单晶炉加热电源说明书
单晶炉加热电源说明书
第一章概述一、简介单晶炉加热电源，是通力盛达能源设备（北京）有限公司集多年智能开关电源开发经验，参照信息产业部行业标准，结合国内外供电状况和使用要求，设计、生产的高新技术产品。
可用于单晶硅，多晶硅加热场所。
单晶炉加热电源系统采用模块化设计、组合式结构，由整流器、交流配电、直流配电等部分组成。
单晶炉加热电源通过外部隔离的0-10V直流电压控制系统输出，与其对应系统输出电压为0-60V，或者对应系统输出功率为150KW（通过系统前面板上的开关SW1选择“电压调节”或“功率调节”方式）。
单晶炉加热电源智能开关电源系统采用DZY-48/50H(HE)开关整流器，系统最大容量为2800A。
开关整流器采用了数字化功率因数校正、智能控制检测、新型磁性材料等新技术，使用了良好的热设计、EMC设计和可靠性设计，使交流输入电压适应范围、功率因数、功率密度、电磁兼容性、可靠性、转换效率等主要技术指标达到了国际先进水平。
二、系统特点1．全数字化交错PFC创新控制的有限双极性控制ZVS全桥拓扑、倍整流拓扑、双单片机实现全数字监控。
2．系统整流器采用功率因数校正技术，使输入的交流电流波形与输入的交流电压波形相同，相位一致，整机效率高，节省能源，降低运营成本。
3．系统整流器采用高频PWM控制变换技术，一方面减少了开关器什在高频开关过程中的功率损耗，提高了整机效率；另一方面减少了电磁干扰，可将电源系统安装在程控机房内。
4．系统采用民主均流技术，提高了系统工作的稳定与可靠性，因而减少了设备日常的工作维护。
5．系统整流器采用智能风冷和水冷技术，冷却效果好，故障率低，可靠性高。
6．整流器采用无工频变压器设计，体积小、重量轻。
7．整流器体积小占用空间小，交直流配电结构合理，便于操作、维护。
8．整流器采用了热插拔技术，可以在线安装或更换整流模块。
9．系统具有完善的防雷保护措施。
10．系统结构融入了等电位设计理念，简单巧妙的达到机柜通体等电位的设计要求，同时也提高了电磁兼容性能和系统防雷能力。
DRF-85型单晶炉使用说明书(机械部分)
DRF-85型单晶炉使用说明书（机械部分）目录1.综述 (4)1.1 用途 (4)1.2 技术特征 (4)1.4 附件 (8)2．设备安装与要求 (8)2．1 设备的工作环境 (8)2．2 冷却水源与排水 (9)2．3 电源 (10)2．4 氩气源 (10)2．5 泵组系统的排气管路 (10)2．6 设备的平面布置与厂房高度 (10)2．7 地基构造 (11)2．8 操作平台 (12)2．9 设备的拆箱 (12)2．10 设备的安装 (12)3．炉子本体结构说明 (14)3．1 结构简述 (14)3．2 坩埚驱动装置 (14)3．3 主炉室 (15)3．4 翻板阀 (17)3．5 副炉室 (17)3．6 籽晶驱动装置 (18)3．7 副炉室及炉盖升降操作 (18)3．8 主炉室（炉筒）升降操作 (19)3．9 水冷系统 (20)3．10 使用与操作 (20)3．10．1 调整 (20)3．10．2 (21)4．真空系统及充气系统 (21)4．1 真空系统 (21)4．1．1 (21)4．1．2 (22)4．1．3 (22)4．1．4 (22)4．2 (22)4．3 (23)4．3．1 (23)4．3．2 (23)5．维护与修理 (23)5．1 坩埚轴驱动部件的维修 (24)5．2 蜗轮蜗杆减速器的维修 (24)5．3 籽晶提拉部件的维修 (24)5．4 伺服机组的维修 (25)5．5 水冷系统的维修 (25)5．6 翻板阀的维修 (25)5．7 管道的维修 (26)6．拆装 (26)6．1 坩埚轴的拆装 (26)6．2 电极的拆装： (26)6．3 卷丝轮的拆装 (27)6．4 翻板阀的拆装 (27)1.综述1.1 用途DRF-85 单晶炉属软轴提拉式单晶炉，它是在惰性气体环境中，通过石墨电阻加热器将硅半导体材料加热并熔化，然后用直拉法生长无位错的单晶设备。
该设备可以大规模生产集成电路、太阳能等行业所需的高质量的硅单晶。
单晶炉技术说明书
单晶炉技术说明书1000字单晶炉是一种用于生产高品质单晶体的设备，它是半导体产业的重要设备之一。
下面我将为大家介绍单晶炉的技术说明书。
一、单晶炉的结构单晶炉主要由炉体、加热系统、制冷系统、控制系统等组成。
1. 炉体：炉体是单晶炉的主要组成部分，主要由炉体本体、电极、隔热材料和炉内环境构成。
炉体内部需要保持一定的真空或惰性气氛，以确保单晶生长的质量和稳定性。
2. 加热系统：加热系统是单晶炉的关键部分之一，它主要由加热元件、加热源、温度控制等组成。
加热源可以是电阻丝、感应加热、火焰等形式，但大多数单晶炉使用的是电阻丝。
3. 制冷系统：制冷系统是单晶炉的另一个重要部分，它主要用于保持单晶生长的过程，在单晶炉内部形成适宜的温度梯度和温度分布。
制冷系统主要由冷却水系统和压缩机组成。
4. 控制系统：控制系统是单晶炉的核心，它主要由计算机控制系统和温度控制系统组成。
计算机控制系统主要用于控制整个单晶炉的运行和生长过程，包括加热、真空、气氛等参数，而温度控制系统则主要用于精确控制单晶生长过程中的温度。
二、单晶生长过程单晶生长是单晶炉最重要的功能之一，主要通过以下步骤进行：1. 清洗晶体：将要生长的晶体进行表面清洗，去除表面杂质、油脂等污物和氧化物，确保晶体表面的干净度。
2. 落合：将准备好的晶种和熔融的材料放到炉体中，让晶种和熔融材料相遇，然后慢慢拉出晶种，使熔融的材料附着在晶种上。
3. 晶体生长：炉体内部形成的温度梯度和温度分布，使得材料开始在晶种上生长，形成单晶体。
4. 结晶完成：当晶体完成生长后，将晶体缓慢升温，淬火，将单晶从晶棒上取下。
三、单晶生长常见问题及解决办法1. 晶体表面不平整：可能是晶体过快生长，或熔融液中杂质太多。
解决办法：加大温度梯度，降低熔融材料的污染。
2. 晶体裂纹：可能是晶体过快生长，晶体内部应力过大。
解决办法：控制生长速度，减小温度梯度。
3. 不均匀生长：可能是炉内温度不均匀，或者晶种准备不足。
单晶炉加热电源产品介绍
单晶炉加热电源产品介绍DIP-HE-60/2800单晶炉电源，是北京动力源科技股份有限公司集多年智能高频开关电源开发经验，参照相关的行业标准，结合国内外供电状况和使用要求，设计、生产的高新技术产品，产品和技术平台通过了公司既有产品十多年的验证，技术成熟、可靠。
本产品主要应用于单晶硅加工领域，同时也适用于类似的直流电源需求领域，并可根据用户需求灵活调整。
一、产品特点：1.高效节能DZY-48/50H（HE）整流模块采用目前最先进的无桥PFC、LLC电路拓扑技术，功率因数高（0.99），谐波分量低（＜3%）；整机效率高（94%），节省能源（与相控电源相比单炉可节电500度到850度电），降低运营成本。
2.稳定可靠电源系统整流模块采用N+M的冗余备份方式，采用民主均流技术，系统可靠性高。
3.绿色环保电源系统采用智能自循环风冷+水冷技术内循环系统，冷却效果好，系统产生的热量不会散发到工作环境中，不会因电源工作而增加空调投资。
4.结构合理整流模块采用无工频变压器设计，体积小、重量轻、噪音低工作时的噪声小于55分贝。
5.维护方便整流模块采用了热插拔技术,可以在带电情况下在线安装或更换整流模块，不影响系统的正常工作，交直流配电结构合理，便于操作、维护。
6.智能管理电源系统功能完善，具有交流输入过压、欠压、直流输出过压、直流输出限流、短路保护等保护功能，同时具有对工作异常（水温异常、水压异常、正负排接地等）进行检测和故障报警功能。
7.集中监控（选配）可实现后台对多台电源系统的集中监控、联网后可进行远程监测。
8.组合灵活可根据用户需求进行扩减容量。
不会因需求变化而增添新的电源设备。
表 2.1产品型式和规格DZY-48/50H （HE ）整流器的保护功能：9. 长寿可靠 可保证设备正常使用 15 年以上。
二、使用环境：工作环境温度：-25℃～ +55℃ 相对湿度：<90％(40±5℃) 储存温度：―40℃～ +70℃(试验温度) 大气压力：70KPa ～106KPa海拔高度：≤3000m三、主要技术参数：交流输入电压：三相 304V ～511V 输出电压：0V ～60V(可调) 交流输入频率：45～65Hz最大输出电流：2800A起动电压适应范围： 系统起动电压≥280V，在 280V ～510V 范围内可额定电流 输出，交流输入电压在 155V ～310V 范围内限流输出。
晶盛单晶炉操作说明
晶盛单晶炉操作说明
1. 简介
本章节将对晶盛单晶炉进行简要的介绍，包括其主要功能和特点。
2. 安全须知
在使用晶盛单晶炉之前，请务必阅读并遵守以下安全须知，以确保您的人身安全和设备正常运行。
3. 设备结构与组成部分
这一章节详细描述了整个设备的结构，并列出了各个组成部分及其作用。
同时还提供了相应图示以便更好地理解。
4. 操作流程步骤
a) 准备工作：在开始操作之前需要做哪些准备工作？
b) 开机启动：如何正确开启电源、控制面板等？注意事项有哪些？
c) 参数设置：如何根据实际需求设置温度、时间等参数？
d) 样品放置与取出方法: 如何正确放置样品到加热台上？怎么才能够安全地从加热台上取下样品？
5. 故障排除指南
如果在使用过程中发生故障或异常情况时，该怎么办呢?这里给出一些建议性内容来帮助用户快速定位和解决问题。
6. 维护与保养
为了确保设备的长期稳定运行，本章节将介绍一些常见的维护与保养方法，并提供相应注意事项。
7. 常见问题及解答
这里了用户在使用晶盛单晶炉过程中经常遇到的一些问题，并给出详尽而简明扼要地回答。
希望能够对您有所帮助。
8. 相关附件
本文档涉及以下附件，请参阅：
- 晶盛单晶炉操作手册.pdf
9. 法律名词及注释
- 单晶：指具有完整、连贯结构并无缺口或杂质等不均匀性存在的物体。
- 熔融法：通过加热原料至其溶点以上使之变成流动状态后再逐渐凝固形成单个大颗粒（即“种子”）以制得高纯度金属产品或合金产品。
单晶炉技术说明书
6.2.籽晶旋转及提升机构的维修
籽晶旋转及提升机构也是单晶炉的关键部件，该部件运行的好坏直接影响单晶的生长。因此，也须重点维护。
卷轮箱是籽晶提升的核心，卷轮箱内的零件一般情况下不得随意拆除，必须拆除时，重新安装时必须保证软轴对中。软轴钢丝绳在使用中不准有死弯现象，并在每次开炉时检查钢丝绳是否烧损，如有烧损应及时修整或更换新的钢丝绳。
氩气纯度：>99.999%
氩气压力：0.05～0.2MPa
氩气流量：100L/min
氩气管道泄漏率：<0.01Pa/min
4.5.泵组系统
泵与主机之间设置有电动阀及除尘器，中间用波纹管连接，以减少振动传递。
泵与主机之间最好设隔断墙、并具备良好的废气排放及防污染工作环境。
5.炉子结构说明
单晶炉包括机架、坩埚驱动装置、主炉室、翻板阀、副炉室、籽晶提升机构、炉体升降驱动装置、真空系统、充气系统及水冷系统等组成。机架由型材焊接而成，是炉子的支撑装置。坩埚驱动装置安装在机架下部的平板上。主炉室固定机架的上平面上，翻板阀连接在主室与副室之间，籽晶提升机构安装在副室上。炉体升降驱动装置安装在机架后侧的立柱上。
3.15.坩埚升速范围：0～2mm/min0～2mm/min
3.16.坩埚快速：≥100mm/min≥100mm/min
3.17.坩埚转速范围：0～20R/min0～20R/min
3.18.籽晶提升有效行程：2900mm3000mm
3.19.坩埚升降有效行程：400mm400mm
3.20.主机占地面积：2500mmX1500mm2000mmX1500mm
松瓷单晶炉使用说明书
松瓷单晶炉使用说明书一、介绍松瓷单晶炉是一种先进的炉具，用于制造高品质的单晶材料。
本说明书将详细介绍松瓷单晶炉的使用方法和操作步骤，以帮助用户正确使用和维护该设备。
二、设备特点松瓷单晶炉具有以下特点： 1. 高温稳定：松瓷单晶炉能够提供稳定的高温环境，以实现单晶材料的高质量生长。
2. 环保节能：松瓷单晶炉采用先进的加热技术和节能设计，具有较高的能源利用率和环保性能。
3. 自动控制：松瓷单晶炉配备智能控制系统，可以实现温度、压力等参数的自动控制和调节。
三、操作步骤3.1 准备工作在使用松瓷单晶炉之前，需完成以下准备工作： 1. 确保炉具周围环境干燥、无可燃物质和易燃易爆物品。
2. 检查电源和电压是否符合要求，确保接地良好。
3. 清洁炉具内外表面，确保无杂质和污垢。
3.2 启动炉具按照以下步骤启动松瓷单晶炉： 1. 打开炉具控制面板电源开关，并确保面板显示正常。
2. 按照操作界面上的提示，设置所需的温度、压力等参数。
3. 按下启动按钮，等待炉具进入工作状态。
3.3 放置试样将待生长的单晶试样轻放到预定位置，避免与炉具接触面直接接触。
确保试样的完整性和良好的适配性，以提高生长质量。
3.4 生长过程监控在整个生长过程中，需要不断监控和调整参数，以确保生长质量。
以下是一些常见的监控要点： 1. 温度控制：根据生长材料的要求，控制炉膛温度在合适的范围内，并保持温度稳定。
2. 压力控制：根据生长材料的需求，控制气氛压力，并定期检查和调整气氛组分。
3. 液位监测：对于液相生长过程，需要定期检查和调整溶液的液位，以保持生长条件稳定。
3.5 停止工作在完成生长过程后，需要正确停止炉具的工作。
按照以下步骤进行： 1. 关闭炉具控制面板电源开关，并断开电源。
2. 等待炉具冷却至安全温度后，进行内外清洁和维护。
四、维护保养为了保证松瓷单晶炉的正常运行和延长使用寿命，需要进行定期的维护保养工作。
以下是一些常见的维护保养事项： 1. 定期清洁：定期清洁炉具内外表面，清除积尘和杂质，确保通风畅通。
单晶炉操作说明
．全自动单晶炉操作手册REV. MANUAL_ZJS.Z02（TDR80A-ZJS/TDR85A-ZJS/TDR95A-ZJS适用）2009年05月上虞晶盛机电工程有限公司SHANGYU JING SHENG M&E ENGINEERING CO., LTD目录第一章单晶生长条件 (2)1.1 设备要求 (2)1.2 辅料要求 (3)1.3 安全要求 (4)第二章单晶生长标准流程 (5)2.1 拆炉 (5)2.2 装炉 (6)2.3 开始单晶的生长 (8)2.4 抽真空 (9)2.5 检漏 (11)2.6 压力化 (12)2.7 熔料 (13)2.8 稳定化 (15)2.9 熔接 (16)2.10 引晶 (18)2.11 放肩 (19)2.12 转肩 (20)2.13 等径 (21)2.14 收尾 (22)2.15 停炉 (23)第三章单晶生长辅助流程 (24)3.1 中途取晶 (24)3.2 回熔 (26)3.3 煅烧 (26)3.4 大清 (27)3.5 连接部位检查 (27)第四章相机调整与热场温度校正 (28)4.1 相机调整 (28)4.2 热场温度调整 (32)第五章异常情况处理 (33)5.1 断水 (33)5.2 电极故障 (33)5.3 打火 (33)附录故障速查 (34)第一章单晶生长条件1.1 设备要求1.1.1 运行条件（以下以TDR-85A-ZJS炉为例，其余炉型要求参照说明书）（1）冷却水要求水压：炉子进出水压差要求介于2~3公斤之间，真空泵进出水压差要求1.5公斤以上；炉子进水压力不可超过3.5公斤，炉子上冷却水安全阀设置压力6公斤；水流率：炉子和电源要求供水量不低于250升每分钟，单独电源要求供水量不低于20升每分钟；水温：推荐进水温度18~24oC，最大不超过25oC；水质：弱碱性水，PH值6~9；氯离子含量≤10ppm，碳酸钙含量≤50ppm；以纯净软水为好。
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第一章概述一、简介单晶炉加热电源，是通力盛达能源设备（北京）有限公司集多年智能开关电源开发经验，参照信息产业部行业标准，结合国内外供电状况和使用要求，设计、生产的高新技术产品。
可用于单晶硅，多晶硅加热场所。
单晶炉加热电源系统采用模块化设计、组合式结构，由整流器、交流配电、直流配电等部分组成。
单晶炉加热电源通过外部隔离的0-10V直流电压控制系统输出，与其对应系统输出电压为0-60V，或者对应系统输出功率为150KW（通过系统前面板上的开关SW1选择“电压调节”或“功率调节”方式）。
单晶炉加热电源智能开关电源系统采用DZY-48/50H(HE)开关整流器，系统最大容量为2800A。
开关整流器采用了数字化功率因数校正、智能控制检测、新型磁性材料等新技术，使用了良好的热设计、EMC设计和可靠性设计，使交流输入电压适应范围、功率因数、功率密度、电磁兼容性、可靠性、转换效率等主要技术指标达到了国际先进水平。
二、系统特点1．全数字化交错PFC创新控制的有限双极性控制ZVS全桥拓扑、倍整流拓扑、双单片机实现全数字监控。
2．系统整流器采用功率因数校正技术，使输入的交流电流波形与输入的交流电压波形相同，相位一致，整机效率高，节省能源，降低运营成本。
3．系统整流器采用高频PWM控制变换技术，一方面减少了开关器什在高频开关过程中的功率损耗，提高了整机效率；另一方面减少了电磁干扰，可将电源系统安装在程控机房内。
4．系统采用民主均流技术，提高了系统工作的稳定与可靠性，因而减少了设备日常的工作维护。
5．系统整流器采用智能风冷和水冷技术，冷却效果好，故障率低，可靠性高。
6．整流器采用无工频变压器设计，体积小、重量轻。
7．整流器体积小占用空间小，交直流配电结构合理，便于操作、维护。
8．整流器采用了热插拔技术，可以在线安装或更换整流模块。
9．系统具有完善的防雷保护措施。
10．系统结构融入了等电位设计理念，简单巧妙的达到机柜通体等电位的设计要求，同时也提高了电磁兼容性能和系统防雷能力。
11．系统整流器具有交流输入过压、交流输入欠压、直流输出限流与短路保护等保护功能。
12．系统具有远端控制和本地控制两种控制方式供选择，提高了可靠性；13．系统可根据用户给定信号线性调节输出电压或输出功率；14．系统具有模块故障、系统过温故障、远控故障、门禁故障、炉阻故障等故障信号的声、光报警以及故障信号的上传功能；15．系统可实时测量当前炉阻，在功率调节模式下，当炉阻因温度、老化等因素变化时，系统实时调节输出电压，保证系统恒功率输出；三、使用环境工作环境温度：-5℃～+45℃相对湿度：＜90％(40±5℃)；储存温度：-40℃～+70℃（试验温度）；大气压力：70KPa～106KPa。
海拔高度：≤3000m。
工作条件：交流输入：三相五线制一火线U、V、W；零线N；保护地线PE。
交流输入电压：三相304V~456V(线电压) 交流输入频率：45～65Hz。
起动电压适应范围：系统起动电压（相电压）≥160V，利电压在180V～290V范围内可额定电流输出，交流输入相电压在90V～180V范围内限流输出。
四、系统安全性1．绝缘电阻：在正常大气压条件下，环境温度为1 5℃～35℃，在不接入防雷器、整流器、控制器、系统前面板和系统隔离板时，试验电压为直流500V，交流部分和直流部分对地、以及交流部分对直流部分的绝缘电阻符合下述要求：在相对湿度≤65％环境中，绝缘电阻不低于 5 MΩ；在65％＜相对湿度≤90％环境中，绝缘电阻不低于2MΩ．2．抗电强度：在不接入防雷器、整流器、控制器、系统前面板和系统隔离扳时，交流配电部分各带电回路对地、交流电路对直流电路之间应能承受50Hz、2500V的交流电压lmin，无击穿、无飞弧现象，漏电流≤30mA；直流电路对地应能承受50Hz、有效值为1000V的正弦交流电压1min且无击穿或飞弧现象，漏电流≤30mA五、执行标准GB 3859.1-1993半导体变流器基本要求的规定；GB 4943-2001信息技术设备（包括电气事务设备）的安全；GB 9254-1998信息技术设备的无线电骚扰限制和测量方法；YD／T 282-2000通信设备可靠性通用试验力法；YD／T 585-1992通信用配电设备；YD／T 731-2002通信用高频开关整流器；YD／T 944-1998通信电源设备防雷技术要求和测试方法；YD／T 983-1998通信电源设备电磁兼容性极限值及测量方法；YD／T 1058-2007通信用高频开关组合电源；YD／T 1104-2001通信用开关电源系统监控技术要求和试验方法。
第二章电源系统一、主要技术指标1．输出：工作范围：OV~60V。
稳压精度：不超过直流输出电压整定值的±0.6％均流误差：开关整流器的输出电流在50％～100％的额定电流范围内时，其均分负载电流不平衡度小于额定电流的±5％；最大效率：单体开关整流器≥92％；音响噪音：≤55dB。
2．杂音电压：电话衡重杂音电压：≤2.0mV；峰-峰值杂音电压：≤200mV；二、基本工作原理图2-1是单晶炉加热电源组成原理图。
单晶炉加热电源采用三相五线制交流输入，交流配电单元将三相交流电配接为开关整流器所需要的单相电或三相电。
整流器把交流电整流稳压为稳定的直流电，所有整流器并联输出。
图2-1单晶炉加热电源原理图三、系统配置单晶炉加热电源最大容量配置：1. 整流器：SR4850-A 56台：2. 额定交流输入：AC220V/20A；额定直流输出：DC48V/50A 。
3. 交流配电：交流输入：交流接触器400A/3P，1路；C级防雷1件套；(标准配置)系统前面板的交流单相输入：1P空开(控制系统前面板和系统隔离板的运行与关闭) 4. 直流配电：直流输出通过铜排接至客户端阻性负载。
5. 机柜外形尺寸(宽×深×高)：900mmX 1000mmX 1600mm。
图2-1单晶炉加热电源外观图第三章交直流配电一、交流配电单晶炉加热电源交流配电标准配置为单路交流输入。
三相交流输入通过400A交流接触器接入电源系统(机柜内另有1P空开控制系统前面板的运行与关闭)，在系统前面板处于运行状态时，客户端通过无源开关量控制接触器的开启和关闭。
二、直流配电整流器将交流电整流稳压为直流电后送直流配电的正负汇流排供用户使用。
三、直流检测单元直流检测单元通过系统前面板和系统隔离板将0-60V直流输出电压转换为0-10v(或0-8V(相当丁0-75V对应0-10V信号)，通过改变用户接口接线排上的接线方式来实现)电压信号；将0-37.3mv(0-2500A，20度)直流输出电流信号转换为0-10V电压信号（或0-8.33V（相当于0-3000A，20度对应0-10v信号），通过改变用户接口接线排上的接线方式来实现）；将0-150KW输出功率转化为0-10v电压信号，供用户端口检测和显示．电源系统与用户控制柜的接口如下所示：第四章整流器一、主要技术指标1. 主要技术指标整流器主要技术指标如表4.12. 通用技术指标：a．稳压精度：不超过直流输出电压整定值的±O 6％。
b．电压调整率：不超过直流输出电压整定值的±0．1％。
c．电流调整率：不超过直流输出电流整定值的±O．5％。
d．均流误差：当整流器的输出电流在50％～100％的额定电流范围内时，其均分负载电流不平衡度≤±5％额定电流值。
e．可闻噪音：≤55dBf．杂音电压：电话衡重杂音电压：300Hz～3400Hz≤2.0mv。
峰一峰值杂音电压：0MHz～20 MHz≤200mV。
宽频杂音电压：3.4KHz～150KHz≤50mv。
g．绝缘电阻：在正常大气压条件下，相对湿度为90％，试验电压为直流500V时，整流器主回路的交流部分和直流部分对地、以及交流部分对直流部分的绝缘电阻均不低于5MΩ。
h．抗电强度：1. 交流电路对地能承受50Hz、1500V的交流电压1min，无击穿、无飞弧现象，漏电流≤30mA。
2. 直流电路对地能承受50Hz、750V的直流电压1min，无击穿、无飞弧现象，漏电流≤30mA。
3. 交流电路对直流电路能承受50Hz、3000V的交流电压1 min，无击穿、无飞弧现象，漏电流≤30mA。
i．其它保护功能：1. 路保护功能：当整流器直流输出电流大于11 O％额定输出电流时实施短路保护，降低输出电压，限流输出；故障消除，自动恢复正常工作。
2. 热器过温保护：当敞热器温度在1 10℃±lO℃范围时，整流器实施过温关机保护；故障消除，自动恢复正常上作。
二、工作原理开关整流器主要由输入滤波电路、缓启动电路、PFC有源功率因数校正电路、PWM高频开关DC-DC变换电路、检测控制和状态检测、智能通信接口、输出整流滤波电路等部分组成。
图4-1是开关整流器基本工作原理框图。
单晶炉加热电源配置的开关整流器均具有交流输入过压、交流输入欠压、直流输出过压、直流输出限流与短路保护等保护功能。
三、整流器外形整流模块的外形图如图4-2所示，前面板指示灯功能如表4-2所示.a、外观b、前面板c、后面板图4-2 整流模块的外形图表4-2 整流模块前面板指示灯功能指示标识正常状态异常状态异常原因正常指示灯（绿色）亮灭电源不工作闪亮后台监控对模块进行操作告警指示灯（黄色）灭亮交流输入过欠压，模块PFC输出过欠压，过温，模块不均流，限功率闪亮模块通讯中断故障指示灯（红色）灭亮输出过压，模块输出熔丝断闪亮模块风扇故障A．关于“告警”和“故障”信号灯：1．黄色“告警”或红色“故障”信写灯亮，除通讯故障外均按故障处理：2．当整流器与控制器间未构成通信时，该整流器的黄色“告警”信号灯将亮，不按故障处理。
B．安装方法1．将整流器按自然状态推入相应整流器位置；2．然后抬起把手，锁轴上移，将整流器插入中抽屉，使之接插牢靠。
C．中抽屉定义：将系统配置的整流器装入智能开关电源机柜。
第五章安装手册一、安全守则提示：1．这里所列注意事项都是有关安全的极重要的问题，敬请遵守。
2．设备安装应由专业人员严格遵照相关安装规定进行作业安装。
3如果安装不当，将可能造成火灾、触电等事故。
4如果调试不当，设备将不会正常运行。
请注意：1．安装设备的机房应符合“使用环境与工作条件”的要求。
2．安装设备的机房应能够承受相当的重量。
3. 机房应保持干燥，清洁，无可燃性气体泄漏!4．分别安装保护接地、工作接地，且应分散连接、集中接地。
5．按有关规定加工交流输入线利其它有关连线。
二、开箱检查根据装箱单检查核对设备主要配置、配件。
1．检查各部件表而是否完好、无损伤。