式的优化抽取方法是炉具设计优化的一个重要方面。
炉具的抽取可以采用拉升或冷却系统等方法。
需要注意控制晶体生长速度，防止晶体因过快收缩而产生裂纹。
加热方式直接决定了单晶的生长速度和质量，因此必须进行合理的设计优化。
加热方式的设计应该考虑以下几个方面：(1) 应根据材料物性设计加热类型不同的材料具有不同的加热特点，应根据材料物性选择合适的加热方式。
常用的加热方式包括直接阻燃加热、感应加热、光学加热、辐射加热等。
(2) 加热区的优化为了获得更高的加热效率和精度，可以将加热区分成若干独立部分，对每个区域进行独立控制和监控，以便根据实际情况进行调整。
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籽晶提升 旋转机构
单晶棒 CCD
加热器 坩埚 坩埚提升 旋转机构
液面测 温仪 氩气 流量
籽晶
热场测 温仪
工艺过程
• 抽真空 • 检漏 • 调压 • 熔料 • 稳定 • 熔接 • 引晶 • 放肩 • 转肩 • 等径 • 收尾 • 停炉 • 氧化
熔料
引晶
放肩
等晶
收尾
TDR85A-ZJS全自动晶体生长炉
16、拆下把铜螺母固定到盖端上的4颗螺钉，取下铜螺母。 17、重装时，首先铜螺母装回端盖，装回把铜螺母固定到
盖端上的4颗螺钉。 18、将右端盖装回提升腔，上紧固定螺钉。 19、将缆索管装入花键滑套，上紧固定螺钉。 20、装回花键轴左端的滚动轴承。 21、将花键轴、缆索管、右端盖以及晶转磁流体密封作为
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牢记安全之责，善谋安全之策，力务 安全之 实。2020年10月24日 星期六2时57分 19秒Saturday, October 24, 2020
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相信相信得力量。20.10.242020年10月 24日星 期六2时57分19秒20.10.24
谢谢大家！
松开3个紧定螺钉
取下旋转接头和冷却管 取下波纹管
取夹紧圈和旋转带轮 抽出坩埚轴
坩埚提升机构上的4颗M6内六角螺钉。
9、从提升架上提起磁流体密封。
10、重装时，将磁流体密封放到提升架上。
11、重新装上把磁流体密封固定到提升架上的4颗M6内六
角螺钉。
拆下固定磁流体的螺钉 12、在坩埚轴和磁流体内的O型圈上涂上少许的真空脂，
1、拔下称重传感器腔上的航空插头。 2、从钢丝绳上取下籽晶夹头。 3、将缆索管下降到如左图所示位置之后，取下
钢丝绳。 4、松开第二级蜗轮蜗杆减速箱输出轴上卡环的
内六角螺钉，松开刚性连轴器右侧的紧定螺 钉，将其向外滑出。小心不要把联轴器上的 十字块跌落。 5、松开行程块的2颗固定螺钉，卸下同步带。 6、拆下把提升腔固定到晶升底板上的两个螺钉。 螺钉是从底板下面向上旋进的。 7、把提升腔垂直平稳向上提起，小心不要破坏 提升腔的内孔以及晶转磁流体密封的O型圈 和轴。 8、松开2颗铰链螺钉，使称重腔与提升腔脱离。
TDR85A-ZJS单晶炉的机械 结构与维修
背景 — 半导体生产流程
石英砂－金属硅
多晶
拉制单晶棒 （本产品研究环节）
单晶硅片
单晶硅棒
集成电路
集成电路应用
太阳能电池
太阳能电池应用
设备简介
直拉式单晶硅生长炉是一种高效率制备硅单 晶体的设备。
将多晶硅原料放在炉体的石英坩埚内进行高温 熔化（大于1450℃），在低真空度和氩气保护下， 通过籽晶插入多晶硅熔体后，在籽晶周围形成过冷 态并进行有规律结晶生长，形成一根单晶棒体。
维修周期 每次运行 每个月
3个月 3个月 3个月 3个月
步骤 检查磨损、损坏情况 清洁并检查对中性 检查磨损/对中和张力
检查碳刷长度 检查紧固性
检查离合器间隙及动作
坩埚提升机构
• 滚珠直线导轨 • 精密丝杆，自锁 • 承受轴向力磁流体
密封 • 快慢速双电机 • 光电编码计行程
坩埚提升机构（主视）
晶体提升腔拆装及调整
25、提升腔垂直向下放到底板上，小心不要破坏提升腔的内孔以及晶转 磁流体密封的O型圈和轴。在O型圈上抹少量的真空脂将有助于提升 腔的装入。
26、装回把提升腔固定到底板上的两颗螺钉。 27、装回称重腔，拧紧铰链螺钉。 28、装回钢丝绳，并重新检查限位开关的设置。 29、装回刚性联轴器和卡环，确定联轴器上的十字块仍在正确位置。 30、在钢丝绳上装上籽晶夹头。 31、将称重传感器腔的航空插头重新插上。
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作业标准记得牢，驾轻就熟除烦恼。2020年10月24日星期 六2时57分19秒 02:57:1924 October 2020
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好的事情马上就会到来，一切都是最 好的安 排。上 午2时57分19秒 上午2时57分02:57:1920.10.24
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一马当先，全员举绩，梅开二度，业 绩保底 。20.10.2420.10.2402:5702:57:1902:57:19Oc t-20
13 松开并取下把花键轴滑套固定到缆索管上的4颗螺钉。
14 将缆索管从花键滑套上拉出，小心，不要把滑套拉出花 键轴，否则，滚珠将会从滚槽中掉下来。
取出晶转磁流体
右端盖
取出右端盖
花键轴、缆索管
晶体提升腔拆装及调整
左端盖及铜螺母 对中针
缆索管的对中
15、拆下提升腔左端盖的4颗螺钉，将左端盖连同铜螺母 一起从提升腔内抽出。
检查碳刷长度 检查损坏情况
清洁和润滑 检查磨损情况
清洁和润滑 脂润滑
检查磨损和对中
翻板阀的调整
松开外端的2只外六角螺钉 松开内端的2只内六角螺钉
1、将副炉室升起，旋开。 2、确认O型圈已经装好，把 翻板阀关闭。 3、用5mm的内六角扳手和 17mm的呆扳手把翻板阀两端的 固定螺钉松开。 4、打开真空泵，真空球阀， 抽取主炉室真空。 5、利用主炉室内外压差，翻 板阀会自动吸紧。 6、当压力抽到极限真空时， 将翻板阀两端的固定螺钉上紧。 7、充入氩气，做一次隔离实 验以确保翻板阀调整后密封良 好。
籽晶钢缆的对中
1、安放对中靶在坩埚轴的托盘上，保证其 位于托盘正中。 2、安装对中针在籽晶夹头的一端。 3、定位坩埚使对中靶在要求的熔体水平位 置。 4、抽空单晶炉且维持在20Torr静态压力。 5、降下籽晶夹头，使对中针几乎触及对中 靶。 6、从另一个观察窗观察对中针是否正对对 中靶中心。 7、如对中针没有正对对中靶中心，则松开 固定籽晶提升装置的三个压紧块。 8、调整压紧块侧面的顶紧螺钉使对中针正 对对中靶中心。 9、上紧三个压紧块，观察对中针是否有偏 差。 10、拆下对中靶和对中针。
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踏实肯干，努力奋斗。2020年10月24日上午2时57分 20.10.2420.10.24
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追求至善凭技术开拓市场，凭管理增 创效益 ，凭服 务树立 形象。2020年10月24日星期 六上午2时57分 19秒02:57:1920.10.24
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严格把控质量关，让生产更加有保障 。2020年10月 上午2时 57分20.10.2402:57Oc tober 24, 2020
一个整体从提升腔右侧送入，逆时针旋转花键轴使得 缆索管拧入铜螺母，将右端盖完全压入提升腔，上紧4 颗固定螺钉。
22、装回提升腔左端盖的盖板，拧紧固定螺钉。 23、装回压力滚子组件，拧紧压力滚子组件固定到提升腔
上的4颗螺钉。 24、将对中针从提升腔下面晶转磁流体孔放入，检查钢缆
螺纹与磁流体孔中心的位置，保证磁流体孔中心与所 对应螺纹的中心的偏差不大于0.05mm。
晶体提升腔拆装及调整
取出压力辊子组件 左端盖
9 松开压力滚子组件固定到提升腔上的4颗螺钉，拆下 压力滚子组件。
10 拆下提升腔右端盖的4颗螺钉。 12 用小拉马取下花键轴左端的滚动轴承。
拆下提升腔左端盖的盖板，用铜棒敲击花键轴，将 其向
11 右端推出，同时顺时针旋转花键轴使得缆索管从铜螺母 的螺纹上脱开，将花键轴、缆索管、右端盖以及晶转磁 流体密封作为一个整体从提升腔内抽出。
水平调整机构
副室旋转机构
氩气分流系统
真空系统
冷却水系统
双CCD测径系统
•采用光学系统将晶体图像分 到2个独立CCD完成引晶、 等径的单独控制。 •图像处理速度快，引晶跟踪 能力强，引晶效果好 •机械调整简单
机械结构设计特色
• 采用了国内首创、独特的副炉室自动旋转机构， 可在副炉室提升到位时的缓慢旋开和快速旋闭， 提高取晶的安全性；
• 采用特殊的隔离阀板水冷内循环结构，避免了 采用浮动式翻板阀中软管及接头漏水的隐患；
• 采用独特的氩气分流环结构，保证在拉晶过程 中氩气气流的均匀性。
谢 谢！
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树立质量法制观念、提高全员质量意 识。20.10.2420.10.24Saturday, October 24, 2020
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人生得意须尽欢，莫使金樽空对月。02:57:1902:57:1902:5710/24/2020 2:57:19 AM
坩埚提升机构（俯视）
坩埚提升机构拆装及调整
拆旋转皮带
1、关掉坩埚轴冷却水的进水管阀门，将其回水管用扎带 扎起。
2、松开坩埚旋转电机齿轮箱组件并从坩埚轴上拆下旋转 皮带。
3、从坩埚轴组件上松开并取下旋转接头夹紧圈。 4、松开坩埚轴上的固定冷却管的3只紧定螺钉，向下取
出旋转接头和冷却管。
5、松开固定波纹管的螺钉，取下波纹管。 6、从坩埚轴磁流体密封的底部取下夹紧圈和旋转带轮。 7、从炉底板的上方将坩埚轴从埚转磁流体密封中抽出。
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安全象只弓，不拉它就松，要想保安 全，常 把弓弦 绷。20.10.2402:57:1902:57Oc t-2024- Oct-20
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加强交通建设管理，确保工程建设质 量。02:57:1902:57:1902:57Saturday, October 24, 2020
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安全在于心细，事故出在麻痹。20.10.2420.10.2402:57:1902:57:19October 24, 2020
将坩埚轴从炉底板的上部滑入坩埚旋转磁流体密封。
13、装上坩埚轴波纹管。
14、在坩埚旋转磁流体密封底部重新装上夹紧圈。
15、重新装上旋转皮带并紧固坩埚旋转电机齿轮箱组件，
皮带应松紧适宜；检查旋转皮带的对中性，如果有必要
提起磁流体
的话，就进行调整。
16、在坩埚轴底部重新装上旋转接头和冷却管，拧紧紧定螺钉。 17、在坩埚轴组件上重新装上旋转接头夹紧圈并紧固。 18、松开回水管扎带，打开进水管阀门，重新往坩埚轴中通入冷却水。 19、把对中工具装在坩埚轴上，调整坩埚在底下3个调整垫铁上的位置，使工具