电子级高纯气体输送系统概述
高压气力输送系统
一、概述浓相气力输灰系统【DENSE PHASE PNUMATIC CONVEYING SYSTEM】采用了先进成熟的管道二相流技术，实现粉料颗粒的高效、可靠、低能耗、长距离输送；是燃煤电厂锅炉飞灰处理的理想设备〖系统〗。
二、系统工艺流程本系统由仓泵、气源、管道和灰库等部分组成，采用集中程序控制方式，实现系统设备的协调有序运行。
系统采用F型上引式流态化仓泵【FLUIDIZED ASH TRANSMITTER】作为关键输送设备，仓泵直接连接在电除尘器【ESP】灰斗下，接受电除尘器收集的飞灰，同时采用空气压缩机【AIR COMPRESSOR】作为动力源，通过密闭的管道【PIPELINE】，在高浓度、低流速的状态下，把飞灰【FLYASH】输送至贮灰库【SILO】。
三、浓相气力输灰系统典型设备配置1.流态化仓泵F型上引式流态化仓泵为一耐疲劳、耐磨损的低压容器，仓泵本体上封头内集成有气动进料阀，以控制飞灰进入仓泵；下封头设一流化气室，内装流化盘，流化气室与进气管道相联，并通过气动进气阀控制压缩空气的流入；出料管从流化盘中心附近向上引出泵体并与气动出料阀相联，出料阀控制灰气混合物排入管道；为满足自动控制的要求，仓泵体上还装有料位计和压力传感器。
2.气源系统气源由空气压缩机、压缩空气净化过滤设备及贮气罐等组成。
空压机一般采用流量10～20 m3/min、压力0.7MPa的螺杆式空压机，对于连续运行工况，螺杆式空压机比活塞往复式空压机具有更高的可靠性；贮气罐起到稳定压力、缓冲用气、冷却除水等作用，为满足间歇用气的工况要求，一般选用较大容量的贮气罐；由于空压机排出的压缩空气中含有大量的水份，包括液态水份和气态水份，这些水份对飞灰输送是不利的，可采用多级过滤除去液态水份，同时采用干燥机〖冷冻干燥机或吸附式干燥机〗除去部分气态水份，降低压缩空气露点，以防止和飞灰混和时产生结露、结块等现象。
由于系统输送流速较低，输灰管道可采用普通无缝钢管，壁厚一般6～8mm。
半导体气体系统组成
半导体气体系统组成摘要：I.半导体气体系统概述- 半导体气体系统的定义和作用- 半导体气体系统的组成部分II.半导体气体系统的主要组成部分- 气体供应系统- 气体来源和制备- 气体输送和分配- 气体检测和控制系统- 气体浓度检测- 气体质量控制- 气体流量控制- 气体应用系统- 半导体制造过程的气体应用- 半导体器件的气体封装III.半导体气体系统的安全和环保问题- 气体泄漏和中毒风险- 气体排放和环境影响- 安全措施和环保要求IV.半导体气体系统的发展趋势- 高效节能的气体系统- 绿色环保的气体系统- 智能化和自动化的气体系统正文：半导体气体系统是半导体行业中不可或缺的组成部分，它为半导体制造过程提供了必要的气体供应和控制。
半导体气体系统主要由气体供应系统、气体检测和控制系统和气体应用系统组成。
气体供应系统是半导体气体系统的核心部分，它负责从气体来源制备和输送气体。
气体来源主要包括空气、工业气体和特种气体等，这些气体需要经过严格的制备和净化处理，以满足半导体制造过程的要求。
气体输送和分配系统则需要确保气体在系统中的稳定供应和合理分配，以满足不同半导体器件制造过程的需求。
气体检测和控制系统是半导体气体系统的安全保障，它负责对气体浓度、质量和流量进行检测和控制。
气体浓度检测需要精确地检测气体的浓度，以确保气体在制造过程中的使用安全。
气体质量控制需要对气体进行严格的质量检测，以保证气体的纯度和活性。
气体流量控制需要精确地控制气体的流量，以确保半导体制造过程的稳定性和一致性。
气体应用系统是半导体气体系统的重要组成部分，它负责将气体应用于半导体制造过程。
半导体制造过程中需要使用多种气体，如氧气、氮气、氩气、氢气等，这些气体需要通过气体应用系统进行精确的控制和应用，以实现半导体器件的制造和封装。
半导体气体系统的安全和环保问题也是不可忽视的。
气体泄漏和中毒风险需要通过安全措施和应急预案进行预防和应对。
气体排放和环境影响需要通过绿色环保的气体系统进行控制和减少。
纯气体输送系统中气体与管道的关系
纯气体输送系统中气体与管道的关系已有 42 次阅读2011-2-12 14:04||高纯气配管技术是高纯气体供气系统的重要组成部分，是能否将合符要求的高纯气体送至用气点仍保持质量合格的关键技术；所谓高纯气配管技术包括系统的正确设计、管件及附件的选择、施工安装和试验测试等内容。
近年来以大规模集成电路为代表的微电子产品生产对高纯气体的纯度和杂质含量的日益严格的要求，使高纯气体的配管技术日益受到关注和重视。
以下针对高纯气体输送从选材到施工以及验收、日常管理作个简单的概述。
常见气体的种类电子行业中常见气体的分类：普通气体，也称大宗气体（Bulk gas ）：氢气（H2）、氮气（N2）、氧气（O2）、氩气（A2）等特种气体（Specialty gas ）主要有SiH4 PH3 B2H6 A8H3 CL HCL CF4 NH3 POCL3 SIH2CL2 SIHCL3 NH3 BCL3 SIF4 CLF3 CO C2F6 N2O F2 HF HBR SF6……等等特殊气体的种类一般可分为腐蚀性、毒性、可燃性、助燃性、惰性等，一般常用的半导体气体分类如下：(一)、腐蚀性/ 毒性：HCl 、BF3、WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、PH3、Cl2、BCl3 …等(二)、可燃性：H2、CH4、SiH4、PH3、AsH3、SiH2Cl2、B2H6、CH2F2、CH3F、CO…等(三)、助燃性：O2、Cl2、N2O、NF3…等(四)、惰性：N2、CF4、C2F6、C4F8、SF6、CO2、Ne、Kr、He…等半导体气体很多是对人体有害。
特别是其中有些气体如SiH4的自燃性，只要一泄漏就会与空气中的氧气起剧烈反应，开始燃烧；还有AsH3的剧毒性，任何些微的泄漏都可能造成人员生命的危害，也就是因为这些显而易见的危险，所以对于系统设计安全性的要求就特别高。
气体的应用范围气体产品作为现代工业重要的基础原料，应用范围十分广泛，在冶金、钢铁、石油、化工、机械、电子、玻璃、陶瓷、建材、建筑、食品加工、医药医疗等部门，均使用大量的常用气体或特种气体。
气体输送技术方案
气体输送技术方案气体输送技术是指将气体从一个地点传输到另一个地点的技术。
气体输送技术在化工、石油、天然气等行业中广泛应用。
气体输送可以通过管道输送、车辆输送、船舶输送或者管道和船舶相结合的方式来实现。
在气体输送的过程中，需要考虑气体性质、输送距离、输送速度、输送温度等因素，以及如何安全高效地进行输送。
本文将详细介绍气体输送技术方案。
一、气体输送方式1.管道输送管道输送是气体输送的常用方式，它具有输送量大、输送距离远、输送成本低的优势。
在进行管道输送时，需要考虑气体的压力、温度、流速等参数，以及管道的材料、直径、长度等因素。
根据气体的性质和要求，可以选择不同材料的管道，如钢管、塑料管、玻璃管等。
2.车辆输送车辆输送是通过专门设计的罐车将气体运输到目的地。
车辆输送适用于输送距离较短的情况。
在进行车辆输送时，需要考虑气体的压力和温度，以及罐车的尺寸、容量和密封性能。
3.船舶输送船舶输送是将气体运输到不同的港口。
船舶输送可以单独使用，也可以与管道输送结合使用。
在进行船舶输送时，需要考虑气体的压力和温度，以及船舶的尺寸、容量和适航性能。
二、气体输送技术1.管路热损失减小技术在管道输送气体的过程中，热损失是不可避免的。
热损失会降低输送效率，同时也会增加能源消耗。
为了减小热损失，可以采用以下技术：（1）在管道内部加装隔热材料，比如聚乙烯泡沫板、玻璃纤维纸等；（2）优化管道设计，采用较小的管径和更长的管道，同时降低气体流速，减小热损失。
2.气体净化技术在输送气体的过程中，气体中可能会含有杂质，比如水分、氧分、二氧化碳等。
这些杂质会影响气体的品质和使用效果。
为了净化气体，可以采用以下技术：（1）通过冷凝技术将气体中的水分凝结成液态，并通过分离器去除；（2）通过吸附剂去除气体中的杂质，常用的吸附剂有活性炭、分子筛等。
3.气体压缩技术在进行管道输送气体时，需要将气体压缩到一定的压力，以便增加输送量和减小输送能耗。
为了保证气体的稳定性和安全性，气体压缩需要采用专用的压缩机和控制系统。
半导体气体系统组成
半导体气体系统组成半导体气体系统组成在讨论半导体气体系统的组成之前，我们首先需要了解半导体以及其在电子器件中的重要性。
半导体是一种电导能力介于导体和绝缘体之间的材料，具有比普通物质更低的导电率，同时能够通过施加外部电场或光照来改变其电学特性。
由于半导体的独特性质，它被广泛应用于现代电子器件，如计算机芯片、太阳能电池等。
而半导体气体系统则是一种用于半导体生产和加工过程中的气体体系，起着至关重要的作用。
那么，半导体气体系统由哪些组成部分构成呢？让我们一起深入探讨。
1. 气体供应系统：半导体气体系统最基本的组成部分之一是气体供应系统。
这个系统包括气体储存和输送设备，负责提供所需的气体。
在半导体生产和加工过程中，常用的气体包括氮气、氢气、氧气、氩气等。
这些气体在半导体器件的制造过程中起着关键的作用，例如用于清洗、保护和沉积等。
确保气体供应系统的稳定性和可靠性对于保证半导体生产的质量至关重要。
2. 气体净化系统：由于半导体对气体的纯度要求非常高，因此半导体气体系统中必须配备气体净化系统。
气体净化系统主要用于去除气体中的杂质和有害物质，以确保半导体生产过程的纯净性和稳定性。
净化系统通常包括过滤、吸附和化学反应等步骤，以消除可能对半导体器件产生负面影响的有害物质。
通过采用高效的气体净化系统，可以有效提高半导体器件的可靠性和性能。
3. 气体分配和控制系统：半导体气体系统中的气体分配和控制系统负责将净化后的气体分配到具体的工艺设备中，并对气体的流量、压力和浓度等参数进行精确控制。
这些参数的准确控制对于保证半导体生产的一致性和稳定性至关重要。
气体分配和控制系统通常配备了高精度的仪表和自动化控制设备，以满足半导体生产过程的要求。
4. 废气处理系统：半导体生产和加工过程中会产生大量的废气，其中包含一些有害物质。
为了保护环境和人员健康，半导体气体系统需要配备废气处理系统。
废气处理系统通过吸收、燃烧、催化氧化等方法对废气进行处理，以将有害物质转化为无害物质，并满足环保法规的要求。
气动输送系统
气动输送系统气动输送系统是一种利用气体压力将物料输送至目的地的方式。
这种系统具有许多优点，如高效、节能、安全、清洁等。
随着生产技术的不断发展，气动输送系统已经成为众多行业中不可或缺的一种设备。
一、概述气动输送系统是将固体、液体或气体通过管道运输的一种方式。
通常由三部分组成，压缩机、传送管道和接受设备。
与其他输送方式相比，气动输送系统有如下特点：1. 高效：气动输送系统可以高效地输送物料，为生产带来了很大的变革。
2. 节能：与传统的输送方式相比，气动输送系统的能耗更低。
3. 安全：气动输送系统采用食品级管道，不会污染物料，而且运行时不会产生火花或静电，大大减少了爆炸的风险。
4. 清洁：气动输送系统运行时不会产生重金属或有害气体，不会对环境造成污染。
二、组成部分气动输送系统通常分为三部分：压缩机、传送管道和接受设备。
1. 压缩机压缩机是气动输送系统的主要部件。
其作用是将气体压缩成高压气体，供给传送管道使用。
气动输送系统中常用的压缩机有离心式压缩机和容积式压缩机。
2. 传送管道传送管道是气动输送系统中的另一个重要组成部分。
传送管道的主要功能是将物料输送至目的地。
在传送管道中，物料通过气流推动，因此需要以一定的速度和压力驱动气流。
根据传送管道的用途和物料的特性，选择不同的管道规格和材质。
3. 接受设备接受设备通常是指物料的接收和处理设备。
可以根据物料的特性选择不同的接受设备。
例如，对于粘性物料，需要选择特殊的干燥设备，以保证物料的质量和处理效果。
三、应用场合气动输送系统可以应用于许多不同的领域，例如食品、石化、制药等。
1. 食品工业在食品工业中，气动输送系统通常用于输送粉状物料、颗粒状物料和液体物料。
例如，气动输送系统可以广泛应用于食品包装、罐头制造和乳制品生产等领域。
2. 石化工业在石化工业中，气动输送系统通常用于输送粉状物料、颗粒状物料和液体物料。
例如，气动输送系统可以应用于水泥、石灰、煤粉、石墨、碳酸钙粉等石化原材料的输送和储存。
氢气输送系统的优化控制与调度技术
氢气输送系统的优化控制与调度技术氢气是一种清洁的能源，被广泛应用于各个领域，如能源生产、交通运输和工业生产等。
氢气能源的发展对环境友好、节能减排有着重要的意义。
而则是保障氢气能源高效稳定运行的重要保障。
一、氢气输送系统的概述氢气输送系统是将氢气从生产厂商输送到用户终端的系统工程，包括管道输送系统、氢气存储系统、氢气加氢站等组成部分。
其运行稳定性和效率对氢气能源的推广应用至关重要。
1. 管道输送系统管道输送是一种传统的氢气输送方式，通过管道将氢气从生产厂商输送到不同的用户终端。
管道输送系统需要考虑输送距离、输送压力、管道材质等因素，以确保氢气输送的安全可靠。
2. 氢气存储系统氢气的存储系统是氢气输送系统中的重要组成部分，可以有效平衡氢气生产和消费之间的波动。
目前常见的氢气存储方式包括液氢储罐、氢气压缩储罐等。
3. 氢气加氢站氢气加氢站是氢气能源的衔接环节，将储存的氢气送至用户终端，并为氢燃料电池车辆提供加氢服务。
氢气加氢站需要考虑供氢量、加氢速度、安全性等因素。
二、氢气输送系统的优化控制技术为了提高氢气输送系统的效率和运行稳定性，优化控制技术起着至关重要的作用。
1. 氢气输送系统建模建立氢气输送系统的数学模型是进行优化控制的前提。
通过对管道输送系统、氢气储存系统和氢气加氢站等部分进行建模，可以分析和预测系统的运行情况。
2. 氢气输送系统的优化控制策略针对氢气输送系统的特点，可以采用不同的优化控制策略，如模型预测控制、自适应控制、遗传算法等。
这些策略可以有效提高系统的运行效率和能耗利用率。
3. 氢气输送系统的智能监控技术利用物联网、大数据分析等技术，可以实时监控氢气输送系统的运行情况，及时发现和解决问题，提高系统的安全性和可靠性。
三、氢气输送系统的调度技术氢气输送系统的调度技术是保障氢气能源供需平衡的重要手段。
1. 氢气输送系统的运行调度在氢气输送系统的运行过程中，需要进行合理的调度，以实现氢气能源供需的平衡。
气力输送系统
气力输送系统：高效物料搬运的绿色选择1. 输送效率高气力输送系统采用封闭式管道输送物料，减少了物料在输送过程中的损耗，提高了输送效率。
同时，系统可根据生产需求调节输送速度，实现精准、快速的物料搬运。
2. 节省空间与传统输送设备相比，气力输送系统占地面积小，管道布局灵活，可轻松穿越障碍物，实现三维空间输送。
这对于空间受限的工厂车间来说，无疑是一大福音。
3. 环保节能气力输送系统在输送过程中，物料与外界隔绝，有效减少了粉尘污染。
同时，系统采用节能型风机，降低能耗，符合我国节能减排的政策要求。
4. 维护简便气力输送系统结构简单，故障率低。
日常维护仅需关注风机、管道及阀门等部件，大大降低了维护成本。
5. 适用范围广气力输送系统可广泛应用于化工、食品、医药、建材等行业，输送物料种类繁多，如面粉、石灰、水泥、矿粉等。
气力输送系统以其高效、环保、节能的优势，逐渐成为现代工业生产的首选物料输送方式。
随着技术的不断进步，气力输送系统将在更多领域发挥其重要作用。
气力输送系统的多元应用与未来发展6. 灵活多样的系统配置气力输送系统可根据不同的生产需求，进行多种配置。
无论是单点供料还是多点供料，直线输送还是转弯输送，都能通过合理的管道设计和组件选择来实现。
这种灵活性使得气力输送系统能够更好地适应各种复杂的生产环境。
7. 安全性高在危险品或易燃易爆物品的输送过程中，气力输送系统的封闭性设计大大降低了安全风险。
系统配备的自动控制装置能够在发生故障时及时报警并停止运行，确保生产安全。
8. 改善工作环境传统的物料输送方式往往伴随着噪音和粉尘，对工作人员的身心健康造成影响。
气力输送系统则有效减少了这些问题的发生，为员工创造了一个更加清洁、安静的工作环境。
9. 智能化发展随着工业4.0的推进，气力输送系统也在向智能化方向发展。
通过集成先进的传感器、控制系统和数据分析技术，气力输送系统可以实现实时监控、故障预测和自动优化，进一步提升生产效率。
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电子级高纯气体输送系统概述李东升(上海正帆超净技术有限公司，上海，201108)摘要：从系统设计角度，论述了电子级高纯气体输送系统的主要设备，气体纯化器选型，输送管道、管件和阀门的材料和型式，安装施工验收的技术指标，以及微量污染的来源及控制措施等。
关键词：高纯气体；纯化；输送系统；微量污染OverviewofElectronicGradeHighPurityGasDeliverySystemDennis Li (Shanghai GenTech UHP Co., Ltd, Shanghai 201108)Abstract:This paper, from system design point of view, describes electronic grade highpuritygasdeliverysystem,includingmajorequipmentintroduction,gaspurifierselecti on,delieverypipingandcomponentsmaterialandtype,installationandtestspecification, microcontamination source and prevention, etc.Keywords:High purity gas; Purification; Delivery system; Microcontamination1.简介随着大规模集成电路制造技术的日益发展，工艺对所用气体纯度的要求也越来越高。
为了满足客户用气点规格需求，必须将气源纯化，并经高纯管路系统输送到用气点。
本文将从系统设计的角度，论述高纯气体系统的主要设备选型、管道设计和施工标准。
高纯气源纯度一般99.998% (氧气> 99.6%)，杂质含量通常在10ppm以内。
经纯化过滤后，纯度可达99.99998%(>99.95%forO2)，杂质含量可控制在1～50 ppb(氧气中的氮气除外)，0.02微米的颗粒度10颗/立方英尺。
气体在输送过程中也可能被污染，主要包括化学污染和颗粒污染。
化学污染包括来自材料/管路表面的析出气体（H2O,H2），接头密封处微小泄漏引起的反向扩散（O2,H2O,CO2），以及由于系统设计和部件选型引起的死区扩散（O2,H2O,CO2,H2）。
颗粒污染是由于材料/管路表面和设计造成的现有颗粒脱落以及新颗粒的产生。
2.气源气体来源一般分深冷液体（如液氮、液氩、液氧）和高压气体（如氢气、氦气）两种。
低温液体储罐是双层容器，内层容器装液体，与外层容器之间的空隙充填有保温材料并抽真空。
这样可以确保泄漏到内层容器内的热量降到最小。
液罐配有充装、压力控制、泄压和液位计等装置。
蒸发器是用于将低温液体转化成气体的换热器，通常是大气环境的翅片管蒸发器。
压力控制组管(PCM)向客户工艺制程输送稳定压力的气体。
PCM通常配有旁路，以便在维护时不需切断气体。
过滤器组管在PCM的下游，装有两个并列的过滤器，以避免在更换过滤器时停机。
3.气体纯化3.1.消气剂型纯化器：用于氮气、氩气或氦气该装置通过加热的不挥发金属消气剂床层的消气剂反应（物理吸附和化学吸附），可将氮气、氩气和氦气中的气相杂质(如O2, H2, CO2, CO, CH4, H2O)，以及氩气、氦气中的氮气降至极低浓度。
该装置由消气剂柱、加热器、过滤器（可选）和气体装配件。
氮气纯化器使用的消气剂与氩气/氦气的不同，两者不能互换使用。
消气剂材料不可再生。
当消气剂材料用完时，整个消气剂柱将被更换，装置可由产品气体吹扫后再次利用。
消气剂柱的使用寿命取决于气体流量和入口杂质水平，必须根据特定现场情况评估。
3.2.催化剂/吸附型纯化器：用于氮气、氩气或氦气该装置通过使用镍催化剂反应柱（单独置于小装置中），或与分子筛吸附柱（在大装置中）串联，从而将气体产品中的气相杂质(如CO2, CO, O2, H2, H2O)去除,使其降至极低浓度。
反应柱（或反应吸附柱）都是可再生型的，且经并联配有一个单柱（或一套双柱），一边在纯化气体时，另一边则处于再生状态。
产品气体气流可在两柱间来回交替流动。
镍催化剂和分子筛可通过加热和以混合有1%氢气的产品气体吹扫其反应床达到再生的目的。
3.3.催化剂型纯化器：用于氧气该装置可通过一支加热的钯催化剂反应柱和一个与之串联的室温分子筛吸附柱，从而从氧气中去除气相杂质(如CO2, CO, CH4, H2, H2O),使其降至极低浓度。
分子筛柱是可再生型的，设计成并联的两支柱子，一边在纯化气体时，另一边则处于再生模式。
氧气气流可在两分子筛柱间来回交替流动。
该装置包括一个钯催化柱、两个分子筛柱、热交换器、加热器、过滤器和其它部件。
分子筛可通过加热和以纯氧吹扫再生。
3.4.消气剂型纯化器：用于氢气该装置通过室温镍/分子筛柱（化学/物理吸附）和一个加热的金属氢化物消气剂柱（化学吸附），去除氢气中的气相杂质(如O2, CO2, CO, N2, CH4, H2O)使其降至极低杂质浓度。
镍/分子筛柱可以再生，设计成并联的两个柱，一个在纯化气体时，另一个则处于再生状态。
氢气流可在两分子筛柱间来回交替流动。
该装置包括两支镍/分子筛柱、一支金属氢化物消气剂柱、热交换器、加热器、过滤器（可选）和其它部件。
消气剂材料不可再生。
当消气剂材料用完时，整个消气剂柱被换新，装置可用氩气吹扫再次利用。
消气剂柱的使用寿命取决于气体流量和入口杂质水平，必须根据特定现场情况评估。
镍/分子筛可通过加热和以纯氢吹扫而再生。
3.5.钯管型纯化器：用于氢气该类装置通过加热的钯管（该管只允许氢分子扩散通过），去除氢气中的气相杂质(如O2, N2，CO2, CO, Ar，CH4, H2O)使其降至极低杂质浓度。
该装置只有在大于200psi(14bar)的压差存在时才可有效运转。
包括钯管单元、热交换器、加热器、过滤器（可选）以及其它部件。
3.6.干燥器：用于氩气、氧气、氢气、氮气和氦气该装置通过室温分子筛管（物理吸附），去除氩气、氧气、氢气、氮气和氦气中的湿气（H2O），使其降至极低杂质浓度。
该纯化器包括一支填满分子筛的管子，间或带有进口和出口阀。
分子筛是可再生型的，可以少量最初成本价格返回原厂再生。
3.7.室温型纯化器：氩气、氦气、氮气和氢气该装置通过使用室温镍催化剂管（化学和物理吸附）去除O2, H2O, CO, CO2和H2杂质，使其降至极低浓度水平。
此纯化器包括一支填满镍催化剂的管子，间或带有进口和出口阀。
该管是再生型的，可以少量最初成本价格返回原厂再生。
4.输送管道4.1.防止微量污染的材料选择合适的材料和表面处理对防止气体析出和微量粒子污染至关重要。
国际半导体设备和材料协会（SEMI E49)对高纯管道系统的材料和测试进行了详细描述。
4.1.1.管道和部件应用不锈钢或镍基合金（如哈氏合金）管道和部件，制定详细的磨光和钝化工艺（如电解抛光，氧钝化），以减小管道内表面积并增加其抗腐蚀能力。
典型的电子级管道和部件是由电解抛光至平均Ra为10微米（最大Ra为15微米）的316L的不锈钢制得。
4.1.2.塑料材质尽量减少阀门和调压阀座处使用的塑料材质的体积和气流接触面。
塑料材质可析出大量不纯物，特别是湿气。
4.2.机械设计防止微量污染为了防止反向扩散，系统设计采用最小死区和内表面面积，选用小容积和内表面的部件非常关键。
阀门及滤器的选型和位置则是防止粒子微量污染的重要环节4.2.1.焊接为防止反向扩散，应设计为全焊接系统，尽量减少机械接头。
如果遇到必须是机械连接的情况时，则只能应用面密封型连接。
务请注意，在电子级系统中绝对不可使用螺纹连接4.2.2.部件选择为防止反向扩散，只可使用隔膜密封或波纹管密封阀门。
因为隔膜密封阀可使死区和内表面积降至最小。
选用流通型或三通型压力传感器替换带有测压管的表头可将死区降至最小。
在使用三通管件和在线阀门处改用模块型分支阀以将死区降到最低。
不可使用带有摩擦、滑动或旋转部件（如球阀）的组件，因为这些部件均可产生颗粒。
为了防止经卸压阀的内漏和反向扩散，卸载阀应与上游安装爆破片。
在已知的颗粒产生点（如纯化器床层）的下游安装过滤器。
过滤器应安装在温控区域以减少过滤介质上的颗粒脱落和析出气。
为运输方便，当管帽需焊接在预制设备上时，应使管帽呈水平或向下状态，这样在切开管帽时，碎片就不会掉落在打开的管道里。
4.3．管道输送系统由管道、管件和阀门等组成。
管道系统采用全焊接连接。
电解抛光（EP）级：管道材料：TP316L型不锈钢，EP级管道接口：自动轨道对焊接口，吹扫口和仪表连接采用面密封接头。
不允许使用螺纹接口。
阀门型式：TP316L型不锈钢，隔膜型或波纹管型，EP级清洗：所有部件均为电子级清洗非电解抛光（非EP）级：管道材料：TP316L型不锈钢，非EP级管道接口：自动轨道对焊接口，吹扫口和仪表连接采用面密封接头。
不允许使用螺纹接口。
阀门型式：TP316L型不锈钢，球阀或波纹管阀，非EP级清洗：所有部件均为电子级清洗5.制作和安装电子级大宗气体输送系统的制作和安装所要遵循的原则大致如下：材料和部件须满足电子行业性能规格，且须由具备认证合格的供应商供货。
在开始安装前，应对组装设备供应商、现场承包商、焊工、以及质量控制人员和规格进行认证。
车间制作设备应在车间认证，并在保有内压下运输以防止微量污染。
为了减少焊接变色和颗粒污染，管道现场焊接需采用自动轨道对焊机。
为了提高系统清洁，尽量减少面密封机械接头和非气体流通死区。
根据法规要求，完工后的系统应进行压力测试。
完工后的系统应采用工艺气体进行调试，以检验产品纯度规格。
输送管道应进行氦测漏、颗粒度、水分和氧分测试以达到合同规格要求。