氦质谱检漏仪使用说明教材
氦质谱检漏仪操作规程(3篇)
第1篇一、概述氦质谱检漏仪是一种用于检测气体泄漏的高效、精确的仪器，广泛应用于真空系统、半导体设备、化工、科研等领域。
为确保操作人员的人身安全和仪器的正常运行，以下为氦质谱检漏仪的操作规程。
二、操作前的准备工作1. 环境检查：确保操作环境安全，通风良好，无腐蚀性气体。
2. 设备检查：检查氦质谱检漏仪外观是否完好，电源线、连接线等是否完好无损。
3. 仪器预热：打开仪器电源，预热30分钟以上，使仪器达到工作状态。
4. 参数设置：根据检测需求，设置合适的检测参数，如漏率阈值、扫描时间等。
三、操作步骤1. 连接仪器：将氦气源、抽气系统、波纹管等连接至氦质谱检漏仪，确保连接牢固。
2. 真空系统连接：将氦质谱检漏仪连接至待检测的真空系统，确保连接正确无误。
3. 设置检测参数：根据待检测系统的真空度、漏率等要求，设置合适的检测参数。
4. 启动检测：开启氦气源，调整流量至合适范围，启动检测程序。
5. 观察检测结果：仔细观察仪器显示屏，根据漏率值、泄漏位置等信息，判断是否存在泄漏。
6. 记录数据：将检测结果记录在检测记录表中，包括检测时间、漏率值、泄漏位置等。
四、注意事项1. 安全操作：操作过程中，注意个人防护，佩戴防护手套、眼镜等。
2. 防止误操作：熟悉仪器操作流程，避免误操作导致仪器损坏或安全事故。
3. 注意仪器保养：定期对仪器进行清洁、保养，确保仪器性能稳定。
4. 氦气处理：使用完氦气后，关闭氦气源，确保氦气排放到安全区域。
5. 设备维护：定期对仪器进行校准、维护，确保检测结果的准确性。
五、操作结束后的工作1. 关闭仪器：检测结束后，关闭氦气源、抽气系统等，断开电源。
2. 清理现场：清理操作现场，确保无安全隐患。
3. 整理记录：整理检测记录，归档保存。
六、附录1. 氦质谱检漏仪操作流程图2. 氦质谱检漏仪常见故障及排除方法通过以上操作规程，可以确保氦质谱检漏仪的正确使用，提高检测效率，确保检测结果的准确性。
231B-02(氦质谱检漏仪说明书)
版本：V2.0 / 2014.4
SFJ-231
氦质谱检漏仪
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1 1.1 2 3 3.1 3.2 4 4.1 4.2 4.3 4.4 4.5 5 5.1 5.2 5.3 6 6.1 6.2 6.3 6.4 7 8 8.1 8.2 9 前言 ........................................................ - 1 图标约定 .................................................... - 1 概述 ........................................................ - 2 仪器性能指标 ................................................ - 3 使用环境 .................................................... - 3 性能参数 .................................................... - 4 仪器简介 .................................................... - 5 仪器气路系统 ................................................ - 5 仪器电子系统 ................................................ - 6 系统工作流程 ................................................ - 7 仪器面板 .................................................... - 9 仪器外部接口 ................................................ - 9 仪器操作 ................................................... - 13 基本操作说明 ............................................... - 13 检漏（喷吹法） ............................................. - 31 其他检漏方法操作 ........................................... - 36 维护 ....................................................... - 37 漏率校准 ................................................... - 37 机械泵保养 ................................................. - 37 分子泵维护 ................................................. - 37 质谱管及离子源清洗 ......................................... - 38 常见故障和处理 ............................................. - 39 附录 ....................................................... - 42 通讯协议 ................................................... - 42 仪器外形尺寸 ............................................... - 47 售后服务 ................................................... - 48 -
莱宝氦质谱仪中文操作说明书
目录1. 一般介绍 ...........................................................................................................................................1.1 本手册使用中的注释......................................................................................................................1.1.1 安全符号 ......................................................................................................................................1.1.2 表示法 ..........................................................................................................................................1.1.3 真空工艺符号 ..............................................................................................................................1.1.4 术语定义 ......................................................................................................................................1.2 莱宝的服务支持 .............................................................................................................................1.3 引言 .................................................................................................................................................1.3.1 用途 ..............................................................................................................................................1.3.2 技术数据 ......................................................................................................................................1.3.2.1 PhoeniXL300物理数据 .............................................................................................................1.3.2.2 电气数据 ...................................................................................................................................1.3.2.3 其它数据 ...................................................................................................................................1.3.2.4 环境 ...........................................................................................................................................1.3.2.5 PhoeniXL300 dry物理数据.......................................................................................................1.3.2.6 电气数据 ...................................................................................................................................1.3.2.7 其它数据 ...................................................................................................................................1.3.2.8 环境 ...........................................................................................................................................1.3.2.9 PhoeniXL300 Modul物理数据..................................................................................................1.3.2.10 电气数据 .................................................................................................................................1.3.2.11 其它数据..................................................................................................................................1.3.2.12 环境 .........................................................................................................................................1.4 拆箱 .................................................................................................................................................1.4.1 提供的设备 ..................................................................................................................................1.4.2 附件和选用件 ..............................................................................................................................1.4.2.1 吸气线SL300 ............................................................................................................................1.4.2.2 手机 ...........................................................................................................................................2. 安装 ...................................................................................................................................................2.1 工作场所 .........................................................................................................................................2.2 电气连接 .........................................................................................................................................2.2.1 系统供电 ......................................................................................................................................2.2.2 数据采集系统的连接...................................................................................................................2.2.2.1 选项（附件）............................................................................................................................2.2.2.2 数字输出 ...................................................................................................................................2.2.2.3 数字输入 ...................................................................................................................................2.2.2.4 记录器 .......................................................................................................................................2.2.2.5 RS232..........................................................................................................................................2.2.2.6 手机 ...........................................................................................................................................2.3 真空连接 .........................................................................................................................................2.3.1 吸入口 ..........................................................................................................................................2.3.2 排气口 ..........................................................................................................................................2.3.3 放气 ..............................................................................................................................................2.3.4 气镇连接 ......................................................................................................................................2.4 缺省设置 .........................................................................................................................................3. 首次运行检查 ...................................................................................................................................3.1 必须的设备 .....................................................................................................................................3.2 初次运行概述 .................................................................................................................................3.2.1 启动和测量 ..................................................................................................................................3.2.2 内部校准 ......................................................................................................................................3.2.3 检验 ..............................................................................................................................................4. 工作原理 ...........................................................................................................................................4.1 引言 .................................................................................................................................................4.1.1 PhoeniXL300真空系统 ................................................................................................................4.1.1.1 PhoeniXL300 dry真空系统.......................................................................................................4.1.1.2 PhoeniXL300 Modul真空系统..................................................................................................4.1.2 控制面板 ......................................................................................................................................4.1.2.1 液晶显示器 ...............................................................................................................................4.1.2.2 START（启动）按钮 ................................................................................................................4.1.2.3 STOP（停止）按钮...................................................................................................................4.1.2.4 ZERO（调零）按钮 ..................................................................................................................4.1.2.5 MENU（莱单）按钮.................................................................................................................4.1.2.6 软键 ...........................................................................................................................................4.1.2.7 数字输入 ...................................................................................................................................4.1.3 真空法 ..........................................................................................................................................4.1.4 分流法 ..........................................................................................................................................4.1.5 吸气模式 ......................................................................................................................................4.1.6 手机控制 ......................................................................................................................................4.1.7 手机上显示器 ..............................................................................................................................5. Phoenix的使用 ..................................................................................................................................5.1 显示器 .............................................................................................................................................5.2 起动模式下屏幕 .............................................................................................................................5.3 待机模式下显示器..........................................................................................................................5.3.1 气镇 ..............................................................................................................................................5.4 测量模式下屏幕 .............................................................................................................................5.4.1 调出校准 ......................................................................................................................................5.4.2 扬声器音量 ..................................................................................................................................5.4.3 显示器上状态行...........................................................................................................................5.4.4 数字显示模式 ..............................................................................................................................5.4.5 趋势模式 ......................................................................................................................................6. 莱单简介 ...........................................................................................................................................6.1 主菜单 ..............................................................................................................................................6.2 视图 .................................................................................................................................................6.2.1 标尺线性/对数 .............................................................................................................................6.2.2 显示范围自动/手动 .....................................................................................................................6.2.3 时间轴 ..........................................................................................................................................6.2.4 对比度 ..........................................................................................................................................6.2.5 待机模式下本底...........................................................................................................................6.2.6 显示下限 ......................................................................................................................................6.3 模式 .................................................................................................................................................6.4 触发器和报警 .................................................................................................................................6.4.1 触发电平1 ...................................................................................................................................6.4.2触发电平2 ....................................................................................................................................6.4.3触发电平3 ....................................................................................................................................6.4.4 单位 ..............................................................................................................................................6.4.5 音量 ..............................................................................................................................................6.4.6 报警延迟 ......................................................................................................................................6.4.7 音频报警类型 ..............................................................................................................................6.4.7.1 定点 ...........................................................................................................................................6.4.7.2漏率比 ........................................................................................................................................6.4.7.3设置点 ........................................................................................................................................6.4.7.4 触发报警 ...................................................................................................................................6.5 校准 .................................................................................................................................................6.6 设置 .................................................................................................................................................6.6.1 真空设置 ......................................................................................................................................6.6.1.1 放气延迟 ...................................................................................................................................6.6.1.2 真空范围 ...................................................................................................................................6.6.1.3 分流设备 ...................................................................................................................................6.6.1.4 吸气因子 ...................................................................................................................................6.6.1.5 机器因子 ...................................................................................................................................6.6.1.6 内部测试漏孔漏率....................................................................................................................6.6.2 过滤器和本底 ..............................................................................................................................6.6.2.1 计算吸入口区段本底................................................................................................................6.6.2.2 本底抑制 ...................................................................................................................................6.6.2.3 漏率过滤器 ...............................................................................................................................6.6.3 质量 ..............................................................................................................................................6.6.4 接口 ..............................................................................................................................................6.6.4.1 控制的位置 ...............................................................................................................................6.6.4.2 确定记录器输出........................................................................................................................6.6.4.3 RS232协议.................................................................................................................................6.6.4.4 确定PLC输出 ..........................................................................................................................6.6.4.5 确定PLC输入 ..........................................................................................................................6.6.4.6 记录器输出定标........................................................................................................................6.6.5 杂项 ..............................................................................................................................................6.6.5.1 时间和日期 ...............................................................................................................................6.6.5.2 语言 ...........................................................................................................................................6.6.5.3 校准请求 ...................................................................................................................................6.6.5.4 前级泵检修周期........................................................................................................................6.6.5.5 油过滤器检修周期....................................................................................................................6.6.5.6 油过滤器检修信息....................................................................................................................6.6.6 参数保存/装入 .............................................................................................................................6.6.6.1 装入参数组 ...............................................................................................................................6.6.6.2 保存参数组1 ............................................................................................................................6.6.7 监视功能 ......................................................................................................................................6.6.7.1 真空模式压力限制....................................................................................................................6.6.7.2 吸气模式压力极限....................................................................................................................6.6.7.3 最大抽空时间............................................................................................................................6.7 信息 .................................................................................................................................................6.7.1 维护 ..............................................................................................................................................6.8 访问控制 .........................................................................................................................................6.8.1访问校准功能 ...............................................................................................................................6.8.2修改莱单—PIN .............................................................................................................................6.8.3调零 ...............................................................................................................................................7. 校准 ...................................................................................................................................................7.1 引言 .................................................................................................................................................7.2 校准程序 .........................................................................................................................................7.2.1 内部校准 ......................................................................................................................................7.2.2 外部校准 ......................................................................................................................................7.3 校准系数—数值范围......................................................................................................................8. 错误和警告信息 ...............................................................................................................................8.1 提示 .................................................................................................................................................8.2 错误和警告清单 .............................................................................................................................9. 维修 ...................................................................................................................................................9.1 莱宝服务 .........................................................................................................................................9.1.1 维护计划 ......................................................................................................................................9.1.2 拆开Phoenix ................................................................................................................................9.1.3 更换过滤网 ..................................................................................................................................9.1.4 换油 ..............................................................................................................................................9.1.5 清洁 ..............................................................................................................................................9.1.6 更换熔断器 ..................................................................................................................................9.1.7 油过滤器 ......................................................................................................................................9.2 涡轮分子泵 ..................................................................................................................................... 附录a ......................................................................................................................................................1. 一般介绍我们建议您认真阅读本技术手册，确保从启动开始就一直保持最佳工作状态。
氦质谱检漏仪使用说明
氦质谱检漏仪使用说明(总9页)--本页仅作为文档封面，使用时请直接删除即可----内页可以根据需求调整合适字体及大小--氦质谱检漏仪使用说明书资产编号：型号：ZQJ-542一、设备组成及工作原理1、设备组成框图2、设备工作原理检漏仪内部组成：氦质谱检漏仪主要由分子泵、质谱室、组合阀体，机械泵以及控制电路板等组成。
检漏仪的工作原理：氦质谱检漏仪是根据质谱仪学原理，用氦气作为搜索气体制成的气密性检测仪器。
ZQJ-542检漏仪采用180度磁偏转质谱室，钨制灯丝发射出来的电子经过加速进入离化室，在离化室内与残余气体分子和经被检件漏孔进入离化室的氦气互相碰撞使其电离成正离子，这些离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，由于不同质量数（m/e）的离子其偏转半径不同，这样就将不同的离子分离开了。
由于磁场参数是固定的，只有调节加速压力就可以改变氦离子的偏转半径，使氦离子正好通过隔离板上的窄缝打到放大器入口，这样就使氦离子（m/e=4）与其他离子分开了。
氦离子流正比于容器中氦分压。
因此，对氦离子的测量可以用来确定被检件的漏率。
二、设备工作外部条件氦质谱检漏仪电源电压220V 频率50HZ 额定功率2000W。
仪器应安装在符合仪器使用的环境要求的场所，特别是仪器的电源插座，应符合要求，要有良好的地线，左右要留有30CM的通风间距。
放置好检漏仪，以避免仪器有倾斜或倾倒的危险。
检漏仪的底部有安装孔，可以将其固定在桌子或支架上。
在仪器运行前要确保真空泵中的机械泵油是否足够，机械泵油必须用专用的针对机械泵型号的油。
三、设备工作外部条件接通操作氦质谱检漏仪图1检漏仪的机械泵有足够的机械泵油；保证机体内分子泵、机械泵、真高空组件各连接顺畅；电源线线路没有破损，有良好的接地。
检漏仪要放平稳，不能倾斜，检漏仪底面要有一层防静电布。
加压罐压氦装置图2加压罐压氦装置的外部接通顺序：写出设备外部条件的接通先后顺序，操作方法，具体的参数等。
氦质谱检漏仪原理及使用方法及相关介绍
氦质谱检漏仪原理及使用方法及相关介绍一、原理氦质谱检漏仪的原理基于质谱技术。
质谱技术是一种将样品原子或分子离子化并加速到特定质量的仪器分离和检测方法。
在氦质谱检漏仪中，首先将氦气引入被测系统中，然后利用真空泵将系统抽成高真空状态，此时如果系统存在泄漏，氦气会从泄漏点进入真空室。
接下来，仪器将氦气离子化并加速，然后将其通过质谱仪进行分离和检测。
质谱仪按质量对氦离子进行分离，只保留本离子，其他离子则被排除在外。
最后，通过测量离子的电流，就可以确定氦气的浓度，从而判断系统是否有泄漏的情况。
二、使用方法1.准备工作：将氦气瓶连接到仪器中，确保连接紧固，打开氦气瓶阀门。
2.开机操作：按下电源开关，等待仪器启动并进入工作状态。
此时，仪器会进行自检，并显示相关的信息。
3.设置参数：根据需要，设置仪器的工作参数，如离子加速电压、离子电流等。
这些参数的设定会影响仪器的灵敏度和分辨率。
一般来说，根据被测系统的特点和泄漏的排查需求来确定。
4.测试操作：将仪器探头移至被测系统周围，并尽量靠近可能存在泄漏的区域。
慢慢移动探头，直到仪器探测到氦气浓度的变化。
此时，仪器会发出声音或显示信号，以提示泄漏处的位置。
5.结果判断：根据仪器显示的信号确定泄漏点，可以通过仔细观察和移动探头来进一步定位泄漏。
6.数据记录：记录泄漏点的位置、泄漏大小以及检测时间等信息，便于后续处理和跟踪。
三、相关介绍1.灵敏度：氦质谱检漏仪具有非常高的灵敏度，可以检测非常微小的氦气泄漏。
一般来说，它可以检测漏率为10^-9至10^-12毫升/秒的泄漏。
2.应用范围：氦质谱检漏仪广泛应用于各个领域，如航空航天、化学工业、电子、制药等。
在这些领域，确保系统的密封性非常重要，而氦质谱检漏仪的高灵敏度和精确度可以满足这些需求。
3.优点：氦质谱检漏仪的优点包括操作简单、快速、准确，具有高灵敏度和分辨率，可以定位并确定泄漏点。
4.注意事项：在使用氦质谱检漏仪时，需要保证被测系统处于高真空状态，以确保准确的检测结果。
氦质谱检漏仪使用说明资料
加压罐压氦装置
图2 加压罐压氦装置的外部接通顺序： 写出设备外部条件的接通先后 顺序，操作方法，具体的参数等。 1、把加压罐、电阻真空计、真空泵、氦气瓶按要求连接。 2、检查加压罐的密封圈是否有损害， 加压罐进出阀门是否关闭不了； 真空泵是否有足够的泵油， 气镇阀旋钮是否处在关闭的位置； 氦气瓶 减压阀是否漏气现象。 3、确认所有应该注意的事项没有问题之后可以接电源通电。 重氟油粗检
图3 1、 查看温度检测线路和加热板线路没有破损。
2、 在油箱中加入适量的重氟油 3、 插上电源线，设定重氟油的温度进行加热处理，打开照明灯。
当温度达到要求即可用来粗检产品。 四、详细操作 启动检漏仪 1、 连接电源插头，打开检漏仪开关。 2、 机械泵开始启动。 3、 面板上的指示灯亮。 4、 液晶屏（ LCD ）显示如下信息：
化。如果在报废点之内则说明密封性合格， 如若有报警声响则说明该 点密封性不合格需要返修。 4、组件检完之后再按下检漏按钮当待机按钮灯亮之后即可取下组件。 (二)全检（背压法） 1、由于组件在加压罐和检漏盒中会受到一定的压力冲击，因此要用 一张无尘纸包裹住组件以免碰伤和组件内部元件受到冲击。 2、全检是要把产品先放在充满氦气的加压罐中施加绝对压力 0.2Mpa 的压力加压 4h。 加压罐装置如下图所示：
氦质谱检漏仪使用说明书
资产编号：
一、设备组成及工谱检漏仪
重氟油粗检装置 检漏盒
检漏托盘 氦气喷抢
型号： ZQJ-542
双级旋片真空泵 电阻真空计 氦气瓶
2、设备工作原理 检漏仪内部组成：氦质谱检漏仪主要由分子泵、质谱室、组合阀体， 机械泵以及控制电路板等组成。 检漏仪的工作原理： 氦质谱检漏仪是根据质谱仪学原理， 用氦气作为 搜索气体制成的气密性检测仪器。 ZQJ-542 检漏仪采用 180 度磁偏转质谱室， 钨制灯丝发射出来的电子 经过加速进入离化室， 在离化室内与残余气体分子和经被检件漏孔进 入离化室的氦气互相碰撞使其电离成正离子， 这些离子在加速电场作 用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，由于不同质量数（ m/e） 的离子其偏转半径不同， 这样就将不同的离子分离开了。 由于磁场参
氦质谱检漏仪使用说明(1)
氦质谱检漏仪使用说明一、检漏仪及其真空系统的组成VARIAN959-50检漏仪检漏漏率范围从1X10-3（毫升/秒）到2X10-10（毫升/秒）（相当于30年漏1毫升），它主要由质谱管、高真空泵、热偶规管、一系列按钮控制的阀、测试接口、真空和漏率指示，以及电路板等部分组成，其真空系统结构为（分子泵型），如图1：图1 检漏仪真空系统结构图（分子泵型）检漏仪开启后，V1、V2、V6阀打开，测试口与质谱管保持真空连接。
如果按下“VENT”键，放气阀V3打开，V1关闭，测试口处于大气状态，同时V2打开，使分子泵、质谱管和机械泵连通。
分子泵运行时，质谱管真空度要达到2X10-4TORR以上，才能给离子源灯丝加热。
二、检漏仪工作原理图2 检漏仪工作原理图如果被检系统有微小漏孔，在小孔周围喷氦气时，总有部分氦原子会通过漏孔进入检漏仪接口，通过其真空系统扩散到质谱管。
质谱管是检漏仪核心组成部分，参见上图2，在电场和磁场作用下，灯丝发射电子使气体电离，电离后带正电的离子通过聚焦和孔集中后，进入分析磁场（磁场强度为2340高斯），由于受洛仑磁力作用，离子会发生偏转，其它外界条件相同的情况下，偏转半径由带电粒子电量与质量之比即荷质比决定，荷质比小的离子偏转半径小，荷质比大的粒子偏转半径大，只有氦离子才能通过抑制小孔到达收集极，信号经放大后，检漏仪报警。
三、控制和指示器功能说明：序号控制、指示器功能四、开机操作步骤（对分子泵检漏仪）1) 将待检设备和检漏仪接口接好确保不漏；2) 开前级机械泵电源；3) 打开右边小门，合上主电源开关，所有指示灯暂亮起，等到“TRURBO READY”指示灯亮；4) “HIVACK OK”指示灯亮后，将“FIL”开关打到ON，灯丝指示灯亮，必要时多次重复这一步骤直到灯丝指示稳定；5) 按下START键；6) 当测试口压力降到绿色指示段（100 millitorr）时，TEST指示灯亮，三分钟后，如果测试口真空度降到绿色指示段，HOLO指示灯亮，压力降到100milltor以下后，HOLO指示灯灭，（如果真空度达不到要求，HOLD指示将在三分钟内发亮）；7) 检漏仪会自动上一步，直到测试口压力降到100毫以下；8) 被检系统喷氧检漏；五、关机步骤1) 按下VENT键；2) 关掉检漏仪主电源；3) 关机械泵主电源；以上操作使分子泵隔离大气，质谱管保持真空状态六、检漏仪调零和校准在检漏之前，检漏议质谱应调到对氦反应灵敏，这需要用到标准漏孔。
安全操作规程-氦质谱检漏仪
SFJ-261氦质谱检漏仪安全操作规程
一、目的
通过了解设备工作原理、技术参数、使用操作步骤、HSE提示与注意事项同、常见故障处理。
以保障设备和人员的安全及正常运行。
二、适用范围
本规程适用于公司SFJ-261氦质谱检漏仪
三、工作原理
氦质谱检漏仪是根据光谱学原理，用氢气作探索气体制成的气密性监测仪器。
四、技术参数
五、使用操作步骤
1、启动
2、参数设定
3、音量设定
4、标漏的设定
5、滤波方式设定
6、检漏模式
7、校零模式 8、机器因素
9、单位设定 10、通讯设定
11、输出设定 12、时间设定
六、HSE提示，注意事项
1、使用仪器确保仪器可靠接地，严禁在没有接地的情况下使用。
2、仪器附近无强磁场干扰，无剧烈震动，无腐蚀性气体；室内要良好通风，以氦气干扰。
3、启动时最好不要让检漏口与大气直通，建议使用专用堵头堵住。
七、常见事故处理。
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氦质谱检漏仪使用说明书
资产编号：型号：ZQJ-542
一、设备组成及工作原理
1、设备组成框图
2、设备工作原理
检漏仪内部组成：氦质谱检漏仪主要由分子泵、质谱室、组合阀体，机械泵以及控制电路板等组成。
检漏仪的工作原理：氦质谱检漏仪是根据质谱仪学原理，用氦气作为搜索气体制成的气密性检测仪器。
ZQJ-542检漏仪采用180度磁偏转质谱室，钨制灯丝发射出来的电子经过加速进入离化室，在离化室内与残余气体分子和经被检件漏孔进入离化室的氦气互相碰撞使其电离成正离子，这些离子在加速电场作用下进入磁场，由于洛伦兹力作用产生偏转，由于不同质量数（m/e）的离子其偏转半径不同，这样就将不同的离子分离开了。
由于磁场参
数是固定的，只有调节加速压力就可以改变氦离子的偏转半径，使氦离子正好通过隔离板上的窄缝打到放大器入口，这样就使氦离子（m/e=4）与其他离子分开了。
氦离子流正比于容器中氦分压。
因此，对氦离子的测量可以用来确定被检件的漏率。
二、设备工作外部条件
氦质谱检漏仪电源电压220V 频率50HZ 额定功率2000W。
仪器应安装在符合仪器使用的环境要求的场所，特别是仪器的电源插座，应符合要求，要有良好的地线，左右要留有30CM的通风间距。
放置好检漏仪，以避免仪器有倾斜或倾倒的危险。
检漏仪的底部有安装孔，可以将其固定在桌子或支架上。
在仪器运行前要确保真空泵中的机械泵油是否足够，机械泵油必须用专用的针对机械泵型号的油。
三、设备工作外部条件接通操作
氦质谱检漏仪
图1 检漏仪的机械泵有足够的机械泵油；保证机体内分子泵、机械泵、真高空组件各连接顺畅；电源线线路没有破损，有良好的接地。
检漏仪要放平稳，不能倾斜，检漏仪底面要有一层防静电布。
加压罐压氦装置
图2 加压罐压氦装置的外部接通顺序：写出设备外部条件的接通先后顺序，操作方法，具体的参数等。
1、把加压罐、电阻真空计、真空泵、氦气瓶按要求连接。
2、检查加压罐的密封圈是否有损害，加压罐进出阀门是否关闭不了；真空泵是否有足够的泵油，气镇阀旋钮是否处在关闭的位置；氦气瓶减压阀是否漏气现象。
3、确认所有应该注意的事项没有问题之后可以接电源通电。
重氟油粗检
图3
1、查看温度检测线路和加热板线路没有破损。
2、 在油箱中加入适量的重氟油
3、 插上电源线，设定重氟油的温度进行加热处理，打开照明灯。
当温度达到要求即可用来粗检产品。
四、详细操作 启动检漏仪
1、 连接电源插头，打开检漏仪开关。
2、 机械泵开始启动。
3、 面板上的指示灯亮。
4、 液晶屏（LCD ）显示如下信息：
当分子泵达到正常转速（100%）后，LCD 显示：
当灯丝检测、加电完毕后，系统进入待机状态：
如果检漏仪存放一段时间后的启动
如果检漏仪长时间不用后，再次开机会增加一额外的启动时间用来排出系统内的气体。
此时屏幕显示如下图所示：
检漏方法概述
根据被检件和测量精度要求，选择合适的测量方法，如下图4所示
是
是
是
（一）半检漏（喷氦法）的详细步骤：
1、插上电源，打开检漏仪总开关。
等待2到3分钟，当听到一阵风鸣声之后说明检漏仪已完全启动。
2、查看检漏仪装置确保检漏参数未被更改，检漏仪运行正常。
打开检漏仪盲孔，选择合适大小的检漏托盘和密封橡胶板。
用无尘布沾上酒精擦拭下密封孔处，把检漏托盘装在检漏口上，在放密封橡胶板时也要用沾上酒精的无尘布擦拭一遍；然后涂上一层高真空硅脂；最后密封橡胶板对准检漏托盘中间的小孔紧密贴合放在检漏托盘上。
3、如图把组件未封盖面放在检漏孔的正上方处，手指轻轻的按压组件背面。
在组件的四周面用沾有酒精的棉签涂上一层，然后点击检漏按钮进行漏率检测。
等漏率值稳定之后，拿装好氮气的喷枪尽可能的靠近组建前后端子处一个个的进行喷气，这是漏率值都会有相应的变
化。
如果在报废点之内则说明密封性合格，如若有报警声响则说明该点密封性不合格需要返修。
4、组件检完之后再按下检漏按钮当待机按钮灯亮之后即可取下组件。
(二)全检（背压法）
1、由于组件在加压罐和检漏盒中会受到一定的压力冲击，因此要用一张无尘纸包裹住组件以免碰伤和组件内部元件受到冲击。
2、全检是要把产品先放在充满氦气的加压罐中施加绝对压力0.2Mpa 的压力加压4h。
加压罐装置如下图所示：
3、在检漏仪的检漏孔处把检漏盒装好，把组件放入检漏盒中盖好盖板。
进行检漏。
检漏过程中不能揭开盖板。
4、将在检漏仪上检漏合格的组件，还需要经过氟油检漏装置进行进一步的检漏。
主要原因是担心有些组件的漏率合格在检漏仪抽真空时，如果产品有很大的漏孔，会把产品中泄露的氦气也抽走，从而影响检测的结果因此才进行氟油粗检。
氟油粗检的时候通过肉眼观察气泡的泄露情况即可最终判断该组件的漏率是否合格。
5、氟油检漏之后，带上高温手套把组件从氟油中拿出来，冷却。
写出设备的详细操作步骤，列出典型的工艺参数设置；如果需要编制程序，写出简要的编程过程和要领。
1、
2、
…
五、设备工作外部条件关断操作
（一）关闭检漏仪
仪器可以在任何情况关闭，但是建议如果检漏仪长时间不用，需要遵循下面的步骤进行关闭！
1、在检漏口上堵上盲板。
2、按下检漏按钮，使检漏仪处于检漏状态。
3、等到漏率达到最小可检漏率状态。
4、确认放气阀处于手动关闭。
5、按下检漏键停止检漏。
6、关闭检漏开关。
（二）重氟油检漏
关闭照明，加热拔下插头切断电源；当重氟油检漏长期不用时可等油冷却之后重新装入油桶里储存。
（三）加压罐
工作完成后关闭氦气减压阀，并把减压阀两个表中的气体排尽。
六、外部工作条件异常处理
1、气源供应不足时检查气瓶是否用完，还是有泄露情况，及时解决。
2、真空泵不能正常运行，检查泵油其否足够，不足时及时添加。
七、操作安全注意事项
1、产品放入加压罐中加压时，不能直接拆除加压罐。
必须先把加压罐里面的气体排出才能打开。
由于加压罐中压力比空气中的压力大以防造成一定的伤害因此在加压过程中不能让不相干的人员靠近并在加压罐上方贴一个警告标识。
2、氦气减压阀连接气瓶接口处要锁紧不能有松动情况。
以防气体冲击带来伤害。
3、产品半检漏时，按压住的组件不能挪动或者强行扳开。
以防气体冲击带来伤害。
4、在进行重氟油检漏时，产品不能直接放进油箱中，而应把油箱中的托盘拿出，把产品放在其上在慢慢放入油中。
以防止油飞溅烫伤。
八、日常保养及故障处理
设备日常保养：
1、定期检查机械泵的油位，如果不足要及时添加；如果机械泵油
呈棕色、褐色或闻起来有糊味，说明油已经变质。
此时，应放
出泵中油，必要时，先用新油冲洗后，再注入新油。
2、定期清洗或更换机械泵的排气管。
如果发现排气管内积存了很
多油滴，可以将其从仪器内部取下来，然后清洗它，再用热风
吹干或是自然晾干。
（二）常见故障处理。