精密与特种加工技术(课件)
精密与超精密加工技术课件
珩磨效果受到多种因素的影响 ，如磨石的粒度、粘结剂的类 型、珩磨头的转速和压力等。
电解加工工艺
电解加工工艺概述
电解加工是一种利用电化学反应去除 工件材料的加工方法，具有加工精度 高、表面质量好等特点。
电解加工工艺流程
电解加工工艺通常包括工件表面处理 、电解液的选择和调整、电解加工设 备的设置以及加工参数的控制等步骤 。
、汽车和航空领域。
陶瓷材料
陶瓷材料具有高硬度、高耐磨性和 耐高温等特点，常用于制造刀具、 磨具和高温部件。
复合材料
复合材料由两种或多种材料组成， 具有优异的综合性能，如碳纤维复 合材料具有高强度和轻质的特点。
复合材料
玻璃纤维复合材料
玻璃纤维复合材料具有高 强度、高刚性和耐腐蚀等 特点，广泛应用于建筑、 船舶和汽车领域。
抛光效果受到抛光轮的材料、转速、抛光膏或抛光液的成分以及抛光 压力等因素的影响。
珩磨工艺
珩磨工艺概述
珩磨是一种利用珩磨头上的磨 石与工件表面进行摩擦，以去 除表面微小凸起和划痕的加工
方法。
珩磨材料
珩磨头上的磨石由硬质颗粒和 粘结剂组成，具有较高的硬度 和耐磨性。
珩磨工艺流程
珩磨工艺通常包括工件表面处 理、涂敷润滑剂、珩磨头的旋 转运动以及工件的往复运动等 步骤。
碳纤维复合材料
碳纤维复合材料具有高强 度、轻质和耐高温等特点 ，常用于制造航空器和体 育用品。
金属基复合材料
金属基复合材料以金属为 基体，加入增强纤维或颗 粒，以提高材料的强度、 刚度和耐磨性。
04
精密与超精密加工工艺
研磨工艺
研磨工艺概述
研磨材料
研磨是一种通过研磨剂去除工件表面微小 凸起和划痕的加工方法，以达到平滑表面 的效果。
第四章精密加工和特种加工简介 金属工艺学课件
研具
研具材料应比工件材料软、以使部分研磨剂 的磨料能嵌入研具表面，并对工件表面进行擦磨。 常用研具材料有：铸铁、软钢、黄铜、塑料 或硬木。最常用的是铸铁研具，它适用于加工各 种材料，能较好地保证研磨质量和高的生产率、 成本低的特点。
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研磨剂
研磨剂由磨料＋研磨液＋辅助填料等混合而成，有
液态、膏状和固态等三种。
特点
（3）珩磨的零件表面耐磨损。 由于珩磨的零件表面有交叉的网纹， 易于油膜形成，润滑性能好，磨损慢。 （4）珩磨头结构复杂。
应用
珩磨主要用于孔的精整加工，加工 范围广，可以加工大孔和深孔。加工孔 的直径在5~500mm以上，加工余量一 般在0.005 ~ 0 . 08mm。珩磨还可以加 工外圆、平面、球面和齿面等。 珩磨不仅在大批生产大量中应用极 为普遍，而且在单件小批生产中应用也 较广泛。
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研磨方法
研磨方法有手工研磨和机械研磨。
手工研磨是手持研具对工件表面进行研磨。
机械研磨是在研磨机上进行研磨。
研磨机
4-1 研磨较小零件所用的研磨机的工作示意图
2、研磨的特点及应用
(1)设备研具简单。研磨既可以在专用的研磨机上 进行，也可以在简单改装的车床或钻床上进行， 还可以手工进行。 (2)可以达到高的尺寸精度、形状精度和小的表面 粗糙度，但不能提高位置精度。研磨的尺寸和形 状误差可达0.1~0.3μ m，Ra<0.025μ m以下。 (3)生产率低。加工余量一般不大于 0.01~0.03mm。 (4)研磨剂易于飞溅，污染环境。
金属工艺学国家级精品课程
“十一五”国家级规划教材
第一节 1、研磨
精整与光整加工 2、珩磨 4、抛光
3、超级光磨 5、超精密加工概述 第二节 特种加工
第8章 机械零件的精密加工与特种加工 《机械制造技术》课件
8.2.2 电火花及线切割加工
1. 电火花加工
(1) 工作原理 电火花加工是基于工具电极和工件之间脉冲性火花放电时 的电蚀现象蚀除多余金属，对零件进行加工的。
8.2.2 电火花及线切割加工
2. 电火花线切割加工
(1) 工作原理 电火花线切割加工(Wire Cut EDM，简称WEDM)又称“线切 割”，它是通过线状工具电极与工件间规定的相对运动，把工 件切割成形，加工时线状工具电极沿自身方向做往复或单向运 行，如图8-16所示。
8.1.1 概述
2. 常用精密与超精密加工方法
精密与超精密加工主要分为两类：一是采用金刚石刀具对工件进 行超精密的微细切削和应用磨料磨具对工件进行珩磨、研磨、抛光、 精密和超精密磨削等；二是采用激光加工、微波加工、等离子加工、 超声波加工、光刻等特种加工方法。另外，现在经常提及的微细加工 是指制造微小尺寸零件的生产加工技术，是超精密加工的一个分支。
8.2.3 激光加工
1. 激光的特性
激光加工具有以下特性。 (1) 强度高。 (2) 单色性好。 (3) 相干性好。 (4) 方向性好。
8.2.3 激光加工
2. 激光加工的原理
激光加工的基本原理是通过激光的聚焦，照射在工件上， 将光能转换为热能，把工件材料熔化或汽化，达到去除材料的 目的，从而完成加工过程。由于激光加工的功率密度极高，光 能转化的热能几乎可以熔化、汽化任何材料，像耐热合金、陶 瓷、石英、金刚石等硬脆材料，都可以采用激光加工。
8.28.2特.1 概种述 加 工
8.2.2 电火花及线切割加工
8.2.3 激光加工
8.2.1 概述
1. 特种加工的产生及特点
在机械制造业中，切削加工方法长期以来占据主导地位。 然而，随着生产和科学的发展，新材料、新结构的不断出现， 对某些特殊要求也越来越高，对机械制造部门提出了新的要求 ，切削加工方法面临严峻的挑战。
精密与特种加工(第1讲)
教学计划：
课堂授课：24学时 实验教学：8学时
教学大纲：
特种加工技术：30学时 精密切削磨削技术：2学时
请你认真思考以下产品的加工方法!
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雕刻的水晶作品
请你认真思考以下产品的加工方法!
1-工件 2-脉冲电源 3-自动进给调节装置 4-工具 5-工作液 6-过滤器 7-工作液泵 8-被蚀除的材料
一、电火花加工的原理和设备组成
4．工作原理：
1）工具和工件与电源的两极相接，均浸在 有一定绝缘度的流体介质（通常用煤油或 矿物油）中。 2）脉冲电压加到两极之间，在工具电极向 工件电极运动中，将极间最近点的液体介 质击穿，形成火花放电。 3）由于放电通道截面积很小，通道中的瞬 时高温使材料熔化和气化。单个脉冲能使 工件表面形成微小凹坑，而无数个脉冲的 积累将工件上的高点逐渐熔蚀。 4）随着工具电极不断地向工件作进给运动， 工具电极的形状便被复制在工件上。 5）加工过程中所产生的金属微粒，则被流 动的工作液流带走。 6）总能量的一小部分也释放到工具电极上 形成一定的工具损耗。
第三节 特种加工对材料可加工性和结构性的影响
提高了材料的加工性
材料的加工性不再与硬度、强度 等成直接、比例关系。
第三节 特种加工对材料可加工性和结构性的影响
改变了零件的典型工艺路线
成形加工 淬 淬
火
火
成形加工
第三节 特种加工对材料可加工性和结构性的影响
对产品零件的结构设计带来很大影响
雕刻的水晶作品
精密与特种加工课件
微纳制造
在微纳制造领域，精密与特种加工技术用于制造微型机械、微型传感器等，广泛应用于 医疗、环保等领域。
新材料领域应用实例
高温合金加工
在高温合金加工中，精密与特种加工技 术用于制造高性能涡轮叶片、燃烧室等 高温部件，提高了航空发动机的工作温 度和效率。
分类
根据加工原理和应用领域，精密与特 种加工可分为电火花加工、激光加工 、离子束加工、超声波加工等多种类 型。
特点与优势
特点
高精度、高效率、高表面质量、 低成本等。
优势
精密与特种加工能够解决传统机 械加工难以解决的问题，尤其在 难加工材料、复杂结构和高精度 零件的加工方面具有显著优势。
应用领域与发展趋势
02 03
激光加工
激光加工是指利用激光束的高能量密度，对材料进行切割、打孔、焊接 等加工。由于激光束的聚焦光斑小、能量密度高，可以获得高精度、高 效率的加工效果。
电子束加工
电子束加工是指利用电子束的高能量密度，对材料进行切割、打孔、焊 接等加工。由于电子束的能量密度比激光束更高，可以获得更高的加工 精度和更小的热影响区。
特种加工工艺
特种加工工艺概述
特种加工工艺是指不同于传统机 械加工方法的工艺方法，具有加
工范围广、适应性强的特点。
电化学加工
电化学加工是指利用电解反应对 材料进行溶解和成型加工的工艺 方法。该方法适用于各种金属材 料的加工，具有高精度、高效率
的特点。
超声波加工
超声波加工是指利用超声波振动 对材料进行研磨、打孔、切割等 加工的工艺方法。该方法适用于 各种硬脆材料的加工，具有高精
第五章精密超精密及特种加工技术幻灯片课件
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第五章 精密超精密及特种加工技术
关键技术2
② 微/纳加工表面/亚表面完整性的评价与控制 纳 米级加工过程的理论及表层形成机理，微/纳表面 及表层完整性评价理论、指标体系及其控制方法；表 面完整性的控制的工程新方法；不同光学材料与加工 参数对亚表面特征的影响与控制的方法；原子级表面 平坦化加工新原理及方法；超光滑表面加工新技术和 实验方法。
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第五章 精密超精密及特种加工技术
超精密加工关键技术
3．在线检测与误差补偿
4．超精密加工的工作环境
超精密加工必须在超稳定的环境下进行。超稳定 环境主要是指恒温、超净和防振三个方面。
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Байду номын сангаас 第五章 精密超精密及特种加工技术
关键技术1
① 光学自由曲面制造技术的理论和方法 光学自 由曲面零件高精度机械测量与光学测量新原理， 新方法；大镜面测量方法，工件的高精度定位、 自由曲面的轮廓误差评定、海量数据处理新的数 学工具和新的算法；自由曲面光学表面成形、修 形和抛光新原理和新方法；光学自由曲面超精密 机床关键技术与方法。
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第五章 精密超精密及特种加工技术
超精密加工特点
超精密加工时，对刀具的刃磨、砂轮修整和机床调整 均有很高要求。
超精密加工是一门综合性高技术，凡是影响加工精度 和表面质量的因素都要考虑。
超精密加工一般采用计算机控制、在线控制、自适应 控制、误差检测和补偿等自动化技术来保证加工精度 和表面质量。
超精密加工不仅有传统的切削和磨削加工,只有综合 应用各种加工方法，才能得到很高的加工精度和表面 质量。
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精密和超精密加工技术课件
激光器
➢ 固体激光器
➢YAG (钇、铝和石榴石构成) 激光器,红宝石激光器 ➢特点:器件小、坚固、使用方便、输出功率大
墨最常用。
➢工作液——主要功能压缩放电通道区域，提高 放电能量密度，加速蚀物排出；常用工作液有 煤油、机油、去离子水、乳化液等。 ➢放电间隙——合理的间隙是保证火花放电的必 要条件。为保持适当的放电间隙，在加工过程 中，需采用自动调节器控制机床进给系统，并 带动工具电极缓慢向工件进给。
电火花加工工作要素
➢高速而能量密集的电子束冲击到工件上，被冲 击点处形成瞬时高温(几分之一微秒时间内升 高至几千摄氏度)，工件表面局部熔化、气化 直至被蒸发去除。
电
子
电子束
束
加工的
喷丝头
加
异形孔
工
电子束加工曲面、穿孔
电子束加工特点及应用
➢ 电子束束径小(最小直径可达 0.01-0.05mm )，而其 长度可达束径几十倍，可加工微细深孔、窄缝。
➢可加工各种复杂形状的型孔、型腔、形面。 ➢工具与工件不需作复杂的相对运动，机床结构简单。 ➢被加工表面无残余应力，无破坏层，加工精度较高，尺
寸精度可达0.01~0.05mm 。
➢加工过程受力小，热影响小，可加工薄壁、薄片等易变
形零件。
➢ 生产效率较低。采用超声复合加工(如超声车削，超声 磨削，超声电解加工，超声线切割等)可提高加工效率。
➢优点：无焊渣，不需去除工件氧化膜，可实现不同材料 之间的焊接，特别适宜微型机械和精密焊接。
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第一章概论第一节精密与特种加工得产生背景机械制造面临着一系列严峻得任务:⑴解决各种难切削材料得加工问题。
⑵解决各种特殊复杂型面得加工问题。
⑶解决各种超精密、光整零件得加工问题。
⑷特殊零件得加工问题。
第二节精密与特种加工得特点及其对机械制造领域得影响精密与特种加工就是一门多学科得综合高级技术;精密加工包括微细加工、光整加工与精整加工等,与特种加工关系密切。
特种加工就是指利用机、光、电、声、热、化学、磁、原子能等能源来进行加工得非传统加工方法(NTM,NonTraditional Machining),它们与传统切削加工得不同特点主要有:①主要不就是依靠机械能;②刀具得硬度可以低于被加工工件材料得硬度;③在加工过程中,工具与工件之间不存在显著得机械切削力作用。
精密与特种加工技术引起了机械制造领域内得许多变革:⑴提高了材料得可加工性。
⑵改变了零件得典型工艺路线。
⑶大大缩短新产品试制周期。
⑷对产品零件得结构设计产生很大得影响。
⑸对传统得结构工艺性好与坏得衡量标准产生重要影响。
第三节精密与特种加工得方法及分类1.加工成形得原理分为去除加工、结合加工、变形加工三大类。
去除加工又称为分离加工,就是从工件上去除多余得材料。
结合加工就是利用理化方法将不同材料结合在一起。
又可分为附着、注入、连接三种。
变形加工又称为流动加工,就是利用力、热、分子运动等手段使工件产生变形,改变其尺寸、形状与性能。
2.加工方法机理按机理精密与特种加工分为传统加工、非传统加工、复合加工。
第四节精密与特种加工技术得地位与作用先进制造技术已经就是一个国家经济发展得重要手段之一。
发展先进制造技术就是当前世界各国发展国民经济得主攻方向与战略决策,同时又就是一个国家独立自主、繁荣富强、经济持续稳定发展、科技保持先进领先得长远大计。
从先进制造技术得技术实质而论,主要有精密、超精密加工技术与制造自动化两大领域。
精密与特种加工技术水平就是一个国家制造工业水平得重要标志之一。
精密与特种加工技术已经成为国际竞争中取得成功得关键技术。
产品得实际制造,必然要依靠精密加工技术。
第二章金刚石刀具精密切削加工第一节概述精密与超精密加工与制造自动化就是先进制造技术得两大领域。
加工精度在0、1~1μm,表面粗糙度R a在0、02~0、1μm之间得加工称为精密加工;加工精度高于0、1μm,表面粗糙度R a小于0、01μm得加工称为超精密加工。
一、超精密加工得难点精度难以控制;刚度与热变形影响;去除层薄,切应力大;犹如对不连续体进行切削。
二、超精密加工得方法按加工方式分:切削加工、磨料加工、特种加工与复合加工按加工机理与特点分:去除加工、结合加工与变形加工还可分为传统加工、非传统加工与复合加工三、超精密加工得实现条件超精密加工就是多学科交叉得综合性高新技术①超精密加工得机理与工艺方法;②超精密加工工艺装备;③超精密加工工具;④超精密加工中得工件材料;⑤精密测量及误差补偿技术;⑥超精密加工工作环境、条件等。
在超精密加工得中,必须综合考虑以上因素。
第二节超精密机床及其关键部件一、典型超精密机床超精密加工对机床得基本要求:⑴高精度⑵高刚度⑶高稳定性⑷高自动化大型光学金刚石车床——LODTMFG001超精密机床OAGM 2500大型超精密机床AHNIO型高效专用车削、磨削超精密机床二、超精密机床得主轴部件主轴部件就是保证超精密机床加工精度得核心。
超精密加工对主轴得要求就是极高得回转精度,转动平稳,无振动。
液体静压轴承主轴空气静压轴承主轴⑴双半球空气轴承主轴⑵径向—推力空气静压轴承主轴⑶球形—径向空气轴承主轴⑷立式空气轴承主轴主轴得驱动方式⑴柔性联轴器驱动⑵内装式同轴电动机驱动超精密机床主轴与轴承得材料应考虑以下主要因素:①耐磨损;②不易生锈腐蚀;③热膨胀系数小;④材料得稳定性好。
制造空气主轴与轴承得材料主要有:①经表面氮化与低温稳定处理得38CrMoAl氮化钢;②不锈钢;③多孔石墨与轴承钢。
另外还有铟钢、花岗岩、微晶玻璃与陶瓷等。
三、精密导轨部件超精密机床得总体布局T形布局十字形布局Rθ布局立式结构布局常用得导轨部件⑴液体静压导轨花岗岩静压导轨⑵空气静压导轨与气浮导轨空气静压导轨气浮导轨床身及导轨得材料常用得床身及导轨材料有优质耐磨铸铁、花岗岩、人造花岗岩等。
微量进给装置超精密机床得进给系统—般采用精密滚珠丝杠副、液体静压与空气静压丝杠副。
高精度微量进给装置则有电致伸缩式、弹性变形式、机械传动或液压传动式、热变形式、流体膜变形式、磁致伸缩式等。
目前高精度微量进给装置得分辨力可达到0、001~0、01μm。
精密与超精密微位移机构应满足以下设计要求:①精微进给与粗进给分开。
②运动部分必须就是低摩擦与高稳定度得。
③末级传动元件必须有很高得刚度。
④内部连接必须可靠,尽量采用整体结构或刚性连接。
⑤工艺性好,容易制造。
⑥具有好得动特性。
⑦能实现微进给得自动控制。
⑴压电与电致伸缩微进给装置⑵摩擦驱动装置⑶机械结构弹性变形微量进给装置第五节金刚石刀具得结构衡量金刚石刀具质量得标准:①能否加工出高质量得超光滑表面;②能否有较长得切削时间保持刀刃锋锐。
设计金刚石刀具时最主要问题有三个:①确定切削部分得几何形状;②选择合适得晶面作为刀具得前后面;③确定金刚石在刀具上得固定方法与刀具结构。
一、金刚石刀具切削部分得几何形状⑴刀头形式金刚石刀具刀头一般采用在主切削刃与副切削刃之间加过渡刃。
国内多采用直线修光刃,国外标准得金刚石刀具,推荐得修光刃圆弧半径R=0、5~3mm。
金刚石刀具得主偏角一般为30˚~90˚,以45˚主偏角应用最为广泛。
⑵前角与后角根据加工材料不同,金刚石刀具得前角可取0˚~5˚,后角一般可取5˚~6˚。
美国EI Contour精密刀具公司得标准金刚石车刀结构如上图所示。
该车刀采用圆弧修光刃,修光刃圆弧半径R=0、5~1、5mm。
后角采用10˚,刀具前角可根据加工材料由用户选定。
一种可用于车削铝合金、铜、黄铜得通用金刚石车刀结构如右图所示。
可获得粗糙度R a < 0、02~ 0、005μm得表面。
二、选择合适得晶面作为金刚石刀具前、后面三、金刚石刀具上得金刚石固定方法⑴机械夹固⑵用粉末冶金法固定⑶使用粘结或钎焊固定国内外得金刚石刀具使用者一般都不自己磨刀;Sumitomo公司推出一次性使用不重磨得精密金刚石刀具。
第三章精密与超精密磨料加工黑色金属、硬脆材料得精密与超精密加工,主要就是应用精密与超精密磨料加工。
所谓精密与超精密磨料加工,就就是利用细粒度得磨粒与微粉对黑色金属、硬脆材料等进行加工,以得到高加工精度与低表面粗糙度值。
精密与超精密磨料加工可分为固结磨料与游离磨料加工两大类。
第一节精密磨削精密磨削就是指加工精度为1~0、1μm、表面粗糙度为R a0、2~0、025μm得磨削方法。
一、精密磨削机理靠砂轮得具有微刃性与等高性得磨粒实现得。
⑴微刃得微切削作用⑵微刃得等高切削作用⑶微刃得滑挤、摩擦、抛光作用二、磨削用量三、精密磨削砂轮1.砂轮磨料精密磨削时所用砂轮得磨料以易于产生与保持微刃及其等高性为原则。
钢件及铸铁件,以采用刚玉磨料为宜。
碳化硅磨料主要应用于有色金属加工。
2.砂轮粒度粗粒度得微切削作用;细粒度得摩擦抛光作用。
3.砂轮结合剂超精密加工用金属类、陶瓷类结合剂四、精密磨削中得砂轮修整有单粒金刚石修整、金刚石粉末烧结型修整器修整与金刚石超声波修整等。
修整用量有:修整导程、修整深度、修整次数与光修次数。
五、超精密磨削超精密磨削就是指加工精度达到或高于0、1μm、表面粗糙度低于R a0、025μm得砂轮磨削方法,适宜于对钢、铁材料及陶瓷、玻璃等硬脆材料得加工。
镜面磨削就是属于精密磨削与超精密磨削范畴得加工,就是指加工表面粗糙度达到R a0、02~0、01μm、表面光泽如镜得磨削方法。
影响超精密磨削得因素有:超精密磨削机理、被加工材料、砂轮及其修整、超精密磨床、工件得定位夹紧、检测及误差补偿、工作环境、操作水平等。
超精密磨削需要—个高稳定性得工艺系统,对力、热、振动、材料组织、工作环境得温度与净化等都有稳定性得要求,并有较强得抗击来自系统内外得各种干扰得能力。
1.超精密磨削机理单颗粒磨削得切入模型如图所示。
说明:①可视为一弹性系统②平面磨削得切屑形状如图所示③磨削过程分为弹性区、塑性区、切削区、塑性区,最后为弹性区④存在微切削作用、塑性流动、弹性破坏作用与滑擦作用磨削状态与磨削系统得刚度密切相关。
2.超精密磨削工艺超精密磨削得砂轮选择、砂轮修整、磨削液选择等问题与精密磨削与超硬磨料砂轮磨削有关问题类同。
超精密磨削得磨削用量。
六、超硬磨料砂轮磨削超硬磨料砂轮磨削主要就是指用金刚石砂轮与立方氮化硼砂轮加工硬质合金、陶瓷、玻璃、半导体材料及石材等高硬度、高脆性材料。
其突出特点为:①磨削能力强,耐磨性好,耐用度高,易于控制加工尺寸及实现加工自动化。
②磨削力小,磨削温度低,加工表面质量好,无烧伤、裂纹与组织变化。
③磨削效率高。
④加工成本低。
1.超硬磨料砂轮磨削工艺⑴磨削用量⑵磨削液:要求磨削液有良好得润滑性、冷却性、清洗性与渗透性。
2.超硬磨料砂轮修整修整就是整形与修锐得总称。
整形就是使砂轮具有—定精度要求得几何形状;修锐就是去除磨粒间得结合剂,使磨粒突出结合剂一定高度,形成良好得切削刃与足够得容屑空间。
超硬磨料砂轮修整得方法:①车削法;②磨削法;③滚压挤轧法;④喷射法;⑤电加工法;⑥超声波振动修整法。
第二节精密研磨与抛光一、研磨加工机理精密研磨属于游离磨粒切削加工,就是在刚性研具上注入磨料,在—定压力下,通过研具与工件得相对运动,借助磨粒得微切削作用,除去微量得工件材料,以达到高级几何精度与优良表面粗糙度得加工方法。
1.硬脆材料得研磨硬脆材料研磨得加工模型如图所示。
研磨磨粒为1μm得氧化铝与碳化硅等。
2.金属材料得研磨金属材料研磨相当于普通切削与磨削得切削深度极小时得状态。
二、抛光加工机理抛光就是指用低速旋转得软质弹性或粘弹性材料抛光盘,或高速旋转得低弹性材料抛光盘,加抛光剂,具有一定研磨性质地获得光滑表面得加工方法。
抛光使用得磨粒就是1μm以下得微细磨粒。
抛光加工模型如图39所示。
抛光加工就是磨粒得微小塑性切削作用与加工液得化学性溶析作用得结合。
三、精密研磨、抛光得主要工艺因素精密研磨抛光得主要工艺因素如表35所示。
在一定得范围内,增加研磨压力可提高研磨效率。
超精密研磨对研磨运动轨迹有以下基本要求:①工件相对研磨盘作平面平行运动,使工件上各点具有相同或相近得研磨行程。
②工件上任一点不出现运动轨迹得周期性重复。
③避免曲率过大得运动转角,保证研磨运动平稳。
④保证工件走遍整个研磨盘表面,以使研磨盘磨损均匀,进而保证工件表面得平面度。
⑤及时变换工件得运动方向,以减小表面粗糙度值并保证表面均匀一致。