真空泵说明书
真空泵操作说明书
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对象
□总经理□副总经理□制造部□产销部
□管理部□技术部□营销部
发
文
日期
字号
NO
修订日期
修订履历
发文日期字号
5.作业程序
5.1操作程序
流程
权责
操作说明
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电镀课
接通电源，打开电源开关。
电镀课
在泵体平稳运转状态下，将橡胶连接导管两端分别与真空泵及减压器衔接好，即可开始工作。
电镀课
停止工作时，先关掉真空泵的电源开关，松动调压旋钮，待减压器内恢复为常压时，再将泵与减压器的连接导管分离。
5.2设备异常时，分析人员无法排除时依电镀设备异常处理管理办法执行。
XX塑料制品有限公司
真空泵操作说明书
编号
G-W-028
制订部门
电镀课
工作说明书
版本A0Biblioteka 页次1/1核
准
审
核
制
定
1.目的
为使本仪器之操作明确化，让操作者有所遵循之依据规范的操作本仪器。
2.适用范围
适用于凡真空泵操作或其它类型号之使用。
3.定义
略
4.权责
4.1本办法由制造部电镀课负责制订及修订。
4.2使用单位负责维护与保管。
真空泵操作说明书
真空泵操作说明书1. 产品简介真空泵是一种用于产生和维持真空状态的设备，广泛用于实验室、工业生产和科学研究领域。
本操作说明书将详细介绍真空泵的使用方法和注意事项。
2. 安全须知在操作真空泵之前，请务必遵循以下安全规定：- 在操作前，确保已经充分了解并理解了真空泵的操作手册。
- 确保工作环境通风良好，并戴上适当的防护设备，如手套和眼镜。
- 在操作过程中，严禁将有毒、易燃或腐蚀性物质接触到真空泵。
- 禁止将没有经过处理的气体直接排放到大气中，以避免对环境和人体健康造成危害。
3. 基本操作步骤3.1 准备工作- 检查真空泵是否连接到正确的电源，并确保电源稳定。
- 确保管道连接牢固，无漏气现象。
- 安装并确认真空泵的进出口阀门处于关闭状态。
3.2 启动真空泵- 打开真空泵的电源开关，确认指示灯亮起。
- 检查真空泵的工作状态指示器，确保正常运转。
- 缓慢打开进口阀和出口阀，让泵在无负载状态下运行30秒钟，以允许通过泵的气体流动。
3.3 停止真空泵- 关闭进口阀和出口阀。
- 关闭真空泵的电源开关。
4. 维护和保养4.1 清洁- 在每次使用真空泵后，应使用干净的软布轻轻擦拭外壳，保持清洁。
- 不要使用有机溶液或任何带有腐蚀性的清洁剂来清洗真空泵。
4.2 换油- 根据真空泵型号和使用情况，定期更换油液。
- 先等待真空泵自然冷却至室温后，再打开油箱放油口进行油液更换。
4.3 检查机件- 定期检查真空泵的所有机件和连接部件是否正常，如有发现松动或者磨损，应立即进行修理或更换。
5. 故障排除5.1 真空度下降- 检查进出口阀门是否关闭正确。
- 检查管道和连接件是否密封良好。
- 检查真空泵是否有异常噪音或震动。
5.2 泵无法启动- 检查电源是否连接正常，电源开关是否打开。
- 检查电源线是否受损或松动。
- 检查保险丝是否烧断。
5.3 异常噪音或震动- 停止真空泵运行，并立即断开电源。
- 检查泵体和连接件是否有松动或异物卡住情况。
真空泵说明书
品牌与型号推荐
品牌：德国莱宝 （Leybold）
型dwards）
型号：E2M系列
品牌：日本荏原 （EBARA）
型号：EH系列
品牌：中国中科仪 （CAS）
型号：CZ系列
性价比分析
品牌选择：选择知名品牌，质量有保障 价格比较：对比不同品牌、型号的价格，选择性价比高的产品 性能比较：对比不同品牌、型号的性能参数，选择性能优越的产品
定期检查与维修
定期检查真空泵的油位、油质和油温 定期更换真空泵的油和滤芯 定期检查真空泵的密封性能和润滑情况 定期检查真空泵的电气控制系统和保护装置
常见故障及排除方法
真空度下 降：检查 泵体是否 漏气，更 换密封圈 或垫片
噪音过大： 检查泵体 是否松动， 紧固螺栓
电机过热： 检查电机 是否过载， 调整负载 或更换电 机
泵体振动： 检查泵体 是否平衡， 调整平衡 块或更换 轴承
润滑油不 足：检查 润滑油是 否充足， 添加或更 换润滑油
泵体损坏： 检查泵体 是否损坏， 更换损坏 部件或整 体更换泵 体
应用领域
半导体制 造：用于 真空封装、 晶圆清洗 等
航空航天： 用于真空 模拟、空 间环境模 拟等
医疗设备： 用于呼吸 机、麻醉 机等
添加标题
添加标题
添加标题
添加标题
操作时佩戴防护眼镜和手套，避免 接触高温、高压部件
操作结束后及时关闭电源，清理现 场，保持设备清洁
日常保养
定期检查真空泵的油位，确保油位在正常范围内 定期更换真空泵的油，确保油的清洁和润滑效果 定期检查真空泵的密封性能，确保不漏气 定期检查真空泵的电机和电气系统，确保正常运行 定期清洗真空泵的过滤器，确保过滤效果 定期检查真空泵的冷却系统，确保冷却效果
真空泵使用说明
真空泵使用说明真空泵使用说明1、概述1.1 功能：真空泵是一种用于移除封闭系统内气体或低压气体的设备。
1.2 适用范围：本说明书适用于公司生产的型号真空泵。
2、安全须知2.1 电源：在使用真空泵之前，请确保连接电源的稳定性，并使用恰当的电源插座。
2.2 接地：确保真空泵的外壳与接地线连接良好，以确保安全操作。
2.3 维护：请定期检查真空泵的状态，并确保设备的正常运行。
2.4 使用环境：在干燥、通风良好的环境中使用真空泵，避免过热、过湿的条件。
3、预备工作3.1 环境准备：在使用真空泵之前，确认使用环境是否符合要求，例如温度、湿度等。
3.2 泵油选择：根据需要选择合适的泵油，并确保泵油充足。
3.3 连接：将真空泵正确连接到所需系统，确保连接紧固。
4、使用步骤4.1 打开真空泵：将电源线插入电源插座，并将电源开关打开。
4.2 打开阀门：打开系统中的相应阀门，并确保调整好所需的真空度。
4.3 运行真空泵：按下真空泵的启动按钮，开始运行真空泵。
4.4 监控：在使用过程中，及时监控真空泵的工作状态，确保正常运行。
4.5 关闭真空泵：使用完毕后，按下真空泵的停止按钮，关闭真空泵。
4.6 关闭阀门：依次关闭系统中的阀门，以保持系统的密封性。
5、维护与保养5.1 清洁：定期清洁真空泵的外壳，并使用干净的抹布擦拭干净。
5.2 泵油更换：根据使用需求和使用时间，定期更换泵油。
5.3 过滤器清洗：定期清洗过滤器，以保持正常的泵泵量和真空度。
5.4 故障排除：如果真空泵运行异常，及时检查并修复问题。
附件：1、型号真空泵规格表2、真空泵维护记录表本文所涉及的法律名词及注释：1、泵油：指向真空泵添加或更换的特殊润滑油。
2、真空度：衡量封闭系统内气体密度或压力水平的指标。
3、阀门：控制流体通过的装置，用于开启或关闭流体通道。
真空泵说明书
第一章真空泵概述一、真空泵简介X型系列真空泵是单级旋片油封式真空泵，适用于低、中真空领域，主要用于抽除空气和其它干燥气体。
它是低、中真空的主要设备之一，它可单独使用，也可成为其它真空泵的前级泵。
真空泵具有运转性能可靠、易损件少、振动小、噪音低、效率高的特点。
X型系列真空泵是引进国外先进技术，易损件选用进口元件或进口材料。
X型系列真空泵完全可替代国外同类产品。
真空泵具有运转性能可靠、易损件少、振动小、噪音低、效率高的特点。
二、真空泵构造X系列真空泵按照旋片式原理运行。
泵体（3）中安装一个偏心转子。
利用离心力推动叶片在转子的槽中向泵腔内壁滑动。
叶片(5)将转子(4)和泵腔内壁之间分隔成几个小腔体。
当腔体跟进气口通道相连时，气体被吸入，在下一次转动中被压缩并且推入油分离器（1）。
压差使油不断的被压进压缩腔体。
油和介质再被释放进入油分离器，在那里由于重力作用经除雾器（11）和排气过滤器（8），与排出的气体分离。
分离出的油在油分离器底部再次被推入压力腔体（油循环）。
无油气体经过排气盖板被释放到大气中。
1.油分离器2.吸气阀3.泵体4.转子5. 叶片6.排气阀7. 注油塞8. 排气过滤器9. 排气嘴10.冷却器 11. 除雾器12. 油窗13. 放油塞14. 油过滤器第二章系统简介一、系统流程1．空气流程1）空气由进气滤清器滤去尘埃之后，经由吸气阀（2）进入真空泵泵体；与润滑油混合，与油混合的空气经过压缩后通过排气阀（6）进入油分离器（1）进行粗分离，再经排气过滤器（8）的精分离，不含油的空气通过排气嘴（9）排入大气。
如空气中含有可凝气体，则打开气镇阀。
2）空气流程中各组件功能说明：A、进气滤清器空气滤清器为干式纸质过滤器，过滤纸细孔度约为10μ左右，通常每1000小时应取下清除表面的尘埃，清除的方法是使用低压空气将尘埃由内向外吹除。
B、吸气阀 (2)避免关闭电源后，叶片（5）逆向旋转。
注意：吸气阀不能作为真空系统止回阀或切断阀使用，吸气阀不能防止油被吸入真空系统。
多级罗茨真空泵说明书
多级罗茨真空泵说明书产品号：161065V01161040V01目录0 重要的安全信息 (6)0.1机械危险 (6)0.2电气危险 (6)0.3热危害 (6)0.4物料和物质造成的危害 (6)0.5噪声危害 (7)1简介 (8)1.1 安全提示 (8)1.2 技术数据 (8)1.3订货信息 (10)1.4附件 (10)2运输和储存 (12)3安装 (13)3.1 放置 (13)3.2 符合要求的应用 (13)3.2.1不符合要求的应用 (14)3.3连接泵 (15)3.4电气连接 (16)4操作 (17)4.1 手动操作 (17)4.2 接口 (17)4.2.1 X1控制接口 (17)4.2.2 X104 串行RS-485接口 (19)4.2.3 变频器显示屏 (24)4.3 气镇 (24)4.4停机/拆卸 (26)5维修 (27)5.1 LEYBOLD维修 (27)6故障排除 (28)7 废料处理 (30)8 证书 (30)安全信息注意安全提示安装和调试泵之前，仔细阅读这些操作说明书并遵守该信息以确保从一开始就优化和安全工作。
Leybold 的ECODRY plus已按照这些操作说明书设计了使用恰当时的安全有效操作。
使用者负责仔细阅读并严格遵守本章节及全部操作说明书中所述的所有安全保护措施。
另外，遵守所有附加的开关、阀门等操作说明书的信息。
该泵只能在适当条件及操作说明书中规定的条件项下进行运行。
只能由专业人员进行操作和维修。
咨询当地、州和国家机构的有关具体要求和条例。
任何进一步的安全、操作和/或维修问题，提交我们最近的办事处处理。
危险危险是指如果不避免，将会造成死亡或严重受伤的紧急危险情况。
警告是指如果不避免，将会造成死亡或严重受伤警告的潜在危险情况。
警示警示是指如果不避免，将会造成轻微或中度受伤的潜在危险情况。
注意用于告知使用者重要的安装、操作、编程或注意维护信息，而不是与危险相关的信息。
我们保留改变这些操作说明书中所述的设计或任何数据的权利。
真空泵使用说明
最大水蒸气抽除率 (kg/h)
2X-4C
4 /
0.55 450
1.0 55/58
/ / /
2X-8
2X-15
8
15
≤6×10-1 ≤6×102
≤1
1.1
2.2
320
320
≤40
2.0
2.8
83(单泵)
174/178
/
/
/
/
/
/
2X-30A
2X-70A
30
70
≤1.33
3 450
2.0 200/204
注意：水平复验后，应用手盘动皮带，检查泵是否转动灵活。
4
5、所有连接管道不得存在漏点，同时必须先进行清洁处理，不能有铁屑、铁锈、焊渣、灰尘，因此 建议在进气管道中加装细网过滤器。 6、连接被抽容器的管道直径应大于或等于泵的进气口口径，尽量减少管道的安装距离和弯头数量， 管道安装后应检查泄漏情况，如使用橡胶管连接应选用去硫处理的橡胶管。 7、连接泵排气口的管道管径应等于或小于泵的进气口口径，否则会增大排气压力，引起泵的密封部 位出现渗漏现象。 8、皮带传动的泵，请注意必须使大小皮带轮处于同一垂直平面内，三角皮带的松紧应适度。 9、当泵处于含有灰尘的工况时：为使泵不处于灰尘、颗粒物、或有化学作用的气体损害，建议您在 泵的进气口加装合适的过滤器。 10、当泵处于含有大量蒸汽的工况时：抽除的可凝性气体在较冷的管道内会产生凝结，因此为防止凝 结的液体流回泵腔，应在管道安装时考虑加装冷凝器及放液阀门。 11、当抽除的气体含有腐蚀性的工况时：您必须在泵的进气口前予以处理。 12、当抽除的气体温度较高的（≥35℃）工况时：您必须在泵的进气口前予以冷却。 13、当抽除的气体含有大量液体的工况时：您必须在泵的进气口前安装气液分离器。 14、当畅通大气启动时、频繁地启动时、长时间地抽取高压强的气体时或气镇打开时，会有少量的油 雾排出，您可用管道连接排气口将油雾引离工作区域或加装合适的油雾过滤器。 15、泵具有停机后改善返油和能使泵口短时处于真空状态的装置，以便于下次启动。但对于您使用工 艺的原因而返油而造成麻烦的场合，建议您在泵的进气口安装电动或手动的真空截止阀和真空充气 阀，安装方式见第一章第 1 节《结构原理》中的注意条款，要求新泵停机后 4 小时内应不返油至泵的 进气口。 16、如您将泵安装在机箱内时，请务必保持泵和电动机的冷却风扇处留有进风通道，泵的排气出口留 有排气通道。 17、有部分系列的泵为便于运输，泵腔内不带油，请您在安装后，通过加油口注入真空泵油，油位在 油窗的 1/2 以上。 18、安装检验
真空泵操作方法说明书
真空泵操作方法说明书1. 概述真空泵是一种广泛应用于工业、医疗、科研等领域的设备，用于抽取空气或其他气体，以达到产生真空的目的。
本操作方法说明书将为您详细介绍真空泵的操作步骤，以确保您正确、安全地运行真空泵。
2. 设备准备在操作真空泵之前，请确保以下准备工作已经完成：2.1 检查设备完整性：检查真空泵是否完好无损，确保所有连接件紧固可靠。
2.2 检查电源供应：确保真空泵的电源供应符合要求，电压和频率匹配。
2.3 检查冷却水供应：如果真空泵需要冷却水，确保冷却水供应充足，并检查冷却水系统的正常运行。
3. 操作步骤3.1 打开电源：按照真空泵的电源接线图，将电源插头正确地插入电源插座，并将电源开关打开。
3.2 启动泵机：根据真空泵的类型和规格，启动泵机。
通常有以下两种方法：3.2.1 旋钮启动：将泵机开关旋钮从“停止”位置逆时针旋转至“启动”位置，直至泵机启动。
3.2.2 按钮启动：按下启动按钮，直至泵机启动。
3.3 观察泵机工作状态：当泵机启动后，通过橡胶套管或透明观察窗观察泵机的工作状态。
注意观察泵机是否运转正常，是否有异常噪音或振动。
3.4 调节泵机参数：根据需求，使用泵机上的调节旋钮或按钮，调节泵机运行参数，例如转速或抽取速度。
3.5 抽气操作：连接泵机与待抽取的系统或设备，确保连接紧密可靠。
开启系统阀门，开始抽取气体。
根据实际情况，可能需要调节泵机运行参数以达到所需的真空度。
3.6 监测真空度：使用真空度检测仪器监测抽气系统的真空度，确保真空度符合要求。
3.7 停机操作：当抽气任务完成或需要停机时，请按照以下步骤进行：3.7.1 关闭系统阀门：先关闭待抽气系统的阀门，以防止气体回流。
3.7.2 关闭泵机：将泵机开关旋转至“停止”位置或按下停止按钮，使泵机停止工作。
4. 安全注意事项在操作真空泵时，请遵守以下安全注意事项：4.1 了解真空泵的额定工作条件和参数，并确保在这些范围内操作。
4.2 在操作真空泵之前，务必戴上适当的防护手套和眼镜，以防止意外伤害。
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使用真空泵的方法和注意事项：首先打开包装，将泵体与电机之间的联轴器尽量朝箭头方向旋转；再其次，打开真空泵油箱上的注油塞，将真空泵油倒入泵内。
真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。
通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。
按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵。
其广泛用于冶金、化工、食品、电子镀膜等行业。
随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了很多种，其抽速从每秒零点几升到每秒几十万、数百万升。
随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压强范围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才能满足生产和科学研究过程的要求，由于真空应用部门所涉及的工作压力的范围很宽，因此任何一种类型的真空泵都不可能完全适用于所有的工作压力范围，只能根据不同的工作压力范围和不同的工作要求，使用不同类型的真空泵。
为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。
常用真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等，这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中必不可少的主力泵种。
近年来，伴随着我国经济持续高速发展，真空泵相关下游应用行业保持快速增长势头，同时在真空泵应
用领域不断拓展等因素的共同拉动下，我国真空泵行业实现了持续稳定地快速的发展。