ZYGO干涉仪使用说明书
干涉仪使用说明书
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相位都是相同的， 但以某一角度从镜面反射的光线， 相位一 般并不相同，从两个对应点 P 和 P 到眼睛的光线有程差
2d cos ，当 M1 和 M 2 平行时，二光线 角相同，二光线也
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束器相同， 5 和 6 这两块光学平板的位置出厂前已调好平行， 非特殊情况，用户无需再调。7 和 8 是构成法布里-珀罗干 涉仪的主要部件， 其中 7 固定安装， 而 8 与迈克耳孙干涉仪 的动镜 11 受预置螺旋 10 控制移动，行程可达 10mm。测微 螺旋 12 每转动 0.01mm， 动镜随之移动 0.0005mm。 毛玻璃屏 14 用于接收迈克耳孙条纹，以防强光刺眼。 仪器的传动部件分上下两层。 图中 h 表示上层， 包括 8、 10、11 和 13。上层便于预置动镜，并受下层测微机构控制。
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SGM- 2 型 迈克耳孙和法布里-珀罗 两用干涉仪 使用说明书
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目录
1 用途 ......................................... 2 2 规格和主要技术参数 ........................... 2 3 原理简述 ..................................... 3 3.1 迈克耳孙干涉仪 ........................... 3 3.2 法布里-珀罗（F-P）干涉仪 ................. 5 4 结构 ......................................... 7 5 使用方法 ..................................... 8 5.1 迈克耳孙干涉仪 ........................... 8 5.1.1 获得干涉条纹 ......................... 8 5.1.2 等倾干涉 ............................. 9 5.1.3 等厚干涉 ............................. 9 5.1.4 白光干涉 ............................. 9 5.1.5 测氦氖激光波长 ...................... 10 5.1.6 测钠黄双线的波长差 .................. 10 5.1.7 透明介质薄片的折射率................. 11 5.1.8 空气的折射率......................... 11 5.2 法布里-珀罗干涉仪 ....................... 12 5.2.1 观察多光束干涉现象 .................. 12 5.2.2 测钠黄双线的波长差................... 13 6 氦氖激光器的安全使用 ........................ 16 7 仪器的维护和保养 ............................ 16 7.1 实验室要求 .............................. 16 7.2 光学零件 ................................ 16 7.3 传动机构 ................................ 16 7.4 工作环境................................. 17 8 附件和选购件一览表 .......................... 17
优可测白光干涉仪操作手册
优可测白光干涉仪操作手册【原创版】目录1.优可测白光干涉仪简介2.白光干涉仪的扫描原理和扫描范围3.被测物的反射率和显示分辨率4.白光干涉仪的优点5.操作手册的主要内容正文优可测白光干涉仪是一种高精度的测量仪器，它利用白光干涉原理来测量物体的表面形貌。
白光干涉仪的扫描原理是利用白光作为光源，通过干涉条纹的变化来获取物体表面的高度信息。
与激光干涉仪相比，白光干涉仪的干涉长度较短，但干涉条纹的可见度更大，容易辨别。
优可测白光干涉仪具有较高的测量精度，其像素为 500 万，扫描范围可达 100um，被测物的反射率范围为 0.02%~100%，显示分辨率为0.001nm。
这些性能指标使得优可测白光干涉仪在测量物体表面形貌时具有较高的准确性和可靠性。
白光干涉仪相较于激光干涉仪具有一些优点。
首先，白光光谱宽，可以覆盖更多的波长范围，从而提高测量的准确性。
其次，白光干涉仪的干涉条纹可见度大，容易辨别，降低了操作难度。
此外，白光干涉仪对被测物的表面质量要求较低，可以测量不同材质和表面状态的物体。
优可测白光干涉仪的操作手册主要包括以下几个部分：1.安装与连接：介绍如何正确安装白光干涉仪，并连接到计算机或其他数据处理设备。
2.操作步骤：详细说明如何操作白光干涉仪，包括如何设置参数、如何进行扫描测量等。
3.数据处理：介绍如何使用配套的软件处理测量数据，包括数据分析、结果保存等。
4.维护与保养：说明如何对白光干涉仪进行日常维护和保养，以确保仪器的正常运行和延长使用寿命。
5.故障排除：针对可能出现的问题和故障，提供相应的解决方法和建议。
优可测白光干涉仪操作手册
优可测白光干涉仪操作手册
（最新版）
目录
1.优可测白光干涉仪简介
2.白光干涉仪的扫描原理和扫描范围
3.被测物的反射率和显示分辨率
4.白光干涉仪的优点
5.操作手册的概述
正文
一、优可测白光干涉仪简介
优可测白光干涉仪是一种高精度的测量仪器，具有强大的测量功能。
其产品型号为 NA500，像素高达 500 万，能够准确地测量出被测物的各项数据。
二、白光干涉仪的扫描原理和扫描范围
白光干涉仪的扫描原理是利用白光进行干涉测量，其扫描范围可达100um。
这种测量原理具有干涉长度短、干涉条纹可见度大、容易辨别 o 度条纹等优点。
三、被测物的反射率和显示分辨率
优可测白光干涉仪可测量的被测物反射率范围为 0.02%~100%，显示分辨率高达 0.001nm。
这些数据参数保证了测量结果的准确性和可靠性。
四、白光干涉仪的优点
白光干涉仪具有许多优点，如干涉长度短、干涉条纹可见度大、容易辨别 o 度条纹等，这些优点使得它在测量领域具有广泛的应用。
五、操作手册的概述
优可测白光干涉仪的操作手册提供了详细的操作步骤和方法，包括仪器的安装、调试、测量、维护等方面的内容。
通过阅读操作手册，用户可以更好地了解仪器的性能和使用方法，从而提高测量效率和精度。
总之，优可测白光干涉仪是一款高精度、高效率的测量仪器，广泛应用于各种测量领域。
中图白光干涉仪设备安全操作及保养规程
中图白光干涉仪设备安全操作及保养规程1. 引言中图白光干涉仪是一种精密的光学设备，主要用于测量光学薄膜的厚度和表面形貌。
为了保证设备的正常运行和延长其使用寿命，必须严格遵守安全操作和进行定期保养。
本文将详细介绍中图白光干涉仪的设备安全操作和保养规程。
2. 设备安全操作2.1 准备工作在操作中图白光干涉仪之前，需要做以下准备工作：•确保工作区域的环境整洁干净，避免灰尘和杂物对设备造成影响。
•确保设备通电前的电源稳定性，避免过电流或电压异常对设备损坏。
2.2 操作步骤以下是中图白光干涉仪的基本操作步骤：1.打开干涉仪电源，确保电源指示灯亮起。
2.通过旋钮调节干涉仪的亮度，使图像清晰可见。
3.使用交叉尺测量待测物体的尺寸，并根据实际需要调整干涉仪的焦距。
4.将待测物体放置在干涉仪工作台上，并调整物镜的高度和位置，使其对准测试物体。
5.在检测过程中，慎重操控操作手柄，避免过度施力或碰撞。
2.3 设备关机操作完成后，应按照以下步骤正确关闭中图白光干涉仪：1.关闭干涉仪的电源开关，确保设备完全断电。
2.清理工作台和设备周围的杂物和灰尘。
3.定期对设备进行清洁和维护。
3. 设备保养规程3.1 清洁与维护定期对中图白光干涉仪进行清洁和维护，可以保证设备的正常运行和延长其使用寿命。
3.1.1 清洁工作•使用干净、柔软的棉布或纸巾轻轻擦拭设备外壳，注意避免使用含有酸、酮或酯的溶剂。
•使用可吹风的工具清除设备内部的灰尘或杂物。
3.1.2 维护工作•定期检查设备的电源线和连接线是否正常，如有发现损坏或断裂现象，应及时更换或修理。
•检查设备的物镜和光学元件是否有损坏或污垢，如有需要可以使用专门的清洁液进行清洗。
3.2 设备存放与运输为了避免设备的损坏和外界环境的不利影响，应注意以下存放和运输要求：•设备应放置在防尘、防潮、避光的环境中，避免阳光直射和高温。
•在运输过程中，应使用专用的包装箱，避免震动和碰撞。
4. 总结通过严格遵守中图白光干涉仪的设备安全操作规程和定期保养，可以确保设备的正常运行和延长其使用寿命。
迈克尔逊干涉仪的调节和使用
迈克尔逊干涉仪的调节和使用迈克尔逊干涉仪是光学实验中一种重要的仪器，它的原理是基于干涉现象来测量长度、速度、折射率等物理量。
因此，正确地调节和使用迈克尔逊干涉仪对于实验结果的准确性和可靠性至关重要。
一、调节步骤1、粗调：首先调整干涉仪的粗调旋钮，使干涉条纹大致对称。
2、细调：然后调整干涉仪的细调旋钮，使干涉条纹更加清晰、对称。
具体步骤如下：（1）将光源对准干涉仪的入射缝，调整干涉仪的三个脚螺旋，使干涉条纹出现在视野中。
（2）调节干涉仪的粗调旋钮，使干涉条纹大致对称。
（3）调节干涉仪的细调旋钮，使干涉条纹更加清晰、对称。
可以通过观察干涉条纹的移动方向和距离来判断调节是否正确。
（4）重复以上步骤，直到干涉条纹完全对称、清晰。
二、使用注意事项1、保持干涉仪的清洁，避免灰尘和污垢进入干涉仪内部。
2、在调节过程中，要轻拿轻放，避免损坏干涉仪的精密部件。
3、在使用过程中，要避免过度调节粗调旋钮和细调旋钮，以免损坏干涉仪的调节机构。
4、在记录实验数据时，要保证记录的准确性和完整性。
5、在实验结束后，要将干涉仪恢复到初始状态，以便下一次使用。
正确地调节和使用迈克尔逊干涉仪需要耐心和细心。
只有掌握了正确的调节方法，才能更好地发挥其作用，提高实验的准确性和可靠性。
迈克尔逊干涉仪法测定玻璃折射率迈克尔逊干涉仪是一种精密的光学仪器，其原理基于干涉现象，能够用于测量微小的长度变化和折射率。
本文将介绍如何使用迈克尔逊干涉仪法测定玻璃的折射率。
一、实验原理折射率是光学材料的一个重要参数，它反映了光在材料中传播速度的改变。
迈克尔逊干涉仪法利用干涉现象来测量折射率。
当光线通过不同介质时，其速度和波长都会发生变化，这就导致了光程差的产生。
通过测量光程差，我们可以计算出介质的折射率。
二、实验步骤1、准备实验器材：迈克尔逊干涉仪、单色光源（如激光）、测量尺、待测玻璃片。
2、将单色光源通过分束器分为两束相干光束，一束直接照射到参考镜，另一束经过待测玻璃片后照射到测量镜。
激光干涉仪的使用教程
激光干涉仪的使用教程激光干涉仪是一种常见的光学测量装置，可以用于测量物体的长度、形状和表面的平整度等。
本文将介绍激光干涉仪的基本使用方法，帮助读者快速掌握这一技术。
一、仪器准备在使用激光干涉仪之前，我们首先需要准备好所需的仪器和材料。
激光干涉仪主要由激光发生器、光学平台、干涉装置和探测器等组成。
确认这些仪器和材料完好无损，并确保仪器的稳定性和准确性。
二、调整仪器使用激光干涉仪之前，我们需要对仪器进行调整，以确保其正常工作。
首先，将激光发生器插入电源，打开电源开关。
仪器启动后，等待一段时间，使激光充分发挥作用。
然后，通过调整光学平台和干涉装置的位置，使激光光束垂直射向目标物体。
三、设定测量参数在激光干涉仪的使用过程中，我们需要设定一些测量参数，以获得所需的测量结果。
这些参数包括光程差、相位移、干涉图的放大倍数等。
根据实际测量需要，选择合适的参数，并进行相应的设置。
四、开始测量一切准备就绪后，我们可以开始进行实际的测量工作了。
在进行测量前，确保测量环境稳定，并尽量减小外界干扰。
然后，将待测物体放置在光学平台上，并调整激光光束的位置和角度，使其能够覆盖待测物体的整个表面。
五、记录数据在进行测量过程中，我们应该及时记录测量结果和数据。
可以使用计算机或其他记录设备，将测量结果保存下来，以备后续分析和处理。
同时，应该对数据进行分析和统计，以获得更准确的测量结果。
六、数据处理在激光干涉仪的使用过程中，我们经常需要对测量数据进行处理和分析。
这包括数据的滤波、平均和曲线拟合等。
通过对数据进行处理，我们可以得到更加精确的测量结果，并获得更多有用的信息。
七、应用领域激光干涉仪具有广泛的应用领域。
它可以用于测量光学元件的表面形状、光学透明薄膜的厚度、机械零件的平整度和曲率等。
同时，激光干涉仪还可以用于光学几何测量、材料表面形貌分析和激光工艺等方面。
八、注意事项在使用激光干涉仪时，我们需要注意一些安全事项。
首先，激光光束对眼睛有一定的伤害，使用过程中应戴上适当的防护眼镜。
平面干涉仪使用说明
1 用途XQ15-GI型激光平面干涉仪主要用于精密光学平面的平面度测量，光学平板的微小楔角测量，光学材料均匀性测量。
仪器配有激光光源（波长为6328Å）对于干涉条纹可目视读取。
工作时对防震要求一般。
该仪器可应用于光学车间。
2 工作原理本仪器工作基于双光束等厚原理。
根据近代光学的研究结果,光兼有波动与微粒俩重特性。
光的干涉现象是光的波动性的特性。
波长为λ的单色光经过仪器有关的光学系统后成为平面波Mo(如图所示),经仪器的标准平面P1和被检系统P2反射为平面波M1和M。
M1﹑M即为两相干光波,重叠后即产生等后干涉条纹。
3 仪器使用说明3.1 干涉条纹的判定3.1.1用手轻轻按住器中的微调手轮，此时从视场中能看到条纹的移动。
3.1.2如要条纹间弧度外扩散，则零件的面形为高光圈；条纹的弧度内收则零件为低光圈。
3.2 测量平面度方法3.2.1 如果被测零件为一平行板，则用凡士林涂到非测试面上，防止该面的反射光波干涉。
3.2.2 把被测的零件放在工作台上，被测面朝上。
3.2.3 目视时，眼睛距观察孔约200mm左右观察，可以看到两个分开的星点，中央的一点为仪器的标准面形成的，另一点是被测零件形成的，调节工作台上的两个手轮，使两个星点重合。
3.2.4 眼睛与星点在同一直线上靠近观察孔，可以目视到细而密的干涉条纹，调节干涉仪的微动手轮，干涉条纹由密到疏直到出现3-5条为止再判断零件的高低光圈，参照标准光圈判断零件面形。
3.3 测量微小楔角方法3.3.1 把被测零件放在工作台上，被测面朝上。
3.3.2 在距离目镜200mm的地方进行观察，可以看到两个星点，把两个星点调节至重合。
3.3.3 眼睛顺着光点靠近观察孔可以看见细密的干涉条纹，与零件两个面反射后自身出的干射条纹。
3.3.4 数出零件自身引出干涉条纹有多少条，依下列公式进行计算，即为工件的楔角：β=43.5*B/Dβ表示零件的楔角，单位为秒；B表示条纹数；D表示零件直径，单位为毫米。
干涉仪的使用流程
干涉仪的使用流程1. 干涉仪简介干涉仪是一种科学仪器，常用于研究光的干涉现象。
它可以通过将光束分割成两个或多个部分，再将其重新合并，利用光束的干涉来测量物体的形状、表面特性等。
2. 准备工作在使用干涉仪之前，首先需要进行一些准备工作。
2.1 确定实验目的和要求在使用干涉仪之前，需要明确实验的目的和要求。
这有助于确定所需的测量参数、选择合适的干涉仪型号和配置。
2.2 清洁工作台和干涉仪干涉仪的精度和稳定性对实验结果有重要影响，因此在使用之前需要确保工作台和干涉仪的清洁。
清除灰尘、污渍等杂质可以减少对测量结果的干扰。
2.3 探查干涉仪的工作状态在使用干涉仪之前，需要检查干涉仪的工作状态。
确保光源、干涉仪的各部分（如分束器、反射镜等）都正常工作。
3. 干涉仪的操作步骤接下来，将介绍干涉仪的操作步骤。
3.1 调整光源和分束器1.打开干涉仪的电源，确保光源正常发光。
2.调整分束器，使光线被分割成两个相干的光束。
3.2 调整干涉仪的路径差1.移动一个反射镜，调整路径差，使两个光束在干涉区域合成干涉图样。
2.使用调节装置微调路径差，以获得最佳的干涉图案。
3.3 进行测量和记录1.使用干涉仪测量所需参数。
可以通过调整干涉仪的路径差或移动测量物体来实现。
2.记录测量结果，并进行必要的数据处理。
3.4 分析实验结果根据实验目的和要求，分析实验结果。
可以使用相关的数学模型和统计方法对测量数据进行分析。
4. 实验注意事项在使用干涉仪时，需要注意以下事项：•确保干涉仪的稳定性，避免外界振动和干扰。
•保持实验环境的恒温和恒湿。
•小心操作干涉仪，避免损坏仪器。
•在进行测量时，尽量减少人为误差。
5. 结束实验实验结束后，需要进行一些收尾工作。
•关闭干涉仪的电源和光源。
•清理实验现场，归还使用的器材。
•对实验结果进行总结和分析，准备相应的报告。
6. 总结通过以上步骤，我们可以完成干涉仪的使用流程。
从准备工作到实验操作再到实验结果的分析，每一步都需要细心和严谨。
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1目的为了使员工正确熟悉的使用ZYGO干涉仪。
本文详细说明了如何使用ZYGO 干涉仪来测试晶体的平行度、波前、平面度等指标。
2围本文件涉及用ZYGO 干涉仪检测平面元件的一般方法。
3 录取数据在检验过程中将会生成以下记录：3.1干涉图（保存文件名为*.Tif），在实时窗口上点击FILE-SAVE保存。
3.2测试数据（保存文件名为*.Dat），测试完成后点击SAVE DATE保存。
4 Zygo干涉仪的定义4.1 应用（application）应用是ZYGO 干涉仪中一系列功能的组合，保存为后缀名为“*.app”的文件。
不同的应用用于不同项目的测量。
比较常用的是GIP.app 用于一般的平面和球面的测量，GPI-Cylinde.app 用于柱面面形的测量，Angle.app用于平行角度的测试。
4.2 猫眼像（cateye）又称为标准镜的像。
标准镜的出射光在焦点处被返回时出现的干涉条纹，是透过干涉仪的光线与和它对称的标准面之间的干涉图形。
4.3 镜片像从标准镜出射的光在整个零件表面被原路反射回来与标准面的反射光发生干涉产生的干涉图形。
包含待测零件的表面或波前信息，是面形检测的主要信息来源。
4.4 升降台可以升降的平台，带有小倾角调节功能，一般用于放置平面元件。
4.5 Align/View 模式按下控制盒上的align/view 切换的2 个模式之一。
align模式可以看到一个黑色固定的十字线和反射回干涉仪的光点，一般用于零件对准，特点是视场较大。
View 模式是按下控制盒上的align/view 切换的2 个模式之一，可以看到干涉条纹，特点是放大率较高，但是视场较小。
一般在align界面对准后在view界面观察条纹。
4.6 标准镜干涉仪上使用的参考表面，用于生成理想的平面、球面波，作为测量基准。
4.7 长度基准设定图像的长度基准，因为放大率不同或者屈光度不同，同样大小的干涉图所代表的零件大小可能有很大的差异。
设定长度基准的目的就是告诉干涉仪图形中的一段长度相当于镜片中长度的多少，方便控制测量区域和设定掩膜。
4.8 掩膜（mask）表明干涉图中有效区域的工具。
可以根据需要设定有效区域的形状、大小、位置，也可以从有效区域中挖去一部分不需要的。
5 职责主要包括以下几个方面：5.1 zygo干涉仪使用和维护部门为品管部。
品管部经理负责保证过程实施所需的培训及资源。
5.2 按照校准计划对设备定期检定。
5.3 指定的仪器使用者需保证使用过程按按照操作规程操作仪器。
5.4 定期对设备进行保养。
6 操作主要容.6.1开机依次开启ZYGO显示器电源，机箱控制面板上电源按钮：MASTER、MONITOR、AUX1、AUX2，以及干涉仪主机箱右侧下方POWER。
6.2运行程序进入Windows 后，双击桌面上的Metropro.exe （如图一）操作软件，运行程序，进入ZYGO测试操作桌面。
启动完成后会自动进入GPI.app，如果没有，关闭当前的窗口，待其缩小为按钮后，在应用选择窗口中点击相应的应用。
图一6.3平行度测试作业文件文件编号ZYGO干涉仪使用说明版本/修订页码3/8 主要测试步骤如下：6.3.1按监视器遥控器上的显示切换键（ALIGN/VIEW），使监视器处于排列状态。
扭动参考反射镜上方的调节旋钮，调整镜面方向，使得反射镜反射回的最亮光斑与十字分划线交点重合。
完成后,按遥控器上的显示切换键（ALIGN/VIEW），使监视器处于浏览状态。
双击ZYGO测试操作桌面中angle.app 按钮进入平行测试操作界面。
6.3.2调整好后将待测晶体放置到样品支架上，通过观察监视器调整晶体，使晶体垂直于测试光（监视器中晶体边缘清晰可见。
）6.3.3点击操作界面左下角Measure Controls 对话框中的Refractiveindex, 录入待测晶体的折射率（选择632.8nm时对应晶体的折射率，如图二），按回车键确定。
图二6.3.4点击测试界面左上角的Calibrate按钮，在弹出的对话界面中点击Fringe按钮,对话框中图像显示会进行更新，锁定并显示监视器中画面。
使用鼠标标记晶体通光面宽度，在弹出的对话框中，录入晶体通光面宽度，按回车键确定。
6.3.5点击测试界面中左上角Mask Data按钮（如图三、四所示）, 在弹出的有动态图像的对话框中，首先从下部选项中选择晶体外形标定（例如正方形则选择square）。
在动态图像中，使用鼠标准确标定待测晶体，要求标定围不能超出晶体。
并在动态图像上方无晶体的空间，选择与待测晶体规格相近的区域，此区域将作为参考区域。
作业文件文件编号版本/修订ZYGO干涉仪使用说明页码4/8图三然后，点击下部选项中的BG Inc使该按钮变为BG EXC，锁定选择区，点击Define，定义Acq。
之后点击T est，选择Unfill，去除最后标定的参考区域，图四点击Define，定义T est（晶体测试区域）。
再点击Ref，选择Fill，添加最后标定的参考区域，点击Pick，然后用鼠标点击待测晶体区域边框，选择Unfill，去除晶体待测区域，点击Define，定义Ref（参考区域）。
6.3.6点击测试界面中左上角Measure按钮，系统进行自动测算。
当监视器中左下角出现Wedge X.X sec（表示被测量器件两表面的夹角为X.X秒）时，记录下此时X.X 即为晶体的平行度。
测试完毕后关闭平行度测试操作界面，点击左上角X符号，退回到ZYGO主测试操作桌面。
6.4 平面度测试6.4.1 调整监视器遥控器上的显示切换键（ALIGN/VIEW），使监视器处于排列状态。
移除标准参考反射镜面，将晶体放置到样品支架上，调整晶体方向，使其反射回的光斑与十字分划线交点重合。
完成后，按监视器遥控器上的显示切换键，使监视器处于浏览状态。
点击ZYGO测试操作桌面中GPI.app按钮进入平面度测试操作界面。
6.4.2点击测试界面左上角的Calibrate按钮（如图五所示），在弹出的对话界面中点击Fringe按钮,对话框中图像显示会进行更新，锁定并显示监视器中画面。
使用鼠标标记晶体通光面宽度，在弹出的对话框中，录入晶体通光面宽度，按回车键确定。
6.4.3点击测试界面中左上角Mask Data按钮（如图五所示）, 在弹出的有动态图像的对话框中，首先从下部选项中选择晶体外形标定（例如正方形则选择square）。
在动态图像中，使用鼠标准确标定待测晶体，要求标定围不能超出晶体。
点击Define，定义待测区域。
6.4.4点击测试界面中左上角Measure按钮，系统进行自动测算。
当监视器中左上角出现PV X.XXX Wave（表示被测样品最高点与最低点之间的距离为X.XXXλ）时（如图六所示），记录此时X.XXX即为晶体的平面度值。
测试完毕后关闭测试操作界面，点击左上角X符号，退回到ZYGO主测试操作桌面。
图五图六6.5 波前畸变测试主要测试步骤如下：6.5.1调整监视器遥控器上的显示切换键（ALIGN/VIEW），使监视器处于排作业文件文件编号版本/修订ZYGO干涉仪使用说明页码6/8列状态。
扭动参考反射镜上方的调节旋钮，调整镜面方向，使得反射镜反射回的最亮光斑与十字分划线交点重合。
完成后,按监视器遥控器上的显示切换键（ALIGN/VIEW），使监视器处于浏览状态。
点击ZYGO测试操作桌面中GPI.app 按钮进入波面测试操作界面。
6.5.2将待测晶体放置到样品支架上，通过观察监视器调整晶体，使晶体垂直于测试光（监视器中晶体边缘清晰可见）。
6.5.3点击测试界面左上角的Calibrate按钮，在弹出的对话界面中点击Fringe按钮,对话框中图像显示会进行更新，锁定并显示监视器中画面。
使用鼠标标记晶体通光面宽度，在弹出的对话框中，录入晶体通光面宽度，按回车键确定。
6.5.4 点击测试界面中左上角Mask Data按钮, 在弹出的有动态图像的对话框中，首先从下部选项中选择晶体外形标定（例如正方形则选择square）。
在动态图像中，使用鼠标准确标定待测晶体，要求标定围不能超出晶体。
点击Define，定义待测区域。
6.5.5点击测试界面中左上角Measure按钮，系统进行自动测算。
当监视器中左上角出现PV X.XXX Wave（表示被测样品最高点与最低点之间的距离为X.XXXλ）时，记录此时X.XXX即为晶体的波面数值（如图五所示）。
测试完毕后关闭波面测试操作界面，点击左上角X符号，退回到ZYGO主测试操作桌面。
7 细节说明和结语7.1 安全要求7.1.1 测量过程中，注意对透镜的防护，尤其是表面和边角容易损坏的部位。
7.1.2 标准镜使用时要插入到位，螺丝拧紧。
不用时要摆放到盒子中避免意外损坏。
7.1.3使用干涉仪测量面形主要包括以下步骤：开机，选择、安装标准镜，找到待测零件表面干涉条纹，输入零件号等相关信息，设定长度基准，取掩膜，测量，结果保存和打印。
不同的零件在找干涉条纹和一些设定方面有所区别，但是基本步骤差不多。
7.2 选择、安装标准镜选择：平面和柱面选择平面标准镜TF，球面选择球面标准镜。
球面标准镜在选择的时候要考虑镜片的曲率半径和口径，参照JENfizar 的标准镜选择。
安装：将标准镜的两个插销对准标准镜安装支架上的卡口插入，旋转，安装到位，旋转锁死螺钉固定好。
按下控制盒上align/view 切换到align 模式，将光点调到十字线的中心。
7.3 寻找干涉条纹平面：将待测面正对干涉仪主机放置到升降台上，如果是楔角较小的平片或者直角棱镜之类的可能需要把背面事先涂上凡士林来消除杂光影响。
按下控制盒上的align/view 按钮切换到align 模式，调整待测零件的俯仰和水平旋转在动态窗口中找到零件表面反射回来的光点，并将其调整到十字线中心。
再次按下align/view 按钮切换到view 模式，微调零件或者标准镜的俯仰和水平旋转，将条纹调到3 根左右。
球面：将镜片夹到六位调整架上，待测面正对干涉仪主机。
切换到view 界面，沿导轨前后移动调整架至干涉仪的出射光聚焦到零件表面（可用一小纸条贴于零件表面观察）。
此时干涉仪中出现的条纹称为猫眼像（cateye），也常称作标准镜的像。
调整六位调整架，使零件上下移动把条纹调到充满整个视场，微调标准镜的位置，使得条纹对称。
凸面靠近，凹面远离干涉仪主机寻找表面像，紧盯刚才找到的猫眼条纹，它会渐渐变小然后又慢慢变大，再次变大的条纹就是零件的表面像，微调六维调整架将条纹调到 3 根。
在整个寻找过程中，光点可能会移动，通过调整来保持光点始终在屏幕中心。
如果仅仅要测量面形，找到像之后进入步骤9.4 即可；如果还要测量曲率半径，则在找到镜片表面像之后按下光栅尺面板上的“X”按钮让示数归零，再次回到猫眼像位置，此时光栅尺的示数即为待测零件的曲率半径。