电容式传感器的特点及应用中存在的问题
电容式传感器原理和应用
2(d)
d0
d0
比较以上式子可见，电容传感器做成差动式之 后，灵敏度提高一倍，而且非线性误差大大降 低了。
4.3 特点及应用中存在的问题
4.3.1 电容式传感器的特点
1．优点： ●温度稳定性好
电容式传感器的电容值一般与电极材料无关， 有利于选择温度系数低的材料，又因本身发热 极小，影响稳定性甚微。而电阻传感器有电阻， 供电后产生热量；电感式传感器有铜损、磁游 和涡流损耗等，易发热产生零漂。 ●结构简单 电容式传感器结构简单，易于制造，易于保证
4.1电容式传感器的工作原理和结构
4.1.2 变面积型电容式传感器
图4-3 变面积型电容传感器原理图
上图是变面积型电容传感器原理结构示意图。 被测量通过动极板移动引起两极板有效覆盖面 积S改变，从而改变电容量。
4.1电容式传感器的工作原理和结构
当动极板相对于定极板延长度a方向平移Δx时，
可得：
图4-1 变极距型电容传感器原理图
4.1电容式传感器的工作原理和结构
若电容器极板间距离由初始值d0缩小Δd，电容量增大
Δ由C式，(则4C -3有)知C0传 感C器d的00输rA出d特C1性0(1(Cdd =0d2)d02f()d)不是(4线3)性关系，
而是如图4-2所示的曲线关系。
C d 1d
(1 )
C0 d0
d0
由此可得出传感器的相对非线性误差δ为：
(d)2 d
100%
d
100%
d
d0
d
由以上三个式可以看出：要提高灵敏度，应减 小起始间隙d0，但非线性误差却随着d0的减小而 增大。在实际应用中，为了提高灵敏度，减小 非线性误差，大都采用差动式结构。
电容传感器
接近开关接近开关又称无触点行程开关，它除可以完成行程控制和限位保护外，还是一种非接触型的检测装置，用作检测零件尺寸和测速等，也可用于变频计数器、变频脉冲发生器、液面控制和加工程序的自动衔接等。
特点有工作可靠、寿命长、功耗低、复定位精度高、操作频率高以及适应恶劣的工作环境等。
一、性能特点在各类开关中，有一种对接近它物件有“感知”能力的元件——位移传感器。
利用位移传感器对接近物体的敏感特性达到控制开关通或断的目的，这就是接近开关。
当有物体移向接近开关，并接近到一定距离时，位移传感器才有“感知”，开关才会动作。
通常把这个距离叫“检出距离”。
不同的接近开关检出距离也不同。
有时被检测验物体是按一定的时间间隔，一个接一个地移向接近开关，又一个一个地离开，这样不断地重复。
不同的接近开关，对检测对象的响应能力是不同的。
这种响应特性被称为“响应频率”。
二、种类因为位移传感器可以根据不同的原理和不同的方法做成，而不同的位移传感器对物体的“感知”方法也不同，所以常见的接近开关有以下几种：1、涡流式接近开关这种开关有时也叫电感式接近开关。
它是利用导电物体在接近这个能产生电磁场接近开关时，使物体内部产生涡流。
这个涡流反作用到接近开关，使开关内部电路参数发生变化，由此识别出有无导电物体移近，进而控制开关的通或断。
这种接近开关所能检测的物体必须是导电体。
2、电容式接近开关这种开关的测量通常是构成电容器的一个极板，而另一个极板是开关的外壳。
这个外壳在测量过程中通常是接地或与设备的机壳相连接。
当有物体移向接近开关时，不论它是否为导体，由于它的接近，总要使电容的介电常数发生变化，从而使电容量发生变化，使得和测量头相连的电路状态也随之发生变化，由此便可控制开关的接通或断开。
这种接近开关检测的对象，不限于导体，可以绝缘的液体或粉状物等。
3、霍尔接近开关霍尔元件是一种磁敏元件。
利用霍尔元件做成的开关，叫做霍尔开关。
当磁性物件移近霍尔开关时，开关检测面上的霍尔元件因产生霍尔效应而使开关内部电路状态发生变化，由此识别附近有磁性物体存在，进而控制开关的通或断。
《传感器与检测技术》 3.4 电容式传感器
低频等效电路
传感器电容的阻抗非常大，L和r的影响可忽略
等效电容C=C0+Cp，
C
等效电阻Re≈Rg
Rg
高频等效电路
电容的阻抗变小，L和r的影响不可忽略，漏电的影 响可忽略 ，其中C=C0+Cp，而re≈r
re
L
C
1 1 jL R j C e jC
由于电容传感器电容量一般都很小，电源频率即使采用几兆赫， 容抗仍很大，而R很小可以忽略，因此
3.4.3 传感器的特点和设计要点
1. 特 点 2. 设计要点
1、特点
优点:
1. 温度稳定性好 （电容值与电极材料无关本身发 热极小 ）
2. 结构简单、适应性强
3.可以实现非接触测量、具有平均效应 4.动态响应好
动态响应好
极板间的静电引力很小，需要的作用能量极小
可测极低的压力和力，很小的速度、加速度。可以做得 很灵敏，分辨率非常高，能感受0.001m甚至更小的位 移
电压不小于1000 kV/mm，而空气的仅为3kV/mm 。 一般变极距型电容式传感器的起始电容在20～ 30 pF之间，极板间距离在25～200μm的范围内， 最大位移应小于间距的1/10，故在微位移测量中 应用最广。
差动式改善其非线性、提高灵敏度和减少外界的干扰。
3. 变面积型电容传感器
当动极板相对于定极板沿着长度 方向平移时，其电容变化量化为
将上式展开成泰勒级数得
2 3 d d d d C C0 1 m m ... d d d d
d / d 1
C C0 (d / d )
d 取值不能大，否则将降低灵敏度
1 1 d ( ~ ) d 0.01 m ~ 0.9mm 10 5
教案项目电容式传感器
教案项目：电容式传感器一、教学目标1. 了解电容式传感器的原理和应用。
2. 掌握电容式传感器的接线方式和基本操作。
3. 能够分析电容式传感器的测量数据并进行误差处理。
二、教学内容1. 电容式传感器概述定义：电容式传感器是一种利用电容变化来检测物体或物质的传感器。
特点：灵敏度高、响应速度快、非接触式测量等。
2. 电容式传感器的工作原理电容的定义和公式：电容是电荷存储的能力，C = Q/V。
电容式传感器的测量原理：通过测量电容的变化来检测物体或物质的变化。
3. 电容式传感器的接线方式和基本操作接线方式：电容式传感器通常有单端式和差分式两种接线方式。
基本操作：如何连接电源、信号输出、接地等。
4. 电容式传感器的测量数据分析和误差处理测量数据分析：如何分析电容式传感器的输出信号，并进行数据处理和显示。
误差处理：常见的误差类型和处理方法，如系统误差、偶然误差、粗大误差等。
三、教学方法1. 讲授法：讲解电容式传感器的原理、接线方式和基本操作。
2. 实践操作法：学生亲自动手进行电容式传感器的接线和操作，并进行测量数据分析和误差处理。
3. 问题解答法：针对学生提出的问题进行解答和讨论。
四、教学准备1. 教具：电容式传感器、示波器、信号发生器等。
2. 教材或讲义：关于电容式传感器的相关知识。
五、教学步骤1. 引入：介绍电容式传感器在工业和科研中的应用，激发学生的兴趣。
2. 讲解电容式传感器的原理和接线方式，并展示示例图片。
3. 学生进行实践操作，接线和操作电容式传感器，并记录测量数据。
4. 学生进行分析数据，识别和处理误差。
5. 学生提出问题，教师进行解答和讨论。
六、教学评估1. 学生自评：学生对自己的学习过程和掌握情况进行评价，包括理解程度、操作技能等。
2. 同伴评价：学生之间互相评价，互相学习，提高彼此的操作技能和解决问题的能力。
3. 教师评价：教师对学生的学习情况进行评价，包括理论知识的掌握和实际操作能力等。
电容式传感器的应用和发展
电容式传感器的应用和发展电容式传感器的应用与发展前言电容式传感器是把被测量转换为电容量变化的一种参量型传感器。
电容式传感器广泛应用于压力、液位、位移等各种检测中，由于形式多种多样，传感器电容值相差很大。
电容式传感器可分为变面积变化式、变间隙式、变介电常数式三类。
变面积变化式一般用于测量角位移或较大的线位移。
变间隙式一般用来测量微小的线位移或由于力、压力、振动等引起的极距变化。
变介电常数式常用于物位测量和各种介质的温度、密度、湿度的测定。
这种传感器具有高阻抗、小功率、动态范围大、动态响应较快、几乎没有零漂、结构简单和适应性强等优点。
70年代末以来,随着集成电路技术的发展,出现了与微型测量仪表封装在一起的电容式传感器。
这种新型的传感器能使分布电容的影响大为减小，使其固有的缺点得到克服。
电容式传感器是一种用途极广，很有发展潜力的传感器。
关键词: 电容式传感器应用发展一、电容式传感器的基本工作原理由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的平板电容器, 如果不考虑边缘效应, 其电容量为,A ,c d图1.1平行板电容器ε为电容极板间介质的介电常数, ε=ε0?εr,其中ε0为真空介电常数, εr 为极板间介质相对介电常数; A为两平行板所覆盖的面积; d为两平行板之间的距离。
当被测参数变化使得上式中的A，d或ε发生变化时, 电容量C也随之变化。
如果保持其中两个参数不变, 而仅改变其中一个参数, 就可把该参数的变化转换为电容量的变化, 通过测量电路就可转换为电量输出。
,x当动极板移动后，覆盖面积就发生了变化，电容也随之改变，下图为直线位移型电容式传感器的示意图，其为变面积式的一种。
，，,,b,a,,x,,bC,,C,,x电容: 0dd,,b,C,C,C,,x电容增量: 0d,C,,b,xK,,,测量灵敏度: ,xd图1.2直线位移型此外，改变板间距d或者电介质ε，便是变间隙式和变介电常数式电容传感器结构形式，结构形式如下图所示，图1.3变间隙式图1.4变间介电常数式二、电容式传感器在应用中的注意事项1(克服寄生电容的影响电容式传感器由于受结构与尺寸的限制，其电容量都很小(pF到几十pF)，属于小功率、高阻抗器件，因此极易外界干扰，尤其是受大于它几倍、几十倍的、且具有随机性的电缆寄生电容的干扰，它与传感器电容相并联，严重影响感器的输出特性，甚至会淹没有用信号而不能使用。
电容式传感器
2.5 运算放大器电路
由前述已知，极距变化型电容传感器的极距变化 与电容变化量成非线性关系，这一缺点使电容传 感器的应用受到一定限制。为此采用比例运算放 大器电路可以得到输出电压u g 与位移量的线性关系。
C0 ug =-u 0 0 A
输出电压ug与电容传感器间隙 成线性关系。这种电路用于位移测量传感器。
4.温度影响
环境温度的变化将改变电容传感器的输出相对被测输入量的单值函数关系， 从而引入温度干扰误差。温度影响主要包括温度对结构尺寸和对介质的影响两 方面。
24
四、电容式传感器的研究现状
1.PT800型压力变送器
PT系列产品中的标准型号，内置陶瓷电容式传感器。可以自由选 配模拟、数字现场显示表头。有多种过程连接件，可以现场调零 点、满量程。广泛用于自动化工业中对液体、气体和蒸汽的测量。
27
9
1.2.2 角位移型
当动板转动一角度时，与定板之间的覆盖面积就发生 变化，导致电容量随之改变。
覆盖面积
A
r2
2
其中， 为覆盖面积对应的中心角，r为极板半径。
r 2 所以，电容量为 C 2
C r 2 灵敏度S 常数 2
由上式可知，角位移型电容传感器的输出C与输入也为线性关系。
电容式传感器
目录
一、电容式传感器的工作原理及分类
二、电容式传感器的测量电路
三、电容式传感器在应用中的注意事项
四、电容式传感器的研究现状
2
一、电容式传感器的工作原理及分类
由物理学可知，两块平行金属板构成的电容器，其电容量C为
0 A C
3
当被测参数（如位移、压力等）使公式中的、A、 变化时，都将引起 电容器电容量C的变化，从而达到从被测参数到电容的变换。
电容式传感器实训报告
一、实训目的电容式传感器实训旨在使学生了解电容式传感器的基本原理、结构、工作特性以及在实际应用中的重要性。
通过本次实训，学生应掌握电容式传感器的安装、调试、测试方法，并能够根据实际需求设计和应用电容式传感器。
二、实训内容1. 理论部分- 电容式传感器的基本原理：电容式传感器是利用电容变化来检测物理量的传感器。
其基本原理是通过测量电容的变化来检测被测量的物理量，如位移、振动、压力等。
- 电容式传感器的结构：电容式传感器主要由敏感元件、测量电路和信号处理电路组成。
- 电容式传感器的工作特性：电容式传感器具有高灵敏度、高精度、抗干扰能力强等特点。
2. 实践部分- 安装与调试1. 根据实验要求，将电容式传感器安装到相应的测试平台上。
2. 调整传感器与测试平台的距离，确保传感器能够正确地检测到被测量的物理量。
3. 调整传感器的灵敏度，使其在检测范围内达到最佳性能。
- 测试与数据分析1. 利用实验设备对电容式传感器进行测试，记录测试数据。
2. 分析测试数据，评估传感器的性能，如灵敏度、线性度、重复性等。
3. 根据测试结果，对传感器进行调整和优化。
3. 应用设计- 根据实验要求，设计一个应用实例，如位移测量、振动检测等。
- 分析应用实例中电容式传感器的需求，选择合适的传感器型号和参数。
- 设计电路，实现电容式传感器的信号采集、处理和输出。
三、实训结果与分析1. 测试结果通过实验，我们得到了以下测试结果：- 传感器的灵敏度为0.1mm/V，线性度为0.5%，重复性为0.3%。
- 在测试范围内，传感器能够稳定地检测到被测量的物理量。
2. 数据分析根据测试结果，我们可以得出以下结论：- 电容式传感器具有较高的灵敏度和线性度，能够满足实际应用的需求。
- 传感器的重复性好，稳定性高，适用于长时间连续工作。
3. 应用设计根据实验结果，我们设计了一个位移测量系统。
该系统采用电容式传感器作为测量元件，通过信号采集、处理和输出，实现了对位移的精确测量。
第3章 电容式传感器
ε r1 ( L0 − L) + ε r 2 L
d0
当L=0时，传感器的初始电容
C0 =
ε 0 ε r1 L0 b0
d0
=
ε 0 L0 b0
d0
当被测电介质进入极板间L深度后，引起电容相对变化量为
∆C C − C 0 (ε r 2 − 1) L 电容变化量与电介质移动量L呈线性关系 = = C0 C0 L0
∆d 3 相对非线性误差为： = ( δ ) d0
∆d 2 ∆d ( ) = ( ) × 100% d0 d0
结论：差动式电容传感器，不仅使灵敏度提高一倍， 结论 而且非线性误差可以减小一个数量级。
3.2 电容式传感器的测量电路
一、等效电路 如图，C为传感器电容，RP 为并联电阻，它包括电极间 直流电阻和气隙中介质损耗 的等效电阻。串联电感L表 示传感器各连线端间的总电 感。串联电阻RS表示引线电 阻、金属接线柱电阻及电容 极板电阻之和。
C max − C min 87.07 pF − 41.46 pF = = 0.19 pF / L K= V 235.6 L
三、变极板间距（d）型
图中极板1固定不动，极板2为可动电极(动片)，当动片随被测量 变化而移动时，使两极板间距变化，从而使电容量产生变化 。 设动片2未动时极板间距为d0，板间 介质为空气，初始电容为C0，则
d0 d1 ε0 ε1
变ε的电容传感器 ε
ε 0S ε 1S ⋅ 3 . 6π d 0 3 . 6π d 1 C 0 C1 S = C= = ε 0S d1 d 0 ε 1S C 0 + C1 3 . 6π ( + ) + 3 . 6π d 0 3 .6π d 1 ε1 ε 0
电容式传感器的应用
电容式传感器的原理及应用电容传感器是将被测的非电量的变化转换为电容量变化的一种传感器,它不仅能测量荷重、位移、振动、角度、加速度等机械量,还能测量液面、料面、成分含量等热工参量。
这种传感器具有高阻抗、小功率、动态范围大、动态响应较快、几乎没有零漂、结构简单和适应性强等优点。
因此,电容传感器在自动检测技术中占有很重要的地位,并得到广泛的应用。
电容式传感器有着许多优点,应用也非常广泛,本文介绍了电容式传感器的工作原理,应用及发展趋势。
一．基本原理电容式传感器的基本原理是将被测量的变化转换成传感元件电容量的变化，再经过转换电路变成电信号输出。
由物理学可知,两个平行金属板组成的电容器,如果忽略了边缘效应,其电容为C=εS/d。
可见在三种参数中保持其中两个不变而仅仅改变第三个参数电容就会改变,因此电容式传感器可以分为三种类型。
1.1变间距型电容传感器如图(1)所示,1为固定极板,2为可动极板。
当可动极板向上移动x,则电容的增量为ΔC=εS/(d-x)-εS/d=-εS/d(x/(d-x))=C0/d(x/(1-x/d))所以灵敏度S=Δx=C0/d=C0/d(1+x/d+x/d2+x/d3+……)。
从上式中可以看出,电容的变化量与极板移动的位移有关,而且当x/d<<1时,可以近似地认为ΔC=S·x，成线性关系。
为了提高灵敏度可以适当减小电容器初始间距和增大初始电容值。
1.2变面积型电容传感器如图所示,下面的极板为动片,上面的极板为定片。
当动片与定片有一相对线位移时,两片金属极板的正对面积变化,引起电容量的变化。
当线位移x=0时,设初始电容量为C0=εab/d,当x≠0时,Cx=ε(a-x)b/d=C0(1-x/a),因此ΔC=-C0x/a,灵敏度S=-C0/a。
可见变面积型传感器是线性传感器,增大初始电容可以提高灵敏度。
1.3变介质型电容传感器二．电容式传感器的应用1.触摸屏广泛应用于我们日常生活各个领域，如手机、媒体播放器、导航系统数码相机、PDA、游戏设备、显示器、电器控制、医疗设备等。
简述电容传感器的原理分类及三类电容式传感器特点
电容传感器的原理分类及三类电容式传感器特点
电容传感器是一种常见的传感器类型，其原理基于电容的变化。
电容式传感器可以广泛应用于位移、角度、液位、压力等测量领域。
根据传感器的工作原理，电容式传感器可以分为变极距型、变面积型和变介质型三种类型。
变极距型电容式传感器使用一个固定极板和一个可动极板构成，可动极板由被测金属平面充当。
当电容式传感器极板间距因被测量变化而变化时，电容变化量为极距是时的初始电容量。
这种类型的传感器一般用来测量微小的位移变化量，但其量程远小于两极板间的初始距离，因此存在原理性非线性误差。
变面积型电容式传感器则是通过改变极板的面积来实现电容的
变化。
这种传感器通常用于测量压力、液位等物理量。
变面积型电容式传感器的特点是灵敏度高、稳定性好，但结构复杂、成本较高。
变介质型电容式传感器则是通过改变极板之间的介质来实现电
容的变化。
这种传感器通常用于测量温度、湿度等物理量。
变介质型电容式传感器的特点是灵敏度高、响应速度快，但受环境影响较大，稳定性较差。
在实际应用中，电容式传感器常常仅改变其中一个参数，以实现电容的变化。
因此，电容式传感器可以分为三种基本类型：变极距型、变面积型和变介质型。
此外，根据传感器的结构形式，电容式传感器可以分为线位移和角位移两种类型，每一种类型又可按传感器极板形状分成平板和圆柱形。
- 1、下载文档前请自行甄别文档内容的完整性，平台不提供额外的编辑、内容补充、找答案等附加服务。
- 2、"仅部分预览"的文档,不可在线预览部分如存在完整性等问题,可反馈申请退款(可完整预览的文档不适用该条件!)。
- 3、如文档侵犯您的权益，请联系客服反馈,我们会尽快为您处理(人工客服工作时间：9:00-18:30)。
电容式传感器的特点及应用中存在的问题
摘要：本文阐述了电容式传感器有温度稳定性好、结构简单、动态响应好、可以实现非接触测量，具有平均效应的优点，输出阻抗高，负载能力差、寄生电容影的及其缺点，以及在应用中存在的问题。
关键词：电容、传感器、负载
Abstract: This paper describes the capacitive sensor has good temperature stability, simple structure, good dynamic response, non-contact measurement can be achieved, with the average effect of the advantages of high output impedance, load capacity is poor, and shortcomings of the parasitic capacitance of the film, and Problems in the application.
Keywords: capacitors, sensors, load
1.电容式传感器的特点
1）优点
（1）温度稳定性好。
电容式传感器的电容值一般与电极材料无关，有利于选择温度系统低的材料，又因本身发热极小，影响稳定性甚微。
而电阻传感器有电阻，供电后产生热量：电感式传感器有铜损、磁游和涡流损耗等，易发热产生零漂。
（2）结构简单。
电容式传感器结构简单，易于制造，易于保证高的精度，可以做得非常小巧，以实现某些特殊的测量；能工作在高温，强车船及强磁场等恶劣的环境中，可以承受很大的温度变化，承受高压力、高冲击、过载等；能测量超高温和低压差，也能对带磁工作进行测量。
（3）动态响应好。
电容式传感器由于带电极板间的静电引力很小（约几个10-5N），需要的作用能量极小，又由于它的可动部分可以做得很小、很薄，即质量很轻，因此其固有频率很高，动态响应时间短，能在几兆赫的频率下工作，特别适用于动态测量。
又由于其介质损耗小可以用较高频率供电，因此系统工作频率高。
它可用于测量高速变化的参数。
（4）可以实现非接触测量，具有平均效应。
例如，非接触测量回转轴的振动或偏心率、小型滚珠轴承的径向间隙等。
当采用非接触测量时，电容式传感器具有平均效应，可以减少工作表面粗糙度等对测量的影响。
电容式传感器除了上上述的优点外，还因其带电极板间的静电引力很小，所
以输入和输入能量极小，因而可测极低的压力，以及很小的加速度、位移等，可以做得很灵敏，分辨率高，能敏感0.01µm甚至更小的位移；由于其空气等介质损耗小，采用差动结构连接成电桥式时产生的零残极小，因此允许电路进行高倍率放大，使仪器具有很高的灵敏度。
2）缺点
（1）输出阻抗高，负载能力差。
电容式传感器的容量受共电极的几何尺寸等限制，一般只有几pF到几百pF，使传感器的输出阻抗很高，尤其当采用音频范围内的交流电源时，输出阻抗高达106—108Ω。
因此传感器的负载能力很差，易受外界干扰影响而产生不稳定现象，严重时甚至无法工作，必须采取屏蔽措施，从而给设计和使用带来极大的不便。
阻抗大还要求传感器绝缘部分的电阻值极高（几十MΩ以上），否则绝缘部分将作为旁路电阻而影响仪器的性能（如灵敏度降低），为此还要特别注意周围的环境如温度、清洁度等。
不采用高频供电，可降低传感器输出阻抗，但高频放大、传输远比低频的复杂，且寄生电容影响大，不易保证工作的稳定性。
（2）。
电容式传感器由于受结构与尺寸的限制，其寝电容量都很小（几pF 到几十pF），而连接传感器和电子线路的引线电缆电容（1—2m导线可达800pF），电子线路的杂散电容，以及传感器内极板与其周围导体构成的“寄生电容”却较大，不仅降低了传感器的灵敏度，而且这些电容（职电缆电容）常常的随机变化的，将使仪器工作很不稳定，影响测量精度。
因此对电缆的选择、安装、接法都有要求。
随着材料、工艺、电子技术，特别是集成技术的发展，使电容式传感器的优点得到发扬，而缺点不断地得到克服。
电容式传感器正逐渐成为一种高灵敏度、高精度，在动态、低压及一些特殊测量方面大有发展前途的传感器。
2.应用中存在的问题
1）边缘效应以上分析各种电容式传感器进还忽略了边缘效应的影响。
实际上当极板厚度h与极距d之比相对较大时，边缘疚的影响就不能忽略。
这时，对极板半径为r的变极距型电容传感器。
边缘效应不仅使电容传感器的灵敏度降低，而且产生非线性。
为了消除边缘效应的影响，可以采用带有保护环的结构。
保护环与定极板同心、电气上绝缘且间隙越小越好，同时始终保持等曜，以保证中间工作区得到均匀的场强分布，从而克服边缘效应的影响。
为减小及板厚度，往往不用整块金属板做极板，而用石英或陶瓷等非金属材料，蒸涂一薄层金属作为极板。
2）静电引力电容式传感器两个极板间因存在静电场，因而有静电引力或力矩。
静电引力的大小与极板间的工作电压、介电常数、极间距离有关。
通常这种静电引力很小，但在采用推动力很小的弹性敏感元件的情况下，必须考虑静电引力造成的测量误差。
3）温度影响环境温度的变化将改变电容传感器的输出相对被测输入量的单值函数关系，从而引入温度干扰误差。
这种影响主要有以下两个方面。
（1）温度对结构尺寸的影响：电容传感器由于极间隙很小而对结构尺寸的变化特别敏感。
在传感器各零件料线膨胀系数不匹配的情况下，温度变化将导致极间隙相对变化，从而产生很大的温度误差。
在设计电容式传感器时，适当选择材料及有关，可以满足温度误差补偿要求。
（2）温度对介质的影响：温度对介电常数的影响随介质不同而异，空气数温度系数看似为零：页岩某些液体介质，如硅油、蓖麻油、煤油等，其介电常数的温度系数较大。
例如，煤油的介电常数的温度可达0.07%/°C；若环境温度变化加减50°C，则将带来7%的温度的误差，故采用此类介质时必须注意温度变化造成的误差。
参考文献：
1、王松林，鲁高奇，电容式传感器测量电路设计，电子质量，2011年第1
2、翟宝峰,梁清华，检测粮食水分用的电容式传感器，传感器技术，2003年第22卷第2期
3、丁振荣,陈卫民，电容式传感器测量油品中水的体积分数之新方法，传感器技术，2004年第23卷第5期
4、杨三序，电容式传感器在车辆检测装置中的应用，传感器技术，2004年第23卷第9期
5、伊晓光,孙来军,胡晓光，湿敏电容式传感器测量SF6气体湿度方法的研究，电力建设，2004年第25卷第8期
6、黎章,袁易君，基于A VR单片机的谷物水分检测系统，农机化研究，2010年第32卷第6期
7、陈洪飞,杨其华,刘钢海，基于CPLD的电容式角度传感器测量电路设计，中国计量学院学报，2007年第18卷第2期
作者简介：
张文杰（1974-）男，大专，助理工程师，研究方向：机电工程，工作单位：保定天翔集团毛纺织有限责任公司。