单晶炉具体操作步骤(精)
单晶炉的操作规程
单晶炉的操作规程利用区熔单晶炉进行以下操作：1.清炉、装炉;2.抽空、充气、预热;3.化料、引晶;4.生长细颈;5.扩肩及氮气的充入;6.转肩、保持及夹持器释放;7.收尾、停炉清炉、装炉：(1)清洗整个炉室内壁及加热线圈、反射器、晶体夹持器、上轴、下轴，调整加热线圈和反射器的水平及与上轴、下轴的对中;将多晶料夹具固定到多晶料尾部的刻槽处，然后将其安装到上轴末端，进行多晶料的对中;将籽晶装入籽晶夹头上，然后将其安装到下轴顶端;关闭各个炉门，拧紧各紧固螺栓;(2)抽空、充气，预热：翻开真空泵及抽气管道阀门，对炉室进行抽真空，真空度到达所要求值时，关闭抽气管道阀门及真空泵，向炉膛内快速充入氩气;当充气压力到达相对压力1bar-6bar时，停止快速充气，改用慢速充气，同时翻开排气阀门进行流氩;充气完毕后，对多晶硅棒料进行预热，预热使用石墨预热环，使用电流档，预热设定点25-40%，预热时间为10-20分钟;(3)化料、引晶：预热结束后，进行化料，化料时转入电压档，发生器设定点在40-60%;多晶料熔化后，将籽晶与熔硅进行熔接，熔接后对熔区进行整形，引晶;(4)生长细颈：引晶结束后，进行细颈的生长，细颈的直径在2-6mm，长度在30-60mm;(5)扩肩及氮气的充入：细颈生长结束后，进行扩肩，缓慢减少下速至3±2mm/min，同时随着扩肩直径的增大不断减少下转至8±4rpm，另外还要缓慢减小上转至1±0.5rpm;为了防止高压电离，在氩气保护气氛中充入一定比例的氮气，氮气的掺入比例相对于氩气的0.01%-5%;(6)转肩、保持及夹持器释放：在扩肩直径与单晶保持直径相差3-20mm时，扩肩的速度要放慢一些，进行转肩，直至到达所需直径，单晶保持，等径保持直径在75mm-220mm，单晶生长速度1mm/分-5mm/分，在扩肩过程中，当单晶的肩部单晶夹持器的销子的距离小于2mm时释放夹持器，将单晶夹住;(7)收尾、停炉：当单晶拉至尾部，开始进行收尾，收尾到单晶的直径到达Φ10-80mm，将熔区拉开，这时使下轴继续向下运动，上轴改向上运动，同时功率保持在40±10%，对晶体进行缓慢降温。
单晶炉操作规程
单晶炉操作规程《单晶炉操作规程》一、概述单晶炉是一种用于生产单晶硅片的重要设备，操作规程的制定是为了保障生产安全和产品质量。
本规程适用于单晶炉的操作人员，旨在规范操作流程，确保操作安全。
二、操作准备1. 检查设备及工具是否完好，如有破损或异常情况，应及时上报并维修。
2. 确认操作人员已经接受相关的培训和指导，对单晶炉的操作流程和安全要求已经了解。
3. 确认生产原料和辅助材料充足，且符合生产要求。
三、操作流程1. 打开单晶炉的主电源，等待设备启动并进入待机状态。
2. 对设备进行必要的预热和调试，确保各部件正常运转。
3. 将生产原料放入炉子内，按照工艺要求设置温度和时间等参数。
4. 监控单晶炉的运行情况，及时发现异常情况并进行处理。
5. 生产结束后，关闭单晶炉的主电源，清理设备及工作环境，做好设备的维护和保养工作。
四、安全措施1. 在操作单晶炉时，严禁离开工作岗位，如有特殊情况需要离开，应当先停止设备运行。
2. 在操作单晶炉时，必须佩戴相关的防护用具，严禁穿拖鞋、长发等不符合安全要求的服饰。
3. 在设备运行过程中，不得私自更改设备参数，如有需要，必须经过相关部门的批准和操作。
4. 如发现设备异常或者故障，应及时上报并采取相应的应急措施，确保操作人员的人身安全和设备的正常运行。
五、操作后的记录和检查1. 在每次操作单晶炉结束后，应当对设备的运行情况、生产情况和设备维护情况进行记录。
2. 定期对单晶炉进行设备的检查和维护，确保设备的正常运行和使用寿命。
六、结束语遵守单晶炉操作规程是操作人员的基本职责，也是保障生产安全和产品质量的重要保障。
希望每位操作人员都能严格遵守操作规程，做到安全生产，为公司的发展做出贡献。
单晶炉操作规范(071208修订稿)
生效日期：2007年 12 月 12日1、目的为正确、规范地操作单晶炉，确保生产作业正常，特制订本规范。
2、适用范围适用于TDR-70A/B和JRDL-800型单晶炉的操作。
3、单晶炉操作工艺流程作业准备→热态检漏→取单晶和籽晶→石墨件取出冷却→真空过滤器清洗→真空泵油检查更换→石墨件清洗→单晶炉室清洗→石墨件安装→石英坩埚安装→硅料安装→籽晶安装→抽空、检漏→充氩气、升功率、熔料→（二次加料、再熔料）→引晶、缩颈、放肩、转肩→等径生长→收尾→降功率、停炉冷却4、主要内容A.作业准备a.进入单晶车间须穿戴好洁净工作服、鞋。
b.开炉前，按工艺要求检查水、电、气，确认无误后方能开炉。
c.准备好一次性洁净手套、耐高温手套、毛巾、纸巾、研磨布、酒精、吸尘刷、吸尘管、防尘口罩。
d.准备好钳子、扳手和各类装拆炉专用工具。
e.取单晶的架子、装石墨件的不锈钢小车、装埚底料的不锈钢筒和装硅料的不锈钢小车，并处理干净。
f.用毛巾将炉体从上到下擦一遍，擦洗时注意不要将所有控制接线及开关碰断或碰坏，并把炉子周围清扫干净。
B.热态检漏a.检查上一炉功率关闭时间，在确认单晶冷却时间达到5.0小时以上后，关闭氩气总阀门（先打开主、副室流量计调节阀并分别调节到30L/Min，再关闭氩气进气总阀门，主、副室流量计调节阀仍然保持打开状态），开始抽高真空，并作时间记录。
b.待炉内压力到达极限（要求达到３Pa以下）后，先关闭主室抽空球阀而后关闭主真空泵电源进行检漏，并作相应时间记录，若0.5小时内抽不到3Pa以下时，交有关维修人员处理，在此期间须配合有关维修人员进行装拆炉，并作相关记录。
c.检漏要求3分钟以上，漏气率<0.34Pa/min为正常，同时作好漏气率记录，若漏气率＞0.34Pa/min时，交有关维修人员处理，在此期间须配合有关维修人员进行装拆炉，并作相关记录。
d.做好热态检漏时的抽空时间，检漏时间，极限真空，漏气速率等记录。
单晶炉操作流程
单晶炉操作流程一．清炉：（1）把拆出的石墨件在清扫间用砂纸打磨干净（2）把炉内用吸尘器吸干净并用毛刷把加热器清理干净（3）把炉后的排气管道拆开清理干净后用六角扳手拧好（4）把现场打扫干净开始装炉二．装炉：（1）装炉时应注意：《1》托杆是否拧紧《2》加热器与保温筒的距离是否相等《3》取光孔是否对准《4》三瓣埚是否有裂纹《5》石英坩埚是否有气泡和黑点（2）把托盘/三瓣埚和石英坩埚装入后开始装料（3）装料时应注意大小的搭配以免挂边和咂埚（4）装好料后把保温盖装好后把导流筒装入看料是否与导流筒接触（5）装好一切后把炉子盖好开始抽空三．抽空：（1）把主泵打开后等一会在缓慢开主室阀开始抽空（2）当炉内压力小于6pa时开始加热化料四．化料：（1）化料时把功率隔半小时加一次但电流不要超过2400A以免产生过流五．塌料：当料快融化完时会塌料塌料是应随着往下塌而升埚升以免硅溅出六．化完挥发：（1）所有的料到化完时把埚转开到2转温度降至上一炉引晶温度后切换到自控（2）把埚向上升30MM开始稳定七．稳定：（1）稳定时把籽晶下降到液面晶转打至8转烧灼5分钟（2）当温度稳定一小时后把埚上升到液面与导流筒2至3公分便可以开始吃光圈八．吃光圈：（1）当液面与籽晶接触时便慢慢开始吃光圈（2）如果液面与籽晶接触时出现光圈一下亮了随之会断掉说明温度高便降几个点待稳定后在试（3）如果液面与籽晶接触时出现光圈周围越长大了说明温度低了便在此的基础上加几个点待稳定后试（4）如果温度合适便会看到4个亮点便可以开始引晶九．引晶：（1）引晶时把埚转打至7转（2）拉速调至0。
3至6。
5拉速不要归零也不要太大而缓慢拉起（3）保持直径在3——5MM（4）当晶引至150MM时开始放肩十．放肩：（1）放肩时把拉速调至0。
4——0。
7开始放（2）在放肩的同时便缓慢降温以达到转肩的标准十一。
转肩：（1）当肩放至145MM时开始转肩（2）转肩时将拉速调至1。
5/2。
单晶基本操作流程
1 使用前的准备和检查：每次操作前注意各运动部位是否正常，导向部位是否清洁，摇动手轮升降坩埚轴，感觉轻快，无卡滞观象，埚升、埚转、晶转皮带张力是否合适，各限位正常，然后才可开车试运转，运行参数均可在操作箱上的触摸屏上显示。
旋转方向：在俯视情况下，坩埚轴为顺时针旋转，籽晶轴为逆时针旋转，切勿反转，以防联接螺纹松动。
2 启动及运行过程中的操作程序：1）首先对支持系统进行检查：a) 确认冷却水的进水温度在15～25℃范围内,进水压力在 3kg/c㎡～3.5kg/c㎡范围内，进出水压差2kg/c㎡并且排水无障碍。
b) 真空泵运行正常，真空度能达标，无喷油等不良现象。
c)氩气的压力和流量能满足拉晶工艺的要求。
2）对单晶炉的运动部件的润滑和运动进行确认。
3）对单晶炉的真空度和漏率进行确认。
完成确认后才可打开真空阀进行抽真空（在开启真空手动阀时要非常缓慢，防止气流对真空规的冲击而影响测量精度），当主炉室真空度小于3Pa后关闭真空阀进行真空检漏，完成真空检漏后方可加热化料。
注意事项：a )对埚升、埚转、晶转皮带的张力要进行确认。
（多锲带张力的测量方法：当手指在多锲带中间加力时，多锲带变形距离在3mm左右。
如有条件对多锲带施加1kg力时，其变形距离在0.5～1mm之间。
并观察各电机电流，使电机转动平稳，电流稳定。
）b )在完成加料后应对炉盖和下炉筒的接合面进行清洁后才能合炉盖，在合炉盖前应先将升降机构处的把手放到水平位置后才能进行，下降炉盖到接近导向拄时，应点动慢降，对正止口，当炉盖与下炉筒自由压紧后，应即刻停止升降轴的下降，让提升轴与上炉筒的铰链处留出20～30毫米空隙，以便万一炉内变成正压时，炉盖有可向上浮动的位置。
c )在需要清洁热场时可将下炉筒的上半部分升起。
方法为：打开上炉盖取出导流筒和支撑导流筒的密封环，操作手提操作面板上按钮，使下炉筒的上半部分向上升起，升到顶端时就可向右侧旋转，待完成热场清理工作后再把炉筒缓慢转回原处（不能撞击导向杆固定座），使聚四氟乙烯导向块与导向杆对准，操作手提操作面板上的按钮应点动慢降让炉筒降下。
单晶生长炉单晶炉安全操作及保养规程
单晶生长炉单晶炉安全操作及保养规程1. 前言单晶生长炉是制造单晶金属、半导体、陶瓷等材料的重要设备。
但是，在使用单晶生长炉时，安全操作和保养非常重要，不仅可以保护设备，还可以保护操作人员的安全。
本文档旨在介绍单晶生长炉的安全操作和保养规程，以帮助操作人员正确使用设备并延长设备的使用寿命。
2. 安全操作规程2.1. 设备检查每次使用单晶生长炉前，必须进行设备检查，确保设备运转正常。
检查内容包括：•确认设备稳定，无明显的晃动或震动。
•检查加热元件和隔热材料是否完好。
•检查对流风扇是否良好运转。
•检查气路、电路是否正常通畅。
2.2. 环境要求在使用单晶生长炉时，必须保证以下环境要求：•使用场所必须具备良好的通风条件，保证室内空气流通。
•环境温度必须在0℃~40℃之间，湿度不超过80%。
2.3. 操作流程在操作单晶生长炉时，必须遵守以下操作流程：•打开电源开关，并插好温度测量仪表。
•打开并设置加热温度、生长速率、转动速度等参数。
•将生长棒安装于设备中，并依次加入各种化学物质。
•等待生长过程完成后，关闭设备，等待其自然冷却至室温。
2.4. 注意事项在操作单晶生长炉时，还需要注意以下事项：•操作人员必须穿戴好防静电衣、手套等防护用品。
•操作人员必须按照操作流程进行操作，不得随意更改参数。
•注意气路、电路、加热元件等部分的损坏和老化情况，及时更换。
3. 保养规程3.1. 日常保养单晶生长炉的日常保养工作包括：•定期清洗筒体内表面及加热元件的附属物。
•定期更换、清洗筒体内的隔热材料。
•定期检查、更换气路、电路等部分的老化或损坏的元器件。
3.2. 定期保养在单晶生长炉使用一定时间后，需要进行定期保养，以确保设备的正常运转和延长设备寿命。
定期保养的内容包括：•检查设备所有部分的紧固件是否松动和损坏。
•清洗、调整控制器，检查、维修或更换元器件。
•检查、维修或更换机械、电气与液压系统。
•清洗、更换或涂抹润滑油和其他消耗材料。
Q03-JS-01 单晶炉操作规范
生效日期：2006年 4 月25日1、目的为正确、规范的操作单晶炉，确保生产作业正常，特制订本规范。
2、适用范围适用于单晶炉的操作。
3、主要内容A.单晶的取出（适用于拉晶过程中单晶的取出）a.作业准备1)准备好手套、耐高温手套、纸巾。
2)准备好钳子、取单晶的架子。
3)用湿纸巾将炉体从上到下擦拭一遍。
注意事项及原由4)所需物品必须准备齐全而且洁净，且就近摆放，以减少不必要的时间浪费。
5)取单晶前一定要将炉体内彻底擦拭一遍，有利于整体环境，防止交叉污染。
6)彻底清扫炉体时不要将所有控制接线及开关碰断或碰坏。
b.单晶的取出1)单晶冷却完毕后，关闭Ar气同时提升单晶至副室，从副室观察窗确认单晶升至所需高度。
2)待炉内压力到达极限后关闭主室球阀而后关闭真空泵电源之后进行测漏并进行相应记录。
3)若无异常，充Ar气至常压，盖住翻板，打开液压泵，升起副室(副室为开门结构的打开副室炉门)。
4)缓慢转动副室至侧面，同时把安全接盘移到炉筒口处。
5)把取单晶的架子放在副室炉筒正下方，准备接单晶。
6)稳定单晶，移开安全接盘，按下晶快降，将单晶降入架子内。
7)确认单晶完全入架子内后，按住籽晶，用钳子将籽晶从细径处夹断，将籽晶从重锤上取下，放在指定场所，再将重锤升至副室内适当位置。
8)将单晶放入中转区，待冷却后将炉号写在单晶上。
注意事项及原由9)漏气率<0.67Pa/min为正常，否则有关人员处理并报告班长或主任。
生效日期：2006年 4 月25日10)升副室前必须确认炉内压力正常，翻板必须盖住，防止单晶坠落，缓慢转动副室，防止单晶与副室内壁碰撞，必须安全接盘移至炉筒口处，防止单晶附落。
11)夹断籽晶后，应稳定重锤，防止重锤快速转动，损坏钢丝绳(重锤温度高，不可用手直接接触)。
12)取籽时应慎重作业，防止损坏籽晶。
13)单晶取出后，必须及时、准确的记录炉号。
B.石墨件的取出（适用于每炉石墨件及埚底料的取出及大清时整个热场的取出）a.取出导流筒及大盖1)准备好不锈钢小车。
单晶炉操作规范
单晶炉操作规范第一章-引言1.1本文档旨在规范单晶炉操作流程，确保操作安全、产品质量和生产效率的提高。
1.2单晶炉的操作人员必须熟悉本文档的内容，并在操作过程中严格遵守规定，否则产生的后果自负。
1.3本文档适用于所有单晶炉操作环节，包括预处理、晶体生长、退火和冷却等。
第二章-操作前准备2.1操作人员必须穿戴符合安全要求的防护装备，包括耐高温手套、护目镜和耐酸碱服装等。
2.2检查设备状态，确认温度计、计时器、传感器等仪器设备正常工作。
2.3检查炉内外温度，确保温度达到操作要求。
2.4检查流程控制系统，确认设定参数正确，并与实际参数一致。
2.5查看操作记录，了解前期操作情况，排除潜在安全隐患。
第三章-预处理3.1清洁单晶炉炉膛，去除残留物和污渍。
3.2检查和更换必要的密封件，确保炉内外密封完好。
3.3检查加热元件是否存在损坏和老化现象，如有发现，及时更换。
3.4预热单晶炉，升温到预定温度，并保持一段时间，为晶体生长做好准备。
第四章-晶体生长4.1准备晶体生长所需材料和试剂，确保纯度和数量符合要求。
4.2将材料和试剂按照比例混合，并搅拌均匀。
4.3将混合材料放入预热的单晶炉中，并设定生长参数，如温度、压力、速度等。
4.4开始晶体生长，监控生长过程的关键参数，并做好记录。
4.5定期检查晶体生长过程中的温度、压力和流量等参数，确保生长过程的稳定性。
第五章-退火5.1晶体生长结束后，将晶体放入退火炉中，设定适当的退火参数。
5.2确保退火炉内外的温度均匀分布，不得有明显的温度梯度。
5.3控制退火过程中的加热速度和保温时间，确保晶体内部结构的完善。
5.4定期检查退火过程的关键参数，如温度、压力和冷却速度等，确保退火效果。
第六章-冷却6.1退火结束后，将晶体从退火炉中取出，放置在冷却器中。
6.2控制冷却器的温度和冷却速度，避免晶体过快冷却引起热应力。
6.3冷却过程中，注意观察晶体表面是否出现裂纹或变色等异常情况。
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1、目的为正确、规范地操作单晶炉,确保生产作业正常,特制订本规范。
2、适用范围适用于 TDR-70A/B和 JRDL-800型单晶炉的操作。
3、单晶炉操作工艺流程作业准备→ 热态检漏→ 取单晶和籽晶→ 石墨件取出冷却→ 真空过滤器清洗→ 真空泵油检查更换→ 石墨件清洗→ 单晶炉室清洗→ 石墨件安装→ 石英坩埚安装→ 硅料安装→ 籽晶安装→ 抽空、检漏→ 充氩气、升功率、熔料→ 引晶、缩颈、放肩、转肩→ 等径生长→ 收尾→ 降功率、停炉冷却4、主要内容A. 作业准备a. 进入单晶车间须穿戴好洁净工作服、鞋。
b. 开炉前,按工艺要求检查水、电、气,确认无误后方能开炉。
c. 准备好一次性洁净手套、耐高温手套、毛巾、纸巾、研磨布、酒精、吸尘刷、吸尘管、防尘口罩。
d. 准备好钳子、扳手和各类装拆炉专用工具。
e. 取单晶的架子、装石墨件的不锈钢小车、装埚底料的不锈钢筒和装硅料的不锈钢小车,并处理干净。
f. 用毛巾将炉体从上到下一遍, 擦洗时注意不要将所有控制接线及开关碰断或碰坏,并把炉子周围清扫干净。
B. 热态检漏a. 检查上一炉功率关闭时间,在单晶冷却 4.0小时(TDR-70A/B型单晶炉、 5.0小时(JRDL-800型单晶炉后,关闭氩气(只关闭氩气阀门,主、付室流量计调节阀打开并分别调节到 30L/Min,开始抽高真空,并作时间记录。
b. 待炉内压力到达极限(要求达到 3Pa 以下后,先关闭主室球阀而后关闭真空泵电源进行检漏,并作相应时间记录,若 0.5小时内抽不到 3Pa 以下时,交有关维修人员处理,在此期间须配合有关维修人员进行装拆炉,并作相关记录。
c. 检漏要求 3分钟以上,漏气率 <0.34Pa/min为正常,同时作好漏气率记录, 若漏气率>0.34Pa/min时,交有关维修人员处理,在此期间须配合有关维修人员进行装拆炉,并作相关记录。
C. 取单晶和籽晶a. 热态检漏后,旋松付室小门 4个螺丝,打开氩气阀门充氩气至常压,关闭氩气,旋开付室小门 4个螺丝,打开付室小门。
b. 提升单晶至付室,从付室小门内确认单晶升至所需高度,若无异常,盖住翻板阀,打开液压泵,升起付室。
c. 把安全接盘移到炉筒口处,缓慢转动付室至侧面。
d. 把取单晶的架子放在付室炉筒正下方,准备接单晶。
e. 稳定单晶,移开安全接盘,按下籽晶快降,将单晶降入架子内。
f. 确认单晶完全入架子内后, 按住籽晶, 用钳子将籽晶从细径处钳断, 钳断籽晶后,应稳定重锤,防止重锤快速转动,损坏钢丝绳。
g. 将籽晶从重锤上取下,放在指定场所,再将重锤升至付室内适当位置。
h. 将单晶移到中转区,及时、准确的将单晶编号写在单晶上,待自然冷却后对单晶进行各项参数检测并作好记录。
D. 石墨件取出冷却a. 石墨小件取出1 打开液压泵电源,按炉盖升按钮上升炉盖。
炉盖上升到位后,再旋转炉盖到侧面。
2 戴好耐高温手套按顺序取出导流筒及保温盖放在装石墨件的不锈钢小车上, 注意要拿稳并轻放。
3 戴好耐高温手套用钳子夹住石英坩埚的上端部分提起,使其松动,将石英坩埚取出。
若石英坩埚能将埚底料全部带出直接放入不锈钢筒; 若不能则将先取出石英坩埚, 剩下的埚底料随三瓣埚一并取出后, 再将埚底料放入不锈钢筒内。
若出现闷炉等意外情况则用钳子像装料一样一块块取出, 直至彻底取出。
最后将不锈钢筒移到指定地方, 并写上单晶编号, 自然冷却。
冷却后对埚底料进行重量检测并作好记录。
4 戴好耐高温手套依次取出三瓣埚、埚底放在装石墨件的不锈钢小车上, 错误! 链接无效。
放上后要注意放稳当。
5 用埚杆板手从埚杆中央孔的位置拧下不锈钢螺丝,取出埚杆板手,再将埚杆连不锈钢螺丝放在不锈钢小车上,注意堆放稳当。
6 取出的石墨件一并放在不锈钢小车上,在不锈钢小车边挂上石墨件所属炉号牌,移到指定的位置,自然冷却,移动过程中注意石墨件放置,防止坠落。
b. 石墨大件的取出(一般 5炉做一次,须作好大清记录1 取出上保温罩放在不锈钢小车上。
2 取下热电锥,将其及对应的密封及玻璃放到适当的位置以放损坏丢失。
3 打开油泵开关,按住炉筒升按纽,升起炉筒至限位,旋转炉筒,并降至适当位置。
4 取出中保温罩放在不锈钢小车上。
5 先取下加热器螺丝盖,再用专用工具取下加热器螺丝后,取下加热器螺丝和加热器放在不锈钢小车上。
6 依次取出电极护套、电极石英环、埚杆护套、炉底上压片、炉底上压片下小石墨碳毡、排气套管、下保温罩、炉底压片、炉底碳毡、石墨电极等放在不锈钢小车上。
在不锈钢小车边挂上石墨件炉号牌,移到指定的位置,自然冷却,移动过程中注意石墨件放置,防止坠落。
E. 真空过滤器清洗a. 准备好吸尘刷、吸尘管、酒精、纸巾、扳手,带好手套、防尘口罩。
b. 用扳手打开真空过滤器盖螺丝,取出过滤网。
c. 用吸尘刷仔细清洗过滤网及过滤器内的挥发物。
d. 将清洗后的过滤网缓慢放进过滤器内。
e. 用吸尘刷清洗过滤器盖,用沾酒精的纸巾擦净密封圈,并检查密封圈是否完全就位,防止出现脱落或出槽影响抽空。
f. 盖好过滤器盖并用扳手上好过滤器盖螺丝。
F. 真空泵油检查更换a. 确认关闭主泵球阀和真空泵,在放油单晶炉上挂检修牌,将废油桶置于真空泵放油口下方, 打开上下腔放油开关, 放完油后关闭上下腔放油阀, 废油倒入指定油桶。
b. 清洗真空泵(每 5炉清洗一次,用扳手打开真空泵侧盖,置于适当位置, 用毛巾彻底清理真空泵腔、侧盖和下腔滤油网的油污, 清洗完毕后, 安装好滤网, 安装好侧盖。
侧盖在打开、安装时小心操作,防止损坏侧盖及油封而漏油。
泵腔内禁止遗留纸屑或其它异物, 不然会造成油路的堵塞导致真空泵卡死。
清理真空泵的废弃物放入指定垃圾桶。
c. 打开真空泵注油口,将真空泵油注入真空泵注油孔,观察真空泵油位至油位观察窗 1/2位置,停止注油,打开泵侧的油路管道阀门向下腔放油,关闭油口。
d. 启动真空泵工作 5min 后关闭泵侧的油路管道阀门, 察看油位是否处于油位观察窗 1/3----1/2位置,关闭真空泵,在放油单晶炉上移去检修牌。
若低于下限重复 c 、 d 操作。
G. 石墨件清洗a. 石墨件清洗1 石墨件必须在指定的清洗室进行清洗,准备好清洗用品 (吸尘刷、纸巾、吸尘管、研磨布、除硅粒的专有工具、放石墨件的洁净小车等戴好手套、防尘口罩。
清洗好清洗台及周围环境。
2 依次用吸尘刷清洗各类石墨件直至确认无污物,沟槽及接口等吸附挥发物较多的部位要用研磨布认真打磨后再吸尘清洗。
3 清洗时注意检查各石墨件是否有损坏及粘硅,有损坏及粘硅要及时更换和处理。
4 操作时要轻拿轻放以免造成石墨件的损坏。
5 清理完毕的石墨件放到事先准备好的洁净不锈钢小车上。
禁止叠加,移动不锈钢小车要稳当。
6 清洗后垃圾放入垃圾指定处,清洗好清洗台及周围环境。
b. 石墨大件炉内清洗(适用于每炉小清,石墨大件未取出时在炉内清洗。
1 用吸尘刷吸净炉筒、保温罩和加热器上沿拆炉时掉落的残渣。
2 用吸尘刷仔细用力清洗保温罩,加热器所能触及到的部位。
3 取出加热器螺丝盖,检查电极螺丝是否松动、胶落或粘硅。
有松动须拧紧, 有胶落或粘硅须更换。
再盖好加热器螺丝盖。
4 如果在拆炉时不小心引起热场移动或转动一定要检查热场是否对称,测温孔要重新校正。
如果侧温孔有偏离会影响测光信号, 导致欧陆表数值过小, 无法对炉内温度进行自动控制无法成晶。
5 用吸尘刷吸净炉底上压片、炉底波纹管、排气孔内的附尘及残渣。
6 用带有酒精的纸巾清理炉壁上部。
H. 单晶炉室清洗a. 付室的清洗安装1 准备好清洗棒、纸巾、酒精。
2 在清洗棒上缠上沾有酒精的纸巾,清洗付室内部至上部,直至确认无污物。
3 快速降下籽晶夹头,用沾有酒精的纸巾认真擦洗重锤及钼夹头。
需要时要将重锤摘下用研磨布认真打磨, 并清洗干净。
摘下重锤时要慎重作业, 防止钢丝绳上弹造成钢丝绳出槽。
清洗钢丝绳时要检查其接头部位是否老化或损坏, 若有应截去一截钢丝绳, 防止在拉晶过程中单晶掉下。
清洗好上升重锤到一定位置, 升重锤时,不要使重锤晃动,防止重锤挂住付室下沿,拉断钢丝绳。
b. 小付室的清洗1 打开付室小门,用沾有酒精的纸巾擦洗小付室内的附着物。
挥发物附着较多时,先用吸尘刷处理。
2 用沾有酒精的纸巾认真擦洗付室抽气口、其它小孔及翻板阀四周及转轴。
翻板阀的沟槽部位及焊缝处先用纸巾卷成利于操作的形状再认真擦洗。
3 清洗过的小付室将翻板阀盖住阀口,并关闭付室小门。
4 用洁净的纸巾将小付室上口盖住。
c. 炉盖清洗1 先用纸巾擦洗内壁 (氧化物过多先用吸尘刷清理。
2 小孔部位、观察窗部位、伊尔根部位、阀口部位等各处的接口及焊接口等不易清洗的部位要用沾有酒精的纸巾认真擦洗,直至确认无污物。
3 硅粉强力附着时或炉盖局部发黑、发白时要用研磨布认真研磨直至炉盖整个内壁出现光亮无污物。
4 观察窗、伊尔根窗口要认真清理,所有小孔的位置要把纸巾卷成卷以便伸进气孔内部更容易清理直至没有污物。
d. 炉筒清洗1 先用纸巾擦洗内壁 (氧化物过多先用吸尘刷清理。
2 取光孔部位要用沾有酒精的纸巾认真擦洗,直至确认无污染。
3 硅粉强力附着时或炉筒局部发黑、发白时要用研磨布认真研磨直至炉筒整个内壁出现光亮无污物。
e. 抽气管道清洗。
1 用扳手打开抽气管道上的封盖螺丝,取下封盖和密封圈。
2 用一头缠钢丝球的长棒伸入管道抽动,另一头用吸尘刷吸除抽气管道内的挥发物。
3 用沾有酒精的纸巾认真擦洗封盖和密封圈,再安装好。
I. 石墨件安装a. 清洗后的石墨大件安装(一般 5炉做一次。
1 清理完毕的石墨大件不锈钢小车移到单晶炉旁边,移动过程要稳当。
2 依次装好石墨电极、炉底碳毡、炉底压片、下保温罩,两侧排气管、炉底上压片下小石墨碳毡,炉底上压片、埚杆护套、电极护套、石英电极环。
安装电极时检查接触面是否平整,上下接触面要放一层石墨纸,防止热场打火。
3 将清洗后的加热器装好,拧上石墨螺丝,要拧紧,不然要引起热场打火,并盖上石墨螺丝盖。
4 将清洗后的中保温罩装好,卡口接到位。
并校正与加热器的间距,要均匀一致,否则需调整好。
5 炉筒复位,打开液压泵,升起炉筒至上限,用沾有酒精的纸巾擦洗下炉筒上部的结合部和炉筒下部的结合部,同时转动炉筒到适当位置。
6 按炉筒降,炉筒降到位后,校对测温孔,防止测光信号过小无法温度自控。
7 安装热电锥,将其及对应的密封及玻璃按原次序装好。
8 将清洗后的上保温罩装好,并卡口接到位。
b. 清洗后石墨小件安装。
1 用专用工具装好埚杆。
一定要拧紧埚杆螺丝,防止因松动造成液面晃动2 依次装好埚底、三瓣埚。
安装时要确认埚杆、埚底、三瓣埚是否吻合,要认真、细心,防止碰坏保温材料或加热器。
3 装好后要打开埚转旋转一下,以检验三瓣埚与加热器间距上否一致。