电容式传感器位移特性实验
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位移mm
电压V 拟合电压|△|-2.0
0.0430.04470.0017-1.8
0.0400.040280.00028-1.6
0.0390.035860.00314-1.4
0.0300.031440.00144-1.2
0.0310.027020.00398-1.0
0.0210.02260.0016-0.8
0.0180.018180.00018-0.6
0.0140.013760.00024-0.4
0.0070.009340.00234-0.2
0.0070.004920.002080.0
0.0000.00050.00050.2
-0.006-0.003920.002080.4
-0.006-0.008340.002340.6
-0.015-0.012760.002240.8
-0.019-0.017180.001821.0
-0.021-0.02160.00061.2
-0.027-0.026020.000981.4
-0.028-0.030440.002441.6
-0.035-0.034860.000141.8
-0.040-0.039280.000722.0-0.042-0.04370.0017
|△max|=0.00398
灵敏度线性度0.045=4.5%电容式传感器位移特性
注：以10mm作为新的零点-0.0221V/mm 误差原因：人为操作误差、仪器误差(线路、仪器老化等)、环境误差，造成数据有一定波动，但整
体趋势符合理论