氦质谱检漏仪操作规程
氦检漏程序
Revision修订号：1Procedure For Helium Leak Test氦检漏程序Page页码：1 of 41General概述This specification covers the procedure of helium leak test.本规程规定了氦检漏的操作规程。
2Notes注意事项2.1Helium is lighter than air and can cause choking. The operator should pay attention to self-protection.氦气比空气轻且能令人窒息，操作人员应注意自我防护。
2.2The test site should be dry, lightful, with no airflow or electromagnetic disturbances.试验场地应干燥，光线明亮，无明显的气流和电磁场等外界干扰。
2.3The test site environmental humidity should be less than 75%; the test site environmental temperature shallnot be lower than 15.6 ℃ when the equipment needs to be vacuumed.试验场地环境湿度应＜75%，待设备需抽真空时，试验场地环境温度不低于15.6℃。
2.4All of the components shall be verified that they can withstand the pressure, vacuum or heating during thetest.应确认待检设备的所有组件可承受试验过程的增压、保压、真空或加热干燥。
2.5Helium leak test to be carried out prior to hydro-test.氦检漏应在设备耐压试验前进行。
氦气检漏仪的使用方法
氦气检漏仪的使用方法氦气检漏仪，是一种常用的检测腐蚀、泄漏、堵塞等问题的专业设备。
它不仅可以用于各种类型的管道、气体罐、化学反应器等设备的检测，也可以用于检测制冷设备、真空系统、气压设备等。
正确使用氦气检漏仪能够帮助工程师、技术员快速地址各种问题，提高生产效率和安全性。
下面，将为大家介绍氦气检漏仪的使用方法，帮助大家更好地进行氦气检漏工作。
一、准备工作1、检查仪器在使用检漏仪之前，需要对仪器进行检查，确认其是否操作正常。
主要检查以下几个部分：(1) 电源是否正常。
(3) 漏探是否插入正确位置。
(4) 外露部分是否出现磨损、老化等情况。
2、准备氦气氦气一般需要在专业厂家购买，推荐使用纯度高于99.99%的氦气。
在使用前，需要检查氦气瓶的压力是否正常，有无泄漏等情况。
3、准备管道需要将待检测的管道进行准备，包括多个方面：(1) 取下管道上的盖子等遮挡物。
(2) 擦拭管道表面的灰尘、油污等杂质。
(3) 检查各个连接口是否紧密，有无松动。
(4) 在管道上确定好检测点，标记好以便操作人员查找。
二、使用步骤1、将氦气接入漏探装置将高纯度氦气连接至漏探装置的进气口，确保氦气源的正常压力。
通常，氦气缸的输出压力为6.5公斤/平方厘米，需要根据实际情况进行调整。
2、连接漏探和检漏仪将漏探和检漏仪连接好，并确认连接口是否稳固，不会造成泄漏。
3、开启检漏仪将检漏仪开启，并选择相应的氦气流量和检测灵敏度。
通常情况下，氦气流量需要根据应用场合的管道直径、长度、漏点大小等因素调整。
4、开始检测在漏探装置内产生氦气气体，然后将漏探移动至管道上的检测点，当气体从管道漏出或通过管道壁漏出时，就会被漏探检测到。
此时，检漏仪会发出响声或者闪烁指示灯，提示检测到管道漏点位置。
5、确定漏点位置在检测到漏点后，需要在管道上进行标记，以便进行维修或更换等操作。
6、结束检测在检测完毕后，需要关闭氦气的进气口。
断开氦气源和漏探装置的连接，并将仪器放回原位置。
氦质谱检漏仪使用说明资料
加压罐压氦装置
图2 加压罐压氦装置的外部接通顺序： 写出设备外部条件的接通先后 顺序，操作方法，具体的参数等。 1、把加压罐、电阻真空计、真空泵、氦气瓶按要求连接。 2、检查加压罐的密封圈是否有损害， 加压罐进出阀门是否关闭不了； 真空泵是否有足够的泵油， 气镇阀旋钮是否处在关闭的位置； 氦气瓶 减压阀是否漏气现象。 3、确认所有应该注意的事项没有问题之后可以接电源通电。 重氟油粗检
图3 1、 查看温度检测线路和加热板线路没有破损。
2、 在油箱中加入适量的重氟油 3、 插上电源线，设定重氟油的温度进行加热处理，打开照明灯。
当温度达到要求即可用来粗检产品。 四、详细操作 启动检漏仪 1、 连接电源插头，打开检漏仪开关。 2、 机械泵开始启动。 3、 面板上的指示灯亮。 4、 液晶屏（ LCD ）显示如下信息：
化。如果在报废点之内则说明密封性合格， 如若有报警声响则说明该 点密封性不合格需要返修。 4、组件检完之后再按下检漏按钮当待机按钮灯亮之后即可取下组件。 (二)全检（背压法） 1、由于组件在加压罐和检漏盒中会受到一定的压力冲击，因此要用 一张无尘纸包裹住组件以免碰伤和组件内部元件受到冲击。 2、全检是要把产品先放在充满氦气的加压罐中施加绝对压力 0.2Mpa 的压力加压 4h。 加压罐装置如下图所示：
氦质谱检漏仪使用说明书
资产编号：
一、设备组成及工谱检漏仪
重氟油粗检装置 检漏盒
检漏托盘 氦气喷抢
型号： ZQJ-542
双级旋片真空泵 电阻真空计 氦气瓶
2、设备工作原理 检漏仪内部组成：氦质谱检漏仪主要由分子泵、质谱室、组合阀体， 机械泵以及控制电路板等组成。 检漏仪的工作原理： 氦质谱检漏仪是根据质谱仪学原理， 用氦气作为 搜索气体制成的气密性检测仪器。 ZQJ-542 检漏仪采用 180 度磁偏转质谱室， 钨制灯丝发射出来的电子 经过加速进入离化室， 在离化室内与残余气体分子和经被检件漏孔进 入离化室的氦气互相碰撞使其电离成正离子， 这些离子在加速电场作 用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，由于不同质量数（ m/e） 的离子其偏转半径不同， 这样就将不同的离子分离开了。 由于磁场参
氦质谱检漏试验方法
氦质谱检漏试验是一种常用的无损检测方法，主要用于检测设备或容器的密封性能。
其基本原理是通过氦气的渗透或压力差，检测设备或容器的漏气情况，从而判断其密封性能的好坏。
氦质谱检漏试验方法一般包括以下几个步骤：
1.准备测试设备：将待检设备或容器进行清洗和干燥处理，确保表面干净无油污和杂质。
2.安装氦质谱检漏仪：将氦质谱检漏仪安装到测试设备上，并连接好气源和检漏探头。
3.进行氦质谱检漏测试：在测试设备的接口处注入氦气，并通过检漏探头监测氦气泄漏的情况。
氦气泄漏的情况可以通过氦质谱检漏仪的显示屏或声音提示来判断。
4.分析测试结果：根据测试结果，判断设备或容器的密封性能是否符合要求，并确定是否存在漏气问题。
需要注意的是，氦质谱检漏试验需要在无风的环境下进行，以避免氦气的外泄。
同时，氦质谱检漏试验也不能完全替代其他检漏方法，应根据实际情况选择合适的检测方法。
氦质谱检漏仪操作规程
氦质谱检漏仪操作规程一、仪器准备1.确认氦质谱检漏仪的各个部件是否完好并连接良好，包括样品室、氦质谱仪、真空泵等。
2.检查氦气供应，确保氦气的储罐或瓶体已经安装好，并且压力稳定。
3.检查真空泵的状态，确认真空泵已经安装好并连接到氦质谱检漏仪上，并连接好电源。
4.确保仪器的电源线已经接通，并开启电源。
二、仪器操作顺序1.打开氦质谱检漏仪的电源开关，待仪器启动后，将仪器调至待机状态，等待稳定。
2.打开真空泵电源开关，将真空泵开始抽空样品室。
观察真空泵的压力表，确保真空泵的抽空状态良好。
3.打开氦气供应开关，将氦气注入样品室，以提高样品室的压力。
观察氦气的进入情况，并通过泄漏口校正阀门进行调整。
4.将样品室的压力调至所需的工作压力范围内（通常为0.1至1000毫巴），并通过仪表读数进行确认。
5.打开氦质谱仪的工作开关，选择所需的工作模式和参数，如质谱仪的检测灵敏度、扫描范围等。
确保质谱仪处于正常工作状态。
6.根据需要，调整质谱仪的检漏灵敏度，以便检测到所需的泄漏量。
根据仪器的使用说明进行操作。
7.打开泄漏校正阀门，将氦气泄漏到所需的被测目标上，确保样品室的氦气泄漏量符合检测要求。
三、数据记录与分析1.在仪器的工作过程中，及时记录所检测的泄漏目标、泄漏位置等相关信息。
2.根据需要，记录氦质谱仪的检测结果，包括泄漏的大小、位置和泄漏速率等。
3.对于检测到的泄漏，进行合理的分析和评估，确定泄漏的性质、原因和危害程度，并采取相应的处理措施。
4.对于检测结果的分析和报告，及时向相关人员进行传达，确保泄漏问题得到及时解决。
四、仪器维护1.在使用氦质谱检漏仪之前，对仪器进行必要的清洁和维护，以确保仪器的正常运行。
2.定期检查仪器的电源线、氦气供应线、真空泵连接线等是否有松动或损伤，及时进行维修或更换。
3.定期校准仪器的检漏灵敏度，确保其准确性和可靠性。
4.清洁氦质谱检漏仪的各个部件，防止灰尘和杂质的积累影响仪器的检测性能。
安全操作规程-氦质谱检漏仪
SFJ-261氦质谱检漏仪安全操作规程
一、目的
通过了解设备工作原理、技术参数、使用操作步骤、HSE提示与注意事项同、常见故障处理。
以保障设备和人员的安全及正常运行。
二、适用范围
本规程适用于公司SFJ-261氦质谱检漏仪
三、工作原理
氦质谱检漏仪是根据光谱学原理，用氢气作探索气体制成的气密性监测仪器。
四、技术参数
五、使用操作步骤
1、启动
2、参数设定
3、音量设定
4、标漏的设定
5、滤波方式设定
6、检漏模式
7、校零模式 8、机器因素
9、单位设定 10、通讯设定
11、输出设定 12、时间设定
六、HSE提示，注意事项
1、使用仪器确保仪器可靠接地，严禁在没有接地的情况下使用。
2、仪器附近无强磁场干扰，无剧烈震动，无腐蚀性气体；室内要良好通风，以氦气干扰。
3、启动时最好不要让检漏口与大气直通，建议使用专用堵头堵住。
七、常见事故处理。
氦质谱检漏仪使用说明
氨质谱检漏仪使用说明检漏仪及其真空系统的组成VARIAN959-50检漏仪检漏漏率范围从1X10* （毫升/秒）至lj 2X1 O'10（毫升/秒）（相当于30年漏1毫升）,它主要由质谱管、高真空泵、热偶规管、一系列按钮控制的阀、 测试接口、真空和漏率以及电路板等部分组成，其真空系统结构为（分子泵型）图1检漏仪真空系统结构图（分子泵型）指示， TC1V3-n-V6检漏仪开启后，VK V2 . V6阀打开，测试口与质谱管保持真空连接。
如果按下u VENT"键，放气阀V3打开，V1关闭，测试口处于大气状态，同时V2打开，使分子泵、质谱管和机械泵连通。
分子泵运行时，质谱管真空度要达到2X104TORR以上，才能给离子源灯丝加热。
检漏仪工作原理]<■（2340高斯）图2检漏仪工作原理图如果被检系统有微小漏孔，在小孔周围喷氨气时，总有部分氨原子会通过漏孔进入检漏仪接口，通过其真空系统扩散到质谱管。
质谱1%管是检漏仪核心组成部分，参见上图2,在电场和磁场作用下，灯丝 发射电子使气体电离，电离后带正电的离子通过聚焦和孔集中后，进 入分析磁场（磁场强度为2340高斯），由于受洛仑磁力作用，离子 会发生偏转，其它外界条件相同的情况下，偏转半径由带电粒子电量 与质量之比即荷质比决定，荷质比小的离子偏转半径小，荷质比大的 粒子偏转半径大，只有氮离子才能通过抑制小孔到达收集极，信号经 放大后，检漏仪报警。
三、控制和指示器功能说明： 序号 控制、指示器功能Vent Start Hold 和Test 按检漏仪开关时，控制各个阀的 钮 动作顺序显示测试口压力，单位millitorr 显示漏率，单位std cc/sec （标 准立方厘米每秒）,超过或低 于测 量量程，分别由上下端两 个发光二极管（LED ）“over 55和 “under 乃显示。
随“range 55 和 tfiHi-Lo Sensitivity ”档位选择不 同， X 10指数窗口将显示4、5、6、2 Pressure （压力指示）3 Leak rate （漏率指示）Coarse zero （粗调）Fil. Selector （灯丝选择）Fil. On - Off （灯丝开关）EMIS （发射控制）AUDIO （声音调节）CAL.（校准控制）漏率显示粗调二位开关选择灯丝1或灯丝2开关离子源灯丝通过改变灯丝电流来调节离子源电子发射调节检漏仪板警声音Range （量程选择）Zero （调零）FIL （灯丝指示）Hi vac ok （真空度ok ）Main power （主电源）Focus （聚焦）ION （离子源控制）Residual background （残余本底）量程选择共四个档位。
氦质谱检漏仪操作规程
氦质谱检漏仪操作规程氦质谱检漏仪操作规程一、检漏仪的常见故障及解决方法1. 漏气检测灵敏度低：检查氦气输送管道是否有泄漏，检查检漏仪保护罩是否安装正确，调整检漏仪探头的距离和角度。
2. 漏气检测结果不准确：检查检漏仪背景读数，并进行零点校准，检查漏气点的位置和状态，并使用带有氦气充装的喷嘴重新检测。
3. 检漏仪电源不工作：检查电源插头是否正确插入，检查电池是否安装正确并充电。
二、检漏仪的基本操作步骤1. 准备工作：将漏气检测仪连接到氦气供应系统，并将氦气气瓶连接到检漏仪上。
确保电源正常工作并充电。
2. 打开电源：按下电源按钮，检漏仪将开始初始化并显示相关信息。
3. 调节检测灵敏度：根据需要，通过调节检漏仪的灵敏度按钮来调整检测灵敏度。
通常，灵敏度越高，检测结果越准确，但也容易产生误报。
4. 零点校准：在开始检测之前，需要进行零点校准。
将检漏仪放在一个无气体泄漏的环境中，按下零点校准按钮进行校准。
5. 检测漏气点：将检漏仪探头靠近怀疑泄漏的部位，检测仪将开始收集氦气并进行分析。
过程中需要保持探头和被检测区域的距离适当，通常为5-10厘米。
6. 分析检测结果：检漏仪将显示漏气点的读数，并根据设定的报警值发出警报。
如果不确定结果，可以反复检测或调整探头位置。
7. 关闭电源：检测结束后，按下电源按钮关闭检漏仪，并将氦气源关闭。
三、检漏仪的安全使用注意事项1. 禁止将氦气直接吸入：氦气是惰性气体，但高浓度的氦气对人体有害。
在操作时应注意不要将氦气直接吸入，尽量避免长时间暴露在氦气环境中。
2. 避免氦气泄漏：在连接氦气供应系统时，要确保连接处紧固，避免氦气泄漏。
在检测过程中，检漏仪背景读数应为零，否则可能存在氦气泄漏，需要重新检查连接处。
3. 防止电源故障：在使用检漏仪时，应定期检查电源插头和电池的状态，确保电源正常工作。
在使用过程中，尽量避免电源过载或短路等故障。
4. 妥善保管和维护：使用完毕后，应将检漏仪存放在干燥、通风的地方，避免受潮或暴露在高温环境中。
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氦质谱检漏仪操作规程
氦质谱检漏仪菜单介绍
1启动：将检漏仪用专用堵头堵住，接通电源，按下电源到“—”的位置，仪器加电。
设备显示启动会出现厂商的logo图案。
数秒后会进入监测画面包括启动已用时间（显示从加电到当前所用的时间）；检漏口压力（检漏口的压力）；排气口压力（分子泵排气口压力）；报警阀值（显示报警设定值）。
启动完成后会显示检漏模式（指示当前捡漏的工作状态）；检漏口压力；排气口压力；报警音量（显示报警时喇叭的音量）报警阀值；漏率（显示当前质谱室的本地漏率）；待检产品编号（点击后面数字可以对检漏产品进行编号。
禁止输入空格）。
如果有异常则会自动进入报警窗口（显示报警代码和具体信息）。
注意：如果仪器是第一次使用或者停用很久时间，质谱室内残存气体比较多可能导致启动时间较长，启动时最好不要让检漏口与大气直通，建议使用专用堵头堵住。
2参数设定：在待机下选择点击“扳手螺丝刀”图标进入密码验证，点击密码区域，进入密码验证。
密码分为低级密码和高级密码。
不同密码等级进入的画面会有所不同，低级密码是客户进入参数设置区域，高级密码是厂家进入参数设置区域（不建议客户进入修改）。
输入正确低级密码进入系统设置分别为报警阀值；捡漏模式；检漏精度；滤波方式；校准设置；音量；显示范围；单位；通讯；校零模式；SYS继电器;语言设置。
输入正确高级密码进入系统设置分别为机器因数；高压设定；分子泵设定；背景抑制；报警记录。
3报警阀值设定：进入报警阀值图标会出现，会出现报警阀值（设定此值后如实际漏率值大于此值的报警值则报警）；报警延时（设定秒数可以延时报警。
）报警继电器（禁止输出；发生报警不允许输出继电器动作。
允许输出；发生报警允许输出继电器动作。
）；当前使能通道（选中通道如报警阀值2后，则系统设置中“数据查看”中漏率值一列为此通道报警阀值2所设的值，“数据查看”测试结果）根据实际漏率值大于此通道报警阀值2值则为NG,小于此道通值则为ok。
4音量设定：按下音量选项进入画面有音量；模式（选择普通或渐强）、停止时报警(禁止或允许)等功能。
5仪器校准：仪器在停机或待机状态下进入系统设置选项，按下“校准设置”，进入选择标漏类型（外置标漏不带开关、外置标漏带开关、内置标漏、外置标漏时，建议使用外置标漏不带开关进行标定，内置标漏是使用检漏仪内部子标漏进行标定）；标漏漏率（根据校准标漏上标称的数值，输入标漏值即可，注意标漏单位。
）；漏孔测试：开、关，设置为“开”时，内置标漏定标结束后按开始键，仪器自动检测内置标漏值，验证定标数值。
真空定标按“真空标漏”进行真空标漏自动校准。
吸枪定标时按“吸枪校准设定”进入参数设置，第一行数字为吸枪定标的标漏值，吸枪定标时，将此值设定为标准漏孔值。
“吸枪堵压力”检测吸枪堵得标准值。
“吸枪漏压力”检测吸枪漏的压力值。
按“吸枪标漏”进行标定，点击会进入定标中，先将吸枪对准漏孔，待信号值稳定后按“采集信号”按钮，然后将吸枪远离漏孔，待本底值稳定，即“信号”显示数值稳定，按“采集本底”按钮，吸枪标定结束。
6滤波方式设定；仪器在停机或待机状态下进入系统设置的选项，按下“滤波方式”，进入选择滤波方式，有动态滤波（动态滤波精度高，但响应速度略慢）；静态滤波（静态滤波波动稍大，但速度快。
）
7捡漏模式：仪器在停机或待机状态进入系统设置的选项，按下“捡漏模式”，进入画面。
捡漏模式（真空模式、吸枪模式。
真空模式中有喷氦模式、背压模式，真空模式为负压检漏，吸枪模式为工件正压检漏）。
停止模式（停止放气、停止不放气，停止时检漏口是否放气）。
灯丝模式（auto、灯丝1、灯丝2，改变参数后仪器须关机重启生效）。
检测周期（设置为“0”时，仪器检测时间不受限制，手动控制停止；设置为其它数字时，时间到仪器自动停止。
）精简压力（检漏仪开V4阀时检漏口压力）。
延时记录（仪器处于主界面延时多长时间且仅记录一次数据，检测周期非零时必修不小于延时记录时间）。
8校零模式：仪器在停机或待机状态下进入系统设置选项，按下“校零模式”，进入。
校零模式（自动：检漏阀打开后等待时间到后，系统自动进入校零模式，自动本底扣除。
手动：需按面板上的“调零”才可以进入本底扣除方式。
时间：在自动模式下，等待此时间后进入本底扣除方式。
）校零量级（进入本底扣除模式后，零点显示值为扣除本底前值的指数减去此设定值。
）零点模式（量级控制：进入调零模式后，零点显示值为扣除本底前值得指数减去校零量级；设定值：进入调零后，零点显示值为设定值）。
9机器因数：仪器在停机或待机状态下进入系统设置的选项，有“真空模式”和“吸枪模式”通过点击数字改变参数。
真空模式和吸枪模式机器因数仪器默认为“1”。
10单位设定：仪器在停机或待机状态下进入系统设置的选项，按下“单位设定”有“漏率”单位和“真空单位”
11通讯设定：仪器在停机或待机状态下进入系统设置的选项，按下“通讯设定”，选择串口1或串口2.波率特性等。
12：输出设定：仪器在停机或待机状态下进入系统设置的选项，真空度继电器（根据采集检漏口真空度与设定输出开关量）；真空度继电器2；真空度继电器输出使能：是否让真空度的状态量在I/0输入输出接口输出。
13：时间设定：调节日期
14：密码设定：密码设定，输入新设置的低级密码。
15：检漏精度：仪器在停机或待机状态下进入系统设置的选项，按下“检漏精度”分为自动、高、中、低，选择不同的精度仪器开启不同的检漏阀，无特别需求建议设置“自动”
16显示范围：仪器在停机或待机状态下进入系统设置的选项，按下“显示范围”，真空模式、吸枪模式后面的数值为模式下的下限值。
检漏精度（数值是显示漏率小数点后面几位数。
17SYS继电器：仪器在停机或待机状态下进入系统设置的选项，按下“SYS继电器”继电器输出使能（禁止、允许仪器漏率报警和状态输出控制）；模拟量输出方式（线性、指数，仪器漏率输出方式）
18除此之外还有语言设置、外部控制等内容。
氦质谱检漏仪操作步骤
1检漏（喷吹法）：仪器在停机或待机状态下，按下“开始”键，等待仪器给工件抽真空，进入抽空中，如果V1阀打开了，可以对工件喷氦检大漏；V3阀打开，可以对工件检中漏，V4阀打开，可以对工件检微漏。
，进入检漏主界面，此时可以对被测工件进行喷氦检漏，漏率的数值在漏率指示器显示。
点击屏幕右上角触摸键“图形”进入漏率曲线画面。
2标漏校准：将标漏口，仪器在待机状态下进入系统设置的选项，按下“校准设置”，进入如下，根据校准标漏上显示的数值，输入标漏值即可，注意标漏的单位Pa·m³/S。
输入完成后按“返回”键设定别的参数，也可按下“真空标漏”进行标漏校准进入真空模式标定。
（注：吸枪校准按“吸枪校准设定”进入参数设定后，按“吸枪标漏”进行吸枪校准。
）等待机器自动采集信号、采集本底然后定标完成回到待机画面。
漏孔测试设置为“开”时，返回待机状态后第一次按“开始”键，是对内置标漏进行检测验证。
3系统状态：点击屏幕的左下角“齿轮”图案触摸键，进入系统状态界面，查看检漏仪当前参数设置、各项指标状态。
4数据管理：进入参数设置后，按“数据查看”图标进入画面如下：数据下载：在检漏口的外部接口USB 接下U盘，确认后即可对检漏仪数据进行下载。
数据删除按下删除键进行删除
5调零：仪器处于检漏状态，可按下“调零”键可扣除当前本底信号，使仪器指示的读书为绝对漏率
6停止：在待机或检漏状态下。
按下“停止”键即可使仪器进入停止状态，长按设定键可打开放气阀对检漏口放入空气，以便更换检测的工件。
7：停机断电:检漏完成后确定仪器显示停机或待机状态下，将检漏口有专用堵头堵上即可，按下机箱后的电源按钮关闭电源，拔出电源插头。