真空检漏常用方法和技巧
真空系统查漏操作及措施
真空系统灌水查漏措施目的：为了更好地实施真空泵及其系统的现场试运，保证真空系统参数正常，达到《火电工程调整试运质量检验及评定标准》所规定的要求，为整套启动顺利进行打下较好基础。
应具备的条件1.真空系统的所有设备均已安装结束，并经验收签证；2.系统内的手动、气控阀门动作试验结束，活动灵活，无卡涩，各限位开关位置正确，指示无误；真空泵的水管及冷却水系统已冲洗合格；3.有关热工、电气回路的调试工作均已结束4.所有仪表安装齐全，并经检验合格；5.设备周围的杂物已清净，沟道加盖板,照明充足；6.阀门用的压缩空气可投入使用；7.灌水时，轴加风机入口门关闭且凝泵不启，将与真空系统有关的门打开，包括疏水至扩容器的疏水门；8.各抽气、高排管道、低压旁路管道等加装临时支吊架，以防进水后超重引起管道变形；9.小机排汽安全膜更换为临时铝板或去除其“刀架”以防进水后引起安全膜破裂；10.小机排汽管加装临时支架，待灌水结束后拆除；11.凝结器水侧放空，将人孔打开（视钢管检漏情况是否执行）；12.凝结器汽侧加装临时水位计至12米。
灌水原则：低于12米的系统及容器均参与真空系统灌水查漏。
加热器汽侧灌水用经常疏水门倒入，各抽汽管的灌水通过各抽汽管道疏水门倒入。
所有疏水一、二次门保持开启。
所有系统及容器充满水后，将凝结器汽侧水位补至低压缸汽封凹窝处后，保持此水位静置24小时进行观察，记录水位下降趋势及系统渗漏点。
应加入的系统：1.#5低加进汽部管道及其疏水管（门）；五抽管道及其疏水管（门）；2.#6低加汽侧及其疏水管（门）；六抽管道及其疏水管（门）；3.#7、8低加汽侧及其疏水管（门）；七、八抽管道及其疏水管（门）；4.轴加汽侧及其疏水管（门）；汽封回汽管、门杆回汽管，管道及其疏水管（门）；5.汽封进汽管及其疏水管（门）；6.轴加水封筒管系；7.#1、2汽泵密封水回水水封筒管系；8.#5、6、7、8加热器危急疏水管道及疏水门；9.#6、7、8加热器运行排空气门；10.#3高加汽侧及其疏水管（门）；三抽管道及其疏水管（门）；11.四抽管道及其疏水管（门）；12.一抽管道及其疏水管（门）；13.高排逆止门管道及其疏水管（门）；14.小机各疏水管及（门）；15.除氧器放水管道；16.杂项疏水至疏扩各疏水一次门及旁路门后管系；17.#1、2小机排汽蝶阀门前疏水管及门；18.真空泵入口管道（至真空泵入口气控蝶阀处）关闭真空破坏门，开启凝结器东西侧抽空气门；19.汽轮机本体疏水管道及疏水一次门后；20.疏扩减温水、低旁减温水、三级减温水、低负荷喷水等一次门及旁路门后管道及阀门；21.凝泵抽空气管及入口管。
真空泄漏检测方法
真空泄漏检测方法真空泄漏检测方法引言真空技术在许多应用领域扮演着重要角色，如航天、电子设备制造和化学工程等。
确保真空系统的安全和可靠运行对于这些领域至关重要。
而真空泄漏则是真空系统中常见的问题，因此采用适当的检测方法非常关键。
方法一：气泡检漏法气泡检漏法是一种常用的真空泄漏检测方法，主要用于大型真空系统或外部表面不易检测的装置。
具体步骤如下：1.将试件浸入具有良好润湿性的水槽中。
2.在试件表面均匀涂抹一层薄薄的肥皂水或其他可形成气泡的液体。
3.通过真空泵抽取系统中的气体，观察涂层表面是否冒泡。
4.如果在某些部位冒泡，说明该部位存在泄漏。
气泡检漏法的优点是操作简单，不需要专门的设备，但其缺点是不适用于高真空系统。
方法二：氦质谱检漏法氦质谱检漏法是一种高灵敏度的真空泄漏检测方法，适用于高真空和超高真空系统。
具体步骤如下：1.将氦气注入待检测系统。
2.使用气质谱仪检测系统中是否存在氦气泄漏。
3.如果氦气在某些部位检测到，则该部位存在泄漏。
氦质谱检漏法的优点是能够检测极小的泄漏量，缺点是设备价格较高，操作技术要求较高。
方法三：静态漏率检漏法静态漏率检漏法是一种常用的真空泄漏检测方法，适用于大型真空系统。
具体步骤如下：1.关闭真空系统的所有阀门，记录系统的初始压力。
2.在一定时间内观察系统的压力变化，计算泄漏速率。
3.如果泄漏速率超过设定的阈值，则说明系统存在泄漏。
静态漏率检漏法的优点是能够定量评估泄漏问题，缺点是需要较长的检测时间。
方法四：红外检漏法红外检漏法是一种适用于可见光透明材料的真空泄漏检测方法，如玻璃或有机材料。
具体步骤如下：1.使用红外摄像机或红外热像仪对待检测系统进行拍摄。
2.通过红外辐射检测系统中是否存在泄漏点。
3.如果出现辐射异常的区域，则可能存在泄漏。
红外检漏法的优点是无需接触待检测系统，可实时监测泄漏情况，缺点是需要专门的设备。
结论根据需求和实际情况，可以选择适合的真空泄漏检测方法。
真空检漏方法
真空检漏方法真空检漏方法是指在低压环境下，通过检查气体泄漏的方式来确定系统的完整性和可靠性。
在各种工业和实验室应用中，真空检漏是非常常见的，以确保制造过程、实验设备或机械系统的性能和稳定性。
本文将详细介绍10种真空检漏方法及其优缺点，以帮助读者更好地了解这方面的知识。
1. 毛细管测量法毛细管测量法是一种基于液体的检漏方法，其原理是通过液体的自吸作用，在低压条件下观察气体泄漏。
此方法根据毛细管长度和内径的关系，可以确定检测范围和检测灵敏度。
该方法需要人工监控，并且无法检测气体泄漏。
2. 红外检测法红外检测法是一种利用红外辐射来检测气体泄漏的方法。
此方法适用于检测有机化学物质的泄漏，如氨、甲烷、丙烷等。
不适用于空气、氮气等无机气体的检测。
3. 热模反应法热模反应法是一种利用气体反应产生的热量来检测气体泄漏的方法。
该方法可以检测气体泄漏，但不适用于检测液体泄漏或固体泄漏。
4. 电离检测法电离检测法是一种通过检测气体电离程度来检测有机和无机气体泄漏的方法。
该方法可以检测非常小的气体泄漏，但不适用于在低压环境中进行检测。
5. 质谱检测法质谱检测法是一种利用离子化技术来检测气体稳定同位素的方法。
此方法非常适用于检测裂解气体。
6. 超声波检测法超声波检测法是一种利用超声波传递来检测密封件泄漏的方法。
此方法适用于密封不良的工业及实验室装置。
7. 气泡法气泡法是一种利用液体变色或产生气泡来检测气体泄漏的方法。
该方法适用于低压系统泄漏的检测，但需要密封很好的试验装置。
8. 空气泄漏检测法空气泄漏检测法是一种利用带氦气的空气进行检测的方法。
该方法适用于检测低压和高压系统的泄漏，但需要设备完好，要求技术人员熟练。
9. 低压检测法低压检测法是一种利用负压来检测气体泄漏的方法。
该方法适用于检测低压系统的泄漏。
该方法需要大量的设备和人力。
10. 总量检测法总量检测法是一种利用气体浓度变化来检测气体泄漏的方法。
此方法适用于气体排放监测。
真空室的操作规范与泄漏检测方法
真空室的操作规范与泄漏检测方法在科学研究与工业生产中，真空技术被广泛应用，而真空室作为实现真空环境的关键设备之一，其操作规范与泄漏检测方法显得尤为重要。
本文将从真空室的操作规范和泄漏检测方法两个方面展开讨论。
一、真空室的操作规范1.控制真空度：在进行实验或生产过程中，需要根据需求来控制真空室的真空度。
初次启动真空室时，应逐渐降低气压，避免突然抽气引发异常变化。
在操作过程中，应根据实际需求调节抽气速率，避免产生封堵或过度抽气造成设备损伤。
2.防止泄漏：真空室泄漏会引入气体或杂质，影响真空度。
因此，操作人员需严格按照操作手册操作，保证各接口与元件的紧密性，防止气体泄漏。
同时，定期检查密封件的损坏情况，及时更换。
3.避免水蒸气进入：水蒸气是真空室中常见的污染源之一，会在高温区域凝结并附着在设备内部，影响实验结果。
因此，在操作前要保证设备内部干燥，避免水蒸气进入。
4.避免化学品进入：许多实验中会用到化学药品，但某些化学品会与设备材料发生反应。
因此，在操作真空室时需避免化学品的直接进入，可以采用适当的壁厚和材料选择来增加设备的耐腐蚀性。
二、泄漏检测方法1.氦泄漏检测法：氦泄漏检测法是一种常用的高灵敏度泄漏检测方法。
该方法通过将真空室与氦气源相连，利用氦气泄漏后能够迅速扩散并检测出的特性，可以准确判断泄漏的位置和程度。
2.压差法：压差法适用于大气压与低真空之间的泄漏检测。
使用方法是在真空室的外部增加一定压力，然后观察真空室内气压的变化情况。
若气压迅速升高，即可判断存在泄漏。
3.湿度检测法：某些泄漏源会导致真空室内部湿度明显升高。
通过测量真空室内部湿度的变化情况，可以间接判断是否存在泄漏。
4.直接观察法：直接观察法是一种简单直观的泄漏检测方法，适用于较大的泄漏。
通过观察真空室周围是否存在气泡或气体喷出情况，可以初步判断设备是否存在泄漏。
在实践中，常常会采用不同的泄漏检测方法相结合，以提高检测的准确性和可靠性。
真空室检漏的原理和方法
真空室检漏的原理和方法
真空室检漏的原理是通过检测真空室内的气体流量或压力变化，来确定是否存在漏气现象。
如果真空室存在漏气，那么气体将从漏气处流入真空室，导致真空室内压力升高或降低，或者导致气体流量异常。
真空室检漏的方法有以下几种：
1. 压差法：将真空室密封后，测量其初始压力和经过一段时间后的压力，如果压力差超过了一定范围，则说明存在漏气。
2. 气泡法：在真空室内充入一定量的水或其他液体，然后密封真空室并抽真空，观察液体中是否出现气泡，如果有气泡出现则说明存在漏气。
3. 灵敏度法：利用高灵敏度的气体检测器检测真空室内的气体浓度，如果气体浓度超过了一定范围，则说明存在漏气。
4. 声波法：利用声波检测器检测真空室周围是否存在异常的声波信号，如果存在异常信号则说明存在漏气。
以上是真空室检漏的原理和几种常见方法，不同的方法适用于不同的应用场景和检测对象，需要根据实际情况选择适合的检漏方法。
真空检漏方案
真空检漏方案下载温馨提示:该文档是我店铺精心编制而成，希望大家下载以后，能够帮助大家解决实际的问题。
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②抽真空：连接真空泵，对系统进行抽真空处理，直至达到预定真空度，通常远低于工作真空范围，以暴露微小漏点。
③保压监测：停止抽真空，保持系统真空状态，观察真空表或使用真空计持续监测真空度变化，记录时间-真空度曲线。
④氦质谱检测（如有条件）：注入少量氦气或使用氦气喷枪扫描可疑区域，利用氦质谱检漏仪检测氦气浓度，精准定位漏点。
⑤压力变化分析：根据真空保持时间内的压力下降速率，判断是否存在漏点及其大致泄漏率，快速泄漏需立即查找，缓慢泄漏可延长监测时间。
⑥漏点标识与记录：发现漏点后，使用标记笔或标签进行标注，记录漏点位置、漏率大小，为后续维修提供依据。
⑦重复检测：对已修复的部位重新进行抽真空及检漏，直至确认无漏点存在。
⑧恢复系统：完成全部检漏并确认合格后，缓慢向系统充入工作介质，恢复至正常工作状态，检查有无异常。
⑨总结报告：整理检漏过程数据，编写检漏报告，总结漏点原因及修复措施，提出预防建议。
真空衰减法检漏
真空衰减法检漏
真空衰减法是一种检测容器或管道中气体泄漏的方法。
它是通过将容器或管道内的空气抽空，然后观察真空度的变化来检测泄漏的存在和程度。
具体操作步骤如下：
1.将容器或管道连接到真空泵系统中，使用泵将内部空气抽出，直至达到所需真空度。
2.关闭真空泵和容器或管道之间的连接，然后等待一段时间以观察真空度是否保持不变。
如果真空度下降，则说明存在泄漏。
3.根据所使用的真空度和泵吸取空气的时间，可以估算泄漏速率，从而找出泄漏点。
4.修复泄漏并重新进行测试，直至可以确认不再泄漏。
真空衰减法的优点是简单易行，能够检测到微小的泄漏，并且不会对测试物品造成损害。
缺点是需要专业的测试设备和技术，以及一定的测试时间，不能用于检测液体泄漏。
真空检漏常用方法和技巧
真空检漏1一、概述1．概漏的基本概念真空检漏就是检测真空系统的漏气部位及其大小的过程。
漏气也叫实漏，是气体通过系统上的漏孔或间隙从高压侧流到低压侧的现象。
虚漏，是相对实漏而言的一种物理现象。
这种现象是由于材料放气、解吸、凝结气体的再蒸发、气体通过器壁的渗透及系统内死空间中气体的流出等原因引起真空系统中气体压力升高的现象。
气密性是表征真空系统器壁防止气体渗透的性能，它包括通过漏孔(或间隙)的漏气和材质的渗气。
最小可检漏率是指*种检漏方法能够检测出的漏率的最小值。
最佳灵敏度是指检漏仪器或检漏方法在最佳条件下所能检测出的最小漏率。
对于检漏仪器来讲，最佳灵敏度又称作仪器灵敏度。
检漏灵敏度是指在具体条件下，*种检漏方法所能检测出的最小漏率。
检漏灵敏度又称作有效灵敏度。
反应时间，即从检漏方法开始实施(如开始喷吹示漏气体)到指示方法(如仪表)做出反应的时间。
消除时间，即从检漏方法停止(如停止喷吹且开始抽出示漏气体)到指示方法的指示消失的时间。
漏率，即单位时间内流过漏孔(包括间隙)的气体量。
2．漏孔、漏率及其单位真空技术中所指的漏孔，由于尺寸微小、形状复杂、形式多样(如图1所示)，无法用几何尺寸表示其大小。
所以一般用等效流导或漏气速率(简称为漏率)表示漏孔的大小。
用漏率表示漏孔大小时，如果不加特殊说明，则是指在漏孔入口压力为1.01×105Pa，出口压力低于1.33×103Pa，温度为296士3K的标准条件下，单位时间内流过漏孔的露点温度低于248K的空气的气体量。
漏率的单位是帕斯卡×立方米／秒，记为Pam3／s。
为了方便，有时用帕斯卡×升／秒，记为PaL／s。
3．最大容许漏率真空系统漏气是绝对的，不漏气是相对的在真空检漏技术中所指的"漏”是和最大容许漏率的概念联系在一起的。
对于动态真空系统，只要其平衡压力能够达到所要求的真空度，这时即使存在着漏孔，也可以认为该系统的漏率是容许的，该情况下系统的漏率称为最大容许漏率。
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真空检漏1一、概述1．概漏的基本概念真空检漏就是检测真空系统的漏气部位及其大小的过程。
漏气也叫实漏，是气体通过系统上的漏孔或间隙从高压侧流到低压侧的现象。
虚漏，是相对实漏而言的一种物理现象。
这种现象是由于材料放气、解吸、凝结气体的再蒸发、气体通过器壁的渗透及系统内死空间中气体的流出等原因引起真空系统中气体压力升高的现象。
气密性是表征真空系统器壁防止气体渗透的性能，它包括通过漏孔(或间隙)的漏气和材质的渗气。
最小可检漏率是指某种检漏方法能够检测出的漏率的最小值。
最佳灵敏度是指检漏仪器或检漏方法在最佳条件下所能检测出的最小漏率。
对于检漏仪器来讲，最佳灵敏度又称作仪器灵敏度。
检漏灵敏度是指在具体条件下，某种检漏方法所能检测出的最小漏率。
检漏灵敏度又称作有效灵敏度。
反应时间，即从检漏方法开始实施(如开始喷吹示漏气体)到指示方法(如仪表)做出反应的时间。
消除时间，即从检漏方法停止(如停止喷吹且开始抽出示漏气体)到指示方法的指示消失的时间。
漏率，即单位时间内流过漏孔(包括间隙)的气体量。
2．漏孔、漏率及其单位真空技术中所指的漏孔，由于尺寸微小、形状复杂、形式多样(如图1所示)，无法用几何尺寸表示其大小。
所以一般用等效流导或漏气速率(简称为漏率)表示漏孔的大小。
用漏率表示漏孔大小时，如果不加特殊说明，则是指在漏孔入口压力为1.01×105Pa，出口压力低于1.33×103Pa，温度为296士3K的标准条件下，单位时间内流过漏孔的露点温度低于248K的空气的气体量。
漏率的单位是帕斯卡×立方米／秒，记为Pam3／s。
为了方便，有时用帕斯卡×升／秒，记为PaL ／s。
3．最大容许漏率真空系统漏气是绝对的，不漏气是相对的在真空检漏技术中所指的“漏”是和最大容许漏率的概念联系在一起的。
对于动态真空系统，只要其平衡压力能够达到所要求的真空度，这时即使存在着漏孔，也可以认为该系统的漏率是容许的，该情况下系统的漏率称为最大容许漏率。
动态真空系统的最大容许漏率qLmax应满足qLmax≤1/10PwS (1) 式中Pw----系统工作压力S----系统的有效抽速对于静态真空系统，要求在一定时间内，其压力维持在容许的压力以下，这时即使存在着漏孔，同样叮以认为该系统的漏率是容许的，该情况下系统的漏率称为最大容许漏率。
如果要求在时间t内,容积为V的系统的压力由p升至pt，则其最大容许漏率qLmax应满足qL max≤(pt-p)V/t (2) 各种真空设备的最大容许漏率可参考表1确定。
4．漏孔的气流特性气体流经漏孔的过程是很复杂的，可能包含有粘滞流、过渡流及分子流三种流动状态。
主导流动状态与漏孔的几何尺寸、气体的种类、漏孔两端的压力及环境温度有关。
设环境温度T=296K，入口压力p2=1.01×105Pa，出口压力p1《p2，漏孔长L，直径d的均匀圆截面导管型漏孔，其对空气的漏率及可视流动状态见表2。
5．检漏方法的分类检漏方法很多，根据被检件所处的状态可分为充压检漏法、真空检漏法及其它检漏法。
充压检漏法：在被检件内部充入一定压力的示漏物质，如果被检件上有漏孔，示漏物质便从漏孔漏出，用一定的方法或仪器在被检件外部检测出从漏孔漏出的示漏物质，从而判定漏孔的存在、位置及漏率的大小，此即充压检漏法。
真空检漏法：被检件和检漏器的敏感元件处于真空状态，在被检件的外部施加示漏物质，如果有漏孔，示漏物质就会通过漏孔进入被检件和敏感元件的空间，由敏感元件检测出示漏物质，从而可以判定漏孔的存在、位置利漏率的大小，这就是真空检漏法。
其它检漏法：被检件既不充压也不抽真空，或其外部受压等方法归入其它检漏法。
背压法就是其中主要方法之一。
所谓“背压检漏法”是利用背压室先将示漏气体由漏孔充入被检件，然后在真空状态下使示漏气体再从被检件中漏出．以某种方法(或检漏仪)检测漏出的示漏气体，判定被检件的总漏率的方法。
真空检漏2二、检漏仪器用于检漏的仪器有氦质谱检漏仪、卤素检漏仪、高频火花检漏器、气敏半导体检漏仪及用于质谱分析的各种质谱计。
这里主要介绍氦质谱检漏仪、卤素检漏仪、高频火花检漏器的工作原理、结构及国产检漏仪器的技术性能。
1．氦质谱检漏仪氮质谱检漏仪是用氦气为示漏气体的专门用于检漏的仪器，它具有性能稳定、灵敏度高的特点。
是真空检漏技术中灵敏度最高，用得最普遍的检漏仪器。
氦质谱检漏仪是磁偏转型的质谱分析计。
单级磁偏转型仪器灵敏度为lO-9～10-12Pam3／s，广泛地用于各种真空系统及零部件的检漏。
双级串联磁偏转型仪器与单级磁偏转型仪器相比较，本底噪声显著减小．其灵敏度可达10-14～10-15Pam3／s，适用于超高真空系统、零部件及元器件的检漏。
逆流氦质谱检漏仪改变了常规型仪器的结构布局，被检件置于检漏仪主抽泵的前级部位，因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点．适用于大漏率、真空卫生较差的真空系统的检漏，其灵敏度可达10-12Pam3／s。
(1)工作原理与结构氦质谱检漏仪由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。
①单级磁偏转型氦质谱检漏仪现以HZJ—l 型仪器为例．介绍单级磁偏转型氦质谱检漏仪，其结构如图2所示。
在质谱室内有：由灯丝、离化室、离子加速极组成离子源；由外加均匀磁场、挡板及出口缝隙组成分析器；由抑制栅、收集极及高阻组成收集器；第一级放大静电计管和冷阴极电离规。
质谱室的工作原理如图3所示。
在离化室N内，气体电离成正离子，在电场作用下离子聚焦成束。
并在加速电压作用下以一定的速度经过加速极S1的缝隙进入分析器。
在均匀磁场的作用下，具有一定速度的离子将按圆形轨迹运动，其偏转半径可按式（5）计算。
可见，当B和U为定值时，不同质荷比me-1的离子束的偏转半径R不同。
仪器的B和R是固定的，调节加速电压U使氦离子束[图中(me-1)2]恰好通过出口缝隙S2，到达收集器D，形成离子流并由放大器放大。
使其由输出表和音响指示反映出来；而不同于氦质荷比的离子束[(me-1)1(me-1)3]因其偏转半径与仪器的R值不同无法通过出口缝隙S2，所以被分离出来。
(me-1)2=4，即He+的质荷比，除He+之外，C卅很少，可忽略。
②双级串联磁偏转型氦质谱检漏仪图4示出了双级900缩转串联式磁偏转型氦质谱检漏仪的质谱室。
由于两次分析，减少了非氦离子到达收集器的机率。
并且，如在两个分析器的中间，即图中的中间缝隙S2与邻近的挡板间设置加速电场，使离子在进入第二个分析器前再次被加速。
那些与氦离子动量相同的非氦离子，虽然可以通过第一个分析器，但是，经第二次加速进入第二个分析器后，由于其动量与氦离子的不同而被分离出来。
由于二次分离，仪器本底及本底噪声显著地减小，提高了仪器灵敏度。
③逆流氦质谱检漏仪逆流氦质谱检漏仪的结构特点如图5所示。
该类仪器是根据油扩散泵或分子泵的压缩比与气体种类有关的原理制成的。
例如，多级油扩散泵对氦气的压缩比为102；对空气中其它成分的压缩比为lO4～106。
检漏时，通过被检件上漏孔进入主抽泵前级部位的氦气，仍有部分返流到质谱室中去，并由仪器的输出指示示出漏气讯号。
这就是逆流氦顷质谱检漏仪的工作原理。
(2)性能试验方法灵敏度、反应时间、清除时间、工作真空度、极限真空度及仪器入口处抽速是评价氦质谱检漏仪的主要性能指标。
①灵敏度及其校准氦质谱检漏仪灵敏度，通常指仪器的最小可检漏率。
记为qL.min，即在仪器处于最佳工作条件下，以一个大气压的纯氦气为示漏气体，进行动态检漏时所能检测出的最小漏孔漏率。
所谓“最佳工作条件”是指仪器参数调整到最佳值，被检件出气少且没有大漏孔等条件。
所谓“动态检漏”是指检漏仪器本身的抽气系统仍在正常抽气。
仪器的反应时间不大于3s。
所谓“最小可检”是指检漏讯号为仪器本底噪声的两倍时，才能认定有漏气讯号输出。
所谓“漏孔漏率”是指一个大气压的干燥空气通过漏孔漏向真空侧的漏气速率。
仪器本底噪声，一般指在2min内输出仪表的最大波动量。
漏率灵敏度标准系统如图6所示。
图中虚线框内部分为配气系统．即为标准漏孔5进气端提供压力为pHe的纯氦气。
辅助泵6的任务是预抽。
用干燥瓶4和针阀2调节仪器工作压力。
如果仪器本底为I0，本底噪声为In，标准漏孔对空气的标称漏率为qL.o，当其进气压力为pHe时的仪器讯号为I，则仪器灵敏度为式（6）。
如果检漏时用辅助系统抽气(即对示漏氦气有分流)。
或用累积法检漏时，给出仪器最小可检氦浓度(即浓度灵敏度)。
记为γmin，能较方便地估计检漏效果。
浓度灵敏度校准系统中应用一流量计测出图6的通过针阀2进入仪器的空气流率qL.o，则仪器浓度灵敏度成为式（7）。
②反应时间、清除时间及其测定反应时间是指仪器节流阀完全开启，本底讯号为零(或补偿到零)时，由恒定的氦流量使输仪表讯号上升到最大值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的时间，记为τR。
清除时间是指输出仪表讯号稳定到最大值后，停止送氦，其讯号下降到最大值的e-1倍(即O.37)所需要的时间，记为τC。
反应时间和清除时间的测定装置如图7所示。
③工作真空、极限真空及入口处抽速质谱室极限真空，尤其是工作真空及入口处抽速是表征仪器性能的重要参数。
利用检漏仪的真空规可以测定仪器的极限真空和工作真空。
利用流量计可测定仪器入口处抽速。
2．卤素检漏仪用含有卤素(氟、氯、溴、碘)的气体为示漏气体的检漏仪器称为卤素检漏仪。
该类仪器分两类：其一为传感器(即探头)与被检件相连接的称为固定式(也称内探头式)卤素检漏仪；其二为传感器(即吸枪)在被检件外部搜索的称为便携式(也称外探头式)卤素检漏仪。
示漏气体有氟里昂、氯仿、碘仿、四氯化碳等，其中氯里昂12最好。
卤素检漏仪灵敏度可达3.2×lO-9Pam3／s。
(1)工作原理与结构金属铂在800～900oC温度下会发生正离子发射，当遇到卤素气体时，这种发射会急剧增加。
这就是所谓的“卤素效应”，利用此效应制成的卤素检漏仪的结构示意图如图8所示。
传感器是个二极管，加热丝、阴极(外筒)、阳极(内筒)均用铂材制成。
阳极被加热丝加热后发射正离子，被阴极接收的离子流由检流计(或放大器)指示出来，且有音响指示。
电气部分由加热电源、直流电源、离子流放大器、输出显示及便携式的吸气装置电源等组成。
(2)性能测试方法灵敏度、反应时间及恢复时间是卤素检漏仪的主要性能参数。
其测试方法与氦质谱检漏仪的相同，这里不再赘述。
但是，卤素检漏仪的指示与卤素气体的浓度有关：一般，低浓度的指示是线性的，中等浓度的是非线性的，而当浓度很高时仪器出现饱和或中毒现象。
所以在进行性能测试或检漏时，进入传感器的卤素气体的浓度不宜高于百万分之一。
固定式卤素检漏仪传感器应和lO-1～10oPa压力范围内工作，压力过高或过低都会导致仪器灵敏度的下降。