《激光移相干涉测试系统的设计》
激光干涉测量技术
数字处理
A O
C
B
O’
D
激光干涉仪应用及跟踪干涉测量技术
3）位置跟踪控制系统
误差分析：
激光干涉测量过程中，由于跟踪转镜的转角不参与对测量值的计算，所以只要在 运动过程中能保证干涉仪能进行干涉测量，不丢光，就能完成测量任务。电气系统 的稳态误差不会对测量精度产生影响。
A O
C
B
O’
D
光电池位置偏差对干涉仪测量精度的影响：光电池位置偏差对激光跟踪干涉仪测距精度影响不大，
新建立4个约束方程，可见存在一个冗余方程。
A B
D 3）只要增加动点数，使得冗余的约束方程个数大于或等于系统
未知参数，就可对系统进行标定。
C
激光干涉仪应用及跟踪干涉测量技术
解决自标定问题 四路激光跟踪干涉测量系统——引入n个动点
1）两点间距离公式，可建立4n个约束方程。 2）同时引入了3n个未知量（每个动点的x、y、z坐标）。 3）系统原有的未知量 共3×(4+1)＝15个
激光干涉仪应用及跟踪干涉测量技术
三路激光跟踪干涉测量系统
每一路激光跟踪干涉仪实时跟踪目标镜运动，并测量出目标镜到 跟踪转镜中心的相对长度变动量。
•如果动点到基点的初始长度已知，
P
那么动点移动后，其到基点的距离也就可以确定。
A B
•如果三个基点的相对位置关系也已知， 那么空间种运动目标的位置也就唯一确定。
基点1
基点2
基点3
基点4
基点5
L1 (x0 xb1)2 ( y0 yb1)2 (z0 zb1)2
初 始
L2 (x0 xb2 )2 ( y0 yb2 )2 (z0 zb2 )2
ILC激光干涉测量系统（LiCAS-RTRS）说明书
First of the three measurement cars carrying the launch of the LSM. All mesurement cars provide 6 DOF motion for their measurement units, allowing them to home onto the LSM beam and to aim their interferometers at the reflectors in the next car.
THE ILC SURVEY PROBLEM
In order to maintain the very small ILC emittance of 0.04 mm mrad it is necessary to position all accelerator components accurately to their nominal positions. Refraction in the tunnel air prevents classical optical survey methods from achieving adequate accuracy. To minimise machine down time the survey has to be performed as fast as possible. The latter is particularly important as the ILC will have in excess of 50km of beam line. These requirements led to the development of the RTRS which automatically and autonomously surveys a regular reference network in the tunnel wall opposite the accelerator. Accelerator components can then be surveyed manually or automatically with respect to the reference
激光干涉仪的设计与应用
激光干涉仪的设计与应用激光干涉仪是一种利用激光干涉原理测量物体长度的仪器。
它的特点是测量精度高，可达到亚微米级别，适用于各种长度的测量。
在制造、工程、科学等领域都有重要的应用，下面将介绍其设计和应用。
一、激光干涉仪的原理激光干涉仪基于干涉原理，即利用激光的相干性，将两束激光光束分别照射到测量物体的两个不同位置上，然后让光束反射回来，经过干涉产生干涉条纹，通过分析干涉条纹的移动和变化，可以测量物体的长度、形状和表面质量等。
二、激光干涉仪的构造激光干涉仪主要由光源、分光器、反射镜、光电探测器、转换电路等组成。
其中光源是激光器，应具有单色、长寿命、高光强度、小发散角度等特点。
分光器和反射镜将激光分成两束并反射回到测量物体上，然后经过干涉、反射等过程，形成干涉条纹。
光电探测器可以将光电信号转换成电信号，然后经过转换电路放大、滤波、解调等处理，最终得到测量结果。
三、激光干涉仪的应用1.表面形貌测量激光干涉仪可以用于表面形貌测量，例如测量机械零件的平整度、光学元件的表面形状、生物医学材料的表面粗糙度等。
利用干涉技术可以获得高精度的表面高程和表面形状信息。
2.形变测量激光干涉仪也可用于测量物理量的变形，如应力、形变、位移等。
例如在建筑工程中可以利用激光干涉技术测量混凝土梁的挠度和伸缩变形，从而评估结构的安全性。
3.纳米测量激光干涉仪可用于纳米尺度测量，例如测量纳米材料的形貌、纳米粒子的大小等。
利用干涉技术可以获得高分辨率的纳米级别表征。
4.光学元件测试激光干涉仪还可以用于光学元件测试，例如测量透镜、反射镜、光栅等的曲率半径、折射率、相位等。
利用干涉技术可以获得高精度的光学参数信息。
四、其他需要注意的事项使用激光干涉仪时需要注意安全，避免对人眼造成伤害。
此外激光干涉仪的精度和灵敏度都较高，需要进行科学的校准和校验，避免因仪器误差而产生误报。
总之，激光干涉仪作为一种高精度的测量工具，可以在制造、科学、工程等领域有着广泛的应用。
光电测试技术-第5章 激光干涉测试技术(2／6)概要
§5-2 激光斐索(Fizeau)型干涉测试技术
2.1 激光斐索型平面干涉测量 ②影响测试准确度的因素 4）标准参考平板的影响。 标准参考平板参考面M1在干涉仪中是作为测量基准用的， 主要要求是：面形误差小；口径必须大于被测件。 当标准平板口径大于200mm时，其加工和检验都很困难。 为了保证参考平面面形精度：
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第5章 激光干涉测试技术
§5-2 激光斐索(Fizeau)型干涉测试技术
2.1 激光斐索型平面干涉测量 ③激光斐索平面干涉仪用于测量平行平板平行度 1）测量原理 θ h1 设干涉场的口径为D，条纹数 目为m，长度D两端对应的厚 度分别为h1和h2，有
h2
2n(h2 h1 ) m
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第5章 激光干涉测试技术
§5-2 激光斐索(Fizeau)型干涉测试技术
接触测量存在以下问题：
①标准样板与被测表面必须十分清洁；
②清洁工作多拿在手中擦试，由于体温的影响，影响
测试准确度；
③样板有一定重量压在被测表面上，必然会产生一定
的变形，尤其是对大平面零件。
斐索型干涉测量法中由于样板和被测表面间距较大，必 须用单色光源，一般采用激光光源。
平行光在标准参考平板的上表面和被测件的下表面都会 反射一部分光而形成非期望的杂散光。由于激光的相干 性能非常好，这些杂散光叠加到干涉场上会产生寄生条 纹和背景光，影响条纹的对比度。
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第5章 激光干涉测试技术
§5-2 激光斐索(Fizeau)型干涉测试技术
2.1 激光斐索型平面干涉测量 ②影响测试准确度的因素
光电测试技术
第5章 激光干涉测试技术
激光干涉测量技术
式中，λ0为激光光波中心波长
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测得干涉条纹的变化次数K之后，即可由上式求得被测 长度L。在实际测量中，采用干涉条纹计数法，测量开始 时使计数器置零，测量结束时计数器的示值即为与被测长 度L相对应的条纹数K。可把上式改写为
式中， λ=λ0／n， λ是激光光波在空气中的波长。
激光干涉测长仪的主要结构
18光强接近一致以提高对比度。
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金属膜移相光路图
机械法移相原理图
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(4)分偏振法移相 右图是分 偏振法移相的光路图。输入光 束是与垂直入射面成45◦角的 平面偏振光，由分光器和活动 反射器反射后，信号光束的输 出还是45◦的平面偏振光，因 此，它的垂直和水平分量位相 相同。在参考光路中加入1/4 波片后使参考光变成圆偏振光， 它的垂直和水平分量位相差为 90◦光束会合后用一个渥拉斯 顿棱镜使垂直分量和水平分量 分开，给出两个干涉条纹，它 们的位相差为90◦
• 激光光源：它一般是采用单模的He-Ne(同位素)气体激光器， 输出的是波长为0.6328微米的红光。为提高光源的单色性， 对激光器要采取稳频措施；
• 迈克尔逊干涉仪：由它来产生干涉条纹；（核心部件） • 可移动平台：它携带着迈克尔逊干涉仪的一块反射镜和待测
物体一起沿入射光方向平移。由于它的平移，使干涉仪中的 干涉条纹移动； • 光电计数器：其作用是对干涉条纹的移动进行计数； • 显示和记录装置：其作用是显示和记录光电计数器中记下的 干涉条纹移动的个数或与之对应的长度；
1.立方体分光器;2.移动反射镜
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(3)光学倍频布局 为提高干涉仪的灵敏度，可使用光学倍频 (也称光程差放大器)的棱镜系统，如下图所示。角锥棱镜Ml每移 动kλ/2干涉条纹便发生一次明暗交替变化，k为倍频系数，图中k ＝6。利用光学倍频的干涉系统能用简单的脉冲计数做精密测量， 而无需进行条纹细分，这种技术还可使干涉仪结构紧凑，减小 温度、空气及机械干扰的影响。
实验三激光干涉测量技术
实验三激光干涉测量技术一、引言激光精密干涉测量技术有着广泛的应用。
区别于基础实验课程中应用成套的干涉仪设备进行测量，本实验使用零散的光学元件搭建干涉装置，旨在锻炼学生的实际光路搭建能力以及相关的实践技巧。
二、实验目的1．了解激光干涉测量的原理2．掌握微米及亚微米量级位移量的激光干涉测量方法3．了解激光干涉测量方法的优点和应用场合4. 锻炼实际光路搭建能力以及搭建干涉测量装置的相关技巧三、实验原理本实验采用泰曼－格林（Twyman-Green）干涉系统，T－G干涉系统是著名的迈克尔逊白光干涉仪的一种变型，在光学仪器的制造工业中，常用其产生的等间距干涉条纹对光学零件或光学系统作综合质量检验。
图1 泰曼－格林干涉仪原理图泰曼－格林干涉仪与原始的迈克尔逊干涉仪不同点是，光源是单色激光光源，它置于一个校正像差的透镜L1的前焦点上，光束经透镜L1准直后，被分束器A分成两束光，到达反射镜M1和M2并被反射，两束反射光再次经A透射和反射，用另一个校正像差的透镜L2会聚，观察屏放在透镜L2的焦点位置观察，也可不加透镜L2直接观察。
能够观察到反射镜M1和M2的整个范围，从而可获得清晰、明亮的等间距干涉直条纹，其原理如图1所示。
若作出反射镜M1在半反射面A中的虚像M1’（图中未画出），干涉仪的出射光线相当于M2和M1’所构成的空气楔的反射光，因而泰曼干涉仪实际上就等效于平面干涉仪，只是这里两束光的光路被完全分开，进而产生了等厚干涉条纹。
当光源是点光源时，条纹是非定域的，在两个相干光束重叠区域内的任何平面上，条纹的清晰度都一样。
不过，实际上为了获得足够强度的干涉条纹，光源的扩展不能忽略，这时条纹定域在M1和M2构成的空气楔附近。
如图1所示，设入射平面波经M1反射后的波前是W1，经M2反射后相应的波前是W2，W1和W2位相相同。
引入虚波前W1’，它是在W1半反射面A中的虚像，图中画出了虚相交于波前W2上P点的两支光路，这两支光在P点的光程差为即等于W1’到P点的法线距离，因为W1’和W2之间介质（空气）折射率为1，显然当时，P点为亮点，而当时，P点为暗点。
光电测试技术-第4章 激光干涉测试技术
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§4-1 激光干涉测试技术基础
1.2 影响干涉条纹对比度的因素 小结： 对于所有类型的干涉仪，干涉条纹图样对比度降低的普
遍原因是：
光源的时间相干性； 光源的空间相干性； 相干光束的光强不等； 杂散光的存在； 各光束的偏振状态差异； 振动、空气扰动、干涉仪结构的刚性不足等。
概述：
光学干涉测试技术最初在光学零件和光学系统的检验中 获得广泛应用。
在光学零件面型、平行度、曲率半径等的测量中，斐索 型干涉测量法与在光学车间广泛应用的牛顿型干涉测量 法（样板法或牛顿型干涉法）相比，属于非接触测量。
接触测量存在以下问题：①标准样板与被测表面必须十 分清洁；②清洁工作多拿在手中擦试，由于体温的影响， 影响测试准确度；③样板有一定重量压在被测表面上， 必然会产生一定的变形，尤其是对大平面零件。
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①使参考光束只通过被检光学系统
§4-1 激光干的涉小部测分试区域技，术因而基不础受系统像差
特点：的影响，当此参考光束和经过该光 1.3 共程干涉和非共①程抗干环涉学境系干统扰全；孔径的检验光束相干时， 在光件普路的通行影干进响涉，是仪故不中这同，两的②寸的③由束。在等光在于光因产于学视就如②束参受此生或标场可散大和考机，参大准中直射多测光械在考于件心观板数试束振干光被；两地干的光和动涉束测支获涉共束测和测时光光得仪程都试温量，学束系干受、光度过通系的统 涉像点束起程常统光的仪差衍沿伏中不通程缺中的射着等，需光差陷，影干分外必要口一信参响涉开界须尺径般息考，仪的条严。光干等。
M3
M2 M4
b)
图4-10 光学倍频原理图示
M3
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M1 M’2
§4-1 激光干涉测试技术基础 M2
激光干涉测长技术
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辩向干涉系统 如图所示为泰曼——格林型旳偏振干涉系统，其特点是用一偏振分束 器替代常规旳分束板，并在干涉仪旳不同部位安顿了某些不同旳偏振器件 （在照明系统中安顿一1/2波片，在参照光路和测量光路中各安顿一1/4波 片，而在接受部分安顿一检偏振器）。图中由He-Ne激光器输出旳线偏振 光入射到1/2波片上，1/2波片能够绕光轴旋转，以使经它出射旳偏振光振 动方向定位在任何所需旳方向上。偏振分束器旳作用是把输入旳偏振光按 偏振方向分束，使测量光束和参照光束偏振方向相互垂直。
3、2、4 、1 ；反向移动时，脉冲排列顺序为1 、 4、2、3、 1，如
图所示。在逻辑电路上可根据脉冲1旳背面是1或4来鉴别正向加脉冲 或反向减脉冲，并分别逆入加脉冲旳“门”或减脉冲旳“门”中去， 从而可得到总旳加脉冲或减脉冲信号。
判向电路除提升了仪器旳 抗干扰能力外，还把一种周期 旳干涉条纹变化（即亮暗变化 一次）变成四个脉冲输出信号。 所以在测长时，当条纹变一条 时，可逆计数器显示4个脉冲 数，这等于把条纹4细分了， 常称四倍频计数。此时每一脉 冲代表λ/8旳移动量，所测得 旳长度
第六章 激光干涉测长技术
自从1823年杨氏（Thomas Young）首先用试验措施研究光 旳干涉现象以来，对光干涉旳本质及其应用研究已延续近223 年旳历史。激光旳出现和计算机技术，微电子技术旳发展给光 干涉技术注入了新旳活力，并已成为当代光学中一种主要旳分 支。激光干涉测量技术不但被广泛用于对物体长度、角度、形 状、位移等几何量旳测量，还可利用其测量原理对物理量（如 形变、速度、振动等）及光学系统特征（如象差，光学传递函 数）等进行测量。
（2）析光镜上经常产生非期望光线。
析光板产生旳非期望光线
● 动条纹：除了在析光板镀膜面上分裂而成旳两条期望旳相干 光线1、2处，还可能产生光线3和4，其光强虽代于前者，若所形成条 纹旳间隔合适还是足以觉察出来，它和期望旳干涉图样一样，也会伴 随反射镜旳平移而运动。
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一．激光移相干涉测试技术原理1.激光干涉仪激光具有高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。
目前常用来测量长度的干涉仪，主要是以麦克森(Michelson)干涉仪为主，并以稳频氦氖激光为光源，构成一个具有干涉作用的测量系统，如图一所示。
激光光经由分束镜(beam splitter)，又称半反射镜(semi-reflector)，将光束一分为二，一束射向一个固定反射镜形成参考路径，一束射向可移动的反射镜形成测量距径。
这二反射镜所反射的光，回到分束镜内重新会合，合并成一道光束并产生干涉条纹射至光电传感器，因传感器感测出这些条纹的明暗变化，经由后级信号处理电路加以处理，即能计算出移动反射镜(待测物)所移动的距离。
激光干涉仪是以激光波长为已知长度、利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量工具。
激光干涉仪有单频的和双频的两种。
单频的是在20世纪60年代中期出现的,最初用于检定基准线纹尺,后又用于在计量室中精密测长。
双频激光干涉仪是1970年出现的，它适宜在车间中使用。
激光干涉仪在极接近标准状态（温度为20℃、大气压力为101325帕、相对湿度59％、C O2 含量0.03％）下的测量精确度很高，可达1×10。
1）单频激光干涉仪从激光器发出的光束，经扩束准直后由分光镜分为两路，并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。
当可动反射镜移动时，干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电脉冲信号，经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数，再由电子计算机按计算式[356-11]式中λ为激光波长(N 为电脉冲总数)，算出可动反射镜的位移量L。
使用单频激光干涉仪时，要求周围大气处于稳定状态，各种空气湍流都会引起直流电平变化而影响测量结果。
2）双频激光干涉仪在氦氖激光器上，加上一个约0.03特斯拉的轴向磁场。
由于塞曼分裂效应和频率牵引效应, 激光器产生1和2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光。
经1/4波片后成为两个互相垂直的线偏振光,再经分光镜分为两路。
一路经偏振片1后成为含有频率为f1-f2的参考光束。
另一路经偏振分光镜后又分为两路：一路成为仅含有f1的光束,另一路成为仅含有f2的光束。
当可动反射镜移动时,含有f2的光束经可动反射镜反射后成为含有f2 ±Δf的光束，Δf是可动反射镜移动时因多普勒效应产生的附加频率,正负号表示移动方向(多普勒效应是奥地利人C.J.多普勒提出的，即波的频率在波源或接受器运动时会产生变化)。
这路光束和由固定反射镜反射回来仅含有f1的光的光束经偏振片2后会合成为f1-(f2±Δf）的测量光束。
测量光束和上述参考光束经各自的光电转换元件、放大器、整形器后进入减法器相减,输出成为仅含有±Δf 的电脉冲信号。
经可逆计数器计数后，由电子计算机进行当量换算（乘 1/2激光波长）后即可得出可动反射镜的位移量。
双频激光干涉仪是应用频率变化来测量位移的，这种位移信息载于f1和f2的频差上，对由光强变化引起的直流电平变化不敏感，所以抗干扰能力强。
它常用于检定测长机、三坐标测量机、光刻机和加工中心等的坐标精度，也可用作测长机、高精度三坐标测量机等的测量系统。
利用相应附件，还可进行高精度直线度测量、平面度测量和小角度测量。
2.激光移相干涉测试技术原理分析参考波前为)](2exp[1i l L ik a W +=L 是参考面和被测面到分束板的距离li 是压电晶体带动参考镜作正弦振动的瞬时振幅被测波面的波前为 ))],((2exp[2y x w L ik b W +=干涉条纹的光强分布为]),([2cos 2),,(22i i l y x w k ab b a l y x I -++=w(x,y)是被测波面(位相)。
对被测波面上所有的点，I(x, y, li)是li 的余弦函数，因此可以写出它的傅立叶级数形式被测镜 参考镜 激光移相干涉光路原理图压电晶体i i i kl b kl a a l y x I 2sin 2cos ),,(110++=将I(x, y, li)按三角函数展开有iii kl y x kw ab kl y x kw ab b a l y x I 2sin ),(2sin 22cos ),(2cos 2)(),,(22+++= 可得⎪⎩⎪⎨⎧==+=),(2sin 2),(2cos 211220y x kw ab b y x kw ab a b a a式中存在a 、b 、w(x, y)三个未知量，要从方程中解出w(x, y)，至少需要移相三次，采集三幅干涉图。
111tan 21),(a b k y x w -=对每一点(x, y)的傅立叶级数的系数，还可以用三角函数的正交性求 得⎪⎪⎪⎩⎪⎪⎪⎨⎧===⎰⎰⎰T ii i T i i i T ii l kl l y x I T b l kl l y x I T a l l y x I T a 0 1 0 1 0 0d 2sin ),,(2d 2cos ),,(2d ),,(2便于实际的抽样检测，用和式代替积分⎪⎪⎪⎩⎪⎪⎪⎨⎧===∑∑∑===ni i i ni i i n i i kl l y x I n b kl l y x I n a l y x I n a 1111102sin ),,(22cos ),,(2),,(2n 为参考镜振动一个周期中的抽样点数。
于是，可得∑∑==-=n i i i ni i i kl l y x I n kl l y x I n k y x w 1112cos ),,(22sin ),,(2tan 21),(特殊地，取四步移相，即n=4，使23,,2,02πππ=i kl得 ),(),(),(),(tan 21),(31241y x I y x I y x I y x I k y x w --=-为了提高测量的可靠性，消除大气湍流、振动及漂移的影响，可以测量傅氏级数的系数在p 个周期中的累加数据，用下式来求⎪⎪⎪⎪⎩⎪⎪⎪⎪⎨⎧===∑∑∑⋅=⋅=⋅=pn i i i p n i i i pn i i kl l y x I np b kl l y x I np a l y x I np a 1111102sin ),,(22cos ),,(2),,(2从最小二乘法意义上看，上式所表达的傅里叶系数是波面轮廓的最好拟合。
得⎥⎥⎥⎥⎦⎤⎢⎢⎢⎢⎣⎡=∑∑==-np i i i np i i i kl l y x I np kl l y x I np k y x w 1112cos ),,(22sin ),,(2tan 21),(二．激光移相干涉测试技术的特点激光相干仪具有更高的测试灵敏度和准确度；绝大部分的干涉测试都是非接触式的，不会对被测件带来表面损伤和附加误差；较大的量程范围；抗干扰能力强；操作方便；实现了条纹计数自动测量；无需补偿板；角锥棱镜的优点得到充分利用；空气折射率自动测量与修正；在精密测量、精密加工和实时测控的诸多领域获得广泛应用。
1）激光移相干涉测试技术原理上采用上述最小二乘法拟合来确定被测波面，因此可以消除随机的大气湍流、振动及漂移的影响，这是这种测试技术的一大优点。
2）是可以消除干涉仪调整过程中及安置被测件的过程中产生的位移、倾斜及离焦误差（数字化处理）。
由于角锥棱镜在运动时即使有小的转动也不影响反射光轴的方向，从而大大降低了对运动导轨的机械精度要求。
由于反射光束和入射光束是非共轴的，从而避免了反射光的干扰。
3）是可以大大降低对干涉仪本身的准确度要求。
波面位相信息是通过计算机自动计算、存贮和显示的。
这就在实际上有可能先把干涉仪系统本身的波面误差存贮起来，而后在检测被测波面时在后续的波面数据中自动减去，使干涉仪制造时元件所需的加工精度可以放宽。
当要求总的测量不确定度达到1/100波长时，干涉仪系统本身的波面误差小于一个波长就可以了。
4）降低了对光阑的要求。
由于激光单色性好、亮度高，所以，激光干涉系统对光阑的主要作用是减小激光器二次发散光束的影响和挡住背景杂散光，它可安置在准直光管物镜的主焦点上。
光阑的形式为小圆孔。
三．激光移相干涉测试系统光路图面阵探测器 可变衰减器 偏振分光镜 检偏器 激光器压电晶体 1/2波片 1/4波片 被测表面 齐明镜组 1/4波片 激光移相干涉系统光路图性能：测量点数：1024点测量平面最大直径为125mm；测量不确定度达1/100波长。
四．测试精度的分析1.干涉条纹图样对比度降低对于所有类型的干涉仪，干涉条纹图样对比度降低的普遍原因是：光源的时间相干性；光源的空间相干性；相干光束的光强不等；杂散光的存在；各光束的偏振状态差异；振动、空气扰动、干涉仪结构的刚性不足等。
2.干涉条纹的拾取采用线阵为条纹自动拾取工具, 提高了系统的测量准确度并基本消除了人为的计数误差.。
系统采用波长= 0. 632 99um 的He-Ne 激光器, 同时又在CCD 前面加了前置放大镜, 对条纹进行放大, 使条纹最大间距为100 个象素, 系统理论上能分辨的最小位移为0. 003 2 u m。
随着科学技术的不断发展,系统测量分辨力还会不断提高。
3.激光器的频率稳定性激光的波长稳定性可视为频率的稳定性，He-Ne 激光器的频率稳定度可达2 x10- 12 以上所以, 1 u m 的位移测量误差从理论上讲, 可以达到0. 01 nm, 因此, 系统可以获得极高的测量准确度。
另外为了防止被测物体和参考光路返回激光器干扰激光器的输出, 反过来又使激光信号不稳定, 所以在激光器前面加了一个光学隔离器, 此隔离器由起偏器和1/ 4 波片组成, 两者光轴夹角45%, 激光经1/ 4 波片后输出圆偏振光, 返回再次经过时成为与初始激光偏振方向下次的线偏振光, 不能透过起偏器进入激光, 因而排除了它的干扰。
4.空气扰动、外界振动引起条纹移动, 从而对测量产生较大影响。
利用自己设计的紧凑的干涉系统, 将系统放在减震台上, 能很好地解决这一问题。
总结：测试信号经去噪及判向计数处理后的微位移测量系统与传统位移测量方法相比, 灵敏度、准确度及稳定度等方面都有了显著的提高, 具有较高的实用价值和发展前景。