山东金属靶材新建项目策划方案

山东金属靶材新建项目

策划方案

规划设计/投资方案/产业运营

报告说明—

靶材是溅射薄膜制备的源头材料，又称溅射靶材。是制备晶圆、面板、太阳能电池等表面电子薄膜的关键材料。

该金属靶材项目计划总投资12945.64万元，其中：固定资产投资9238.90万元，占项目总投资的71.37%；流动资金3706.74万元，占项目

总投资的28.63%。

达产年营业收入29716.00万元，总成本费用22584.92万元，税金及

附加247.32万元，利润总额7131.08万元，利税总额8362.00万元，税后

净利润5348.31万元，达产年纳税总额3013.69万元；达产年投资利润率55.08%，投资利税率64.59%，投资回报率41.31%，全部投资回收期3.92年，提供就业职位416个。

溅射是制备薄膜材朴的主要技术之一，它利用离子源产生的离子，在

真空中经过加速聚集，而形成高速度能的离子束流，轰击固体表面，离子

和固体表面原子发生动能交换，使固体表面的原子离开固体并沉积在基底

表面，被轰击的固体是用溅射法沉积薄膜的原材籵，称为溅射靶材。

第一章项目基本信息

一、项目概况

（一）项目名称及背景

山东金属靶材新建项目

溅射工艺属于物理气相沉积（PVD）技术的一种，是制备电子薄膜材料的主要技术之一。在电子信息产业的发展过程中，金属薄膜的制备十分重要。溅射工艺利用离子源产生的离子，在真空中加速聚集成高速离子流，轰击固体表面，离子和固体表面的原子发生动能交换，使固体表面的原子离开靶材并沉积在基材表面，从而形成纳米（或微米）薄膜。被轰击的固体是溅射法沉积薄膜的原材料，称为溅射靶材。靶材质量的好坏对薄膜的性能起着至关重要的决定作用，因此，靶材是溅射过程的关键材料。

高纯溅射靶材行业是典型的技术密集型行业，要求业内厂商具有较强的技术研发实力和先进的生产工艺，具有完善的品质控制能力。其主要技术门槛表现在以下几个方面。纯度和杂质含量控制是靶材质量最重要的指标。靶材的纯度对溅射薄膜的性能有很大影响。若靶材中夹杂物的数量过高，在溅射过程中，易在晶圆上形成微粒，导致互连线短路或断路。靶材的成分与结构均匀性也是考察靶材质量的关键。对于复相结构的合金靶材和复合靶材，不仅要求成分的均匀性，还要求组织结构的均匀性。晶粒晶

向控制是产品研发主要攻克的方向。溅射镀膜的过程中，致密度较小的溅

射靶材受轰击时，由于靶材内部孔隙内存在的气体突然释放，造成大尺行

业深度研究寸的靶材颗粒或微粒飞溅，或成膜之后膜材受二次电子轰击造

成微粒飞溅，这些微粒的出现会降低薄膜品质。例如在极大规模集成电路

制作工艺过程中，每150mm直径硅片所能允许的微粒数必须小于30个。怎

样控制溅射靶材的晶粒，并提高其致密度以解决溅射过程中的微粒飞溅问

题是溅射靶材的研发的关键。靶材溅射时，靶材中的原子最容易沿着密排

面方向优先溅射出来，材料的结晶方向对溅射速率和溅射膜层的厚度均匀

性影响较大，最终影响下游产品的品质和性能。需根据靶材的组织结构特点，采用不同的成型方法，进行反复的塑性变形、热处理工艺加以控制。

（二）项目选址

某某高新技术产业开发区

山东省，中国华东地区的一个沿海省份，简称鲁，省会济南。位于中

国东部沿海北纬34°22.9′-38°24.01′，东经114°47.5′-122°42.3′之间，自北而南与河北、河南、安徽、江苏4省接壤。山东中部山地突起，西南、西北低洼平坦，东部缓丘起伏，地形以山地丘陵为主，东部是山东

半岛，西部及北部属华北平原，中南部为山地丘陵，形成以山地丘陵为骨架，平原盆地交错环列其间的地貌，类型包括山地、丘陵、台地、盆地、

平原、湖泊等多种类型；地跨淮河、黄河、海河、小清河和胶东五大水系；属暖温带季风气候。截至2019年9月，山东省辖16个地级市，共57个市

辖区、27个县级市、53个县，合计137个县级行政区。664个街道、1092个镇、68个乡，合计1824个乡级行政区。截至2019年末，山东省常住人口10070.21万人，地区生产总值71067.5亿元，人均生产总值70653元。

对各种设施用地进行统筹安排，提高土地综合利用效率，同时，采用先进的工艺技术和设备，达到“节约能源、节约土地资源”的目的。

（三）项目用地规模

项目总用地面积32322.82平方米（折合约48.46亩）。

（四）项目用地控制指标

该工程规划建筑系数55.49%，建筑容积率1.65，建设区域绿化覆盖率6.53%，固定资产投资强度190.65万元/亩。

（五）土建工程指标

项目净用地面积32322.82平方米，建筑物基底占地面积17935.93平方米，总建筑面积53332.65平方米，其中：规划建设主体工程36218.26平方米，项目规划绿化面积3482.21平方米。

（六）设备选型方案

项目计划购置设备共计72台（套），设备购置费4270.27万元。

（七）节能分析

1、项目年用电量1340748.95千瓦时，折合164.78吨标准煤。

2、项目年总用水量22179.05立方米，折合1.89吨标准煤。

3、“山东金属靶材新建项目投资建设项目”，年用电量1340748.95

千瓦时，年总用水量22179.05立方米，项目年综合总耗能量（当量值）166.67吨标准煤/年。达产年综合节能量58.56吨标准煤/年，项目总节能

率29.47%，能源利用效果良好。

（八）环境保护

项目符合某某高新技术产业开发区发展规划，符合某某高新技术产业

开发区产业结构调整规划和国家的产业发展政策；对产生的各类污染物都

采取了切实可行的治理措施，严格控制在国家规定的排放标准内，项目建

设不会对区域生态环境产生明显的影响。

（九）项目总投资及资金构成

项目预计总投资12945.64万元，其中：固定资产投资9238.90万元，

占项目总投资的71.37%；流动资金3706.74万元，占项目总投资的28.63%。

（十）资金筹措

该项目现阶段投资均由企业自筹。

（十一）项目预期经济效益规划目标

预期达产年营业收入29716.00万元，总成本费用22584.92万元，税

金及附加247.32万元，利润总额7131.08万元，利税总额8362.00万元，

税后净利润5348.31万元，达产年纳税总额3013.69万元；达产年投资利

润率55.08%，投资利税率64.59%，投资回报率41.31%，全部投资回收期

3.92年，提供就业职位416个。