培训系列之8质谱原理与真空检漏
真空泄漏检测方法
真空泄漏检测方法真空泄漏检测方法引言真空技术在许多应用领域扮演着重要角色，如航天、电子设备制造和化学工程等。
确保真空系统的安全和可靠运行对于这些领域至关重要。
而真空泄漏则是真空系统中常见的问题，因此采用适当的检测方法非常关键。
方法一：气泡检漏法气泡检漏法是一种常用的真空泄漏检测方法，主要用于大型真空系统或外部表面不易检测的装置。
具体步骤如下：1.将试件浸入具有良好润湿性的水槽中。
2.在试件表面均匀涂抹一层薄薄的肥皂水或其他可形成气泡的液体。
3.通过真空泵抽取系统中的气体，观察涂层表面是否冒泡。
4.如果在某些部位冒泡，说明该部位存在泄漏。
气泡检漏法的优点是操作简单，不需要专门的设备，但其缺点是不适用于高真空系统。
方法二：氦质谱检漏法氦质谱检漏法是一种高灵敏度的真空泄漏检测方法，适用于高真空和超高真空系统。
具体步骤如下：1.将氦气注入待检测系统。
2.使用气质谱仪检测系统中是否存在氦气泄漏。
3.如果氦气在某些部位检测到，则该部位存在泄漏。
氦质谱检漏法的优点是能够检测极小的泄漏量，缺点是设备价格较高，操作技术要求较高。
方法三：静态漏率检漏法静态漏率检漏法是一种常用的真空泄漏检测方法，适用于大型真空系统。
具体步骤如下：1.关闭真空系统的所有阀门，记录系统的初始压力。
2.在一定时间内观察系统的压力变化，计算泄漏速率。
3.如果泄漏速率超过设定的阈值，则说明系统存在泄漏。
静态漏率检漏法的优点是能够定量评估泄漏问题，缺点是需要较长的检测时间。
方法四：红外检漏法红外检漏法是一种适用于可见光透明材料的真空泄漏检测方法，如玻璃或有机材料。
具体步骤如下：1.使用红外摄像机或红外热像仪对待检测系统进行拍摄。
2.通过红外辐射检测系统中是否存在泄漏点。
3.如果出现辐射异常的区域，则可能存在泄漏。
红外检漏法的优点是无需接触待检测系统，可实时监测泄漏情况，缺点是需要专门的设备。
结论根据需求和实际情况，可以选择适合的真空泄漏检测方法。
真空检漏基本知识.
第四部分小结参加工作以来，就与氦质谱检漏仪密切相关，以前是学薄膜沉积的，在学专业课的时候学了一些有关质谱知识。
三年来，逐渐了解国内外各种HLD。
我觉得其原理大致相同，无非都是靠磁分析器偏转，有 90 度偏转的，如VARIAN，（最近推出的 VS 系统是 135 度偏转）有 180 度偏转的，如ALCATEL， LEYBOLD， INFICON，但 ALCATEL 的是纯 180 度偏转，而后两者是 180 双方向聚焦的，在磁钢上略有差别，后两者是 X，Y 双方向聚焦。
其实在HLD 的质谱室上，国内制造水平不必欧美差，只是在原材料及表面处理工艺上逊于欧美，所以国内的 HLD 发展缓慢。
另外由于国内制造的小型分子泵质量不敢恭维，国内各厂家都是通过购买进口分子泵来组装检漏仪产品。
如：合肥的皖仪等厂家。
分子泵开不同的口，可以得到不同的压缩比，所以国产 HLD 的指标受分子泵因素影响较大。
曾有一位做 HLD 的前辈说过， HLD 的发展很大成度上依赖于分子泵的发展。
再有就是自动化程度上，这方面比国外差太远。
INFICON 的液晶屏菜单设计的很不错，简洁清楚，什么画指标等都可以在仪器上显示，而 ALCATEL 就没有。
真空室检漏的原理和方法
真空室检漏的原理和方法
真空室检漏的原理是通过检测真空室内的气体流量或压力变化，来确定是否存在漏气现象。
如果真空室存在漏气，那么气体将从漏气处流入真空室，导致真空室内压力升高或降低，或者导致气体流量异常。
真空室检漏的方法有以下几种：
1. 压差法：将真空室密封后，测量其初始压力和经过一段时间后的压力，如果压力差超过了一定范围，则说明存在漏气。
2. 气泡法：在真空室内充入一定量的水或其他液体，然后密封真空室并抽真空，观察液体中是否出现气泡，如果有气泡出现则说明存在漏气。
3. 灵敏度法：利用高灵敏度的气体检测器检测真空室内的气体浓度，如果气体浓度超过了一定范围，则说明存在漏气。
4. 声波法：利用声波检测器检测真空室周围是否存在异常的声波信号，如果存在异常信号则说明存在漏气。
以上是真空室检漏的原理和几种常见方法，不同的方法适用于不同的应用场景和检测对象，需要根据实际情况选择适合的检漏方法。
真空检漏概述
8放射性同位素检漏法——将少量的放射性材料放入被检件中并密封好，如有漏孔便会有射线泄露出来，从而在外面用特殊的射线探测仪指示出来。放射性同位素检漏法在背压检漏法中应用的相当成功。
9慢性气体的加速检漏法——将管子置于高压的氩气中，管内的压力上升率会比在空气中快得多，这便是慢性气体的加速检漏法的理论依据。
②真空检漏法——将被检漏真空容器和敏感元件，抽成真空状态，然后将示漏物质依次施加在可疑部位，若有漏孔，示漏物质将进入容器内，被敏感元件所发现。③背压检漏法——有三个步骤：充压，净化，检漏。
二：各种检漏方法
1静态升压法——把容器抽到一定的压力后，关闭阀门，隔离真空室和真空泵，测量容器内的压力变化。
一般常用的静态升压法有以下两种：①辅助真空罩法——可以排除放气的干扰；②压力平衡法——可以测量那些不能安装真空规管的被检件的漏率。
电气系统的核心是质谱室的供电和测量。辅助真空系统，它具有预抽被检件，保证检漏仪真空度，进行气体分流等功能。对于体积小，漏气小的系统可以不选用辅助真空系统，对于体积大，漏气大的系统需要选用辅助真空系统。
③氦质谱检漏仪的灵敏度：对于氦质谱检漏仪有三种灵敏度——漏率灵敏度，记作 ；分压比灵敏度，记作 ；检漏灵敏度，氦质谱检漏仪在实际检漏条件下所能达到的灵敏度，记作 。当氦质谱检漏仪安装在真空系统的不同位置时，所能达到的检漏灵敏度是不同的。
2气泡检漏法——在被检件中充入一定压力的示漏气体后放入水中，气体将通过漏孔进入水中，形成气泡，从而判断漏孔的有无及其位置和大小。属于压力检漏法。一般有以下两种：①水槽法——适用于小型器件；②皂膜法——适用于尺寸较大的器件。
3氨气检漏法——把被检件抽真空，在其外壁可疑位置上贴上显影带，然后在其内部充入高于大气压的氨气，当有漏孔时，氨气会漏出并进入显影带，使其变色。具体步骤为：清洁处理——贴显影带——充氨——排氨。
检漏短训班教材解读
吸入法检漏注意事项
• 判断被检件容许充多高压力的示漏气体 • 初检时应避充入过高压力示漏气体，因为被检 件如有大漏，示漏气体从被检件大量漏出，造 成较大浪费，应先充入低压力示漏气体，确定 无大漏时，再提高示漏气体压力，提高检漏灵 敏度 • 根据具体情况配制相应浓度的示漏气体，不提 倡用纯氦 • 注意场地通风
第三节 检漏法和仪器
• 一．检漏方法：充压法与真空法 充压检漏法是在被检件内充以高压示 漏气体，示漏气体从漏孔泄出，观察漏 孔处发生的现象查知漏孔的存在和大小。 真空检漏法是将被检件抽空，示漏气 体从外面漏入，进入与被检件连接的检 漏仪器的探头，仪器发生反应，判断漏 气情况
• 二．常用的检漏方法和仪器
漏率单位换算
1 Pa· l·s-1=7.5X10-3Torr·l·s-1
•
1Torr·l·s-1=133 Pa· l·s-1
• 对于不同气体漏率不同，如对氦气，在 分子流下，漏率为空气的2.7倍。
三．最大容许漏率
• 1、漏是绝对的，不漏是相对的，为了 得到低的极限压力，应尽量减少漏气， 但是要将所有漏孔都找出来做到绝对不 漏气，这既不可能亦无必要。实际上， 只要漏孔的漏气已足够小，平衡压力低 于真空系统工作所需压力，余下的漏孔 是允许的 • 2、真空系统正常工作所能允许的最大 漏气量，称最大容许漏率，简称容许漏 率。
真空检漏技术
第一节 序言
1、减少漏气获得所需真空，极限真空Pm
Pm=(Qd+QL)/S +P0 其中，S为抽速，Qd为放气速率，QL为漏 气率,P0为抽气泵达到的极限压力 2、泄漏造成的损失可能是严重的 3、检漏目的：根据要求确定是否有漏？漏 孔大小？漏孔位置？ 4、检漏与相应的密封问题在设计，加工， 安装，调试和运行的阶段都必须予以重视。
真空检漏_图文.
真空检漏[简介]: 1．概漏的基本概念真空检漏就是检测真空系统的漏气部位及其大小的过程。
漏气也叫实漏，是气体通过系统上的漏孔或间隙从高压侧流到低压侧的现象。
虚漏，是相对实漏而言的一种物理现象。
这种现象是由于材料放气、解吸、凝结气体的再蒸发、气体通过器壁的渗透及系统内死空间中气体的流出等原因引起真空系统中气体压力升高的现象。
二、检漏仪器用于检漏的仪器有氦质谱检漏仪、卤素检漏仪、高频火花检漏器、气敏半导体检漏仪及用于质谱分析的各种质谱计。
这里主要介绍氦质谱检漏仪、卤素检漏仪、高频火花检漏器的工作原理、结构及国产检漏仪器的技术性能。
1．氦质谱检漏仪氮质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。
是真空检漏技术中灵敏度最高，用得最普遍的检漏仪器。
氦质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。
单级磁偏转型仪器灵敏度为lO-9～10-12Pam3／s，广泛地用于各种真空系统及零部件的检漏。
双级串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较，本底噪声显著减小．其灵敏度可达10-14～10-15Pam3／s，适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。
逆流氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局，被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位，因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点．适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏，其灵敏度可达10-12Pam3／s。
(1工作原理与结构氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。
①单级磁偏转型氦质谱检漏仪现以HZJ—l型仪器为例．介绍单级磁偏转型氦质谱检漏仪，其结构如图2所示。
在质谱室内有：由灯丝、离化室、离子加速极组成离子源；由外加均匀磁场、挡板及出口缝隙组成分析器；由抑制栅、收集极及高阻组成收集器；第一级放大静电计管和冷阴极电离规。
质谱室的工作原理如图3所示。
在离化室N内，气体电离成正离子，在电场作用下离子聚焦成束。
真空检漏基本知识
③ 结构简单、操作维修方便，成本低 由于上述要求有些是相互矛盾的，若想采用一种方法都能满足是不合实际 的。所以只要根据具体情况能够满足其主要要求的检漏方法就是较为适宜的。实 践证明，检漏人员的素质、工作经验也是选择检漏方法的重要依据之一。
2．对检漏人员的要求
① 具有高度的责任心和认真的工作态度； ② 具有丰富的检漏实践经验； ③ 具有一定的机械结构、物理、化学、材料及焊接等方面的知识； ④ 了解被检件结构及其运行工艺，熟悉所用检漏方法或仪器原理及性能； ⑤ 掌握所用示漏物质的检漏特性。 例如，氦气轻，采用喷吹法检漏时，应遵守从上至下和从近至远的原则(即 先从被检件上部顺序至下部和从靠近检漏仪顺序至远离的部位)；采用吸枪法检 漏时，应遵守从下至上和从近至远的原则。但是，卤素气体重，除遵守从近至远 的原则外，在喷吹法和吸枪法中，应分别遵守从下至上和从上至下的原则。 检漏人员满足上述要求，就能解释和解决检漏工作中出现的形形色色的现 象，较好地完成判别漏气、找出漏孔及测定漏率的检漏任务。
2． 漏孔、漏率及其单位
真空技术中所指的漏孔，由于尺寸微小、形状复杂、形式多样，无法用几何 尺寸表示其大小。所以一般用等效流导或漏气速率(简称为漏率)表示漏孔的大 小。
用漏率表示漏孔大小时，如果不加特殊说明，则是指在漏孔入口压力为 1.01× 105Pa，出口压力低于 1.33× 103Pa，温度为 296 士 3K 的标准条件下，单 位时间内流过漏孔的露点温度低于 248K 的空气的气体量。
第二部分 检漏技术
1．检漏方法的选择
比较理想的检漏方法应满足下列要求： ① 合适的检漏灵敏度
在具体的检漏条件下，所选择方法的检漏灵敏度，通常高于最大容许漏 率 1～2 个数量级。 ② 反应时间和清除时间短 ③ 不仅能找出漏孔的位臵，而且还能测定漏率 找出漏孔位臵的方法有喷吹法和吸枪法。 喷吹法适用于可抽空的被检件。高频火花检漏器法、真空计法、固定式 卤素仪法和氦质谱仪法归于喷吹法。 吸枪法适用于不允许抽空、放气量大、复杂管道等被检件。气泡法、荧 光法，氨检漏法及吸枪式检漏仪法可归于吸枪法。 测定漏率的方法是测量示漏物质的漏率变化或浓度变化量。根据条件可采 用适当的方法。 ④ 品质优良的示漏物质 示漏物质具有在空气中含量少，灵敏度高，不腐蚀、不污染被检件、抽 气系统及检漏仪表，无毒、阻燃和防爆。 ⑤ 稳定性好、检漏范围宽
质谱基本原理
质谱基本原理质谱是一种用于分析化合物结构和确定化合物组成的重要技术，它在生物医药、环境保护、食品安全等领域有着广泛的应用。
质谱的基本原理包括样品的离子化、质谱仪的质量分析和信号检测三个方面。
首先，样品需要经过离子化处理，通常采用电离源将样品分子转化为离子。
电离源常用的有电喷雾电离源（ESI）和化学电离源（CI）。
在电喷雾电离源中，样品通过高压气体雾化成微小液滴，然后通过高电压喷射出来，形成带电离子。
而在化学电离源中，样品分子与化学试剂发生化学反应，生成离子。
这样处理后的样品就可以进入质谱仪进行分析了。
其次，质谱仪的质量分析是质谱技术的核心部分。
质谱仪通常由离子源、质量分析器和检测器组成。
在离子源中，样品离子被加速形成能量较高的离子束，然后进入质量分析器。
质量分析器根据离子的质荷比对其进行分离和测量，最常用的质量分析器包括飞行时间质谱仪（TOF）、四极杆质谱仪和离子阱质谱仪。
不同的质谱仪有着不同的工作原理和适用范围，但都可以实现对样品离子的分析和检测。
最后，质谱仪通过检测器对质谱信号进行检测和记录。
检测器通常采用光电倍增管（PMT）或者光电二极管（PD）等器件，将离子信号转化为电信号进行放大和处理，最终形成质谱图谱。
质谱图谱可以通过质谱数据库进行比对和分析，从而确定样品的成分和结构。
总的来说，质谱技术的基本原理包括样品的离子化、质谱仪的质量分析和信号检测三个方面。
通过这些基本原理，质谱技术可以实现对样品的高灵敏度、高分辨率的分析，为化学、生物和环境领域的研究提供重要的技术支持。
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针对不同检漏对象选择合适的方法，以解决主要矛盾
为原则。
o
那么，检漏方法如何选择呢？主要根据被检真空
系统(或设备)的容许漏气量qL，另外再结合具体情况
来选择相应的方法。但应注意到总的容许漏气量是几
个或多个单独漏隙的漏量之和，要想找到每个单独漏
隙，必须选用检漏灵敏度qLdmin比允许漏率qLp值低1～
2个数量级（相当有10～100个漏孔）的方法，即
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2.1 真空检漏法
o
将被检件与检漏器(通常指检漏器的传感器)相
连，并将被检件抽真空，在被检件外施加示漏物质。
如果存在漏孔，示漏物质就会通过漏孔进入被检件
和检漏器，由检漏器测出示漏物质的存在和多少，
从而可以判定漏孔的位置和漏率。这种方法称为真
空检漏法。
o
真空检漏法分为：静态升压法、动态法和探索
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1.2 漏气判断和漏孔表示法
o (1)直线a，压力保持不变，说明既不漏气也不放气。容器
真空度抽不上去的原因是泵工作不良造成的。
o (2)曲线b，压力开始上升较快，而后上升速度惭渐减慢呈
现水平态。这说明主要是放气，因为不论是蒸气源的放气 或材料放气，在达到一定的压力后都有饱和的趋势。如果 是蒸汽，最后达到其饱和蒸汽压。
过渡流和分子流三种流动状态。为了使问题简化，
可以假定漏孔为一圆截面的毛细管。其流导可用
克努曾半经验公式进行计算。克努曾半经验公式
不适用湍流，却适用于粘滞流、过渡流和分子流，
但要求压差不能太大。而漏孔两端压差太大，所
以克努曾公式不能直接应用，故在圆截面漏孔中
取一微长度元ΔL，其两端压差为Δp， 这样就
o (4)检漏范围宽，从大漏到小漏都能检测，以减少 设备数量及费用；
o (5)结构简单、使用方便，对被检件要求不太苛刻；
o (6)能无损检漏，检漏无油化、以免油污染被检件。
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1.5 对检漏方法的要求及选择
o
然而，上述要求往往是相互矛盾的。要求一种检
漏方法同时满足上述所有要求是不可能的。所以只能
满足了上述条件，并令漏孔长为1cm，经分析可
得到如下结论：
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1.3 漏孔气流特性
o 当qL>10-6 Pam3s-1时，此时主要是粘滞流。 o 当qL<10-9 Pam3s-1时，其流动主要是分子流。
o 不同种类气体通过漏孔漏率也不相同。如同 一漏孔的氦漏率与空气漏率的比值，在粘滞流状 态下为
分仅由于漏气作用(此时放气已达饱和)，所以呈直线。 o 在判定确实有漏气之后．就可着手找漏孔的位置。
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1.2 漏气判断和漏孔表示法
o
真空技术中所指的漏孔是极其微小的。漏孔截面形
状不规则，漏气路径也各式各样。漏孔的大小是不可能
也没有必要以漏孔的几何尺寸表示，因为漏孔的最本质
1.4 最大允许漏率的计算
o
假设这种静态系统的真空度不是靠继续抽气
(即无消气剂和钛泵)来维持，而是靠降低器件的漏
气和材料放气来达到的话，刚封离时压力pi要远低 于器件工作的最高压力pωmax，以保证器件寿命τ较
长。那么，其允许漏率为
o
qLp＝0.1×V·（pωmax－pi）/τ
o
式中pi —— 刚封离时压力
培训系列之8质谱原理与 真空检漏
2020/11/11
培训系列之8质谱原理与真空检漏
东北大学第八期
《真空技术》培训系列之
o 一. 真空技术概况 （巴德纯） o 二. 真空工程理论基础 （张世伟） o 三. 干式真空泵原理与技术基础 （巴德纯） o 四. 真空系统组成与设计基础 （刘坤） o 五. 真空获得设备原理与技术基础 （张以忱） o 六. 真空测量技术基础 （刘玉岱） o 七.真空镀膜技术基础 （张以忱） o 八. 质谱原理与真空检漏 （刘玉岱） o 九. 真空冶金技术基础 （王晓冬） o 十. 真空与低温技术及设备 （徐成海）
o
实际的真空系统，如果
抽不到预定的极限真空，
这里面原因有三：泵工作
不良，即有效抽速不够；
放气以及漏气。必须首先
排除前两个原因，才能去
找漏孔。
通常以静态升压法来找出哪种因素起主导作用。即
把容器抽到一定压力后，将阀门关闭，让容器与泵隔开， 然后测量容器中的压力变化，给出压力—时间曲线。由 于容器的漏气与出气情况不一样，所以曲线也不一样， 如上图所示。
o (3)斜线c，压力直线上升，这说明是漏气。漏气率正比于
内外压力差。外部是大气压，内部压力很低，后者与前者 相比可忽略不计．故漏气率就正比于大气压，是一常数， 压力呈直线上升。
o (4)曲线d，压力开始上升很快．后来变得较慢，但不出现 饱和迹象。这是曲线b和曲线c的叠加，即同时存在放气和 漏气。曲线d的前部分由于放气作用使之呈曲线；而后部
o
qLHe/qLair＝ηair/ηHe＝0.93
o
在分子流状态下为
o
qLHe/qLair＝√(Mair/MHe)＝2.7
o 可见用氦气检漏时，只是对分子流漏孔才会
有好处。
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1.4 最大允许漏率的计算
o
要求装置或真空系统绝对不漏气不仅是不可
能的，而且也是不合理的。只要漏孔漏率足够小，
o
不同真空系统允许漏率也是不同的，下面分两种情况
进行讨论。
o
(1)动态真空系统允许漏率：
o
所谓动态真空系统是指工作时，泵仍然对它进行抽气
的系统，如真空熔炼炉、真空镀膜机和粒子加速器等。这
些动态系统是靠泵抽气来维持工作压力的。一般说来，对
气密性要求低些。
o
设真空装置最大工作压力为pωmax，泵对被抽容器(真
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1.1 检漏的意义及其重要性
o
理想的真空室应永远保持它同抽气真空系统
断开时的真空度(压力)。而实际上，任何真空室
在离开抽气系统之后，其压力总要上升。压力的
升高是由于漏孔的漏气、室壁表面放气和通过室
壁材料渗透进入的气体产生的。
o
从物理过程来看，真空系统就是在一面抽气
一面漏气的条件下工作的，两者最后达到动态平
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真空检漏
o 1 检漏概述 o 2 检漏方法 o 3 检漏仪
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1 检漏概述
o 1.1 检漏的意义及其重要性 o 1.2 漏气判断和漏孔表示法 o 1.3 漏孔气流特性 o 1.4 最大允许漏率的估算 o 1.5 对检漏方法的要求和选择 o 1.6 检漏技术中的几个概念
o (7)信噪比：定义为I／In，其中In表示在一定条 件下本底信号在一定时间内的最大波动量；I表示在
一定条件下，检漏方法或仪表指示的平均值。 o (8)虚漏：由于设计和操作不妥，在系统内形成贮
存气源的洞穴，其内气体慢慢地释放出来而形成漏气， 称为虚漏。
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2 检漏方法
o 2.1 真空检漏法 o 2.2 充压检漏法 o 2.3 背压检漏法 o 2.4 各种检漏方法比较
o
τ—— 器件寿命
o
V —— 器件的体积
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一些真空设备的允许漏率
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1.5 对检漏方法的要求及选择
o
一般说来，理想的检漏方法应满足下述要求：
o (1)检漏灵敏度高、反应时间短(3s以内)和稳定性 好；
o (2)能定出漏孔的位置和漏率；
o (3)示漏物质在空气中含量低，不腐蚀零件，不堵 塞漏孔，不污染环境，不影响人身安全并且还要易于 得到；
称密闭容器或封离容器。这种系统的特点是要求极
限压力低，在与泵隔离之后的相当长时间内，其真
空度仍能满足要求。如电真空器件中的电视显象管、
示波管和超高频管等。由于这些器件体积小，要求
寿命长，所以对漏气和放气要求很严。对于材料出
气，在管子设计与制造时已作了考虑，这里只谈漏
气一题。
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1.4 最大允许漏率的计算
o
如果设计人员只给出允许的总气载qtot，而
没有具体指明允许漏率qLp的值，一般认为，最
大允许漏率比总气载低一个数量级，即
o
qLp＝0.1×qtot
o
并以此为收据，对每个零件的容许漏率进行
分配，易检漏件要求高些，难于检漏件要求就低
些。
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1.4 最大允许漏率的计算
o
实际上，我们所使用的真空系统大多数是满足或接
近漏孔漏率定义所规定的条件。如果不满足上述条件
(如：环境温度变化、压差不是标准大气压或使用空气
以外的气体)时．就必须对漏率加以修正。
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1.3 漏孔气流特性
o
出于漏孔很微小，漏孔两端的压差很大，气
体通过漏孔的过程是很复杂的，其中包括粘滞流、
般是指系统上存在的漏孔的漏率远小于允许的漏率或
检漏仪的最高灵敏度而言。
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1.1 检漏的意义及其重要性
o
检漏的任务是：用适当方法迅速判断漏气是否为
主要矛盾；确定漏率，以便确定它是否在允许的范围
内；选择合适的检漏方法并找出漏孔的确切位置，以
便进行修补。
o
应当指出，只有当系统上所有漏孔的总漏率超
空室)的有效抽速为Se，则真空容器的允许漏率为
o
qLp＝0.1×pωmax Se
o
式中pωmax —— 真空装置最大工作压力