化学集中供应系统CDS介绍
《核电厂蒸汽动力转换系统》第1章(二回路汽水循环)第06节-凝结水系统

1 凝结水系统功能
系统主要功能
蒸汽的冷凝及收集:CDS冷凝低压缸排汽和旁排阀排汽,并 将凝结水收集在凝汽器热井中。
保持凝结水装量:CDS保持二次侧循环凝结水和给水装量, 并调节失水和电厂瞬态引起的水装量变化。
维持凝结水水质:CDS通过除氧以及凝结水精处理系统( CPS)和常规岛化学加药系统(CFS)的作用,净化凝结水 并保持凝结水水质。
三个窄量程液位变送器和一个宽量程液位变送器用来测量除 氧器的液位。每个通道为中值选择器提供一个输入。
两个压力变送器和七个压力开关用来测量凝汽器的压力。一 个是窄量程,另外一个是宽量程。
系统运行
如果一列低加(1号低加和2号低加)由于像传热管泄漏这样 的原因而被隔离,电站可以继续在额定功率运行。
低压给水加热器
凝结水泵
凝结水泵是多级立式离心泵,由壳体,外壳,吸入室,叶轮 ,密封装置和轴承等组成。
凝结水泵采用双吸式叶轮,一方面可以减小所需的净正吸入 压头,另一方面也可以减小轴向推力。
凝结水泵采用自润滑,不需要外部的润滑。
4 凝结水系统运行
测量仪表
三个液位变送器用来测量凝汽器热井中凝结水的液位。每个 通道为电厂DCS系统的中值选择器提供一个输入。中值选择 器的输出用作热井补水阀和溢流阀的自动控制。
凝结水精处理单元位于凝结水泵出口母管的下游。 在向蒸汽发生器供水之前,CDS系统和FWS系统提供了三条
再循环管线用以加快系统净化和水质调整。
3 凝结水系统主要设备及工作原理
凝汽器
系统共配置三台凝汽器,每台与一个低压缸相接。凝汽器为 水平、径向流动、单流程、表面冷却式,带有隔离的水室, 汽机排汽口位于顶部。
凝结水输送:CDS按所要求的流量为主给水系统和启动给水 系统输送高品质的凝结水。
ERT基础--ERT概论.

SMIC
Case 2:法国Philips FAB 火灾
SMIC
SMIC
SMIC
防火区划
3rd Floor(保持一开一闭)
2nd Floor(保持常闭)
Fab区域2F/3F分别为一个防火区划
SMIC
火警警报系统
火警探测器
室内消火栓
火警监视器
SMIC
火警探测器的警报
sprinkler
SMOKE DENSITY
局部性的小火灾或意外事故可能全面性的导致洁净室严 重的污染与巨额的财产、营业中断损失
SMIC
Flammable/Pyrophoric Gas or Chemical
Flammable/Pyrophoric gas:
CH4 DCS Htible chemical:
SMIC
Special gas特殊气体供应流程简图
Exhaust
制程机台
FAB 3F Raised floor
Valve Box
FAB 2F
VMB/P
Pump
气瓶柜
Local scrubber
FAB 1F
gas room
SMIC
气体侦测系统
气体采样 气体分析
气体泄漏信号
SMIC
气体可能泄漏源(1)
泄漏侦测器
Clean Unit
SMIC
可能泄漏源(3)
泄漏侦测器
VMB
SMIC
其他可能泄漏源
双套管
Chemical pipes
SMIC
芯片制造厂的危害特性(四)
危害物质不易排除
SMIC
气体可能泄漏源(2)
采样点
VMB
VMP/非有害气体
碳点的性质、制备及其应用研究

第2期 收稿日期:2020-10-08碳点的性质、制备及其应用研究柳樱华 ,吴继强,于娇娇(兰州石化职业技术学院,甘肃兰州 730060)摘要:碳点因其优越的光学和化学稳定性、良好的生物兼容性、制备简单等优点,在很多领域,如生物传感、生物成像、药物传输、光电元件等方面得到了广泛的应用。
本文对近年碳点的研究工作如碳点的性质(结构组成、光学性质)、制备方法及应用做了整理和总结,并对将来碳点的研究方向做了展望。
关键词:碳点;性质;制备;荧光-比色双模式中图分类号:TB34 文献标识码:A 文章编号:1008-021X(2020)02-0075-05ThePropertiesandPreparationofCarbonDotsandTheirApplicationsLiuYinghua ,WuJiqiang,YuJiaojiao(LanzhouPetrochemicalPolytechnic,Lanzhou 730000,China)Abstract:Carbondots(CDs)havebeenappliedinmanyfields,suchasinbiosensing,bioimaging,drugdeliveryandoptoelectronicdevice,duetotheirsuperioropticalandchemicalproperties,simplesyntheticroutesandexcellentbiocompatibility.Inthispaper,theresearchofcarbondotssuchastheproperties(structureandcomposition,fluorescence),thepreparationandapplicationswerereviewed.Moreover,theresearchdirectionsofCDsinfuturewerealsoprospected.Keywords:carbondots;properties;preparation;fluorescentandcolorimetricdualmode1 引言碳点作为碳纳米材料家族的成员之一,于2004年被Xu等[1]在用电弧放电技术纯化单壁碳纳米管的过程中首次发现。
AP1000主要系统代码

排气和泄压系统 TES TOS TVS TVS VAS VBS VCS VES VFS 汽轮机抽汽系统 主汽轮 机控 制和 夜诊断系统 闭路电视系统(核 运行) 闭路电视系统 (保 卫) 放射性 控制 区通 风系统 核岛非 放射 性通 风系统 安全壳 再循 环冷 却系统 主控室 应急 可居 留系统 安全壳 空气 过滤 系统 物理保 健和 热机 VHS 加工车间 HVAC 系统 VLS VPS VRS VTS VUS VWS 安全壳 氢气 控制 系统 联合泵 房通 风系 统 废物厂房 HVAC 系统 汽轮机 厂房 通风 系统 安全壳 泄漏 率试 验系统 中央冷冻水系统 SMS SPS SRS SSS STS SVS 特殊监测系统 厂区生活污水排 放系统 汽水分离再热器 系统 二回路取样系统 模拟机培训系统 汽机房封闭楼梯 间正压通风系统 SJS 地震监测系统 RMS RNS RVS RWS RXS SDS SES SFS SGS 辐射监测系统 正常余热导出系 统 汽机厂房配电间 HVAC 系统 原水系统 反应堆本体系统 生活污水排放系 统 电站实体保卫系 统 乏燃料池冷却系 统 蒸汽发生器系统
ZBS
ZOS ZVS VYS TBS TCS VXS SWS
核电才招聘
系统代码 ASS BDS BVS CAS CCS CDS CES CFS CMS CNS CPS CVS CWS DAS DDS DOS
系统名称 辅助蒸汽供应系统 蒸汽发生器排污系 统 汽轮机厂房蓄电池 室 HVAC 系统 压缩空气和仪表空 气系统 设备冷却水系统 凝结水系统 冷凝器管清洁系统 常规岛化学加药系 统 冷凝器排气系统 安全壳系统 凝结水精处理系统 化学和容积控制系 统 循环水系统 多样化驱动系统 数据显示和处理系 统 备用柴油机燃油系 统 厂区生活水供应系 统 厂区雨水排放系统 除盐水处理系统 除盐水厂房 HVAC 系统 除盐水贮存和分配 系统 柴油发电机厂房供
技术类《AP1000常规岛、BOP系统》第3章(常规岛辅助系统)第05节-常规岛化学加药系统

系统描述(3)
二回路水处理采用全挥发处理,即向凝结水和给水中加入挥 发性碱性物质:氨水和联氨,控制pH值和清除水中的溶解 氧。
联氨的加入点为启动给水泵进口管、除氧器水箱、净凝结水 泵出口母管与主凝结水泵出口母管汇合点的下游、凝汽器应 急补水管、热水加热系统(VYS)。
第五节 常规岛化学加药系统
主要内容
➢ 5.1 系统功能 ➢ 5.2 系统描述 ➢ 5.3 主要设备结构及工作原理 ➢ 5.4 系统运行 ➢ 5.5 主要技术参数
要求
1)了解系统主要功能和工艺流程; 2)熟悉主要设备结构、作用和运行方式; 3)了解本系统和其它系统的相互关系; 4)记住系统和设备的主要技术参数。
在凝结水精处理系统投运时,加氨点设置在pH取样点之前 ,也即在混床出口母管、净凝结水泵进口母管上。而在凝结 水精处理系统未投运时,加氨点则设在主凝结水母管上,即 净凝结水泵出口母管与主凝结水母管相连的三通管之后。
CFS在主凝结水母管除氧器入口及凝汽器补水管线上注入联 氨,控制系统中的溶解氧,使除氧器进口给水的溶解氧含量 不超过10ppb。
联氨的自动稀释
当联氨稀释箱消耗到一定液位退出运行后,一定量的浓联氨 (来自浓联氨箱)被联氨输送泵输送到联氨稀释箱中,然后 加入来自除盐水储存和分配系统(DWS)的除盐水至设定 液位,并自动搅拌均匀。
氨的自动稀释
当氨液箱退出运行后,先加入来自DWS的除盐水至一定液 位并自动搅拌,然后充入氨气直至达到氨液假定浓度的电导 率设定值。
加氨泵自动控制 根据凝结水的流速按比例改变加氨泵的旋转频率,也可以根 据凝结水泵出口凝结水的电导率来改变加氨泵的行程长度, 达到自动控制pH的目的。
加联氨泵自动控制 加联氨泵根据凝结水流速调整泵的冲程。
硫化锌镉的化学式-概述说明以及解释

硫化锌镉的化学式-概述说明以及解释1.引言1.1 概述硫化锌镉是一种重要的化合物,其化学式为ZnS-CdS。
它具有许多独特的性质和应用,因此受到广泛关注。
本文将深入探讨硫化锌镉的性质、锌和硫的化学性质,以及硫化锌镉化合物的应用领域。
通过对这些方面的研究,可以更好地理解硫化锌镉的特点,促进其在科学研究和工业生产中的应用。
部分的内容1.2 文章结构:本文分为引言、正文和结论三个部分。
在引言部分中,将对硫化锌镉的化学式进行概述,介绍文章的结构和目的。
在正文部分中,将分别讨论硫化锌的性质、锌和硫的化学性质以及硫化锌镉化合物的应用。
最后,在结论部分对全文进行总结,并展望未来的研究方向,最终得出结论。
整个文章结构清晰,逻辑性强,让读者能够系统地了解硫化锌镉的化学式及相关知识。
1.3 目的硫化锌镉是一种重要的化合物,本文的目的是研究其化学式及相关性质。
通过对硫化锌镉的性质、合成方法以及应用领域的探讨,我们希望能够深入了解这种化合物在化工领域中的重要性和应用前景。
同时,通过对锌和硫的化学性质的分析,可以揭示硫化锌镉在不同条件下的反应过程和性质变化。
最终,我们希望通过本文的研究,可以为硫化锌镉的进一步应用和发展提供一定的理论基础和参考价值。
2.正文2.1 硫化锌的性质硫化锌是一种无机化合物,化学式为ZnS。
它是由锌和硫元素按照一定的摩尔比混合而成的固态物质。
硫化锌通常呈现为白色或淡黄色的结晶体,具有良好的光学性质和电学性质。
硫化锌在常温下是稳定的,不易被空气氧化或分解。
它的熔点较高,约为1700摄氏度,使其在高温环境下具有较好的稳定性。
此外,硫化锌的硬度较高,具有一定的机械强度,适合用于制备各种硬质材料或涂层。
在光学方面,硫化锌是一种重要的半导体材料。
它具有较宽的能隙,能够在紫外至红外波段吸收和发射光线,因此被广泛应用于光电子器件、激光器件、太阳能电池等领域。
除此之外,硫化锌还具有良好的荧光性能,可用作荧光材料或荧光探针。
《MMS使用手册——2013125版》(可编辑)
《MMS使用手册——2013125版》MMS矿物质补充剂使用手册?目录一、MMS介绍 61、什么是MMS? 62、MMS1作用原理73、MMS2作用原理84、CDS(二氧化氯)溶液95、MMS的好处 106、MMS的基本使用原则11二、MMS使用方案12MMS1溶液激活方法12方案1000 13方案2000 14方案1000+ 15方案3000 16MMS非口服使用方法17MMS1、MMS2、CDS保存方法21特别注意21三、MMS可治疗的136种疾病22四、相关辅助康复方案351、改善MMS口味套餐352、肺部、呼吸道疾病康复套餐363、女性疾病康复套餐374、家庭灌肠套餐385、巴德维疗法套餐406、肝胆排石法套餐427、酵素疗法43MMS为何要配合酵素一起服用? 458、饮食疗法47五、国内MMS效果反馈汇总47皮肤病48MMS治愈了我的带状疱疹后遗症及并发症(不知名网友) 48【代转发】MMS治好了湿疹,缓解了直肠病变! 49MMS治疗扁平疣(网友rockfan!) 49MMS治疗神经性皮炎(CDS3群:颠覆式微博蒲容) 49传染病50MMS对于手足口病的治疗效果反馈(治病新时代2群:凤尾寒) 50 HIV 51HIV感染者使用3个多月效果反馈(CDS1群:唯美生存:1210679525) 51 结石52MMS排出尿道结石(淘宝:网评iyjwg ) 52感冒52MMS1治好了我的流感(CDS1群:村官发了) 52肝病52MMS治疗乙肝小三阳转阴(CDS3群:婷婷玉立) 52【代转发】25天治愈乙肝小三阳(CDS1群:笨笨) 53慢性乙肝的治疗论坛:yj77889) 53眼病55半天消肿--眼睛炎症(论坛:宇宙之树) 55中毒55MMS1治疗蚂蚁咬伤(CDS3群:相信自己) 55MMS治疗毒虫咬伤(CDS3群:屋启) 56糖尿病56糖尿病患者用后一个月的效果反馈(CDS1群:自由的亲属) 56糖尿病患者用后36天的效果反馈(CDS1群:自由转述) 56糖尿病治疗效果反馈(CDS4群:怕地震) 57肺病57【代为转发】MMS2治好了久治不愈的慢性肺结核57综合类疾病58MMS调理甲亢58方案1000治疗了我的多种疾病(CDS1群:圣泉转述) 58我们全家使用MMS的心得体会(CDS1群:怡凡) 59胃病、脂肪肝的治疗反馈(昆明:李女士) 60MMS家人多种疾病的治疗效果反馈(山东张女士) 60心脏早搏、高血糖、口臭、前列腺的治疗反馈(CDS1群:天晴,转诉整理)61甲状腺结、过敏、高血压、血糖高、风湿病(CDS3群:水蜜桃转诉整理) 61 口腔溃疡、皮肤发痒(CDS3群:水蜜桃转诉整理) 62脑血栓、腰疼(CDS3群:水蜜桃转诉整理) 62肺心病、骨质疏松、内痔、外痔(CDS3群:水蜜桃转诉整理) 62关于吃MMS2的经历(胃病、大便滴血和尿道炎)(论坛:g842577522) 62服用MMS的经历?慢性肾病,肛窦炎(论坛:阳光下的麦娘) 63服用MMS治疗肝囊肿、慢性咽炎、胃肠不适、便秘(CDS1群:自由) 63扁桃体炎、高血压效果反馈(YY群:泰山丁) 6322天治疗初期左上肢臂丛神经炎、右下肋神经痛、偏头痛及牙龈红肿 (CDS4群:我爱全世界的灵魂) 64牙龈炎、中耳炎治疗效果反馈(YY群:田美玲) 65腰疼、痔疮、口腔溃疡、胃部反酸、颈椎疼、肩周炎使用反馈 (网友:心如晴空) 65肾结石、胆囊息肉、色斑、肠炎等使用反馈(淘宝网评:圣泉2011) 65谢谢您们的义举,爱您们!(淘宝网评:养心思凡) 66肩周炎、皮肤过敏、失眠、糖尿病效果反馈(CDS3群:追梦人) 66妇科炎症及例假异常的治疗效果反馈(CDS4群:若尘) 67乙肝症状、胃溃疡、脑血栓、小狗癫痫(淘宝网评:张笑起) 67MMS治好了我婆婆的便秘、浮肿、肠胃不适、脱发、风湿性关节炎等疾病(CDS4群:锦红) 67MMS1治好了我的心肌缺血、心绞痛和心率不齐(CDS4群:春的滋味) 68本人使用MMS矿物质三个月的感受记录(CDS4群:郁金香) 69耳鼻喉70CDS治好了我五个月大宝宝的中耳炎CDS4群:生活) 70MMS1两天只用两次治好我女友的中耳炎(论坛:tensun) 71MMS治好了我50年的咽炎(CDS4群:蔚蔚) 71MM1治好了我八年的过敏性鼻炎(CDS2群:蓝天) 72癌症73MMS方案2000治疗宫颈原位癌变(CDS4群:降央措) 73肝癌晚期治疗反馈(CDS1群:阮阮) 73子宫颈癌方案2000+浸泡+泡脚(CDS2群网友:icemg) 75方案2000不到两个月治愈子宫颈癌CDS4群:顺顺转述) 75肿瘤76肺癌患者使用21天后肿瘤消失(CDS2群:一生有你) 76神奇的MMS1,服用2个月治好表妹的子宫肌瘤(CDS4群:鼠大王管狗的) 77 其他77MMS治疗猫瘟(淘宝网评:双鱼泡泡糖 ) 77蚊虫叮咬及晒伤效果立竿见影(CDS4群:淡淡的幸福) 78不到半小时治好蜜蜂蛰伤(论坛:白莲) 78MMS救了我家乌龟的命(YY群:??喵) 79MMS治好了狗狗拉肚子(YY群:远隔天涯 ) 79五、MMS相关信息80中国MMS义务扶助组80MMS捐助基金帐号81MMS矿物质补充剂使用手册一、MMS介绍1、什么是MMS?MMS是Miracle Mineral Solution /Supplement英文字头的缩写,可以译作“神奇矿物质溶液/补充剂”,最初(1996年)是由美国冶金工程师吉姆?汉伯(Jim Humble)发明的,是一种亚氯酸钠水溶液(MMS1)和次氯酸钙MMS2粉末。
OpenLAB软件 CDS Q&A
1. 关闭检测器的灯:G1314A/B/D/E,G1314C XL(可变波长紫外检测器), G1315B/D ,G1315C XL(二极管阵列检测器),G1365B/D ,G1365C XL(多波长紫外 检测器),G1362A(示差检测器),G1321A(荧光检测器),G4218A(蒸发光散射检测 器),关闭检测器的灯后冲洗系统,可以延长检测器灯的寿命。 G4218A(蒸发光散射检测器),分析结束后,不要马上关闭氮气 和检测器温度;我们建议在停止流动相后再保持氮气和检测器温度约30 分钟。 2. 冲洗系统:没有盐缓冲溶液的流动相,(反相系统)用85%~90%有机相+15%~10%水相冲洗系统和反相 色谱柱,后过渡到纯有机相; 有盐缓冲溶液的流动相,(反相系统)用85%~90%水相+15%~10%有机相冲洗系统和反相色谱柱(反相系统), 除去反相色谱柱与系统中的盐溶液。然后用85%~90%有机相+15%~10%水相冲洗系统和反相色谱柱,后 过渡到纯有机相。 3. 关闭电脑:将泵流速逐步降至0ml/min,单击“关闭”按钮关闭所有模块,退出 化学工作站,关闭电脑。 4. 关闭模块:关闭所有模块电源开关。
注:调出每针数据的DA.M后,可进行修改,预览和打印报告。也可保存,虽然保存
按钮是灰色的,但只要预览和打印报告,修改后的DA.M会自动更新。
Reprocessing(重新处理)
适用于序列数据和创建的结果集(前提:序列数据中有备份方法)。
1、sequence table
与chemstation基本相似,可更改sample name、method name等,但是method的更 换,稍有不同,需要先将master method 选到sequence method中才可调用,如下图:
CdS量子点敏化二维WO3纳米薄膜的制备及其光电化学性能研究的开题报告
CdS量子点敏化二维WO3纳米薄膜的制备及其光电化学性能研究的开题报告尊敬的指导老师:本人拟选题为“CdS量子点敏化二维WO3纳米薄膜的制备及其光电化学性能研究”,该选题旨在研究CdS量子点与二维WO3纳米薄膜的复合光电化学性能,为新能源开发提供一定的科学依据。
现在,本人将详细说明该选题研究背景、研究目的、研究内容、研究方法及可行性分析等方面的情况。
一、研究背景二氧化钨(WO3)在催化分解水中具有诸多优异特性,但其光催化性能有待进一步提升,因此研究新型光敏材料来改善其光敏性能显得尤为迫切。
量子点是一种具有独特物理和化学特性的半导体微晶,近年来受到广泛关注。
CdS量子点具有优异的电子传输性能和优异的光催化性能,因此被广泛应用于光催化分解水等领域。
因此,将CdS量子点引入WO3纳米薄膜中,可以进一步提高WO3的光催化性能。
二、研究目的本文旨在制备CdS量子点敏化的二维WO3纳米薄膜,研究其光电化学性能及机理,探究CdS量子点对于二维WO3纳米薄膜光催化性能的影响,为新型光催化材料的开发提供理论和实验基础。
三、研究内容1. 合成CdS量子点;2. 制备WO3纳米薄膜;3. CdS量子点敏化的二维WO3纳米薄膜的性质表征;4. 探究CdS量子点对于二维WO3纳米薄膜光催化性能的影响;5. 实验结果的统计和分析。
四、研究方法1. 化学制备法制备CdS量子点;2. 溶胶凝胶法制备WO3纳米薄膜;3. 采用SEM、TEM、XRD等方法对样品进行表征;4. 采用光电流法和电化学阻抗谱法研究样品的光电性能;5. 采用紫外可见光谱测定催化反应的光催化性能。
五、可行性分析本选题的研究内容较为明确,研究方法的操作规范且有一定的先导研究。
本项目的研究内容具有实践性和运用性,具有推广意义。
因此,本选题的研究有可行性。
以上就是本人“CdS量子点敏化二维WO3纳米薄膜的制备及其光电化学性能研究”的开题报告,如有不妥之处请您指正。
化学品基础知识培训
-
Lorry
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30*3
-
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from 現像液1 (CF)
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30*8
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Drum
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3*2
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Drum
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3*2
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Drum
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3*2
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[2] 化学品系统设计专篇 PANDA
2.1 化学品站房规划设计
主要参考规范及标准:
1.参考GB50016-2014《建筑设计防火规范》,我司化学品站应归类于乙类库房,能存放闪点大于28℃,小于60℃的液体,不 能存放属于甲类的氧化剂及化学易燃危险固体,不能存放爆炸下限小于10%的气体。但实际我司化学品库按照甲类二级防火建 筑标准建设。 2.GB50058-92《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》明确各类电气设备存放区域,电气管线及装置防爆等级。 3.GB50019-2003《采暖通风和空气调节设计规范》明确站房排风类型及风量要求等。 4.GB15603-1995《常用化学危险品贮存通则》明确化学品站房设计原则基本考虑如下:
3 危险系数较低
K255,KOH,ITO刻蚀液,亚硫酸钠,亚氯酸钠(原液浓度较低或腐蚀性 相对较小)
1.1高危险性化学品性质剖析-NMP 暴晒试验
试验简述 取100ml NMP废液,在室外温度35°时暴晒3小时。 结论:未见燃烧及其他异常
1.1高危险性化学品性质剖析-NMP 明火接触试验
试验简述 取100ml NMP废液,室外温度35°,用明火点燃 结论:极具燃烧性质,遇明火易燃!
a.有机化学品和无机化学品分开储存,设计在不同的供应间; b.供应间与使用点应考虑供应的距离,采用就近原则,还需考虑设备的安装条件,化学品间的高度应与生产产房一致; c.易燃易爆的有机间应考虑到防爆措施,应采用非燃烧轻质屋顶、轻质墙体作为泄压设施,设计使用二氧化碳灭火系统,电 气防爆隔离,操作界面与供应间隔离; d.有腐蚀性质的化学品供应间,其地面、门窗、墙面需要有防腐功能。 5.GB13690-2009《常用危险化学品的分类及标识》明确我司各类化学品的类别归属及标识方法。 6.SJ 30002-92《电子工业职业安全卫生设计规定》明确化学品站房职业卫生安全相关设施设计要求。
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用量:
4000L/Day 以上 利用壓送的方式
2011/1/22 7
配置規範
Pump Type – Pump A
2011/1/22
8
Pump Type –Pump B With Day Tank
2011/1/22
9
Pressure Type –Pump A
2011/1/22
10
Pressure Type –Pump B With Day Tank
2011/1/22
11
Tank Lorry Type 4000L/Day以上
2011/1/22
12
CDS 簡介
主講人:林晏彤
@ 系統結構
流程示意圖 系統配置 元件說明
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2
1.流程示意圖
CCSS Room:
(中央供酸系統) Center Chemical Supply System
無塵室下
1. 廠房平面圖 2. 系統裝罝 3. 管路連接
2011/1/22
4. 監控系統 5. 管理室 6. 污水系統
4
2.系統配置
Pump系統 – 日需求TANK
用量:
80~200L/Day 使用量:較少 利用pump或壓送 日需求TANK
用量:
300~4000L/Day 使用量:較多 利用pump或壓送的方式
2011/1/22 6
Pump系統 – 日需求TANK
7. 限定條件 8. 結構 9. 安全及管理規章
3
無塵室、潔淨室
1. 使用點 2. VMB(閥分支箱)~POU(使用點) 機台操作控制介面 電控程式連結
高架地板
1. 2. 3. 4. CCSS~VMB管路 VMB 需求 監控線路 洩漏感應器
無塵室下
1. 2. 3. 4. 5.
2011/1/22
管路設計 單攬線裝置 VMB, Tee Box 裝置 管路運作 (CCSS~VMB) 管路連接 (VMB~POU)