真空测量与检漏分析
真空泄漏检测方法
真空泄漏检测方法真空泄漏检测方法引言真空技术在许多应用领域扮演着重要角色，如航天、电子设备制造和化学工程等。
确保真空系统的安全和可靠运行对于这些领域至关重要。
而真空泄漏则是真空系统中常见的问题，因此采用适当的检测方法非常关键。
方法一：气泡检漏法气泡检漏法是一种常用的真空泄漏检测方法，主要用于大型真空系统或外部表面不易检测的装置。
具体步骤如下：1.将试件浸入具有良好润湿性的水槽中。
2.在试件表面均匀涂抹一层薄薄的肥皂水或其他可形成气泡的液体。
3.通过真空泵抽取系统中的气体，观察涂层表面是否冒泡。
4.如果在某些部位冒泡，说明该部位存在泄漏。
气泡检漏法的优点是操作简单，不需要专门的设备，但其缺点是不适用于高真空系统。
方法二：氦质谱检漏法氦质谱检漏法是一种高灵敏度的真空泄漏检测方法，适用于高真空和超高真空系统。
具体步骤如下：1.将氦气注入待检测系统。
2.使用气质谱仪检测系统中是否存在氦气泄漏。
3.如果氦气在某些部位检测到，则该部位存在泄漏。
氦质谱检漏法的优点是能够检测极小的泄漏量，缺点是设备价格较高，操作技术要求较高。
方法三：静态漏率检漏法静态漏率检漏法是一种常用的真空泄漏检测方法，适用于大型真空系统。
具体步骤如下：1.关闭真空系统的所有阀门，记录系统的初始压力。
2.在一定时间内观察系统的压力变化，计算泄漏速率。
3.如果泄漏速率超过设定的阈值，则说明系统存在泄漏。
静态漏率检漏法的优点是能够定量评估泄漏问题，缺点是需要较长的检测时间。
方法四：红外检漏法红外检漏法是一种适用于可见光透明材料的真空泄漏检测方法，如玻璃或有机材料。
具体步骤如下：1.使用红外摄像机或红外热像仪对待检测系统进行拍摄。
2.通过红外辐射检测系统中是否存在泄漏点。
3.如果出现辐射异常的区域，则可能存在泄漏。
红外检漏法的优点是无需接触待检测系统，可实时监测泄漏情况，缺点是需要专门的设备。
结论根据需求和实际情况，可以选择适合的真空泄漏检测方法。
高效过滤器检漏方法及标准
高效过滤器检漏方法及标准高效过滤器在工业领域的应用非常广泛，其主要功能是用于对空气或液体进行过滤，从而保证生产系统的正常运行。
然而，在过滤器长时间使用后，会存在一定的检漏问题，这就需要采取一些高效的检漏方法来进行检测和修复。
本文将详细介绍高效过滤器检漏的方法及标准。
一、高效过滤器的检漏方法1.声波检测法声波检测法是一种通过听声音来识别漏洞的方法。
使用专门的设备将声音传输到过滤器上，如果存在漏洞，就会导致声音发生变化。
通过对声音的变化进行分析，可以找出漏洞的位置并进行修复。
2.压差测试法压差测试法是一种通过测量过滤器两侧的压差来检测漏洞的方法。
首先将过滤器两侧的压差测量值记录下来，然后将过滤器连接到专门的测试设备上，逐步增加压力，如果漏洞存在，就会导致压差值的变化。
通过比较压差测试前后的数值差异，可以找出漏洞的位置。
3.微粒子计数法微粒子计数法是一种通过测量过滤器中微粒子的数量来检测漏洞的方法。
先将过滤器连接到专门的微粒子计数器上，然后通过计数器的显示结果来判断过滤器是否存在漏洞。
如果微粒子计数值超出正常范围，就可以确定漏洞的位置。
4.涂料探伤法涂料探伤法是一种通过在过滤器表面涂覆一层特殊的涂料，然后通过观察涂料表面的变化来检测漏洞的方法。
如果涂料出现了裂纹或褪色等情况，就可以判断过滤器存在漏洞，并进行修复。
5.真空泄漏测试法真空泄漏测试法是一种通过在过滤器内部建立真空环境，然后观察真空泄漏情况来检测漏洞的方法。
如果真空泄漏速度超过了正常范围，就可以判断过滤器存在漏洞。
二、高效过滤器检漏标准为了保证高效过滤器检漏的准确性和有效性，国际上已经建立了一系列的标准，对于各种检漏方法和设备进行了规定和要求。
1.声波检测标准对于声波检测方法，国际上一般采用ISO 16858:2008标准进行规范。
该标准规定了声波检测设备的技术要求、测量方法和数据处理等方面的内容，保证了声波检测方法的准确性和可靠性。
2.压差测试标准对于压差测试方法，国际上一般采用ISO 3966:2016标准进行规范。
真空检漏方法
真空检漏方法真空检漏方法是指在低压环境下，通过检查气体泄漏的方式来确定系统的完整性和可靠性。
在各种工业和实验室应用中，真空检漏是非常常见的，以确保制造过程、实验设备或机械系统的性能和稳定性。
本文将详细介绍10种真空检漏方法及其优缺点，以帮助读者更好地了解这方面的知识。
1. 毛细管测量法毛细管测量法是一种基于液体的检漏方法，其原理是通过液体的自吸作用，在低压条件下观察气体泄漏。
此方法根据毛细管长度和内径的关系，可以确定检测范围和检测灵敏度。
该方法需要人工监控，并且无法检测气体泄漏。
2. 红外检测法红外检测法是一种利用红外辐射来检测气体泄漏的方法。
此方法适用于检测有机化学物质的泄漏，如氨、甲烷、丙烷等。
不适用于空气、氮气等无机气体的检测。
3. 热模反应法热模反应法是一种利用气体反应产生的热量来检测气体泄漏的方法。
该方法可以检测气体泄漏，但不适用于检测液体泄漏或固体泄漏。
4. 电离检测法电离检测法是一种通过检测气体电离程度来检测有机和无机气体泄漏的方法。
该方法可以检测非常小的气体泄漏，但不适用于在低压环境中进行检测。
5. 质谱检测法质谱检测法是一种利用离子化技术来检测气体稳定同位素的方法。
此方法非常适用于检测裂解气体。
6. 超声波检测法超声波检测法是一种利用超声波传递来检测密封件泄漏的方法。
此方法适用于密封不良的工业及实验室装置。
7. 气泡法气泡法是一种利用液体变色或产生气泡来检测气体泄漏的方法。
该方法适用于低压系统泄漏的检测，但需要密封很好的试验装置。
8. 空气泄漏检测法空气泄漏检测法是一种利用带氦气的空气进行检测的方法。
该方法适用于检测低压和高压系统的泄漏，但需要设备完好，要求技术人员熟练。
9. 低压检测法低压检测法是一种利用负压来检测气体泄漏的方法。
该方法适用于检测低压系统的泄漏。
该方法需要大量的设备和人力。
10. 总量检测法总量检测法是一种利用气体浓度变化来检测气体泄漏的方法。
此方法适用于气体排放监测。
真空系统气密性测试方法与原理
真空系统气密性测试方法与原理1.气密性测试方法：(1)泄漏检测法：采用氦气等稀有气体作为检测介质，在真空系统中进行充填，然后利用特殊仪器检测气体泄漏的情况，从而判断真空系统的气密性。
常用的泄漏检测仪器有氦质谱检测仪和气体检漏仪。
(2)用真空度计测量气密性：利用真空度计测量真空系统的真空度变化，从而判断真空系统的气密性。
该方法适用于检测密封性好且真空度较高的系统。
(3)气密性压力差法：通过测量真空系统内外的气体压力差，从而判断真空系统的气密性。
一般使用压力表或压差变送器进行测量，可以得到真空系统的气密性。
2.气密性测试原理：(1)泄漏检测法原理：氦气等稀有气体在真空系统内充填后，会因为泄漏点处气体的扩散而逸出系统，通过检测漏出气体的情况，可以确定真空系统的气密性。
氦质谱检测仪通过检测氦气的质谱峰值信号，从而确定氦气的泄漏情况。
气体检漏仪则通过检测氦气浓度的变化，来判断真空系统的气密性。
(2)真空度计测量气密性原理：当真空系统的气密性较好时，系统内外的气压差较小，可以通过真空度计测量真空系统的真空度变化来判断气密性。
常用的真空度计有热阴极离子化真空度计、冷阴极离子化真空度计、方向导能真空度计等。
(3)气密性压力差法原理：当真空系统内外气压差较大时，气压差与真空系统的气密性存在一定的相关性。
通过测量真空系统内外的气体压力差，可以判断真空系统的气密性。
压力表或压差变送器可以测量气体压力差，从而得到真空系统的气密性。
综上所述，气密性测试方法主要包括泄漏检测法、真空度计测量气密性和气密性压力差法。
这些方法通过测量真空系统内外的气体流动和压力差，从而判断真空系统的气密性好坏，为真空系统的工程应用提供了重要的参考。
真空室检漏的原理和方法
真空室检漏的原理和方法
真空室检漏的原理是通过检测真空室内的气体流量或压力变化，来确定是否存在漏气现象。
如果真空室存在漏气，那么气体将从漏气处流入真空室，导致真空室内压力升高或降低，或者导致气体流量异常。
真空室检漏的方法有以下几种：
1. 压差法：将真空室密封后，测量其初始压力和经过一段时间后的压力，如果压力差超过了一定范围，则说明存在漏气。
2. 气泡法：在真空室内充入一定量的水或其他液体，然后密封真空室并抽真空，观察液体中是否出现气泡，如果有气泡出现则说明存在漏气。
3. 灵敏度法：利用高灵敏度的气体检测器检测真空室内的气体浓度，如果气体浓度超过了一定范围，则说明存在漏气。
4. 声波法：利用声波检测器检测真空室周围是否存在异常的声波信号，如果存在异常信号则说明存在漏气。
以上是真空室检漏的原理和几种常见方法，不同的方法适用于不同的应用场景和检测对象，需要根据实际情况选择适合的检漏方法。
真空检测原理
真空检测原理
真空检测原理指的是通过对一个系统或容器中的真空程度进行测量和监测，从而判断系统中是否存在真空状态或者真空程度的变化。
一种常见的真空检测原理是利用压力传感器测量系统中气体的压力。
在真空状态下，系统中的气体压力非常低，接近于零。
因此，通过测量系统中气体的压力，可以判断系统中是否存在真空状态。
另一种常用的真空检测原理是利用质谱仪进行检测。
质谱仪是一种能够分析气体成分的仪器，可以通过检测气体中的分子类型和数量来判断系统中是否存在真空。
此外，还有一些其他的真空检测原理，如通过检测系统中的气体流量、气体温度、离子产生与探测等方式进行真空检测。
这些原理基于不同的物理现象和测量技术，在不同的真空条件下都能够有效地检测真空状态。
总结起来，真空检测原理主要是通过测量系统中气体的压力、成分、流量、温度等参数来判断系统中是否存在真空状态或者真空程度的变化。
不同的原理和技术可以根据实际需要选择和应用，以实现精确和可靠的真空检测。
真空检漏概述
8放射性同位素检漏法——将少量的放射性材料放入被检件中并密封好，如有漏孔便会有射线泄露出来，从而在外面用特殊的射线探测仪指示出来。放射性同位素检漏法在背压检漏法中应用的相当成功。
9慢性气体的加速检漏法——将管子置于高压的氩气中，管内的压力上升率会比在空气中快得多，这便是慢性气体的加速检漏法的理论依据。
②真空检漏法——将被检漏真空容器和敏感元件，抽成真空状态，然后将示漏物质依次施加在可疑部位，若有漏孔，示漏物质将进入容器内，被敏感元件所发现。③背压检漏法——有三个步骤：充压，净化，检漏。
二：各种检漏方法
1静态升压法——把容器抽到一定的压力后，关闭阀门，隔离真空室和真空泵，测量容器内的压力变化。
一般常用的静态升压法有以下两种：①辅助真空罩法——可以排除放气的干扰；②压力平衡法——可以测量那些不能安装真空规管的被检件的漏率。
电气系统的核心是质谱室的供电和测量。辅助真空系统，它具有预抽被检件，保证检漏仪真空度，进行气体分流等功能。对于体积小，漏气小的系统可以不选用辅助真空系统，对于体积大，漏气大的系统需要选用辅助真空系统。
③氦质谱检漏仪的灵敏度：对于氦质谱检漏仪有三种灵敏度——漏率灵敏度，记作 ；分压比灵敏度，记作 ；检漏灵敏度，氦质谱检漏仪在实际检漏条件下所能达到的灵敏度，记作 。当氦质谱检漏仪安装在真空系统的不同位置时，所能达到的检漏灵敏度是不同的。
2气泡检漏法——在被检件中充入一定压力的示漏气体后放入水中，气体将通过漏孔进入水中，形成气泡，从而判断漏孔的有无及其位置和大小。属于压力检漏法。一般有以下两种：①水槽法——适用于小型器件；②皂膜法——适用于尺寸较大的器件。
3氨气检漏法——把被检件抽真空，在其外壁可疑位置上贴上显影带，然后在其内部充入高于大气压的氨气，当有漏孔时，氨气会漏出并进入显影带，使其变色。具体步骤为：清洁处理——贴显影带——充氨——排氨。
氦质谱检漏仪检测泄漏的6种方法
氦质谱检漏仪检测泄漏的6种⽅法原⽂出⾃：/index.aspx?lanmuid=101&sublanmuid=711&id=1866氦质谱检漏仪（Helium Mass SpectrometerLeakDetector）是真空检漏领域⾥不可缺少的⼀种技术，设备具有检漏效率⾼、简便易操作、仪器反应灵敏、精度⾼、不易受其他⽓体的⼲扰等特点，该仪器在电阻炉检漏中得到了⼴泛应⽤。
氦质谱检漏仪检漏中最常⽤的两种⽅法是喷枪测试法及吸枪测试法，其实除了这两种⽅法之外，氦质谱检漏仪的检漏⽅法多达6种，且每种测试也各有⾃⼰的优点，今天⼩编就跟⼤家普及⼀下。
氦质谱检漏仪检测泄漏⽅法⼀：喷枪测试法喷枪测试法主要⽤在真空环境下定位泄漏点。
⾸先，检漏仪将检测部件内部的⽓体抽到⼀定的真空度。
然后，探测⽓体通过喷枪喷扫在部件的外表⾯。
通过泄露点进⼊的探测⽓体流量定位泄漏点。
喷枪测试法具有定位泄漏、⾼灵敏度、操作简便、局部或整体测试等特点。
氦质谱检漏仪检测泄漏⽅法⼆：吸枪测试法吸枪测试法是通过正压的⽅法定位泄漏点。
⾸先，向测试部件内充⼊⼀定压⼒的探测⽓体。
然后，吸枪探头对被测部件四周进⾏检测。
如果存在泄漏，检漏仪会探测出外泄的探测⽓体从⽽定位泄漏点。
吸枪测试法具有定位泄漏、⽆需在真空环境下进⾏测试、操作简便等特点。
氦质谱检漏仪检测泄漏⽅法三：真空箱测试法真空箱测试法主要应⽤于⽣产线环境。
测试部件被放置在充满探测⽓体的真空腔体内。
如果发现有泄漏，探测⽓体会从测试部件内逃到真空腔体内，从⽽检测出泄漏点。
真空箱测试法具有⾼灵敏度、⾼产量、便于集成到产线上、易于校准、⾼重复性等特点。
氦质谱检漏仪检测泄漏⽅法四：背压法背压法要求测试部件是已经密封好的，没有⽓体外泄也不能加压。
将测试部件置于真空腔体内，灌⼊探测⽓体并加压。
如果发现有泄漏，由于⽓压关系探测⽓体会进⼊到测试部件内部。
随后将被测部件脱离真空环境。
由于压差关系，原先进⼊到测试部件内的探测⽓体会脱附出来，同时被检漏仪检测出。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
真空测量与检漏主讲人：刘玉岱 东北大学 真空测量与检漏东北大学首期《真空技术》培训班系列教程之三真空测量与检漏1 真空测量概述2 全压力测量3 分压力测量4 真空计校准I 真空测量II 检漏5 检漏概述6 检漏方法7 检漏仪 真空测量与检漏I 真空测量1 真空测量概述 1.1 什么是真空测量 1.2 真空度的表征及单位1.3 真空计分类 1.4 真空计测量范围 1.5真空测量特点 1.6 选择真空计原则真空测量与检漏1.1 什么是真空测量真空测量就是真空度的测量，而真空度是指低于大气压力的气体稀薄程度。
真空度是用压力来表示的。
真空测量包括全压力测量、分压力测量和真空计校准。
真空计是指探测低压空间稀薄气体压力所用的仪器。
大气压力为101325Pa 。
直接测量压力是比较少的。
测量真空度的办法通常是在气体中造成一定的物理现象，然后测量这个过程中与气体压力有关的某些物理量，再设法间接确定出真实压力来。
被测量气体多为混合气体，上述压力测量是指混合气体全压力测量，等于其各组成成分的分压力之和。
真空测量与检漏现代分压力真空计都属于电离类。
有时只需知晓被测系统残余气体成分和相对含量，并不要求测出分压力值，所用仪器为残余气体分析仪。
正确的压力测量必须用标准真空计或能产生已知低压的校准装置对真空计进行校准。
真空计量器具分三类：计量基准器具、计量标准器具和工作计量器具。
前两类用于复现和传递真空度量值，统一全国真空度量值；后一类是在现场应用。
真空测量与检漏1.2 真空度的表征及单位一般用压力来表示真空度。
根据真空度定义，真空度最好用分子密度n 表示，而以压力表示真空度与此并不矛盾。
气体处于平衡态并满足麦克斯威速度分布定律，即p ＝nkT 成立。
当温度T 一定时，所以气体压力p 正比于分子密度n ，也就是说，压力是分子密度的量度。
还可以用如下参数表示真空度：粒子密度n 、分 子平均自由程λ、碰撞次数z 、覆盖时间τ。
单位：1Pa ＝ 1Nm -2真空度百分数：当压力p >102 Pa 时，δ＝（p 0－p ）/p 0×100％ 式中p —— 标准大气压力，Pa 。
真空测量与检漏1.3 真空计分类按刻度方法分类：绝对真空计：直接读取气体压力，其压力响应（刻 度）可通过自身几何尺寸计算出来或 由测力确定。
与气体种类无关。
相对真空计：由一些与气体压力有函数关系的量来 确定压力，不能通过简单的计算进行 刻度，必须进行校准才能刻度。
一般 由作为传感器的真空计规管（或规头） 和用于控制、指示的测量器组成。
读 数与气体种类有关。
真空测量与检漏按真空计测量原理分类： 静态液位真空计直接测量真空计 弹性元件真空计 压缩式真空计 热传导真空计 热辐射真空计 间接测量真空计 电离真空计 放电管指示器 粘滞真空计 场致显微仪分压力真空计 真空测量与检漏1.4 真空计测量范围近代真空技术所涉及到的压力范围宽达19个数量级（105～10-14 Pa）。
一些真空计的压力测量范围真空测量与检漏1.5 真空测量特点♦测量压力范围宽，105～10－14 Pa 。
♦大部分真空计是间接测量。
♦多采用非电量电测技术。
♦读数与气体种类和成分有关。
♦测量精度不高。
真空测量与检漏1.6 选择真空计原则♦精度。
♦真空计和被测气体相互影响。
♦能测全压力吗？ ♦连续指示、电气指示、反应时间。
♦稳定性、复现性、可靠性和寿命。
♦安装、操作、保修、管理。
真空测量与检漏2 全压力测量 2.1 U 型管真空计 2.2 弹性元件真空计 2.3压缩式真空计 2.4 热传导真空计 2.5 热阴极电离真空计2.6 冷阴极电离真空计2.7 电容式薄膜真空计2.8 放射性电离真空计2.9 磁悬浮转子真空计 真空测量与检漏2.1 U 型管真空计测量范围为105～10Pa ，绝对真空计A.开式U 型管真空计p = p 0－ρgh 式中 p —— 待测压力 p 0 —— 环境大气压力 h —— 两液面高度差 ρ—— 工作液密度 g —— 重力加速度真空测量与检漏B.闭式U 型管真空计p = ρgh式中 p —— 待测压力h —— 两液面高度差 ρ—— 工作液密度 g —— 重力加速度真空测量与检漏2.2 弹性元件真空计利用弹性元件在压差作用下产生弹性变形的原理制成，一般用于粗真空（102～105Pa）的测量。
真空测量与检漏弹性元件真空表的特点♦测量结果是全压力。
♦测量过程中，仪表的吸气和放气很小。
♦测量精度较高。
♦反应速度较快。
♦结构牢固。
♦是绝对真空计，0.5级以上的表可作为标准表。
真空测量与检漏2.3 压缩式真空计U 型管真空计的重大改进，依据理想气体的波义耳定律p ＝πd 2ρgh 1（h 1－h 2）/(4V )式中 d 为测量毛细管的内径。
V 和d 为真空计的已知数据，则： p＝Kh 1（h 1－h 2） K ＝πd 2ρg /(4V ) = 1.05×105 · d 2/V 式中 p —— 待测压力，Pa h 1、h 2 —— 液面差，m K —— 真空计常数，Pam －2 V —— 玻璃泡和测量毛细管总容真空测量与检漏三种刻度方法♦无定标刻度法♦平方刻度法h 2＝0 则 p ＝Kh 2 ♦直线刻度法 h 1＝常数 则 p ＝ K·h 1h ＝ K line h 式中 K line 为直线刻度真 空计常数，Pam －1真空测量与检漏压缩真空计的特点♦刻度与气体种类无关（对永久气体）。
♦测量范围较宽、精度较高：工作计为102～10-3Pa ，一般相对误差在10×10-2。
♦不能连续测量。
♦水银蒸气对人体有害。
真空测量与检漏2.4 热传导真空计 根据低压力下（λ>>d ），气体分子热传导与压力有关的原理制成。
规管中的热丝热量散失 Q=Q L +Q r ＋Q g 令 K 1=Q L +Q r K 2p ＝Q g 有Q ＝ K 1+K 2p 当K 1<<K 2p 时，即Q L +Q r <<Q g 时，Q 只与压力p 有关，热丝温度T 1是压力p 的函数，即T ＝f （p ）。
真空测量与检漏热丝温度的测量方法♦利用热丝随温度变化的线膨胀性质。
♦利用热电偶直接测量热丝的温度变化。
♦利用热丝电阻随温度变化的性质。
不同气体分子的导热系数不同的影响： 实际压力：p real ＝ S r p read式中 p read —— 以干燥空气（或氮气）刻度的压力计读数，Pa p real —— 被测气体的实际压力，Pa S r —— 被测气体对空气的相对灵敏度真空测量与检漏2.5 热阴极电离真空计热阴极电离真空计由测量规管和电气测量电路组成。
规管结构包括：灯丝F (阴极)、阳极A (电子加速极)、离子收集极C 。
离子流I i 与压力p 可用下式表示：I i ＝ KI e p式中 I e —— 发射电子流K —— 规管系数，单位为Pa -1真空测量与检漏按压力范围的不同，热阴极电离真空计分三类 ♦普通型电离真空计（1×10-1～10-5 Pa ） ♦超高真空电离真空计（ 1×10-1～10-8 Pa ，有的下限为10-10 Pa ） ♦高压力电离真空计（ 1×102～10-3 Pa ）真空测量与检漏电离规管系数K与气体种类有关，引入相对灵敏度S r概念，S r＝K/K N2p real＝p read/S r真空测量与检漏用改变规管电极结构及各电极的电参数，用抗氧化材料制做阴极（如铱丝涂氧化钇），可提高线测量上限。
制成高压力电离真空计，压力测量上限pmax 可达100Pa以上，如DL-5规、DL-8规。
真空测量与检漏p= 10-4~102Pa阳极受电子轰击产生X 射线，离子收集极接受后产生光电子发射，形成本底电流I x 。
减少I x 以降低测量下限p min 的措施：♦减少离子收集极被软X 射线照射的面积，如B －A 型电离计。
♦在离子收集极附近，安置负电位的抑制极，如抑制电离规。
♦收集极电流中扣除本底光电流，如调制电离规。
♦I x 对应的p x 与K 成正比，提高K 能够降低p min ，如弹道规和热阴极磁控管电离规。
真空测量与检漏真空测量与检漏p min =10-10 Pa p min =10-11Pa 真空测量与检漏p min =10-10 Pa p min =10-11 Pa p min =10-11Pa 真空测量与检漏2.6 冷阴极电离真空计相对真空计，由规管和测量电路组成。
靠冷发射少量初始自由电子。
I＝Kp n式中I ——放电电流K——常数n——常数，一般在1～2，与规管结构有关真空测量与检漏特点：♦测量范围1～10-5 Pa。
♦没有与压力无关的本底光电流。
♦限制其下限延伸是其场致发射。
♦测量误差较大。
真空测量与检漏p min=10-11 Pa普通型冷阴极电离真空计的改进：磁控管式和倒置磁控管式规。
2.7 电容式薄膜真空计根据弹性薄膜在压差下产生应变而引起电容变化的原理制成，由电容式薄膜规管（又称为电容式压力传感器）和测量仪器组成。
仪器结构有偏位法和零位法。
零位法具有较高的测量精度。
目前在计量部门作为低真空副标准真空计的就是采用零位法结构。
双电容式薄膜真空计测量下限可达10-3 Pa 。
真空测量与检漏单侧双电容薄膜真空计灵敏度高、气体的介电常数不变、读数不受气体成分影响、反应速度快。
规管参考室内加置消气剂并抽至≤10-5 Pa ，就可测量≥10-3 Pa 的绝对压力。
真空测量与检漏真空测量与检漏2.8 放射性电离真空计放射性同位素辐射α粒子或β粒子对气体分子的电离作用制成的真空计。
I i ＝Sp式中 I i —— 离子流 p —— 被测压力S —— 规管灵敏度测量范围0.1～104Pa ，读数与气体种类有关。
真空测量与检漏2.9 磁悬浮转子真空计磁悬浮转子转速的衰减与其周围气体分子的外摩擦有关。
气体分子摩擦的积分作用引起钢球自转速度衰减，其速度衰减与气体压力p 有着严格的对应关系。
该真空计量程宽（10-1～10-5 Pa ），用它作互校传递标准时，积累误差小，可靠性重复性好。
真空测量与检漏3 分压力测量 3.1 分压力测量概述3.2 四极滤质器 3.3 射频质谱计 3.4 识谱技术 真空测量与检漏3.1 分压力测量概述电离真空计是以空气或氮气校准的，所测得的压力值为与混合气体离子流总和相对应的等效空气压力或等效氮压力。
电离真空计对不同气体的相对灵敏度相差很大，因此，电离真空计对混合气体测得的等效氮压力不是混合气体的真实压力。
分压力真空计是专用的小型质谱仪器——真空质谱计。
精度不够高，未能进行定量测定，称为残余气体分析器。