常用的真空检漏法
真空泄漏检测方法
真空泄漏检测方法真空泄漏检测方法引言真空技术在许多应用领域扮演着重要角色，如航天、电子设备制造和化学工程等。
确保真空系统的安全和可靠运行对于这些领域至关重要。
而真空泄漏则是真空系统中常见的问题，因此采用适当的检测方法非常关键。
方法一：气泡检漏法气泡检漏法是一种常用的真空泄漏检测方法，主要用于大型真空系统或外部表面不易检测的装置。
具体步骤如下：1.将试件浸入具有良好润湿性的水槽中。
2.在试件表面均匀涂抹一层薄薄的肥皂水或其他可形成气泡的液体。
3.通过真空泵抽取系统中的气体，观察涂层表面是否冒泡。
4.如果在某些部位冒泡，说明该部位存在泄漏。
气泡检漏法的优点是操作简单，不需要专门的设备，但其缺点是不适用于高真空系统。
方法二：氦质谱检漏法氦质谱检漏法是一种高灵敏度的真空泄漏检测方法，适用于高真空和超高真空系统。
具体步骤如下：1.将氦气注入待检测系统。
2.使用气质谱仪检测系统中是否存在氦气泄漏。
3.如果氦气在某些部位检测到，则该部位存在泄漏。
氦质谱检漏法的优点是能够检测极小的泄漏量，缺点是设备价格较高，操作技术要求较高。
方法三：静态漏率检漏法静态漏率检漏法是一种常用的真空泄漏检测方法，适用于大型真空系统。
具体步骤如下：1.关闭真空系统的所有阀门，记录系统的初始压力。
2.在一定时间内观察系统的压力变化，计算泄漏速率。
3.如果泄漏速率超过设定的阈值，则说明系统存在泄漏。
静态漏率检漏法的优点是能够定量评估泄漏问题，缺点是需要较长的检测时间。
方法四：红外检漏法红外检漏法是一种适用于可见光透明材料的真空泄漏检测方法，如玻璃或有机材料。
具体步骤如下：1.使用红外摄像机或红外热像仪对待检测系统进行拍摄。
2.通过红外辐射检测系统中是否存在泄漏点。
3.如果出现辐射异常的区域，则可能存在泄漏。
红外检漏法的优点是无需接触待检测系统，可实时监测泄漏情况，缺点是需要专门的设备。
结论根据需求和实际情况，可以选择适合的真空泄漏检测方法。
真空系统氦质谱检漏施工工法(2)
真空系统氦质谱检漏施工工法真空系统氦质谱检漏施工工法一、前言真空系统在各行业应用广泛，但系统内部的泄漏问题往往会严重影响系统的正常运行。
为了准确地检测并修复真空系统中的泄漏问题，出现了真空系统氦质谱检漏施工工法。
该工法通过使用氦质谱仪结合真空泵等设备来进行泄漏点的定位和修复，实现了对真空系统泄漏问题的有效解决。
二、工法特点真空系统氦质谱检漏施工工法具有以下几个特点：1. 精确性高：通过氦质谱仪的高灵敏度，能够快速、精确地定位真空系统中的泄漏点；2. 检测范围广：适用于各种真空系统，包括航天、航空、电子、光学等领域的系统；3. 施工周期短：相比传统的泄漏检测方法，真空系统氦质谱检漏施工工法无需拆卸系统部件，减少了维修时间和操作工序；4. 施工成本低：工法所需的设备和材料较少，成本相对较低；5. 工艺可靠：经过实践验证，该工法可以有效解决真空系统中的泄漏问题，提高系统的稳定性。
三、适应范围真空系统氦质谱检漏施工工法适用于以下范围的真空系统：1. 航空航天领域：如航天器、航空发动机等系统；2. 电子领域：如半导体制造设备、电子显微镜等系统；3. 光学领域：如激光器系统、光学仪器等系统；4. 化工领域：如真空蒸馏、真空干燥等化工设备。
四、工艺原理真空系统氦质谱检漏施工工法基于以下工艺原理：1. 氦气的小分子：氦气是一种极小分子，容易渗透进泄漏点，同时也很容易检测到；2. 质谱仪的灵敏度：质谱仪具有高灵敏度，可以检测到非常微小的氦气浓度，从而实现泄漏点的定位；3. 真空泵的抽取：通过真空泵的抽取作用，可以提高系统内氦气浓度，并加速泄漏点的检测和定位。
五、施工工艺真空系统氦质谱检漏施工工法的施工工艺主要包括以下几个阶段：1. 准备工作：包括确认施工现场、准备所需机具设备、校准和检测仪器等；2. 连接设备：安装并连接氦质谱仪、真空泵等设备到真空系统中；3. 抽真空：启动真空泵，抽取真空系统内的气体，达到工艺要求的真空度；4. 检测泄漏：向系统内注入氦气，通过质谱仪检测泄漏点并记录；5. 定位修复：根据质谱仪检测结果，准确定位泄漏点，并进行修复处理；6. 再次检测：修复后再次进行氦质谱检测，确保泄漏问题得到彻底解决；7. 完工验收：确认系统已经无泄漏问题，进行完工验收并撤除施工设备。
真空检漏方法
真空检漏方法真空检漏方法是指在低压环境下，通过检查气体泄漏的方式来确定系统的完整性和可靠性。
在各种工业和实验室应用中，真空检漏是非常常见的，以确保制造过程、实验设备或机械系统的性能和稳定性。
本文将详细介绍10种真空检漏方法及其优缺点，以帮助读者更好地了解这方面的知识。
1. 毛细管测量法毛细管测量法是一种基于液体的检漏方法，其原理是通过液体的自吸作用，在低压条件下观察气体泄漏。
此方法根据毛细管长度和内径的关系，可以确定检测范围和检测灵敏度。
该方法需要人工监控，并且无法检测气体泄漏。
2. 红外检测法红外检测法是一种利用红外辐射来检测气体泄漏的方法。
此方法适用于检测有机化学物质的泄漏，如氨、甲烷、丙烷等。
不适用于空气、氮气等无机气体的检测。
3. 热模反应法热模反应法是一种利用气体反应产生的热量来检测气体泄漏的方法。
该方法可以检测气体泄漏，但不适用于检测液体泄漏或固体泄漏。
4. 电离检测法电离检测法是一种通过检测气体电离程度来检测有机和无机气体泄漏的方法。
该方法可以检测非常小的气体泄漏，但不适用于在低压环境中进行检测。
5. 质谱检测法质谱检测法是一种利用离子化技术来检测气体稳定同位素的方法。
此方法非常适用于检测裂解气体。
6. 超声波检测法超声波检测法是一种利用超声波传递来检测密封件泄漏的方法。
此方法适用于密封不良的工业及实验室装置。
7. 气泡法气泡法是一种利用液体变色或产生气泡来检测气体泄漏的方法。
该方法适用于低压系统泄漏的检测，但需要密封很好的试验装置。
8. 空气泄漏检测法空气泄漏检测法是一种利用带氦气的空气进行检测的方法。
该方法适用于检测低压和高压系统的泄漏，但需要设备完好，要求技术人员熟练。
9. 低压检测法低压检测法是一种利用负压来检测气体泄漏的方法。
该方法适用于检测低压系统的泄漏。
该方法需要大量的设备和人力。
10. 总量检测法总量检测法是一种利用气体浓度变化来检测气体泄漏的方法。
此方法适用于气体排放监测。
真空检漏
真空检漏法类型及其最小可检漏率
（3）背压检漏法：
背压检漏法是一种充压检漏与真空检漏相结合的方法， 多用于封离后的电子器件、半导体器件等密封件的无损检漏 技术中。其检漏过程基本上可分为充压、净化和检漏三个步 骤。 A、充压过程是将被检件在充有高压示漏气体的容器内存放 (或称浸泡)一定时间。 B、净化过程是采用干燥氮气流或干燥空气流在充压容器外部 或在其内部喷吹被检件。如不具备气源时也可使被检件静置， 以便去除吸附在被检件外表面上的示漏气体。 C、 检漏过程则是将净化后的被检件放人真空室内，将检漏 仪与真空室相连接后进行检漏。
流时，漏孔对空气的漏率qL可用下式近似估算：
qL
1 d3n(
6
p02
pgp / t
难以确定漏孔的位置，判断也不容易，实用性差。
2、辅助真空罩法： 辅助真空罩法是一种能够很好地区别被检件中漏气和放气的
静态升压法。该法借助一个辅助真空罩，组成如图所示的测试系 统。
内部抽真空后再关闭阀2，在△t内测的压力增长值△P1。再 将辅助真空罩罩在被检件外并密封好，然后将辅助真空罩 内抽真空到与被检件内部相同的压力，再次对被检件内部 抽真空后封闭，在时间间隔△t 内测得另一个压力增长值 △P2，这是单纯由被检件内部故气所引起的压力增长值。 那么系统的漏率为：
（2）真空检漏法：
真空检漏法是将被检的真空容器或真空系统与检漏仪器的敏感 元件抽成真空状态，然后将示漏物质依次施加在被检容器或系统外 面的可疑部位。如果被检的容器或系统存在漏孔，示漏物质(如氦 气）不但会通过漏孔进入到容器或系统中去，同时也会进入到检漏 仪器的敏感元件所在的空间中去，从而通过敏感元件检测出示漏物 质，借以判断出漏孔存在的位置和大小。下表给出了真空检漏法中 所采用的各种检漏方法及其特点和它所能达到的最小可检漏率。
真空室检漏的原理和方法
真空室检漏的原理和方法
真空室检漏的原理是通过检测真空室内的气体流量或压力变化，来确定是否存在漏气现象。
如果真空室存在漏气，那么气体将从漏气处流入真空室，导致真空室内压力升高或降低，或者导致气体流量异常。
真空室检漏的方法有以下几种：
1. 压差法：将真空室密封后，测量其初始压力和经过一段时间后的压力，如果压力差超过了一定范围，则说明存在漏气。
2. 气泡法：在真空室内充入一定量的水或其他液体，然后密封真空室并抽真空，观察液体中是否出现气泡，如果有气泡出现则说明存在漏气。
3. 灵敏度法：利用高灵敏度的气体检测器检测真空室内的气体浓度，如果气体浓度超过了一定范围，则说明存在漏气。
4. 声波法：利用声波检测器检测真空室周围是否存在异常的声波信号，如果存在异常信号则说明存在漏气。
以上是真空室检漏的原理和几种常见方法，不同的方法适用于不同的应用场景和检测对象，需要根据实际情况选择适合的检漏方法。
真空检漏方案
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②抽真空：连接真空泵，对系统进行抽真空处理，直至达到预定真空度，通常远低于工作真空范围，以暴露微小漏点。
③保压监测：停止抽真空，保持系统真空状态，观察真空表或使用真空计持续监测真空度变化，记录时间-真空度曲线。
④氦质谱检测（如有条件）：注入少量氦气或使用氦气喷枪扫描可疑区域，利用氦质谱检漏仪检测氦气浓度，精准定位漏点。
⑤压力变化分析：根据真空保持时间内的压力下降速率，判断是否存在漏点及其大致泄漏率，快速泄漏需立即查找，缓慢泄漏可延长监测时间。
⑥漏点标识与记录：发现漏点后，使用标记笔或标签进行标注，记录漏点位置、漏率大小，为后续维修提供依据。
⑦重复检测：对已修复的部位重新进行抽真空及检漏，直至确认无漏点存在。
⑧恢复系统：完成全部检漏并确认合格后，缓慢向系统充入工作介质，恢复至正常工作状态，检查有无异常。
⑨总结报告：整理检漏过程数据，编写检漏报告，总结漏点原因及修复措施，提出预防建议。
真空衰减法检漏
真空衰减法检漏
真空衰减法是一种检测容器或管道中气体泄漏的方法。
它是通过将容器或管道内的空气抽空，然后观察真空度的变化来检测泄漏的存在和程度。
具体操作步骤如下：
1.将容器或管道连接到真空泵系统中，使用泵将内部空气抽出，直至达到所需真空度。
2.关闭真空泵和容器或管道之间的连接，然后等待一段时间以观察真空度是否保持不变。
如果真空度下降，则说明存在泄漏。
3.根据所使用的真空度和泵吸取空气的时间，可以估算泄漏速率，从而找出泄漏点。
4.修复泄漏并重新进行测试，直至可以确认不再泄漏。
真空衰减法的优点是简单易行，能够检测到微小的泄漏，并且不会对测试物品造成损害。
缺点是需要专业的测试设备和技术，以及一定的测试时间，不能用于检测液体泄漏。
真空检漏概述
8放射性同位素检漏法——将少量的放射性材料放入被检件中并密封好，如有漏孔便会有射线泄露出来，从而在外面用特殊的射线探测仪指示出来。放射性同位素检漏法在背压检漏法中应用的相当成功。
9慢性气体的加速检漏法——将管子置于高压的氩气中，管内的压力上升率会比在空气中快得多，这便是慢性气体的加速检漏法的理论依据。
②真空检漏法——将被检漏真空容器和敏感元件，抽成真空状态，然后将示漏物质依次施加在可疑部位，若有漏孔，示漏物质将进入容器内，被敏感元件所发现。③背压检漏法——有三个步骤：充压，净化，检漏。
二：各种检漏方法
1静态升压法——把容器抽到一定的压力后，关闭阀门，隔离真空室和真空泵，测量容器内的压力变化。
一般常用的静态升压法有以下两种：①辅助真空罩法——可以排除放气的干扰；②压力平衡法——可以测量那些不能安装真空规管的被检件的漏率。
电气系统的核心是质谱室的供电和测量。辅助真空系统，它具有预抽被检件，保证检漏仪真空度，进行气体分流等功能。对于体积小，漏气小的系统可以不选用辅助真空系统，对于体积大，漏气大的系统需要选用辅助真空系统。
③氦质谱检漏仪的灵敏度：对于氦质谱检漏仪有三种灵敏度——漏率灵敏度，记作 ；分压比灵敏度，记作 ；检漏灵敏度，氦质谱检漏仪在实际检漏条件下所能达到的灵敏度，记作 。当氦质谱检漏仪安装在真空系统的不同位置时，所能达到的检漏灵敏度是不同的。
2气泡检漏法——在被检件中充入一定压力的示漏气体后放入水中，气体将通过漏孔进入水中，形成气泡，从而判断漏孔的有无及其位置和大小。属于压力检漏法。一般有以下两种：①水槽法——适用于小型器件；②皂膜法——适用于尺寸较大的器件。
3氨气检漏法——把被检件抽真空，在其外壁可疑位置上贴上显影带，然后在其内部充入高于大气压的氨气，当有漏孔时，氨气会漏出并进入显影带，使其变色。具体步骤为：清洁处理——贴显影带——充氨——排氨。
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输出仪表读数变化
卤素检漏仪
10-7～10-9
氯质谱检漏仪法
10-2
输出仪表读数及
声响频率变化
氦质谱检漏仪
10-12～10-14
质
谱
计
法
射频质谱计法
10-2～10-4
施用示漏物质输出
仪表读数变化
射频质谱计
10-6～10-11
回旋质谱计法
10-3～10-7
回旋质谱计
10-7～10-12
四极滤质器
充2.5×105Pa氨气
复合涂料显色
人眼
10-8
1.5小时积累
卤素检漏仪吸嘴法
充卤素气体
检漏仪读数变化伴有音响
卤素检漏仪
10-6～10-10
可与空气混合充入
放射性同位素气体法
充放射性气体
计数器信号变化
闪烁计数器
1×10-7
氦质谱检漏仪吸嘴法
充氦气
检漏仪读数变化伴有音响
氦质谱检涌仪
10-8～10-10
真
空
计
法
热传导真空计法
103～10-1
施用示漏物质真空
计读数变化
热偶或电阻真空计
10-6
电离真空计法
10-2～10-6
电离真空计
10-9
差动热传导真空计法
103～10-1
热传导真空计差动组合
10-7
差动电离真空计法
10有吸附阱的热传导真空计法
103～10-3
10-1～10-4
四极滤质器
10-10～10-11
检漏方法
工作条件
现象
设备
灵敏度[Pam3／s]
备注
荧光法
荧光材料，有机溶剂
荧光材料发光
紫外线光源
10-9～10-11
放射性同位素背压法
放射性气体，背压抽真空
计数器输出
信号背压室，闪烁计数器
10-12
背压数小时
电子管慢性漏气的加速测定法
背压室充氩气，电子管
可为电离规
仪表读数变化
背压室，测量电路
10-9～10-11
背压数小时
氦质谱检漏仪背压法
背压室充氦气．抽真空
仪表读数及声响
频率变化
背压室，氦质谱检漏仪
检漏方法
工作条件
现象
设备
最小可检漏率(Pam3／s)
备注
水压法
漏水
人眼
10-3～100-4
压降法
充3×105Pa空气
压力下降
压力计
1×10-3
听音法
同上
咝咝声
人耳
5×lO-3
可用听诊嚣
超声法
同上
超声波
超声波检测器
1×10-3
气泡法
同上
水中气泡
人眼
10-5～10-6
同上
水中气泡
人眼
10-9
24h积累
同上
涂沫肥皂液发生皂泡
人眼
1×10-5
氮气检漏法
充3×105Pa氨气
溴代麝香草酚兰试带变色
人眼
10-7
观测20s
同上
溴酚兰试纸变色
人眼
10-11
24h积累
气敏半导体检漏仪法
充气敏气体
检漏仪读数变化
气敏半导体检漏仪
常用的真空检漏法
来源：真空技术网作者：管理员发布时间：2007-09-17
检漏方法
工作压力[Pa]
现象
设备
最小可检漏率[Pam3／s]
静态升压法
抽真空后封闭，压力上升
真空计
10-5～10-6
放电管法
放电颜色改变
放电管
10-3～10-4
高频火花检漏器法
103～10-1
亮点，放电颜色改变
高频火花检漏器
10-3～10-4
液氮冷却活性炭阱，
热传导计
10-7
有吸附阱的电离真空计法
10-2～10-6
液氮冷却硅胶阱，
冷阴极电离计
10-11～10-13
氢钯法
7×101～10-5
氢气通过钯管进入
真空规，读数变化
钯管，电离计
10-7～10-11
离子泵检漏法
10-5～10-7
示漏物质使离子流变化
离子泵
10-9～10-12
卤素检漏仪内探头法