氦质谱检漏仪使用说明资料
氦质谱仪背压检漏方法_概述及解释说明
氦质谱仪背压检漏方法概述及解释说明1. 引言1.1 概述氦质谱仪背压检漏方法是一种常用的无损检测方法，用于检测工业设备及管道系统中可能存在的泄露点。
该方法通过利用氦气的特殊物理性质和气体流动原理，实现对泄漏点进行准确、快速的定位和评估。
背压检漏方法具有非侵入性、高灵敏度和自动化程度高等优势，在工业领域得到了广泛应用。
1.2 文章结构本文将围绕氦质谱仪背压检漏方法展开详细论述，文章结构包括引言、背压检漏方法的原理、背压检漏方法的步骤与实施、背压检漏结果分析与评估以及结论与展望等部分。
首先介绍了本文的概述和目的，然后详细解释了背压检漏方法相关的原理，并探讨其在不同领域中的应用优势。
接下来，阐述了使用该方法进行检测时所需进行的准备工作和步骤，并提供了数据分析与处理方法。
最后，对测试结果进行评估和解读，并分析存在的误差，并提出改进措施。
文章最后总结了本次研究的主要成果，并提出了未来进一步研究的方向。
1.3 目的本文旨在全面概述氦质谱仪背压检漏方法，介绍其原理、优势和应用领域，详细阐述该方法的步骤与实施过程，并提供相关数据分析与处理方法。
同时，通过对实验结果的评估与解读，发现存在的误差并提出改进措施。
通过对氦质谱仪背压检漏方法进行深入研究和分析，期望为工程技术领域中泄漏点检测及预防提供参考和指导，并为后续研究提供基础依据。
2. 背压检漏方法的原理:2.1 氦质谱仪背压检漏原理:氦质谱仪背压检漏是一种常用的方法，该方法基于气体分子的运动特性和质谱检测技术，通过检测目标物体表面的潜在泄漏点来实现泄漏检测。
其原理可以简要概括为以下几个步骤。
首先，将高纯度的氦气作为探测介质注入已密封的被测试系统或设备内部。
由于氦气分子具有很小的尺寸和较高的扩散性能，在目标物体出现泄露时，氦气会从泄漏点逸出到周围环境中。
接下来，使用一个质谱仪进行监测和分析。
质谱仪内部设置了一个称为“零背景样品”的容器，其中充满了监测过程中未受外部干扰影响而得到平衡状态的环境空气样品。
sfj-261说明书
sfj-261说明书SFJ-261 型氦质谱检漏仪皖仪科技使用说明书1-1概述42-1 仪器性能参数52-1-1 SFJ-261 性能参数5?2-2仪器使用环境62-2-1 SFJ-261使用环境6?2-3 仪器结构72-3-1仪器外观7 2-3-2内部结构及部件8 2-3-3操作面板92-3-3-1 261面板 (9)2-3-3-2 261外部接口 (9)2-3-4电子系统示意图11?2-4工作流程122-4-1系统示意图12 2-4-2系统工作流程143-1 开始使用（以喷吹法为例）161启动 (16)2 参数设定 (19)3 检漏（喷吹法） (27)4 标漏校准 (28)5 调零（校零） (28)6 停止 (29)7 运行状态 (29)8 停机断电 (30)3-2 其他检漏方法的操作303-2-1吸入法检漏30 3-2-2背压法检漏304-1 基本维护项目314-1-1漏率校准31 4-1-2 机械泵保养31 4-1-3 分子泵维护31 4-1-4 质谱管及离子源清洗315-1 常见故障和处理32?5-2 错误代码及其排除336-1 氦质谱检漏仪的工作原理34?6-2 氦质谱检漏仪的检漏方式35?6-3常用单位的换算366-3-1 压强单位的换算36 6-3-2 漏率单位的换算36?6-4常用检漏方法376-4-1 喷吹法——确定漏孔位置 (37)6-4-2 吸入法——确定漏孔位置 (38)6-4-3 钟罩法——测总漏率 (39)6-4-4 背压法——测总漏率 (40)6-4-5 辅助真空系统 (41)7-1 售后服务42一概述SFJ－261型氦质谱检漏仪是对密封容器的泄漏进行快速定位和定量测量的仪器。
氦质谱检漏方法与气泡识别法、压强衰减法和卤素检漏等方法相比，具有检测灵敏度高、速度快和适用范围宽，此外氦质谱检漏仪选择无毒、无破坏性、质量轻的惰性气体氦作为探索气体，所以安全可靠。
目前，检漏技术在以下领域中得到了广泛的应用：科学研究航空航天汽车制冷军事工业分析仪器发电厂核工业压力容器精密机械加工医疗仪器/仪表真空炉、镀膜设备等装置或系统高真空和超高真空的工程半导体等行业SFJ－261型氦质谱检漏仪将为您提供更快速，更经济，更精确的检漏方案。
氦质谱检漏仪原理及使用方法及相关介绍
氦质谱检漏仪原理及使用方法及相关介绍一、原理氦质谱检漏仪的原理基于质谱技术。
质谱技术是一种将样品原子或分子离子化并加速到特定质量的仪器分离和检测方法。
在氦质谱检漏仪中，首先将氦气引入被测系统中，然后利用真空泵将系统抽成高真空状态，此时如果系统存在泄漏，氦气会从泄漏点进入真空室。
接下来，仪器将氦气离子化并加速，然后将其通过质谱仪进行分离和检测。
质谱仪按质量对氦离子进行分离，只保留本离子，其他离子则被排除在外。
最后，通过测量离子的电流，就可以确定氦气的浓度，从而判断系统是否有泄漏的情况。
二、使用方法1.准备工作：将氦气瓶连接到仪器中，确保连接紧固，打开氦气瓶阀门。
2.开机操作：按下电源开关，等待仪器启动并进入工作状态。
此时，仪器会进行自检，并显示相关的信息。
3.设置参数：根据需要，设置仪器的工作参数，如离子加速电压、离子电流等。
这些参数的设定会影响仪器的灵敏度和分辨率。
一般来说，根据被测系统的特点和泄漏的排查需求来确定。
4.测试操作：将仪器探头移至被测系统周围，并尽量靠近可能存在泄漏的区域。
慢慢移动探头，直到仪器探测到氦气浓度的变化。
此时，仪器会发出声音或显示信号，以提示泄漏处的位置。
5.结果判断：根据仪器显示的信号确定泄漏点，可以通过仔细观察和移动探头来进一步定位泄漏。
6.数据记录：记录泄漏点的位置、泄漏大小以及检测时间等信息，便于后续处理和跟踪。
三、相关介绍1.灵敏度：氦质谱检漏仪具有非常高的灵敏度，可以检测非常微小的氦气泄漏。
一般来说，它可以检测漏率为10^-9至10^-12毫升/秒的泄漏。
2.应用范围：氦质谱检漏仪广泛应用于各个领域，如航空航天、化学工业、电子、制药等。
在这些领域，确保系统的密封性非常重要，而氦质谱检漏仪的高灵敏度和精确度可以满足这些需求。
3.优点：氦质谱检漏仪的优点包括操作简单、快速、准确，具有高灵敏度和分辨率，可以定位并确定泄漏点。
4.注意事项：在使用氦质谱检漏仪时，需要保证被测系统处于高真空状态，以确保准确的检测结果。
氦质谱检漏仪作业指导书
一、氦质谱检漏仪作业指导书
1.氦质谱检漏仪的结构
氦质谱检漏仪由电源、控制器、探测器、探测器控制器、气体控制器、计算机、显示器等
组成。
2.氦质谱检漏仪的安装
（1）安装氦质谱检漏仪前，应检查检漏仪的各部件是否完整，并确保安装环境温度、湿度、电源电压等符合要求。
（2）安装时，应把检漏仪放置在平整、无振动的地面上，保证检漏仪的稳定性。
（3）安装完成后，应检查检漏仪的各部件是否连接正确，气体流量是否正常，电源电压
是否稳定，探测器的工作状态是否正常。
3.氦质谱检漏仪的操作
（1）操作前，应检查检漏仪的各部件是否连接正确，气体流量是否正常，电源电压是否
稳定，探测器的工作状态是否正常。
（2）将检漏仪连接到计算机，打开软件，设置检漏参数，设置检漏模式，设置检漏时间，设置检漏结果的显示方式等。
（3）启动检漏仪，检漏过程中应定期检查检漏仪的工作状态，并及时调整检漏参数。
（4）检漏完成后，应对检漏结果进行分析，如果出现异常，应及时修改检漏参数，重新
检漏。
4.氦质谱检漏仪的维护
（1）定期检查检漏仪的各部件，确保检漏仪的正常工作。
（2）定期清洁检漏仪，防止检漏仪的结构受潮、受污染。
（3）定期更换检漏仪的耗材，如滤芯、探测器等，确保检漏仪的正确性。
二、结论
氦质谱检漏仪是一种用于检测气体泄漏量的仪器，其安装、操作和维护都需要严格按照操作规程进行，以确保检漏仪的正确性和可靠性。
氦质谱检漏仪使用方法
氦质谱检漏仪使用方法
一、氦质谱检漏仪的简析：
1、为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。
氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散。
2、另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。
将这种气体喷到接有气体分析仪（调整到仅对氦气反应的工作状态）的被检容器上，若容器有漏孔，则分析仪即有所反应，从而可知漏孔所在及漏气量大小。
二、氦质谱检漏仪的使用方法：
1、氦质谱检漏技术是真空检漏领域里不可缺少的一种技术，由于检漏效率高，简便易操作，仪器反应灵敏，精度高，不易受其他气体的干扰，在电阻炉检漏中得到了广泛应用。
2、是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。
由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。
3、质谱室里的灯丝发射出来的电子，在室内来回地振荡，并与室内气体和经漏孔进人室内的氦气相互碰撞使其电离成正离子，这些氦离子在加速电场作用下进人磁场。
4、由于洛伦兹力作用产生偏转，形成圆弧形轨道，改变加速电压可使不同质量的离子通过磁场和接收缝到达接收极而被检测。
喷氦法、吸氦法是在电阻炉检漏中常用的两种方法。
总结：氦质谱检漏仪的简析及使用方法，看完本文您就应该有了基本的认识和了解相信大家都明白了吧！总的来说，希望对大家有所帮助。
氦质谱检漏仪操作规程
氦质谱检漏仪操作规程一、仪器准备1.确认氦质谱检漏仪的各个部件是否完好并连接良好，包括样品室、氦质谱仪、真空泵等。
2.检查氦气供应，确保氦气的储罐或瓶体已经安装好，并且压力稳定。
3.检查真空泵的状态，确认真空泵已经安装好并连接到氦质谱检漏仪上，并连接好电源。
4.确保仪器的电源线已经接通，并开启电源。
二、仪器操作顺序1.打开氦质谱检漏仪的电源开关，待仪器启动后，将仪器调至待机状态，等待稳定。
2.打开真空泵电源开关，将真空泵开始抽空样品室。
观察真空泵的压力表，确保真空泵的抽空状态良好。
3.打开氦气供应开关，将氦气注入样品室，以提高样品室的压力。
观察氦气的进入情况，并通过泄漏口校正阀门进行调整。
4.将样品室的压力调至所需的工作压力范围内（通常为0.1至1000毫巴），并通过仪表读数进行确认。
5.打开氦质谱仪的工作开关，选择所需的工作模式和参数，如质谱仪的检测灵敏度、扫描范围等。
确保质谱仪处于正常工作状态。
6.根据需要，调整质谱仪的检漏灵敏度，以便检测到所需的泄漏量。
根据仪器的使用说明进行操作。
7.打开泄漏校正阀门，将氦气泄漏到所需的被测目标上，确保样品室的氦气泄漏量符合检测要求。
三、数据记录与分析1.在仪器的工作过程中，及时记录所检测的泄漏目标、泄漏位置等相关信息。
2.根据需要，记录氦质谱仪的检测结果，包括泄漏的大小、位置和泄漏速率等。
3.对于检测到的泄漏，进行合理的分析和评估，确定泄漏的性质、原因和危害程度，并采取相应的处理措施。
4.对于检测结果的分析和报告，及时向相关人员进行传达，确保泄漏问题得到及时解决。
四、仪器维护1.在使用氦质谱检漏仪之前，对仪器进行必要的清洁和维护，以确保仪器的正常运行。
2.定期检查仪器的电源线、氦气供应线、真空泵连接线等是否有松动或损伤，及时进行维修或更换。
3.定期校准仪器的检漏灵敏度，确保其准确性和可靠性。
4.清洁氦质谱检漏仪的各个部件，防止灰尘和杂质的积累影响仪器的检测性能。
MSE-2000R检漏仪中文说明书
请由二人从前后分 别用手抓住“※”标记的
位置进行搬运。
搬运时，请勿将手置于前盖的下方。
[ 注 意]
请勿在主机上方放置重物或坐于主机上方 如在主机上方放置重物或坐于主机上方，会导致主机罩盖变形•破损，影 响安全性，敬请注意。
-4-
[ 警 告]
MSE-2000R
保养•检查本装置时
本装置内部存在高压电(450 V)部分。为防止触电，在保养•检查本装置时， 请务必先关闭[POWER]开关并拔掉电源线，然后再卸下顶盖。
2)本说明书内容如有改动恕不另行通知。 3)本说明书内容力求准确，如有错误或遗漏敬请谅解。 4)本产品和维修零部件的供应期限为制造结束后 10 年。超出此供应期限之后，可
能无法供应维修零部件，敬请谅解。但是，非本公司原装的零部件，其供应期限 由该零部件的生产厂商规定。
-3-
MSE-2000R
[ 注 意]
9.输入输出系统 ..................................................................................................................... 47 9.1.记录仪输出 .............................................................................................................. 47 9.2.打印机（选购件） .................................................................................................. 49 9.3.RS-232C ................................................................................................................... 50 9.4.EXT-UNIT................................................................................................................ 55
氦质谱检漏仪使用说明
氨质谱检漏仪使用说明检漏仪及其真空系统的组成VARIAN959-50检漏仪检漏漏率范围从1X10* （毫升/秒）至lj 2X1 O'10（毫升/秒）（相当于30年漏1毫升）,它主要由质谱管、高真空泵、热偶规管、一系列按钮控制的阀、 测试接口、真空和漏率以及电路板等部分组成，其真空系统结构为（分子泵型）图1检漏仪真空系统结构图（分子泵型）指示， TC1V3-n-V6检漏仪开启后，VK V2 . V6阀打开，测试口与质谱管保持真空连接。
如果按下u VENT"键，放气阀V3打开，V1关闭，测试口处于大气状态，同时V2打开，使分子泵、质谱管和机械泵连通。
分子泵运行时，质谱管真空度要达到2X104TORR以上，才能给离子源灯丝加热。
检漏仪工作原理]<■（2340高斯）图2检漏仪工作原理图如果被检系统有微小漏孔，在小孔周围喷氨气时，总有部分氨原子会通过漏孔进入检漏仪接口，通过其真空系统扩散到质谱管。
质谱1%管是检漏仪核心组成部分，参见上图2,在电场和磁场作用下，灯丝 发射电子使气体电离，电离后带正电的离子通过聚焦和孔集中后，进 入分析磁场（磁场强度为2340高斯），由于受洛仑磁力作用，离子 会发生偏转，其它外界条件相同的情况下，偏转半径由带电粒子电量 与质量之比即荷质比决定，荷质比小的离子偏转半径小，荷质比大的 粒子偏转半径大，只有氮离子才能通过抑制小孔到达收集极，信号经 放大后，检漏仪报警。
三、控制和指示器功能说明： 序号 控制、指示器功能Vent Start Hold 和Test 按检漏仪开关时，控制各个阀的 钮 动作顺序显示测试口压力，单位millitorr 显示漏率，单位std cc/sec （标 准立方厘米每秒）,超过或低 于测 量量程，分别由上下端两 个发光二极管（LED ）“over 55和 “under 乃显示。
随“range 55 和 tfiHi-Lo Sensitivity ”档位选择不 同， X 10指数窗口将显示4、5、6、2 Pressure （压力指示）3 Leak rate （漏率指示）Coarse zero （粗调）Fil. Selector （灯丝选择）Fil. On - Off （灯丝开关）EMIS （发射控制）AUDIO （声音调节）CAL.（校准控制）漏率显示粗调二位开关选择灯丝1或灯丝2开关离子源灯丝通过改变灯丝电流来调节离子源电子发射调节检漏仪板警声音Range （量程选择）Zero （调零）FIL （灯丝指示）Hi vac ok （真空度ok ）Main power （主电源）Focus （聚焦）ION （离子源控制）Residual background （残余本底）量程选择共四个档位。
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加压罐压氦装置
图2 加压罐压氦装置的外部接通顺序： 写出设备外部条件的接通先后 顺序，操作方法，具体的参数等。 1、把加压罐、电阻真空计、真空泵、氦气瓶按要求连接。 2、检查加压罐的密封圈是否有损害， 加压罐进出阀门是否关闭不了； 真空泵是否有足够的泵油， 气镇阀旋钮是否处在关闭的位置； 氦气瓶 减压阀是否漏气现象。 3、确认所有应该注意的事项没有问题之后可以接电源通电。 重氟油粗检
图3 1、 查看温度检测线路和加热板线路没有破损。
2、 在油箱中加入适量的重氟油 3、 插上电源线，设定重氟油的温度进行加热处理，打开照明灯。
当温度达到要求即可用来粗检产品。 四、详细操作 启动检漏仪 1、 连接电源插头，打开检漏仪开关。 2、 机械泵开始启动。 3、 面板上的指示灯亮。 4、 液晶屏（ LCD ）显示如下信息：
化。如果在报废点之内则说明密封性合格， 如若有报警声响则说明该 点密封性不合格需要返修。 4、组件检完之后再按下检漏按钮当待机按钮灯亮之后即可取下组件。 (二)全检（背压法） 1、由于组件在加压罐和检漏盒中会受到一定的压力冲击，因此要用 一张无尘纸包裹住组件以免碰伤和组件内部元件受到冲击。 2、全检是要把产品先放在充满氦气的加压罐中施加绝对压力 0.2Mpa 的压力加压 4h。 加压罐装置如下图所示：
氦质谱检漏仪使用说明书
资产编号：
一、设备组成及工谱检漏仪
重氟油粗检装置 检漏盒
检漏托盘 氦气喷抢
型号： ZQJ-542
双级旋片真空泵 电阻真空计 氦气瓶
2、设备工作原理 检漏仪内部组成：氦质谱检漏仪主要由分子泵、质谱室、组合阀体， 机械泵以及控制电路板等组成。 检漏仪的工作原理： 氦质谱检漏仪是根据质谱仪学原理， 用氦气作为 搜索气体制成的气密性检测仪器。 ZQJ-542 检漏仪采用 180 度磁偏转质谱室， 钨制灯丝发射出来的电子 经过加速进入离化室， 在离化室内与残余气体分子和经被检件漏孔进 入离化室的氦气互相碰撞使其电离成正离子， 这些离子在加速电场作 用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，由于不同质量数（ m/e） 的离子其偏转半径不同， 这样就将不同的离子分离开了。 由于磁场参
数是固定的， 只有调节加速压力就可以改变氦离子的偏转半径， 使氦 离子正好通过隔离板上的窄缝打到放大器入口，这样就使氦离子 （m/e=4）与其他离子分开了。 氦离子流正比于容器中氦分压。 因此， 对氦离子的测量可以用来确定被检件的漏率。 二、设备工作外部条件
氦质谱检漏仪电源电压 220V 频率 50HZ 额定功率 2000W。仪 器应安装在符合仪器使用的环境要求的场所，特别是仪器的电源插 座，应符合要求，要有良好的地线，左右要留有 30CM 的通风间距。
放置好检漏仪，以避免仪器有倾斜或倾倒的危险。 检漏仪的底部有安装孔，可以将其固定在桌子或支架上。 在仪器运行前要确保真空泵中的机械泵油是否足够， 机械泵油必 须用专用的针对机械泵型号的油。 三、设备工作外部条件接通操作 氦质谱检漏仪
图1 检漏仪的机械泵有足够的机械泵油； 保证机体内分子泵、 机械泵、 真高空组件各连接顺畅；电源线线路没有破损，有良好的接地。 检漏仪要放平稳，不能倾斜，检漏仪底面要有一层防静电布。
4 所示
被检件可以被连接 在真空管路上？
被 检件可以 被抽真 空？
是
被检件可以被抽真 空？
是
全检（背压法）
是
半检漏（喷氦法）
（一）半检漏（喷氦法）的详细步骤： 1、插上电源，打开检漏仪总开关。等待 2 到 3 分钟，当听到一阵风 鸣声之后说明检漏仪已完全启动。 2、查看检漏仪装置确保检漏参数未被更改，检漏仪运行正常。打开 检漏仪盲孔， 选择合适大小的检漏托盘和密封橡胶板。 用无尘布沾上 酒精擦拭下密封孔处， 把检漏托盘装在检漏口上， 在放密封橡胶板时 也要用沾上酒精的无尘布擦拭一遍； 然后涂上一层高真空硅脂； 最后 密封橡胶板对准检漏托盘中间的小孔紧密贴合放在检漏托盘上。 3、如图把组件未封盖面放在检漏孔的正上方处，手指轻轻的按压组 件背面。在组件的四周面用沾有酒精的棉签涂上一层， 然后点击检漏 按钮进行漏率检测。 等漏率值稳定之后， 拿装好氮气的喷枪尽可能的 靠近组建前后端子处一个个的进行喷气， 这是漏率值都会有相应的变
PLEASE WAIT HIGH. AC PUMP: 1%
当分子泵达到正常转速（ 100%）后， LCD 显示：
PLEASE WAIT
HIGH. AC PUMP: OK
FILAMENT RAMP UP
#2
PLEASE WAIT 00:09
当灯丝检测、加电完毕后，系统进入待机状态：
READY FOR CYCLE
写出设备的详细操作步骤， 列出典型的工艺参数设置； 如果需要 编制程序，写出简要的编程过程和要领。 1、 2、 … 五、设备工作外部条件关断操作 （一）关闭检漏仪 仪器可以在任何情况关闭， 但是建议如果检漏仪长时间不用， 需要遵 循下面的步骤进行关闭！ 1、 在检漏口上堵上盲板。 2、 按下检漏按钮，使检漏仪处于检漏状态。 3、 等到漏率达到最小可检漏率状态。 4、 确认放气阀处于手动关闭。 5、 按下检漏键停止检漏。 6、 关闭检漏开关。 （二）重氟油检漏 关闭照明， 加热拔下插头切断电源； 当重氟油检漏长期不用时可等油 冷却之后重新装入油桶里储存。 （三）加压罐 工作完成后关闭氦气减压阀，并把减压阀两个表中的气体排尽。 六、外部工作条件异常处理
INLET VENT:
ON
如果检漏仪存放一段时间后的启动
如果检漏仪长时间不用后， 再次开机会增加一额外的启动时间用来排
出系统内的气体。此时屏幕显示如下图所示：
PLEASE W AIT
Storage days:
Delay(mini:s):
08:40
ABORT? PRESS RESET
检漏方法概述 根据被检件和测量精度要求，选择合适的测量方法，如下图
3、在检漏仪的检漏孔处把检漏盒装好，把组件放入检漏盒中盖好盖 板。进行检漏。检漏过程中不能揭开盖板。 4、将在检漏仪上检漏合格的组件，还需要经过氟油检漏装置进行进 一步的检漏。主要原因是担心有些组件的漏率合格在检漏仪抽真空 时，如果产品有很大的漏孔，会把产品中泄露的氦气也抽走，从而影 响检测的结果因此才进行氟油粗检。 氟油粗检的时候通过肉眼观察气 泡的泄露情况即可最终判断该组件的漏率是否合格。 5、氟油检漏之后，带上高温手套把组件从氟油中拿出来，冷却。