基于PMAC的硅片传输机器人控制器的设计与实现

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电机控制技术论文集

电机控制技术论文集电机应用于消费电子、住宅、工业、通用、交通和农业等领域。

下面小编给大家分享一些电机控制技术论文集，大家快来跟小编一起欣赏吧。

电机控制技术论文篇一基于PMAC的电机控制技术研究【摘要】随着科学技术的不断发展，工业水平的不断提升，在世界范围内的先进控制技术得到了很大的提升。

在以往的电机控制中，由于控制器的控制能力有限，使得被控对象在运行时有很大的误差产生，而以PMAC为核心控制器的电机运行设备具有更高的控制能力。

本文在对PMAC运动控制器及直线电机原理进行概述的基础上，重点研究PMAC控制器在直线电机PID调节中的应用，并以具体的实验进行验证。

【关键词】PMAC，PID，直线电机1.引言当今社会，自动控制技术和微型计算机作为高科技时代的领导者，更加严格要求各种自动控制系统的定位精准度，由此，在传统旋转电机的基础上配备一套变换机构而构成的直线运动驱动装置，已难以满足当代控制系统愈发精准的要求，因此直线电机的研究、发展与应用工作成为世界各国当今的发展方向，促使直线电机具有越来越开扩的应用领域。

2.PMAC控制器简介上世纪九十年代，美国Delta Tau公司研发了一种开放式多轴运动控制器，命名为PMAC(Programmable Multi-axis Contro-ller)。

PMAC是具有高性能的伺服控制器，其核心为DSP，它可借助高级语言灵活的控制最多八轴同时运行，还能提供内务处理、运动控制、离散开展、同主机交互等功能。

PMAC是一台完整的可以任务识别的计算机，能自动进行任务等级识别，将高优先级的任务比低优先级的任务先进行操作。

其执行速度、分辨率等指标均高于普通的控制器。

伺服控制分为PID加Notch 和速度、加速度前馈控制。

可与MACRO现场总线的高速环网相连接，直接灵活的对生产线实施控制。

相对于其他运动控制器，PMAC的开放性最为突出。

其内部寄存器可允许用户按照自身需要来使用。

PMAC的A/D和I/O和内部寄存器都是统一编址，A/D和I/O的用法与PMAC其它内存用法相同，具有很强的便利性。

基于PMAC的远程遥控机器人控制系统

基于PMAC的远程遥控机器人控制系统
李伟;李振宇;吴立辉;戴锦春
【期刊名称】《机械与电子》
【年(卷),期】2005(000)003
【摘要】研制了一套基于多轴运动控制卡(PMAC)的远程控制机器人的控制系统,机器人能够在该系统遥控的情况下完成各种线路障碍的检测与识别,跨越相应障碍的各种动作,同时可通过控制平台的升降和旋转,来控制摄像系统的各个角度的扫描,以完成对现场线路和地貌的检查.
【总页数】3页(P48-50)
【作者】李伟;李振宇;吴立辉;戴锦春
【作者单位】湖北工业大学,湖北,武汉,430068;武汉大学,湖北,武汉,430072;武汉大学,湖北,武汉,430072;武汉大学,湖北,武汉,430072
【正文语种】中文
【中图分类】TP273.5
【相关文献】
1.基于Turbo PMAC卡和触摸屏的喷涂机器人控制系统研究 [J], 陈润六;赵峰惠;邹晓晖;郑小民;王红州;占晓煌
2.基于PMAC的喷漆机器人控制系统设计 [J], 刘泉雨;唐志勇;裴忠才
3.基于PMAC的双平行四边形搬运机器人控制系统设计 [J], 熊家慧
4.基于STM32的远程遥控机器人控制系统设计 [J], 吴云龙;程武山
5.基于PMAC的四轴桁架机器人控制系统设计 [J], 朱家诚;杨少锋;余深泽;吴彬;吴焱明
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PMAC教材

PMAC教材1.PMAC控制卡及泰道公司简介1.1PMAC控制卡PMAC是可编程多轴控制器(Programmable Multi-Axis Controller)的简称，是美国泰道(Delta Tau Data Systems, Inc )公司⽣产的功能强⼤的运动控制器，PMAC是⽬前世界上功能最强的运动控制器，同时也是当前开放式数控系统控制器的突出代表1.2泰道公司介绍泰道公司拥有三⼗多年丰富的运动控制经验，是⾸屈⼀指的创新型、⾼性能机器控制专家，拥有全球数百万轴的惊⼈控制能⼒；⾃从上世纪90年代初推出第⼀款基于DSP的8轴的PMAC产品，每三年左右便会推出⼀款新的产品，如今最新的第七代产品Power PMAC(基于Power PC)已达到惊⼈的256轴的控制能⼒。

1.3应⽤范围由于其灵活的结构和开放性的编程接⼝，PMAC有着⾮常⼴泛的从最简单的到最复杂的应⽤，如半导体制造、航空、通⽤⾃动化、机器⼈控制、半导体⽣产线⾃动化、各类数控机床、医药设备、各种测量和定位机具、包装⽣产流⽔线⾃动化等等。

以下是在⼀些公司中1.4PMAC特性PMAC是⼀台具有独⽴内存、独⽴运算操作能⼒的计算机，采⽤泰道独有的实时内核（基于DSP的卡）或实时Linux操作系统(基于Power PC的卡)通过存储在⾃⼰内部的程序进⾏单独的操作；它还是⼀台实时的、多任务的计算机，能⾃动对任务进⾏优先等级判别，先执⾏优先级⾼的任务。

PMAC既可以独⽴⼯作亦可按主机的命令进⾏⼯作，它和主机的通讯可以通过串⾏⼝也可以通过总线进⾏，通过总线通讯时，还可以将中断信号引⼊主机，从⽽实现⾮常灵活有效的控制系统。

PMAC可以通过灵活的类似Basic的⾼级语⾔(Power PMAC还可以⽤C语⾔)控制多轴运动，提供了运动控制、可编程逻辑控制、同主机交互等基本功能；并具有各种现场总线和多种反馈装置接⼝。

PMAC的最⼤特点是开放性。

允许⽤户根据⾃⼰的⽤途使⽤内部寄存器。

基于可编程多轴控制器(PMAC)三轴转台伺服控制系统设计

ｒｎｎｉｔａｌｎｄｏｒｔｎａｉｙ．ｕｎｇｓｅｄｉｙａｐｅａｉｇｅｓｌ
Ｋｅｗｏｄ：ｌｓｄｌｏｏｔｏ；ｒｇａｙｒｓｃｏｅ－ｏｐｃｎｒｌｐｏｒｍｍａｌｍｕｔａｉｏｔｏｌｒｔｒｅａｉｔｒｔｂｅＰＤｂｅｌｉｘｓｃｎｒｌ；ｈｅ－ｘｓｕｎａｌ；Ｉ — ｅ
ＨＵＡＮＧｅｑａＬＩＷｅｉＷｉｕｎ，Ｕｎｉａ
（ｌｇｆＡｕｏｔｎＨａｂｎＥｎｉｅｒｇＵｎｖｒｉ，ａｂｎ１００ｌＣｈｎ）Ｃｏｌｅｏｔｍａｉ，ｒｉｇｎｅｉｉｅｓｔＨｒｉ５０，ｉａｅｏｎｙ
ＡｂｔａｔＴｈｌｓｄｌｏｏｔｏｙｔｍｆｔｒｅａｉｔｒｔｂｅｓｒｃ：ｅｃｏｅ —ｏｐｃｎｒｌｓｓｅｏｈｅ－ｘｓｕｎａｌ，ｗｈｃａｅｎｐｏｒｍｍａｌｕｔａｉｃｎｒｌｒｉｈｂｓｄｏｒｇａｂｅｍｌｉｘｓｏｔｏｌ — ｅ（ＰＭＡＣ），ｍａｅｈｐｉａｎｏｅｓｔｅａｇｌｒｐｓｔｏｅｓｒａｄｔｅｂｕｈｅｓＤＣｍｏｏｓｔｅｔｒｕｅｖ — ｋｓｔｅｏｔｃｌｃｄｒａｈｎｕａｏｉｉｎｓｎｏｎｈｒｓｌｓｔｒａｈｏｑｅｓｒｏｍｏｅｔｒｓｓｅｄｒｃｌｒｖｎｈａｉｇｒｔｔｎｏｙｔｍｉｔｙｄｉｉｇｔｅｌｄｎｏａｉ．ＴｈｏｂｅｌｏｏｔｏｔａｅｙｏｈｐｅｎｃｔｎｉｕｅＯｒ — ｅｏｏｅｄｕｌ－ｐｃｎｒｌｒｔｇｎｔｅｓｅｄａｄｌａｉｓｄｔｅｏｓｏｏｓａｉｅｔｅｆｎｔｎｆｔｒｔｂｅａｔｍａｉｔｓｙｔｍｕｈａｃｔｎｅｏｉｙｗｉｇｎｈｅｖｏｔｏｕｃｉｎ．ｌｈｕｃｉｓｏｕｎａｌｕｏｔｅｔｓｓｅｓｃｓｌａｉ，ｖｌｃｔ．ｓｎ，ａｄｔｅｓｒｏｃｎｒｌｎｔｓｚｏｃｏｏｆｏＴｈｒｃｉａｐｒｔｎｉｄｃｔｓｔａｈｓｍｏｉｎｃｎｒｌｙｔｍａｅｈｅｕｒｍｅｔｆｒａ— ｉｕｎａｌｏｔｏ，ｅｐａｔｌｅａｉｉａｅｈｔｔｉｃｏｏｎｔｏｔｏｓｅｃｎｍｅｔｔｅｒｑｉｅｎｅｌｍｅｔｒｔｂｅｃｎｒｌｏｓｏｔ

PMAC运动控制器初级应用

I0-I99 I100-I186 I187-I199 I200-I286 I287-I299 ….. I800-I886 I887-I899 I900-I989 卡全局设定电机1 设定坐标系 1 设定电机 2 设定坐标系 2 设定电机 8 设定坐标系 8 设定硬件设定
13
基本电机定义 I-变量
PMAC 运动控制器的初级应用
PMAC 代表 Programmable Multi-Axis Controller 可编程的多轴控制器
PMAC 可以服务于各个行业，从精密到微米级的设备到上千马力的重型设备。
PMAC应用包括：

机器人食品机械机床印刷机械木工机械包装机械及其他
18
Ixx25 - Motor x Flag Address for TURBO
TURBO PMAC address of flags Hex($)
0
7
8
0
0
8
B 0 0 0 0 0 1 1 1 1 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 0 1 0 0 0 in
因为TURBO PMAC的内存地址，一个新的标志设定
使用提前计算出的每点坐标使用变量公式
或
X1 X1.0173 X1.0343 . . X0.9824 X1
P1=0 WHILE (P1<361) P2=SIN(P1) +COS(P1) X(P2) P1=P1+1 ENDWHILE
30
Q-变量
Q-变量是用户全局变量可用于PMAC编程中的计算.
Q-变量时坐标系下的变量
=0 Enable amplifier fault input =1 Disable amplifier fault input =00 Kill all PMAC motors on fault or F.E. =01 Kill all C.S. motors on fault or F.E. =1x Kill this motor only on fault or F.E. =0 Low true fault input =1 High true fault input

PMAC运动控制系统

PMAC运动控制系统的软件功能
编程语言与开发环境
编程语言
PMAC运动控制系统支持多种编程语言，如C、C、Python等，方便用户根据项目需求选择合适的编程语言进行开发。
开发环境
PMAC提供完整的集成开发环境（IDE ），包括代码编辑器、编译器、调试器等，方便用户进行软件开发和调试。
运动控制算法
控制器通常采用高性能的微处理器或专用集成电路（ASIC），具有高速运算和控制能力。
控制器可以实现多轴联动控制，支持多种运动模式和轨迹规划，满足复杂运动控制需求。
伺服驱动器
伺服驱动器是连接控制器和伺服电机的桥梁，负责接收控制器的控制信号，并将其转换为适合伺服电机运行的
电压或电流信号。
伺服驱动器具有过载保护、速度控制、转矩控制等功能，能够确保伺服电机在各种
PMAC运动控制系统的应用案例
数控机床的改造
数控机床是现代制造业的重要设备，通过改造数控机床，使用PMAC运动控制系统，可以提高加工精度、加工效率和加工质量。
PMAC运动控制系统能够实现高精度的位置控制和速度控制，同时具有强大的编程和调试功能，可以根据不同的加工需求进行定制化配置。
自动化生产线控制
自动化生产线
用于控制生产线的传送带、机械臂等设备的运动，实现自动化生产。
机器人
用于控制机器人的关节运动，实现机器人的精确轨迹跟踪和动作控制。
激光加工
用于控制激光切割、焊接和打标设备的运动，实现高精度的激光加工。
PMAC的发展历程
1980年代
PMAC的原型问世，主要用于高精度机床的控制。
1990年代
工况下的稳定运行。
伺服驱动器还具有多种反馈接口，可以与传感器配合使用，实现高精度的位置和速度控制。

基于VC_与PMAC的机器人控制软件的开发_刘蕾

邮局订阅号：８２－９４６３６０元／年技术创新机器人技术《ＰＬＣ技术应用２００例》您的论文得到两院院士关注基于ＶＣ＋＋与ＰＭＡＣ的机器人控制软件的开发ＤｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔｏｆＲｏｂｏｔＣｏｎｔｒｏｌＳｏｆｔｗａｒｅＢａｓｅｄｏｎＶＣ＋＋ａｎｄＰＭＡＣ（１．东北大学；２．青岛科技大学）刘蕾１唐为义２原所先１ＬＩＵＬＥＩＴＡＮＧＷＥＩＹＩＹＵＡＮＳＵＯＸＩＡＮ摘要：以ＩＰＣ＋ＤＳＰ作为六自由度工业机器人的控制器，设计了一种基于可编程多轴控制器ＰＭＡＣ（ＰｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅＭｕｌｔｉ－ＡｘｉｅｓＣｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）的开放式机器人控制系统。

采用ＶｉｓｕａｌＣ＋＋编制控制程序，将机器人系统中管理、控制功能的实现分为若干个模块，负责底层伺服驱动的函数利用ＰＭＡＣ运动语言编写，可直接调用。

整个控制软件能完成数据及运动状态显示、伺服驱动、机器人路径规划及定位等任务。

实践证明该机器人控制系统运行平稳。

关键词：ＰＭＡＣ；机器人控制；开放式结构；ＶｉｓｕａｌＣ＋＋中图分类号：ＴＰ２４２文献标识码：ＡＡｂｓｔｒａｃｔ：ＡｎｏｐｅｎａｒｃｈｉｔｅｃｔｕｒｅｏｆｒｏｂｏｔｉｃｃｏｎｔｒｏｌｓｙｓｔｅｍｂａｓｅｄｏｎＶＣ＋＋ａｎｄＰＭＡＣ（ＰｒｏｇｒａｍｍａｂｌｅＭｕｌｔｉ—ＡｘｉｓＣｏｎｔｒｏｌｌｅｒ）ｗａｓｄｅ－ｓｉｇｎｅｄｗｉｔｈＩＰＣ（ＩｎｄｕｓｔｒｉａｌＰｅｒｓｏｎａｌＣｏｍｐｕｔｅｒ）ｐｌｕｓＤＳＰ（Ｄｉｇｉｔａｌｓｉｇｎａｌｐｒｏｃｅｓｓｏｒ）ｓｔｒｕｃｔｕｒｅ．ＢｙｕｓｉｎｇＶｉｓｕａｌＣ＋＋，ｔｈｅｃｏｎｔｒｏｌｓｏｆｔｗａｒｅｉｓｅｄｉｔｅｄｆｏｒｔｈｅｒｏｂｏｔｓｙｓｔｅｍｂａｓｅｄｏｎＰＭＡＣ．Ｔｈｅｍａｎａｇｉｎｇａｎｄｃｏｎｔｒｏｌｆｕｎｃｔｉｏｎｓａｒｅｒｅａｌｉｚｅｄｂｙｄｉｖｉｄｉｎｇｔｈｅｍｉｎｔｏｓｅｖｅｒａｌｐａｒｔｓ．ＴｈｅｂｏｔｔｏｍｄｒｉｖｅｌａｎｇｕａｇｅｔｏｃｏｎｔｒｏｌｔｈｅｒｏｂｏｔｉｓｃｏｍｐｉｌｅｄｂｙＰＭＡＣｌａｎｇｕａｇｅ．Ｔｈｅｗｈｏｌｅｃｏｎｔｒｏｌｓｏｆｔｗａｒｅｉｓｕｓｅｄｆｏｒｄｉｓｐｌａｙｏｆｉｍ－ｐｏｒｔａｎｔｄａｔａａｎｄｓｔａｔｕｓ，ｓｅｒｖｏｄｒｉｖｉｎｇ，ｒｏｂｏｔｐａｔｈｐｌａｎｎｉｎｇａｎｄｐｏｓｉｔｉｎｇ．Ｔｈｅｐｒａｃｔｉｃｅｓｐｒｏｖｅｔｈａｔｔｈｅｒｕｎｏｆｔｈｉｓｃｏｎｔｒｏｌｓｙｓｔｅｍｉｓｓｔｅａｄｙ．Ｋｅｙｗｏｒｄｓ：ＰＭＡＣ，Ｒｏｂｏｔｃｏｎｔｒｏ１，Ｏｐｅｎａｒｃｈｉｔｅｃｔｕｒｅ，ＶｉｓｕａｌＣ＋＋文章编号：１００８－０５７０（２００８）０２－２－０２０３－０３引言机器人控制系统是一种典型的多轴实时运动控制系统。

硅片预对准机器人视觉系统研究

大连理工大学硕士学位论文１绪论１．１硅片预对准机器人概述１．１．１硅片预对准机器人原理硅片预对准机器人是一类面向集成电路制造业，在硅片传输系统中，补偿硅片机器人对硅片的定位误差，集机械、电子、光学、计算机等多学科于一体的，能够自动检测并精确定位硅片几何中心以及切边（或缺口）位置的高精度对准工业机器人。

由于硅片对准发生在掩模对准以前，故称其为预对准【”。

硅片机器人传输系统如图１．１所示，在硅片机器人传输系统中，由于加工工艺对硅片定位精度的要求高于硅片机器人的传输精度，所以在对硅片进行工艺处理之前，必须让硅片机器人先将硅片放置于预对准装置，补偿硅片机器人对硅片的定位误差，然后再由硅片机器人将硅片传送到工艺台上【２】。

图１．１硅片机器人传输系统Ｆｉｇ．１．１Ｔｈｅｃｌｕｓｔｅｒｗａｆｅｒｈａｎｄｌｉｎｇｓｙｓｔｅｍ硅片预对准的方法是对硅片机器人末端执行器上传输的硅片定位误差校正的一种方法。

随着硅片直径的增大，硅片重量不断增加，传输过程中越来越容易造成硅片机器人末端执行器的振动，使传输的定位误差不断增大１３．５１。

这种误差很难满足硅片特征尺寸不断减小的发展趋势，因此，硅片预对准机器人及其方法的应用将十分广泛。

１．１．２硅片预对准机器人发展阶段硅片的预对准机器人主要经历了机械式预对准和光学预对准两个发展阶段嘲。

机械式预对准是用复杂的机构直接接触硅片，使其被动定位，主要应用于传输精度要求较低大连理工大学硕士学位论文图Ｉ．３ＩＮＮＯＶＡＴＩＶＥＲＯＢＯＴＩＣＳＩＲ－－１３００硅片预对准系统Ｆｉｇ．１．３Ｔｈｅｐｒｅａｌｉｇｎ＝ｒｏｆＩＮＮＯＶＡＴＩＶＥＲＯＢＯＴＩＣＳＩＲ－－１３００Ｉｓｅｌ．ＲＯＢＯＴＩＫ公司生产的ＩＰＡ．３００ＶＳ．－！型硅片预对准系统【ｌＩ】，如图１．４所示，它有Ｙ、Ｚ、０三个自由度，可以实现２００ｍｍ或３００ｍｍ硅片中心的高精度定位，线性定位精度可达士２．５岫１。

图１．４ＩｓｅＩ－ＲＯＢＯＴＩＫＩＰＡ－３００ＶＳ－Ｉ硅片预对准系统Ｆ培１，４ＴｈｅｐｒｅａｌｉｇｎｅｒｏｆＩｓｅｌ—ＲＯＢＯＴＩＫＩＰＡ－３００ＶＳ一１上述几种预对准机器人产品，结构不尽相同，驱动方式也各有差别。

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ｐｒｍａｎｅｏｆｒｈｄｌｇｒｏｓｉｉｓｅｔｌｏｃｒｎｓｓｅｍｅｅｒｈｔｈｅｆｏｒｃｆｗａｅ — ａｎｉｏｂｔ，ｔｓｅｓｎｉａｒｏｙｔｎａｔｙｒｓａｃｏｔｅｃｎｒｎｔｆｆｒｈｎｉｇｒｂｔ．ｉａｐｋｏｔｕｉｏｅ－ａｄｌｏｏｓＴｈｓｐｅｒａｅｓＡｍｅｉｎＤｅｌｕＤａａＳｓｅｏｌｓｗａｎｔｒａｃｔＴａｔｙｔｍｓａ
０绪论
硅片传输机器人（ａｒａｄｎｂｔ是半导ｗｆ — ｎｌｇｏｏ）ｅｈｉｒ体集成电路（）Ｉ制造业中重要的传输、Ｃ定位设备，其工作的速度、定位精度和可靠性将直接影响到硅片的生产效率和制造质量【硅片传输机器人需要在有限的空间中实现硅片工位的快速转换，这对硅片
ＣｏｐｒｔｎＳＰＭＡＣｖｍｅｔｏｎｒｌｒｓａｘｍｐｅ，ｎｒｄｕｅｒｏａｉ ‘ ｏｍｏｅｎｔｏｌｎｅａｃｅａｌｉｔｏｃｄＰＭＡＣｏｒｏｂａｄｔｒｔｏｏｂ
ｃｎｒｌｒｐｌａｉ。ｅｉｅｎｕｌ一ｍｏｅｒｄｌｎｎａｏｅｅｔｄ１ｏｔｌｐｃｔｎｄｓｎｄａｄｂｉａＲ０ｄｌａｉｄｌｅｒｖｍｎｅｏｅａｉｏｇｔ（ａａｉｍｍｏ）
１硅片传输机器人控制器的设计方案
本文采用的硅片传输机器人本体为Ｒｅ（ — 极坐标）型机器人，３自由度，为能够完成Ｒ径向）（直线运动、ｅ（旋转）运动、ｚ（升降）运动以及末端执
行器的翻转动作［。其控制系统的总体设计框图如２］
图１示。所
Ｔｈｅｉｎｍｐｅｎａｉｆｗａｅ — ａｎｉｏｔｃｎｒｌａｅｅｄｓｇｎａｄｉｌｍｅｔｔｏｎｏｆｒｈｄｌｎｇｒｂｏｏｔｏｌｂｓｄｏｎＰＭＡＣｅｒ
ＣＧＭｉ，ＨＮｈｊｎＺＯｕｍｉＪＮＬｇｎＯＮｎＺＡＧＳｉ，ＨＵＹ — ｎＩｉａｇｇ－ｕ， —
ｗａｅ－ａｄｉｇｒｏｅｎ－ｒｈｔｃｕｅｃｔｏｌｒｂｓｄｏｎＰＭＡＣ２Ｐ４．ｆｒｈｎｌｏｂｔｎｏｐａｃｉｔｒｏｎｒｌａｅｅｅ一Ｃ１０Ｋｅｙｗｏｒｓ：ｗａｅｒａｄｌｇｒｂｔＰＭＡＣ；ｏｏｏｔｏｌｒｄｆ－ｎｉｏｏ；ｈｎｒｂｔｃｎｒｌｅ
维普资讯
基于ＰＣ的硅片传输机器人控制器的设计与实现ＭＡ
丛明，张士军，周玉敏，金立刚
（大连理工大学机械工程学院，大连１６２０４）１
摘要：在半导体制造业中，硅片传输机器人承担着硅片的精确定位、快速搬运等复杂任务，这对硅片传输机器人的控制器提出了严格的要求，因此对硅片传输机器人的控制模块进行系统的研究有着重要意义。本文以美国ＤｌａａａＳｓｅｓｅｔＴｕＤｔｙｔｍ公司的ＰＡ多轴运动控制器为例介绍ａＭＣ了ＰＡＭＣ在硅片传输机器人控制器中的开发与应用，并以该公司的ＰＡ２Ｐ１４ＭＣ一Ｃ型控制卡０为核心，结合电气和气动回路，设计和建立了Ｒ型（一０径向直线运动型）硅片传输机器人的开放式控制器。实现了硅片传输机器人的运动控制。关键词：硅片传输机器人；ＭＡ；机器人控制器ＰＣ中田分类号：Ｐ４Ｔ２文献标识码：Ｂ文章编号：１０— １４２０）５０４— ５９０３（０６０— ０８００
传输机器人的运动特性、应灵敏性、作准确性、反动
利引硅片传输机器人本体多为３５～个自由度的机械臂，而ＰＣ能提供多达８ＭＡ轴的独立运动控制，所以，硅片传输机器人控制器完全可以采用ＰＣＭＡ
作为核心实现其功能。
（ｃｏｌｆｃａｉｌｎｉｅｉｇＤｌｎＵｉｒｉｆｅｈｏｏｙＤａｉｎ１０４ＣｉａＳｈｏｏｈｎａＥｇｎｒ，ａｉｎｖｓｙｏｃｎｌｇ，ｌ１２，ｈｎ）ＭｅｃｅｎａｅｔＴａ６
Ａｂｔａｔｎｔｅｓｍｉｏｎｃｏｒｓｒｃ：Ｉｈｅｃｄｕｔｍａｎｆｃｕｉｇｉｄｕｔｙｔｅｗａｅ－ａｄｉｇｒｏｓｃｘｃｔｏｍ— ｕａｔｒｎｓｒ，ｈｆｒｈｎｌｏｂｔａｎｅｅｕｅｃｎｎ
ｐｅａｓｓｓｈａｅｓａｌａｉ，ａｓｒｎｐｓｉｇａｄＳｎ．ｃｉｖｅｔｒｌｘｔｋｕｃｓｐｒｃｉｅｌｏｃｉｔｚｏｎｆｔｔａｓｏｎｎＯｏＴｏａｈｅｅห้องสมุดไป่ตู้ｂｔｅ
工作稳定性和可靠性等方面提出了较高的要求。因此在设计硅片传输机器人控制器过程中，需要充分