MKS Confidential 1 现代电容式薄膜绝对压力传感器原理
压力传感器工作原理
压力传感器工作原理压力传感器是一种用于测量物体受到的压力的设备。
它将压力转化为电信号，通过测量电信号的变化来确定物体所受的压力大小。
压力传感器被广泛应用于工业控制、汽车工程、医疗设备等领域。
一、压力传感器的基本原理压力传感器的基本原理是利用物理效应将压力转化为电信号。
常见的压力传感器工作原理有电阻式、电容式和应变式。
1. 电阻式压力传感器电阻式压力传感器基于电阻值随压力变化而变化的原理。
它由一个弹性变形的薄膜和一对电极组成。
当物体受到压力时，薄膜会发生弱小的变形，导致电阻值发生变化。
通过测量电阻值的变化，可以确定物体所受的压力大小。
2. 电容式压力传感器电容式压力传感器基于电容值随压力变化而变化的原理。
它由两个平行的金属板和一个绝缘层组成。
当物体受到压力时，金属板之间的距离会发生弱小的变化，导致电容值发生变化。
通过测量电容值的变化，可以确定物体所受的压力大小。
3. 应变式压力传感器应变式压力传感器基于材料应变随压力变化而变化的原理。
它由一个弹性材料和一对电阻片组成。
当物体受到压力时，弹性材料会发生弱小的应变，导致电阻值发生变化。
通过测量电阻值的变化，可以确定物体所受的压力大小。
二、压力传感器的工作过程压力传感器的工作过程可以分为以下几个步骤：1. 压力传感器感知压力压力传感器通过感知物体所受的压力，将压力转化为机械变形或者电信号。
不同类型的压力传感器使用不同的物理效应来感知压力。
2. 压力传感器转换信号压力传感器将感知到的压力转换为电信号。
这一步骤通常通过传感器内部的电路来实现。
电阻式压力传感器通过测量电阻值的变化来转换信号，电容式压力传感器通过测量电容值的变化来转换信号，应变式压力传感器通过测量电阻值的变化来转换信号。
3. 压力传感器输出信号压力传感器将转换后的电信号输出给外部设备。
输出信号可以是摹拟信号或者数字信号，具体取决于传感器的类型和应用需求。
4. 压力传感器信号处理在一些应用中，压力传感器的输出信号需要进行进一步的处理。
绝压传感器工作原理
绝压传感器工作原理油膜传感技术是一种常见的绝压传感器工作原理。
传感器内部有一段细长的金属弯管，称为压弯管或弹性管。
在弯管的一端与回油腔相连，另一端与测量压力的物体相连。
当外界压力作用在弯管上时，弯管产生弯曲，导致内部油膜变形。
传感器内部还有一颗压力传感器芯片，安装在压力油腔内。
当油膜变形时，压力传感器芯片会受到压力的作用，使其产生微小的变化。
该变化通过电路放大和转换为电信号，进而传输给控制系统进行处理。
压阻传感技术是另一种绝压传感器的工作原理。
传感器内部有一段细长的金属线或导线网，构成一个狭道。
当外界压力作用在金属线上时，会使金属线产生微小的变形，导致狭道的电阻发生变化。
该电阻变化通过电路转换为电信号，进而传输给控制系统进行处理。
无论是油膜传感技术还是压阻传感技术，绝压传感器的核心原理都是通过物理的变形来测量压力情况。
在绝压传感器的应用中，为了提高传感器的灵敏度和准确度，还常常使用了补偿技术。
补偿技术主要包括温度补偿和非线性补偿。
温度补偿是为了补偿温度对传感器性能的影响。
温度变化会导致传感器材料参数的变化，进而影响传感器的灵敏度和准确度。
常见的温度补偿方法是通过热敏电阻或热敏二极管来测量环境温度，并根据温度传感器的输出信号对测量数据进行修正。
非线性补偿是为了修正绝压传感器输出的非线性特性。
在实际应用中，传感器的输出信号往往不是完全线性的，会出现一定的偏差。
通过对这些偏差进行测量和校正，可以提高传感器的测量准确度。
总之，绝压传感器通过测量绝对压力的变化来实现对压力的测量。
其工作原理主要包括油膜传感技术和压阻传感技术。
在应用中，常常会采用温度补偿和非线性补偿等技术来提高传感器的性能和准确度。
这些技术的应用使得绝压传感器成为了许多重要工业领域中不可或缺的测量工具。
现代压力传感技术解析
现代压力传感技术解析随着科学技术的进步，各种传感技术逐渐地被应用到了各个领域。
其中，压力传感技术是重要的一种，广泛应用于机械、电子、化工、医疗等领域。
本文从压力传感器的基本原理入手，介绍了现代压力传感技术的发展和应用。
一、压力传感器的基本原理压力传感器是一种能够将被测物体的压力变化转化为电信号输出的装置。
它可以将压力的大小转化为电压、电流、频率等信号，供控制器或显示器处理和显示。
压力传感器的核心部分是敏感元件，它通过感受被测物体的变形，将力学变化转化为电学信号，再通过电路处理及分析输出有用的信息。
敏感元件根据原理不同可以分为：电阻式、电容式、压阻式、共振式等。
其中，电阻式压力传感器是应用最广泛的一种，由于其简单性、价格优势及可靠性以及响应速度较快等特点，广泛应用于各种工业自动化及智能化领域。
二、现代压力传感技术的发展1.数字压力传感技术随着计算机技术的飞速发展，数字压力传感器以其精度高、自动校准、抗干扰性等特点，逐渐代替了传统的模拟压力传感器。
数字压力传感器将模拟信号转化为数字信号，后续处理和分析方便快捷，便于与计算机及其它数字设备连接。
2.微传感技术微传感技术是将传感器器件微型化的一种技术。
微传感器的尺寸通常不大于1毫米，但是具有具有高灵敏度、精度高、响应速度快等特点。
微传感器由于其体积小、成本低，能够实现对细小空间比较精确的测量，已经广泛应用于医疗、军事、交通等领域。
3.光纤传感技术光纤传感技术是利用光学原理进行测量的一种传感技术。
光纤压力传感器具有耐高温、免磁干扰、抗腐蚀等优点，已经在应力分布测量、流速测量等领域中得到了广泛应用。
三、现代压力传感技术的应用1.力学应用领域压力传感器广泛应用于精密机械、运动控制、物流等领域中。
机床、冲压机、注塑机等设备常常需要对压力、力量等参数进行测量与控制，而压力传感器能够实现对这些参数的测量和反馈控制，提高了设备的精度和效率。
2.汽车制造领域汽车制造中需要对行车轮胎的压力进行检测，以保证车辆的正常行驶。
压力传感器工作原理
压力传感器工作原理压力传感器是一种能够将压力信号转换为电信号的设备，广泛应用于工业控制、汽车、医疗、航空航天等领域。
它通过感受外部物体对其施加的压力，将压力转化为电信号输出，以便进行测量和控制。
一、压力传感器的基本原理压力传感器的基本原理是利用压力传感器内部的敏感元件受到外部压力作用时，产生形变，从而改变电阻、电容、电感等参数，进而转化为电信号输出。
常见的压力传感器有电阻式、电容式和电感式传感器。
1. 电阻式压力传感器：电阻式压力传感器利用电阻的变化来测量压力。
通常采用金属薄膜或金属丝作为敏感元件，当外部压力作用于敏感元件时，敏感元件发生形变，导致电阻值的变化。
通过测量电阻值的变化，可以确定压力的大小。
2. 电容式压力传感器：电容式压力传感器利用电容的变化来测量压力。
传感器内部的电容器由两个电极组成，当外部压力作用于电容器时，电容器的结构会发生变化，导致电容值的变化。
通过测量电容值的变化，可以确定压力的大小。
3. 电感式压力传感器：电感式压力传感器利用电感的变化来测量压力。
传感器内部的电感线圈受到外部压力作用时，电感线圈的结构会发生变化，导致电感值的变化。
通过测量电感值的变化，可以确定压力的大小。
二、压力传感器的工作原理压力传感器的工作原理可以分为压阻式传感器、压电式传感器和电容式传感器三种类型。
1. 压阻式传感器：压阻式传感器是通过测量敏感元件的电阻值来确定压力的大小。
敏感元件通常由金属薄膜或金属丝制成，当外部压力作用于敏感元件时，敏感元件会发生形变，从而导致电阻值的变化。
通过测量电阻值的变化，可以确定压力的大小。
2. 压电式传感器：压电式传感器是利用压电效应来测量压力的。
压电材料具有压电效应，即在施加外力或压力时会产生电荷分离。
压电传感器内部的压电材料会受到外部压力的作用，产生电荷分离，从而产生电压信号。
通过测量电压信号的变化，可以确定压力的大小。
3. 电容式传感器：电容式传感器是利用电容的变化来测量压力的。
压力传感器工作原理
压力传感器工作原理压力传感器是一种用于测量压力的设备，它能将压力信号转化为电信号输出。
在工业自动化、航空航天、汽车、医疗设备等领域广泛应用。
本文将详细介绍压力传感器的工作原理。
一、压力传感器的基本原理压力传感器的基本原理是利用压力作用在感应元件上产生的形变来测量压力。
感应元件通常采用金属薄膜、半导体材料或者电容式等。
下面将分别介绍这些感应元件的工作原理。
1. 金属薄膜压力传感器金属薄膜压力传感器是最常见的一种压力传感器。
它由金属薄膜材料制成，通常为不锈钢或者硅。
当压力作用在金属薄膜上时，金属薄膜会产生弯曲或者拉伸，从而改变电阻值。
通过测量电阻值的变化，可以确定压力的大小。
2. 半导体压力传感器半导体压力传感器是利用半导体材料的电阻特性随压力变化而改变的原理来测量压力的。
半导体材料通常为硅或者硅酸盐。
当压力作用在半导体材料上时，半导体的电阻值会发生变化。
通过测量电阻值的变化，可以得知压力的大小。
3. 电容式压力传感器电容式压力传感器利用电容值与感应元件间的距离成反比的原理来测量压力。
感应元件通常为金属薄膜或者陶瓷材料。
当压力作用在感应元件上时，感应元件的形变会导致电容值的变化。
通过测量电容值的变化，可以确定压力的大小。
二、压力传感器的工作过程压力传感器的工作过程可以分为以下几个步骤：1. 压力传感器接收压力信号压力传感器通常通过连接管道或者装置与被测介质接触，接收被测介质的压力信号。
被测介质可以是液体或者气体。
2. 感应元件受到压力作用被测介质的压力作用在感应元件上，引起感应元件的形变。
不同类型的压力传感器感应元件的形变方式不同，如金属薄膜弯曲或者拉伸、半导体材料的电阻值变化、电容式感应元件的电容值变化等。
3. 信号转换感应元件的形变会引起电阻值或者电容值的变化。
这些变化被传感器内部的电路所感知，并转换为相应的电信号输出。
通常，压力传感器输出的电信号为摹拟信号，可以是电压或者电流。
4. 信号处理输出的摹拟信号需要经过信号处理电路进行放大、滤波和线性化等处理，以提高信号的精确度和稳定性。
压力传感器工作原理
压力传感器工作原理引言概述:压力传感器是一种广泛应用于工业领域的传感器，它能够测量和检测物体受力后所产生的压力变化。
本文将详细介绍压力传感器的工作原理，包括其结构、工作原理、应用领域以及优缺点。
正文内容:1. 压力传感器的结构1.1 灵敏元件：压力传感器的核心部分，通常采用金属薄膜或半导体材料制成。
1.2 支撑结构：用于支撑和固定灵敏元件，通常采用金属或陶瓷材料制成。
1.3 电气连接：将压力传感器与外部电路连接的部分，通常采用导线或插头连接。
2. 压力传感器的工作原理2.1 变阻型压力传感器：2.1.1 压力作用下的电阻变化：当物体受力后，灵敏元件发生形变，导致电阻值发生变化。
2.1.2 电阻与压力之间的关系：通过测量电阻值的变化，可以推算出物体所受的压力大小。
2.2 变容型压力传感器：2.2.1 压力作用下的电容变化：当物体受力后，灵敏元件的电容值发生变化。
2.2.2 电容与压力之间的关系：通过测量电容值的变化，可以计算出物体所受的压力大小。
2.3 压阻型压力传感器：2.3.1 压力作用下的电阻变化：当物体受力后，灵敏元件的电阻值发生变化。
2.3.2 电阻与压力之间的关系：通过测量电阻值的变化，可以确定物体所受的压力大小。
3. 压力传感器的应用领域3.1 工业自动化：用于测量流体管道中的压力，实现流量控制和流体监测。
3.2 汽车工业：用于测量汽车发动机的油压、气压等参数，保证发动机的正常运行。
3.3 医疗设备：用于测量人体血压、呼吸机的气压等，提供医疗监测和治疗支持。
3.4 消费电子：用于智能手机、平板电脑等设备中的压力感应功能。
3.5 环境监测：用于测量大气压力、水压等环境参数，实现环境监测和预警。
4. 压力传感器的优点4.1 精度高：能够提供高精度的压力测量结果。
4.2 可靠性强：具有较长的使用寿命和稳定的性能。
4.3 体积小：适用于空间有限的场景。
4.4 响应速度快：能够实时测量和反馈压力变化。
压力传感器原理图
压力传感器原理图压力传感器是一种能够将外界压力转换成电信号输出的传感器，它在工业自动化、汽车电子、医疗设备等领域有着广泛的应用。
下面我们将介绍压力传感器的原理图及其工作原理。
首先，我们来看一下压力传感器的原理图。
压力传感器通常由压力敏感元件、信号调理电路和输出电路组成。
压力敏感元件负责将外界压力转换成电信号，信号调理电路则对电信号进行放大和滤波处理，最后输出电路将处理后的信号输出给用户。
整个原理图的设计需要考虑到传感器的灵敏度、稳定性、线性度等因素，以确保传感器能够准确可靠地工作。
压力传感器的工作原理是基于压力敏感元件的特性。
常见的压力敏感元件有电阻式、电容式和压电式等。
以电阻式压力传感器为例，当外界施加压力时，压力敏感元件的电阻值会发生变化，通过信号调理电路放大和滤波处理后，最终输出一个与压力大小成正比的电压或电流信号。
这样，用户就可以通过测量输出信号来获取外界压力的大小。
在实际应用中，压力传感器的原理图设计需要考虑到多种因素。
首先是传感器的灵敏度，即对外界压力变化的响应能力。
其次是稳定性，传感器在长时间使用过程中需要保持稳定的输出特性。
此外，线性度、温度补偿、防水防尘等特性也需要在原理图设计中进行考虑。
除了原理图设计，压力传感器的工作原理也与其应用领域密切相关。
在工业自动化中，压力传感器常用于测量管道压力、液体水位等参数，从而实现对工艺流程的监控和控制。
在汽车电子中，压力传感器则用于发动机控制系统、制动系统等部件的压力监测。
在医疗设备中，压力传感器则可以用于呼吸机、血压仪等设备中，实现对生命体征的监测和诊断。
总之，压力传感器的原理图设计和工作原理是实现其准确可靠工作的关键。
通过合理的原理图设计和深入理解其工作原理，我们可以更好地应用压力传感器于各个领域，实现更多的应用价值。
电容式压力传感器
电容式压力传感器一、概念电容式压力传感器（capacitive type pressure transducer），是一种可以利用电容敏感的原件把被测量的压力转换成为跟它有一定的关系的电信号输出的精密测量仪器。
二、结构与工作原理它通常是使用镀金属薄膜或者是圆形金属薄膜来做电容器的其中一个电极。
在薄膜感受到压力的时候，它会变形的，此时薄膜跟固定的电极间所产生的电容量就会发生改变。
测量电路就可以输出跟电压形成一定的关系的电信号。
它的应用非常广泛，之所以应用这么广泛，是因为它的优点有很多：它的分辨率很高；它可以进行动态的检测；它的结构很简单，并不复杂；它可以在很恶劣的工作环境下正常工作，解决人不可以测量的很多问题；它可以是非接触测量的，很方便。
三、分类电容式压力传感器是极距变化型的电容式传感器，有差动电容式和单电容式之分。
（1）差动电容式压力传感器其受压膜片电极是处于两个固定的电极之间的，可以形成两个电容器。
当受到压力的作用的时候，其中一个电容器的容量就会变大，而另一个电容器的容量就会相应地变小，而测量的结果是由差动式的电路输出的。
此传感器的固定的电极是由在凹而曲的玻璃的表层上面镀上金属层而制造出来的。
当过载的时候，膜片就会受到凹面的保护，所以，它是不会破裂的。
相对于单电容式压力传感器来说，它的线性度较好，灵敏度也较高，但是在加工方面就比较困难了，还有它不可以完成对被测的液体或者是气体的隔离，所以，它不适合使用在有杂质的或者是有腐蚀性的流体之中。
（2）单电容式压力传感器它是由固定的电极和圆形的薄膜组成的。
当受到压力作用的时候，薄膜就会发生变形，这样就会改变电容器的容量。
它的灵敏度大概是跟薄膜与固定的电极之间的距离和薄膜的张力成反比关系的；而跟压力和薄膜的面积成正比关系的。
有另外的一种型式，它是跟固定电极取凹形球面状的，而膜片是周围边缘的固定的张紧的平面，膜片能够使用塑料接着镀上金属层的这个方法制造而成的。
电容式、电感式压力传感器的工作原理
电容式压力传感器的工作
单电容平板压力传感器的结构及工作
电容式传感器分为极距变化型、面积变化型，当被测参数的变化通过这三种情况之一直接影响电容量的大小时，检测出电容的变化时就等于获得了被测参数的大小，电容式压力传感器常采用极距变化型。
压力使传感器唯一的可动部件即测量膜片产生微小的位移，造成与固定所形成的电容量发生变化。
双电容平板差动型压力传感器的结构及工作
为提高灵敏度和减小非线性，大多压力传感器休用双电容平板差劲结构，可动位于两块固定板极之间，与两固定等距离，当压力使可动向上移动时，引起差动电容增大，减小。
与单电容式压力传感器相比，不仅灵敏度提高，非线性误差也变小了，可见差动式压力传感器优于单电容压力传感器。
电感式压力传感器原理
电感式压力传感器的工作原理是由于磁性材料和磁导率不同，当压力作用于膜片时，气隙大小发生改变，气隙的改变影响线圈电感的变化，处理电路可以把这个电感的变化转化成相应的信号输出，从而达到测量压力的目的。
该种压力传感器按磁路变化可以分为两种:变磁阻和变磁导。
电感式压力传感器的优点在于灵敏度高、测量范围大；缺点就是不能应用于高频动态环境。
变磁阻式压力传感器主要部件是铁芯跟膜片。
它们跟之间的气隙形成了一个磁路。
当有压力作用时，气隙大小改变，即磁阻发生了变化。
如果在铁芯线圈上加一定的电压，电流会随着气隙的变化而变化，从而测出压力。
在磁通密度高的场合，铁磁材料的导磁率不稳定，这种情况下可以采用变磁导式压力传感器测量。
变磁导式压力传感器用一个可移动的磁性元件代替铁芯，压力的变化导致磁性元件的移动，从而磁导率发生改变，由此得出压力值。
压力传感器工作原理
压力传感器工作原理引言概述：压力传感器是一种广泛应用于工业、汽车、医疗等领域的传感器，用于测量和监测压力变化。
它通过将外部施加的压力转化为电信号，实现对压力的精确测量和监测。
本文将详细介绍压力传感器的工作原理及其应用。
一、压力传感器的基本原理1.1 压力传感器的结构压力传感器通常由感应元件、信号处理电路和输出接口组成。
感应元件是压力传感器的核心部份，常见的感应元件有电阻式、电容式、压阻式和压电式等。
信号处理电路负责将感应元件输出的电信号进行放大、滤波和线性化处理。
输出接口将处理后的信号转化为标准的电信号输出，供用户使用。
1.2 压力传感器的工作原理压力传感器的工作原理基于压力对感应元件的影响。
以电阻式压力传感器为例，其感应元件是一种变阻器。
当外部施加压力时，感应元件的阻值会发生变化。
通过测量感应元件的阻值变化，可以推算出外部压力的大小。
其他类型的压力传感器，如电容式和压电式传感器，其工作原理类似，只是感应元件的结构和原理略有不同。
1.3 压力传感器的灵敏度和精度压力传感器的灵敏度是指单位压力变化引起的感应元件输出信号的变化量。
灵敏度越高，传感器对压力的变化越敏感。
精度是指传感器输出信号与实际压力值之间的偏差。
精度越高，传感器的测量结果越准确。
压力传感器的灵敏度和精度是衡量其性能优劣的重要指标。
二、压力传感器的应用领域2.1 工业领域压力传感器在工业领域中广泛应用于流体控制、液位测量、压力监测等方面。
例如，在石油化工行业，压力传感器被用于监测管道压力，确保生产过程的安全性和稳定性。
2.2 汽车领域汽车中的压力传感器主要用于发动机控制系统、刹车系统和轮胎压力监测系统等。
它们可以实时监测发动机的燃油压力、刹车系统的液压压力以及轮胎的胎压，提高汽车的安全性和性能。
2.3 医疗领域在医疗设备中，压力传感器被广泛应用于呼吸机、血压计和人工心脏辅助装置等。
它们可以监测和控制气体和液体的压力，确保医疗设备的正常运行和患者的安全。
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MKS Confidential 7
压力测量 – 电容式薄膜压力传感器
零点调整
输出信号
真空条件下
用螺丝刀进 行零点调整
或在显示/控制仪 上实施零点修正
MKS Confidential 8
A d j u s t . A d j u s t M.KS Confidential 6
压力测量 – 电容式薄膜压力传感器
误差
满F 量u l程l S c a le
% o fR e a d in g E r r o r 读B 数a 值n d 的%误差带 满% 量o 程f的F u %ll误S 差c 带a le E r r o r
Trip Relay Comm Port Dual Range
NO
Terminal Strip
NO
YES
15 pin-D
NO
YES
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NO
YES
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YES
YES
15 pin-D
NO
YES
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YES
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NO
NO
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NO
NO
EtherNet
1 .0 0 .1
.0 1
读R 数R e a a n d 范g in e g 围
1 m V
零P Z 点r e e r s o 压s iu n r g 力e
压R P e 力r s e o s l分s u u tir o 辨e n 率
MKS Confidential 4
压力测量 – 电容式薄膜压力传感器
E x a m 举p 例le :：1 1T To orr rrF 满u ll量S c 程a le C a p a c ita n c e 压M 力a n 传o m 感e 器te r
1 1 0 -1 1 0 -2 1 0 -3 1 0 -4 1 0 -5 1 0 -6 1 0 -7
1 0 V
可控范围
C o n tr o l R a n g e
1 a n g e
1 . 0 0 . 1
Z 零e 点r o
R e a d i n g R a n g e
. 0 1 1 m V
P 调r o 整p e 的r l y零N o 点t S 满p 量a n 程 L i n 线e 性a r i t y A d 比j u 例s t e d Z e 失r o 调e dO u 失t 调o f O 失u 调t o f
Temp Ambient Ambient
45°C 45°C 100°C 100°C Ambient 45°C 45°C 45°C 45°C 45°C 100°C 100°C 100°C 100°C 100°C 45/100°C 45/100°C 150/200°C 150/200°C 150/200°C Ambient 45°C 100°C Ambient 45°C 80°C
T o E 至l e 电c 子t r o 部n i 件c s
M e 测a s u 量r e 面m e n t
S i d e
R 参e f 考e r e 面n c e
S i d e
MKS Confidential 3
压力测量 – 电容式薄膜压力传感器
温度控制的薄膜压力传感器 – 范围及输出
P re s s u re (T o rr) 1 0 0 0 1 0 0 1 0
Z 零e r o 点P 调o t 节
C o n s t a n t T e m p e r a t u r e O v e n ( T e m p e r a t u r e C o n t r o l l e d U n i t s O n l y )
O 振s c 荡i l l 器a t o r R e 参f e r 考e n c e
压力测量 – 电容式薄膜压力传感器
现代电容式薄膜绝对压力传感器原理
在R e 超f e r 高e n c 真e 空S i d 下e a t V e 的r y 参H i g 考h V 面a c u u m
G 通e t 过t e r 真P u 空m p 泵t o 维 M 持a 在i n t a 高i n 真L o w 空参 R e f 考e r e 压n c 力e P 下r e s s u r e
+24VDC
• 输出信号: 0 ~ 10V
或 0~5V
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631B 高温 Baratron
基于以太网通讯的e-Baratron
890/892 压力传感器 • 满量程范围: 20 ~ 3000PSI • 精度: 读数值的 ± 1% • 电源电压: +13VDC ~ +32VDC • 输出信号: 0 ~ 10V
0 ~ 5V 4 ~ 20mA
MKS电容式薄膜压力传感器系列
Model 622A 623A 624B D24B 625B D25B 626A 627B 627C D27B E27B E27C 628B 628C D28B E28B E28C 629B E29B 631A 631B 632B 722A 727A 728A DMA-Amb DMA-45 DMA-80
MKS Confidential 9
MKS电容式薄膜压力传感器系列
700 系列 Baratron 电 容式薄膜压力传感器 • 中等性能 • 价格便宜 • 紧凑型尺寸 • 满量程范围: 1T ~ 1000T • 精度: 读数值的 ± 0.5% • 温度控制: 环境温度,
45℃or 100 ℃
• 电源电压: ±15VDC 或
B 缓u f 存f e r , B 电r i d 桥g eS c 放a l 大i n g ,
A m p l i f i c a t i o n
O 输u t 出p u t
MKS Confidential 2
压力测量 – 电容式薄膜压力传感器
现代电容式薄膜差压式压力传感器原理
B a f f l e
D i a p h r a 隔g 膜m E 电l e 子c t r 组o d 件e A s s e m b l y
MKS Confidential 12
定义 不连接 压力信号输出 0~10VDC 不连接 不连接 电源公共端 -15 VDC +15 VDC 不连接 不连接 不连接 不连接 压力信号公共端 不连接 不连接 外壳地
MKS电容式薄膜压力传感器系列
600系列Baratron 电容式薄膜 压力传感器 ➢满量程范围: 20mT ~ 25kT ➢精度: 读数值的 0.12% ➢分辨率: 满量程的 0.001% ➢温度控制: 环境温度, 45℃or 100 ℃ ➢温度系数
•零点: 0.002% 满量程./°C •增益: 0.02% 读数值 /°C ➢两个继电器控制点可选 ➢电源电压: ±15VDC ➢输出信号: 0 ~ 10V
MKS Confidential 1
压力测量 – 电容式薄膜压力传感器(Manometer)
一个完整的传感器 – 压力传感器 + 信号控制电路
电E l 子e c 部t r o 件n i c s S 满p a 度n P 调o t 节 L 线i n e 形a r 调i t y 节P o t
P x P r
B a n d
In 显d i示c a 压te 力d P r e s s u r e
0 0
R 解e 决s o 方l法u tio n Z e r o 降T e 低m 温p 度C 依o 赖e ffic ie n t
真T 实r u 压e 力 P r e s s u r e
F 满u 量ll程S c a le
N o 非n 线- L 性in e a r ity H 滞y s 后te r e s is
Small Size NO NO NO NO NO NO NO NO NO NO NO NO NO NO NO NO NO NO NO NO NO NO YES YES YES NO NO NO
MKS电容式薄膜压力传感器电气连接
引脚号 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15
温度控制的薄膜压力传感器 系列
MKS Confidential 5
压力测量 – 电容式薄膜压力传感器
零点、满量程及线性
A c t u a l P 真r e 实s s 压u 力r e
F u l l满S c 量a l 程e
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