纳米半导体
微导纳米 半导体

微导纳米半导体微导纳米半导体是一种新型的材料,具有优异的电学性能和物理特性。
它由微米级别的导电颗粒组成,可以用于制造高效、低功耗的电子器件。
本文将从微导纳米半导体的定义、制备方法、性能特点和应用等方面进行详细介绍。
一、微导纳米半导体的定义微导纳米半导体是指由微米级别的导电颗粒组成的半导体材料。
它可以通过控制颗粒形状和大小等参数来调节其电学性能,例如电阻率、载流子浓度和迁移率等。
与传统的半导体材料相比,微导纳米半导体具有更高的载流子迁移速度和更低的漏电流密度,因此可以用于制造高效、低功耗的电子器件。
二、微导纳米半导体的制备方法1. 溶液法溶液法是一种常见的制备微导纳米半导体材料的方法。
首先,在适当溶剂中溶解金属盐或有机金属化合物等前驱物质,然后通过调节反应条件(例如温度、反应时间和添加剂等),使前驱物质逐渐聚集成为微米级别的导电颗粒。
最后,通过热处理或化学还原等方法,将颗粒表面的有机分子去除或还原,从而得到纯净的微导纳米半导体材料。
2. 气相法气相法是一种制备高质量微导纳米半导体材料的有效方法。
它通常使用化学气相沉积(CVD)或物理气相沉积(PVD)等技术,在高温下将金属薄膜或化合物气体转化为微米级别的颗粒。
与溶液法不同,气相法可以在无需液体介质的情况下制备出高度均匀、无杂质和无缺陷的微导纳米半导体材料。
三、微导纳米半导体的性能特点1. 高载流子迁移速度由于微导纳米半导体颗粒具有更大的比表面积和更短的电子传输距离,因此可以提高载流子迁移速度。
这意味着在同样电场下,它可以传输更多的电荷,并且具有更快的响应速度。
2. 低漏电流密度微导纳米半导体材料具有较低的漏电流密度,这是由于其表面积大、晶界多和缺陷少的特性所致。
这种低漏电流密度可以提高器件的效率和可靠性,从而使其更加适合于高性能电子器件的制造。
3. 调节性能微导纳米半导体材料可以通过调节颗粒形状、大小和浓度等参数来调节其电学性能。
这种灵活性使得它可以用于制造各种类型的电子器件,例如场效应晶体管(FET)、太阳能电池和传感器等。
微导纳米 半导体

微导纳米 半导体《微导纳米半导体》一、简介微导纳米半导体(MEMS,Micro-Electro-Mechanical System)是将微机电系统(MEMS)与纳米技术结合在一起的新兴技术领域,它是一种能够以微米级精度设计、制造和操纵小型的机械元件的新技术。
这种技术最早发展的应用是用来制造微机械设备,其中微、纳米尺寸的部件由通常的材料制成,并通过物理、化学和机械制程加工而成。
研究人员已经开发出一系列的低成本制造技术来制造微导纳米半导体,这些技术被应用在时钟、比较器、滤波器、传感器等电子集成电路中。
二、微导纳米半导体的技术1、光刻技术光刻技术是制造微/纳米尺寸的半导体元件最常见的技术之一。
它涉及使用亮度强光源来暴露蚀刻材料中的特定区域(通常是金属或半导体物质)。
这些特定区域将把被蚀刻材料分解为不同的物质,如金、硅、镁等。
这种技术可用于制造非常小的接线板、集成电路、晶体管等微纳米元件。
2、表面起泡技术表面起泡技术也被称为蚀刻/表面结构薄膜(PSF)技术。
它是一种用于精确的准备和制造微/纳米结构的技术。
它使用一种特殊的物质,通常称为起泡剂(像碳酸钠或碳酸钙),把液态薄膜上的表面加压并腐蚀或溶解掉。
这种技术可以用来制造准确的微/纳米尺寸的晶体管、晶体滤波器和传感器等电子元件。
三、微导纳米半导体的应用微导纳米半导体在微电子、微机械、智能传感器及先进生物医学技术领域的应用都在不断拓展,未来的应用一定会有更大的发展。
1、微电子微导纳米半导体可用于改善微电子集成电路,如晶体管、二极管、比较器、滤波器、时钟电路等。
未来,它将用于更小、更快、更能效的电子集成电路的制造。
2、微机械微导纳米半导体可用于制造微机械装置,包括微机械操作器、微机械开关、微机械电机、微力传感器、微压电机、微谐振器等。
它们可以用于自动化和传感技术,用于机器人、自主系统的制造,以及用于智能设备的制造。
3、智能传感器微导纳米半导体可以用于制造荧光探测器、量子点传感器、红外探测器、高分辨率机器视觉传感器、超声波传感器等。
半导体纳米结构中的量子效应

半导体纳米结构中的量子效应在当今科技不断发展的时代,纳米科学和纳米技术已经成为研究的重要领域之一。
纳米材料的制备和应用在各个领域都有着广泛的应用,尤其是在半导体领域中,对于纳米结构中的量子效应的研究具有重要的意义。
1. 量子效应的概念量子效应是指当物质尺寸缩小到纳米尺度时,其物理性质将会呈现出与宏观物质不同的行为。
在纳米尺度下,量子效应开始显现,原子和分子的行为不再遵循经典力学,而是遵循量子力学的规律。
这些量子效应主要包括量子限域效应、量子大小效应、量子隧穿效应等。
2. 半导体纳米结构半导体纳米结构是指在半导体材料中制备出的具有纳米尺度的结构。
常见的半导体纳米结构包括纳米线、纳米颗粒、量子井等。
这些结构由于其尺寸处于纳米级别,具有强烈的量子效应。
3. 量子限域效应纳米结构的尺寸足够小时,会出现量子限域效应。
在纳米尺度下,电子的运动受到限制,只能在一个有限的区域内运动,而不能自由地传播。
这种限制导致了一系列特殊的物理现象,如能级分立、量子输运等。
4. 量子大小效应当半导体纳米结构的尺寸减小到与束缚电子波长相当时,会出现量子大小效应。
在这种情况下,量子力学运动导致电子的能级进行调整,使得能量带结构发生变化。
这种变化对于半导体器件的电子输运和能带工程具有重要意义。
5. 量子隧穿效应在半导体纳米结构中,当尺寸减小到一定程度时,电子不再被有效地束缚在能带内,而是可以通过隧穿效应逃逸到禁带中或者相邻的能带中。
这种量子隧穿效应在纳米结构的器件中有着重要的应用,如隧穿二极管和隧穿场效应晶体管。
6. 半导体纳米结构的应用半导体纳米结构由于其特殊的物理性质,在领域中被广泛应用。
例如,在纳米电子学领域,纳米颗粒和纳米线可以用于制备高效的太阳能电池和光电子器件;在纳米光学领域,纳米结构可以用于制备纳米激光器和纳米传感器;在纳米磁学领域,纳米磁性材料可以应用于高密度存储设备等。
总结:半导体纳米结构中的量子效应是当今科技发展中一个重要的研究领域。
微导纳米 半导体

微导纳米半导体微导纳米半导体是一种新型的半导体材料,具有很多独特的性质和应用潜力。
本文将介绍微导纳米半导体的定义、制备方法、特性以及在电子器件中的应用。
一、微导纳米半导体的定义微导纳米半导体是指具有纳米级微孔结构的半导体材料。
微导纳米半导体的微孔尺寸一般在纳米尺度范围内,具有高比表面积和丰富的表面反应活性。
微导纳米半导体可以用于制备高效能量转换器件和催化剂,具有广泛的应用潜力。
二、微导纳米半导体的制备方法制备微导纳米半导体的方法主要包括溶剂热法、模板法、溶胶凝胶法等。
其中,溶剂热法是一种常用的制备方法。
通过选择合适的溶剂和反应条件,可以控制微导纳米半导体的形貌和尺寸。
模板法则是利用模板材料的空隙来控制微导纳米半导体的形貌和尺寸。
溶胶凝胶法则是通过溶胶的凝胶化过程来制备微导纳米半导体。
三、微导纳米半导体的特性微导纳米半导体具有许多独特的特性,包括高比表面积、优异的光电特性、良好的电子迁移率等。
由于其纳米级微孔结构,微导纳米半导体具有更多的活性表面,能够提供更多的反应位点,从而提高催化活性和电子传输效率。
此外,微导纳米半导体还具有优异的光学性能,可广泛应用于光电器件领域。
四、微导纳米半导体在电子器件中的应用微导纳米半导体在电子器件中具有广泛的应用潜力。
首先,微导纳米半导体可以用于制备高效能量转换器件,如太阳能电池和燃料电池。
其高比表面积和优异的光电特性使其能够提供更多的反应位点和更高的光电转换效率。
其次,微导纳米半导体还可以用于制备高效催化剂,如水分解催化剂和氧气还原催化剂。
其丰富的表面反应活性和良好的电子传输性能使其能够提高催化剂的活性和稳定性。
此外,微导纳米半导体还可以用于制备传感器和存储器件等电子器件。
微导纳米半导体是一种具有独特性质和广泛应用潜力的半导体材料。
通过选择合适的制备方法,可以制备出具有不同形貌和尺寸的微导纳米半导体。
微导纳米半导体具有高比表面积、优异的光电特性和良好的电子传输性能,可以用于制备高效能量转换器件和催化剂等电子器件。
半导体纳米材料的性质与应用

半导体纳米材料的性质与应用探究半导体纳米材料是一种以纳米尺度为特点的新型材料,具有许多独特的性质和应用,被广泛应用于纳电子学、光电子学、传感器、储能与储氢等领域,已经成为新型材料研究的热点之一。
本文将就半导体纳米材料的性质和应用进行深入探讨。
一、半导体纳米材料的性质1.粒子尺寸效应首先,半导体材料在纳米尺度下,具有粒子尺寸效应。
当粒子尺寸缩小到纳米级别时,表面积与体积比例呈现平方级别的增加,导致表面能与体积能之间的比例改变,进而影响材料的物理属性。
例如,纳米材料的光学、电学、磁学、力学等物理属性都会受到粒子尺寸效应的影响。
其中最显著的是其光学性质,纳米材料的发射光谱是显著蓝移的。
2.电子结构的变化其次,半导体纳米材料的电子结构也出现了变化。
材料中的电子将呈现出量子效应,例如,电子在能量位阱中跃迁时会出现发光现象。
同时,运动的电子也将受到空间限制,在能量带和最高占据态的分布等方面也呈现出不同与体材料的特性。
3.表面缺陷另外,半导体纳米材料的表面积增大,对外开放的表面缺陷数量也相应增多。
这些表面缺陷的出现,使得半导体纳米材料中局部电荷密度的分布出现不对称性,导致表面能与体积能的比例改变。
同时这些表面缺陷也会影响材料的催化性能等。
二、半导体纳米材料的应用1.光电材料半导体纳米材料可以在光电器件、发光二极管(LED)、激光器等领域中发挥重要作用。
这是因为纳米级别下,材料的光学性质、电学性质以及传输性能都有所改变,比如ZnO纳米线具有优越的光学性能,可以在紫外光领域应用。
同时半导体纳米材料的聚集体效应、表面增强拉曼散射(SERS)等性质也被广泛应用于表面分析和染料敏化太阳电池(DSSC)等领域。
2.传感器半导体纳米材料在传感器领域中同样具有应用潜力。
例如,纳米尺度的半导体材料可用于高灵敏度的气敏传感器、生物传感器、振动传感器等。
应用时,纳米半导体材料会在检测物质与微量物质接触时发生表面性质的改变,而这种表面性质的改变可以通过传感器来识别。
纳米半导体材料在光电领域中的应用

纳米半导体材料在光电领域中的应用5,000-8,000nm。
而纳米材料则是指至少有一维尺寸在1-100纳米之间的材料。
纳米材料具有与传统材料不同的物理、化学和生物学性质,这些性质随着尺寸的减小而显著改变,因此纳米材料被广泛应用于许多领域,如电子学、材料科学、生物医学、环境科学等。
纳米金属氧化钛(TiO2)在光催化中的应用纳米金属氧化钛(TiO2)是一种重要的纳米材料,具有优异的光催化性能。
它可以利用紫外线或可见光催化分解有机物,使其转化为无害的物质,因此被广泛应用于环境治理、水处理、空气净化等领域。
此外,TiO2还可以用于制备防晒剂、自清洁涂料等产品,具有广泛的应用前景。
纳米金属材料在光催化中的应用前景随着纳米技术的不断发展,纳米金属材料在光催化领域中的应用前景越来越广阔。
目前,研究人员正在积极探索新型纳米金属材料的制备方法和应用,以进一步提高光催化性能和效率。
未来,纳米金属材料有望在环保、能源、医药等领域发挥更加重要的作用,为人类的生活和发展做出更大的贡献。
寸、形状、组成和结构的控制,以及纳米材料的制备、加工和应用过程中的控制。
这样可以提高纳米材料的制备效率和质量,并且为纳米材料的应用提供更好的基础。
2.发展多功能纳米材料随着纳米材料研究的深入,人们发现纳米材料具有多种特殊的物理化学特性,如磁性、光学、电学等,这些特性可以用于制备多功能纳米材料,如纳米传感器、纳米电池、纳米存储器等。
因此,未来纳米材料的发展趋势之一是发展多功能纳米材料,以满足不同领域的需求。
3.加强纳米材料的安全性研究纳米材料的应用已经涉及到多个领域,如医药、环保、能源等,因此纳米材料的安全性问题也越来越受到关注。
未来纳米材料的发展趋势之一是加强纳米材料的安全性研究,以确保其应用的安全性和可持续性。
4.深入探索纳米材料的基础科学问题纳米材料的研究已经涉及到多个领域,但是纳米材料的基础科学问题仍然有待深入探索。
未来纳米材料的发展趋势之一是深入探索纳米材料的基础科学问题,以推动纳米材料的研究和应用发展。
半导体纳米结构多功能传感器设计及其应用

半导体纳米结构多功能传感器设计及其应用1. 引言半导体纳米结构多功能传感器是近年来发展迅猛的一类传感器技术。
它结合了纳米材料的独特性质和半导体器件的优势,具有高灵敏度、高选择性和多功能等特点,可广泛应用于环境监测、生物医学、工业控制等领域。
本文将介绍半导体纳米结构多功能传感器的设计原理、材料选择、性能优化以及应用案例。
2. 半导体纳米结构传感器设计原理半导体纳米结构传感器的设计原理是基于纳米材料的特殊性质对目标物质进行敏感检测。
常见的设计原理包括表面增强拉曼散射(SERS)、量子点荧光探针、纳米晶体管等。
其中,SERS是一种基于纳米结构表面增强光信号的原理,通过纳米结构表面的局部电场增强了分子的振动模式,从而提高了检测的灵敏度和选择性。
量子点荧光探针则利用半导体纳米颗粒的大小分布和光学性质来检测目标物质。
纳米晶体管是一种基于半导体纳米薄膜的传感器,通过改变纳米薄膜与目标物质接触时的电荷传输特性来检测目标物质。
3. 半导体纳米结构传感器材料选择半导体纳米结构传感器的性能和应用取决于所选用的纳米材料。
常见的纳米材料包括金属纳米颗粒、碳纳米管、量子点、金刚石薄膜等。
金属纳米颗粒具有表面等离子共振现象,能够实现高灵敏度的SERS检测。
碳纳米管具有优良的电导性能和机械性能,可用于纳米晶体管传感器的构建。
量子点具有尺寸可调的荧光特性,可用于荧光探针。
金刚石薄膜具有宽带隙、化学稳定性和生物相容性,可用于生物传感器的设计。
4. 半导体纳米结构传感器性能优化半导体纳米结构传感器的性能优化包括提高灵敏度、选择性和稳定性。
灵敏度的提高可以通过优化纳米结构的形貌、大小和分布来实现,以增加敏感区域和表面积。
选择性的提高可以通过表面功能化来实现,将特异性识别元素引入传感器材料的表面,使其与目标物质发生高度选择性的反应。
稳定性的提高可以通过优化传感器的材料结构和接触界面,减少杂质和氧化物对传感器性能的影响。
5. 半导体纳米结构传感器应用案例半导体纳米结构传感器在环境监测、生物医学和工业控制等领域有着广泛的应用。
ZnO纳米半导体材料制备

ZnO纳米半导体材料制备ZnO纳米半导体是一种重要的半导体材料,在化学、电子学、材料学等领域有着广泛的应用。
本文主要介绍ZnO纳米半导体材料的制备方法及其应用。
一、ZnO纳米半导体材料制备方法1. 溶胶-凝胶法溶胶-凝胶法是一种常用的制备ZnO纳米材料的方法。
该方法以氧化锌为前驱体,将其以适当的浓度溶解在有机溶剂中,加入表面活性剂后通过水热处理得到ZnO纳米晶粒。
2. 水热法水热法是一种快速简单的制备ZnO纳米半导体材料的方法。
该方法可以通过改变反应物浓度、反应温度和反应时间等条件来控制ZnO纳米晶粒的大小和形状。
3. 热分解法热分解法是一种通过分解金属有机化合物制备ZnO纳米晶粒的方法。
该方法可以制备高品质的ZnO纳米晶粒,但需要高温下进行反应,操作较为复杂。
4. 气相沉积法气相沉积法是一种将气相反应物在高温下沉积在基底表面上制备ZnO纳米晶粒的方法。
该方法可以通过控制反应条件来调控ZnO 纳米晶粒的大小和形状。
二、ZnO纳米半导体材料的应用1. 光电器件ZnO纳米半导体材料在太阳能电池、LED等光电器件方面有着广泛的应用。
ZnO纳米材料可以提高器件的光电转换效率、增加光敏度、减少暗电流等。
2. 生物医学领域ZnO纳米材料在生物医学领域有着广泛的应用。
ZnO纳米颗粒可以用作抗菌剂、药物传递系统、生物成像等方面。
3. 环境保护ZnO纳米材料在环境保护领域有着广泛的应用。
ZnO纳米颗粒可以用作光催化材料、气体传感器、废水处理等方面。
4. 纳米传感器ZnO纳米材料在纳米传感器领域有着广泛的应用。
ZnO纳米颗粒可以用作气敏材料、湿度传感器等方面。
ZnO纳米半导体材料是一种重要的材料,在各个领域都有着广泛的应用前景。
随着制备技术的不断发展,ZnO纳米材料的性能和应用将会得到更大的提升。
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纳米半导体的应用前景 3.1纳米半导体的前景 3 3.2纳米半导体存在的问题 3.3纳米半导体的现状
3.1纳米半导体的前景
• 商业化的光伏电池难以大规模推广应用,而纳米晶光伏电池优异的 光电转换特性,制备较为简单 • 纳米半导体粒子的高比表面、高活性、特殊的物性等使之成为应用 于传感器方面最有前途的材料
2.4纳米半导体粒子电学特性
• 1.纳米半导体材料的介电常数随测量频率的减小呈明显上升趋势, 而相应的常规半导体材料的介 电常数较低, 在低频范围内上升趋势远远低于纳米半导体材料 • 2.在低频范围, 纳米半导体材料的介电常数呈现尺寸效应 • 3.介电常数温度谱及介电常数损耗谱特征 • 4.压电特性
• MBE与其它传统生长技术(LPE-液相外延 ,VPE -气相外延 等) 的诸多优 点
• 在系统中配置必要的仪器便可对外延生长的表面、生长机理、外延层结晶学质量以及电学性质 进行原位检测和评估 • 它的生长速率慢和喷射源束流的精确控制有利于获得超薄层和单原子层界面突变的异质结构 • 通过对合金组分和杂质浓度的控制, 实现对其能带结构和光电性质的“ 人工剪裁” , 从而制备出 各种复杂势能轮廓和杂质分布的超薄层微结构材料
纳米半导体材料
黄斌 10312111 杨高 10112117 曾文贤 10112115
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简介
纳米半导体结构的制备 纳米半导体材料的性能
纳米半导体的应用前景
0纳米半导体材料简介
• 当半导体材料的尺度缩小到纳米范围时,其物理、化学性质将发生显著变化,并呈现出由高表 面积或量子效应引起的独特性能 • 什么是纳米半导体材料 • 纳米半导体材料是由颗粒尺寸为1-100 um的粒子凝聚而成的块体薄膜多层膜和纤维等 • 纳米半导体材料的基本构成 • 纳米微粒和它们之间的分界面
4.模板法
模板是指含有高密度的纳米柱形孔洞, 厚度为几十至几百微米厚的膜 用模板法合成纳米材料给人们更多的自由度来控制体系的性质
5.LB膜法
LB膜技术是利用氯苯膜制备纳米微粒和超薄膜 a.利用含金属离子的LB 膜, 通过和气体等进行化学反应获得 半导体膜 b.利用LB 膜技术可以实现纳米微粒的有序组装, 并能获得厚 度精确控制的单粒子膜
1.3半导体微结构材料生长和精细加工相结 合的制备技术
• 方法
• 利用MBE或MOCVD等技术首先生长半导体微结构材料如:AIGaAs/ GaAs材料等, 进而结合高空间分 辨电子束曝光直写, 湿法或干法刻蚀注入隔离制备纳米量子线和量子点 • 优点 • 图形的几何形状和密度(在分辨率范围内)可控
• 缺点
纳米半导体结构的制备 1.1分子束外延(MBE)技术 1 1.2金属有机物化学汽相淀积(MOCVD)技术 1.3半导体微结构材料生长和精细加工相结合的制备技术 1.4化学方法制备半导体纳米材料
1.1分子束外延(MBE)技术
• 什么是MBE?
• MBE技术实际上是超高真空条件下, 对分子或原子束源和衬底温度加以精密控制的薄膜蒸发技术
3.1纳米半导体存在的问题
• 纳米半导体微粒是在纳米尺度上原子和分子的集合体, 这个过去从来没有被人们注意的非宏观、 非微观的中间层次出现许多新问题 • 对纳米尺度上电子行为的描述必须引入新的理论, 这也将促进介观物理、量子物理和混沌物理的 发展
3.3纳米半导体的现状
• 1.在纳米半导体制备方面, 追求获得量大、尺寸可控、表面清洁, 制备方法趋于多样化, 种类和品 种繁多 • 2.在性质和微结构研究上着重探索合材料是该领域的热点 • 4.纳米半导体材料的光催化及光电转换研究表现出诱人的前景
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• 图形实际分辨率不高 • 横向尺寸远比纵向尺寸大 • 边墙( 辐射, 刻蚀) 损伤 • ......
1.4化学方法制备半导体纳米材料
• 1.溶胶-凝胶法 • 2.微乳液法
• 3.反相胶束法
• 4.模板法 • 5.LB膜法
1.溶胶-凝胶法
2.微乳液法
微乳液是由油、水、乳化剂和助化剂组成各 相同性, 热力学稳定的透明或半透明胶体分散 体系, 其分散相尺寸为纳米级
纳米半导体材料的性能 2.1光学性质 2 2.2光电催化特性 2.3 光电转换特性 2.4纳米半导体粒子电学特性
2.1光学性质
• 1.宽频带强吸收
• 纳米氧化硅、碳化硅和三氧化二铝粉对红外有一个宽频带强吸收谱
• 2.蓝移现象
• 纳米微粒的吸收带普遍存在“ 蓝移” 现象, 即吸收带移向短波方向
2.2光电催化特性
• 便于精确控制及换源无需将系统暴露大气 • 利于大面积、多片的工业规模生产,如AIX2600G3
• MOCVD技术的弱点
• Mo源(高纯金属有机化合物)和氢化物毒性大、化学污染需倍加防范 • 较高的生长温度使材料纯度和界面质量与MBE相比要差
法国Annealsys MOCVD设备 型号MC200
LB膜是两亲分子在空气-水界面通过水平加 压使分子紧密有序排列形成的单分子膜
LB 膜法所需设备简单, 条件易控, 制备的纳米材料既具有纳 米微粒特有的量子尺寸效应, 又具有LB 膜的分子层次有序, 膜厚可控, 易于组装, 光电性质可调等优点, 在微电子学、光 电子学、非线性光学和传感器等领域有着十分广阔的应用前 景。
制备纳米粒子的微乳液往往是W/O(油包 水)型体系。
3.反相胶束法
反相胶束是依靠表面活性剂使水在油滴中稳定存在, 液 滴的直径由水的体积控制
和微细离子束反相胶束法制备纳米粒子具有粒径小且可控, 粒径分布窄且呈单分散状态等优点; 但是, 也存在着粒子难与 溶液分离, 且分离后易聚结的缺点。
反相胶束微反应器
• 1.纳米半导体粒子优异的光电催化活性 • 2.纳米半导体粒子奇特的选择性
• 3.纳米半导体粒子的吸收特性
• 4.光照作用下纳米半导体粒子
2.3 光电转换特性
• 纳米半导体粒子构成的多孔大比表面PEC 电池具 有优异的光电转换特性 • ZnO、CdSe、CdS、WO3、Fe2O3、SnO2、Nb2O5 和Ta2O5 等纳米晶光伏电池均具有优异的光电转 换性能 • 昂贵的染料敏化仍然是必须的, 由染料敏化的纳 米晶光伏电池的光谱响应、光稳定性等有待进一 步研究
分子束外延及超高真空沉积系统
1.2金属有机物化学汽相淀积(MOCVD)技术
• 什么是MOCVD?
• MOCVD是用氢气将金属有机化合物蒸气和气态非金属氢化物经过开关网络送入反应室加热的衬 底上, 通过热分解反应而最终在其上生长出外延层的技术
• MOCVD技术的优点
• 适合生长各种单质和化合物薄膜材料, 特别是蒸气压高的磷化物, 高Tc(锝)超导氧化物及金属薄膜 等