微细电解加工技术研究现状与展望

１ 微 细 电解 加 工 理 论 基础
在 微 细 电解 加 工 过 程 中 ， 、 极 间 电 位 差 在 间 阴 阳
隙电解 液 中形 成 的 电 场会 对 工 件 造 成 杂 散腐 蚀 ， 这 在 很大 程度上影 响 了 电解 加工 的精 度 ， 约束 电场 、 改
生产 率 高 、 面 质 量 好 、 具 阴 极 无 损 耗 等 显 著 优 表 工
Ｍ ） ｉｃ ｄ ｇｔｅ ｆｎ ａ ｎ ａ ｔｅ ｒ ｓｏ Ｃ Ｍ ， ｌ ｔｏ ｈ ｍｉａ ｃｏ ｍａｈｎ ｇ ｔｃ ｎ ｌｇ ｎ － Ｍ ，ｎ ｌ ｉ ｈ ｕ ｄ ｍｅ ｔｌ ｈ ｏｉ ｆＥ Ｍ ｅｅ ｒｃ ｅ ｃｌｍｉ ｃ ｉｉ ｅｈ ｏｏ ｙ ａ ｄ ｅ ｕｎ ｅ ｃ ｒ ｎ
第 ４期
２１ ０ １年 ４月
组 合 机 床 与 自 动 化 加 工 技 术
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ＮＯ． ４
Ａｐｒ ．２０ １ １
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文 章编 号 ：０ １０１—２ ６ ２ １ ） ４—０１ ８—０ ２ ５（ ０ １ ０ ０ ５
微 细 电解 加工 技 术研 究 现状 与展 望
王贺宾 ， 郭钟 宁 ， 罗红 平
（ 东工 业大 学 机 电工程学 院 ， 州 ５００ ） 广 广 １０ ６ 摘 要 ： 近 年 来 微 细 电解 加 工领 域 的研 究 现 状 和 发展 趋 势进 行 了概 述 ， 对 包括 微 细 电解 加 工 的基 础 理 论 、 微 细 电解 加 工技 术 和 加 工 装 置 、 响 因素 与极 间 间 隙检 测 控 制 ， 影 以及 关键 技 术 和今 后 的 发展 方 向 。 关 键 词 ： 细 电 解 ； 础 理 论 ； 细 装 备 ； 状 ； 展 趋 势 微 基 微 现 发 中 图 分 类 号 ： Ｈ１ ；Ｇ ５ Ｔ ６ Ｔ ６ 文 献 标 识 码 ： Ａ
Ｔｈ ｅ ｅ ｔＲ ｅ ｅ ｒ ｈ ａ ｏ ｐｅ ｔｏ ｅ ｔｏｃ ｍ ｉａ ｉ ｒ ａ ｈ ｎｉ ｇ Ｔｅ ｈ ｌ ｙ ｅ Ｐｒ ｓ ｎ ｓ ａ ｃ ｎｄ Ｐｒ ｓ ｃ ｆＥｌｃ ｒ ｈｅ ｃ ｌＭ ｃ ｏ Ｍ ｃ ｉ ｎ ｃ ｎｏｏｇ
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Ｏ 引 言
随 着 现 在 制 造 技 术 水 平 逐 步隙小 、 工 效 率 低 等 特 点 。虽 然 微 细 电解 加 工 加 技术 已成 功 应用 于 医疗 、 电子 、 天 等 多个 领 域 ， 航 但其发 展仍 面临着许 多新 的挑 战。
５００ １ ０ ６，Ｃ ｉａ ｈｎ ） Ａｂ ｔａ ｔ ｓｒ ｃ ：Ｔｈｓｐ ｐ ｒｓ ｍｍａｉｅ ｈ ｒｓｎ ｅｅ ｃ ｎ ｒｎ ｆ ｌ ｔ ｃ ｅ ｃｌ ｃｏ ｍａ ｈｎｎ Ｅ ｉ ａ ｅ ｕ ｒ ｓｔｅｐ ｅｅ ｔ ｓ ａ ｈ ａ ｄ ｔｅ ｄ ｏ ｅ ｒ ｈ ｍｉ ｒ ｃ ｉｉｇ（ Ｃ－ ｚ ｒ ｒ ｅｃｏ ａ ｍｉ
ｑ ｉ ｅ ｔ ｕｐｍ ｎ ｓｏｆＥＣＭ ，ｉ ｆ ｅ ｃ ａ ｔ ｒ ｆｅｅ ｔｏ ｈ ｍ ｉａ ｃｏ ｍ ａ ｈ ｉｇ ａ ｄ ｍｏ ｔ ｒｎ ｄ ｃ ｎ ｒ ｌｎｇ Ｍ ｎ ｌ ｎ ｅ ｆｃ ｏ ｓ ｏ ｌｃｒ ｃ ｅ ｃ ｌｍｉｒ ｃ ｉ ｎ ｎ ｎｉｏ ｉｇ ａ ｏ ｔｏ ｌ ｕ ｎ ｎ ｉ
的方 向发展 ，０ ５年 ， ２０ 世界市 场对 微小 零件 和微 型产
品 的工业 需 求 和 消费 需 求 达 到 ６ ０亿 美元 … ， 量 ０ 大
精 密 工 程 技 术 改 进 后 被 应 用 于 生 产 微 细 零 部 件 。 电 解 加 工 是 微 精 制 造 的 一 种 ， 利 用 金 属 在 电 解 液 中 是 发 生 阳 极 溶 解 的 原 理 将 工 件 加 工 成 型 的 一 种 特 种 加 工 方法 ， 有 加 工 过 程 中没 有 宏 观力 、 工 范 围广 、 具 加
点 ， 其适合 于难 加工 材料 和 复杂 形 状零 件 的加 工 ， 尤
善 流场将 是提高 电解 加 工 的集 中蚀 除 能力 和加 工 精 度 的基 本技 术途 径 。因此 ， 微细 电解 加工 中 ， 在 通 常通 过 以下途 径 来 提 高 加 工 的 精 度 ： 选 择 合适 的 ① 电解 液 ； 控制极 间 间隙 电场 ＂ ， 合理 设计 电极结 ② ］③