直拉单晶炉操作规程
单晶炉安全操作规范文
单晶炉安全操作规范文第一章总则一、为了确保单晶炉操作过程中的安全，保护操作人员的人身安全和设备设施的完整性，严禁违反以下规范进行操作。
第二章操作准备一、操作人员应熟悉单晶炉的工作原理和操作流程，并接受相应的培训，具备相应的操作证书。
二、在操作单晶炉之前，操作人员应检查设备设施的运行状态，确保各种传感器、仪表和防护装置正常工作。
三、操作人员应正确穿戴工作服、工帽、耐高温手套等个人防护用品，确保人身安全。
第三章操作要求一、在操作单晶炉之前，操作人员应对设备设施进行清洁和维护，确保工作区域干净整洁，无杂物和积尘。
二、操作人员应按照操作规程的要求，将晶体样品正确放置在单晶炉中，注意样品与加热器件之间的间距和接触情况。
三、操作人员应严格按照设备设施的规定参数进行操作，不得随意调整温度、压力等工作参数。
四、操作人员应定期检查、校准单晶炉的相关仪表和传感器，确保温度、压力等参数的准确性和稳定性。
五、操作人员在操作过程中应保持专注，不得做与操作无关的事情，严禁吸烟、喧哗和不文明言行。
六、操作人员应严格按照操作规程的要求进行操作，不得将不符合要求的物品或样品放入单晶炉中。
七、操作人员应定期清除单晶炉中的废渣和污垢，保持设备设施的清洁和正常运行。
第四章突发事件处理一、在操作单晶炉过程中，如发生异常情况或设备故障，操作人员应立即报告上级，停止操作并进行紧急处理。
二、在发生火灾或爆炸等突发事件时，操作人员应立即使用灭火器、消防水源等进行扑救，并迅速撤离现场。
三、在操作过程中如发生人员受伤或烫伤等意外事件，操作人员应及时寻求医疗救助，确保事故伤者的安全。
第五章作业结束一、操作人员在操作结束后，应及时关闭单晶炉，切断电源，并清理、整理工作区域，确保设备设施的安全和整洁。
二、操作人员应定期对单晶炉进行维护和保养，更换老化、损坏的零部件，确保设备设施的正常运行。
三、操作人员应将操作记录进行汇总、归档，保留一定时间并定期进行检查，以备日后参考和查询。
单晶炉安全操作规范本（二篇）
单晶炉安全操作规范本单晶炉是一种常用的实验设备，用于制备单晶材料。
由于单晶炉操作时涉及高温和化学品等危险因素，因此必须严格遵守安全操作规范，以确保操作人员和设备的安全。
本文将介绍单晶炉的安全操作规范，以便操作人员能够正确、安全地操作单晶炉。
一、单晶炉的基本安全要求1.操作前必须进行安全培训和了解单晶炉的使用说明书，熟悉单晶炉的结构和操作方法。
2.在操作单晶炉前，操作人员应穿戴好个人防护装备，包括耐高温手套、防护眼镜、密闭防护服等。
3.操作人员必须经过专业培训，熟悉单晶炉的操作流程和安全注意事项。
4.禁止解除或更改单晶炉的任何安全装置和警示标志。
5.操作完毕后，必须将单晶炉关闭并断开电源。
二、单晶炉的安全操作步骤1.准备工作（1）确认工作区域通风良好，避免操作时产生有害气体和粉尘积聚。
（2）检查单晶炉是否完好无损，是否有渗漏或损坏的地方，如有发现应及时维修或更换。
（3）确保操作人员佩戴个人防护装备，如眼镜、手套和防护服等。
2.操作单晶炉（1）打开电源前，检查电源线是否接触良好，以免发生触电事故。
（2）将电源插头插入电源插座，并将开关设置在关断状态。
然后按照设备使用说明书逐步启动。
（3）操作过程中，要注意监测单晶炉的温度和压力，并根据需要进行调节。
（4）严禁用湿手触碰单晶炉的电源或其他部分，避免发生触电事故。
（5）操作人员离开操作现场时，必须将单晶炉关闭并断开电源。
3.应急措施（1）在操作过程中，如果发生温度过高、压力异常、漏电等异常情况，应立即停止操作，并向相关人员求助。
（2）如果单晶炉发生泄漏或其他危险情况，应迅速将相关区域进行封锁，并通知相关人员进行应急处理。
（3）如发生火灾等紧急情况，应立即使用灭火器、灭火器等进行灭火，并迅速撤离现场。
三、常见安全问题和解决办法1.高温热辐射造成的危害：在操作单晶炉时，应注意避免接触高温表面，并确保工作区域有足够的空间和通风设备，以降低热辐射的影响。
2.化学品泄漏：操作人员在操作化学品时，应穿戴好防护装备，并确保操作区域通风良好，以防止化学品泄漏对人体造成伤害。
单晶炉操作规程
单晶炉操作规程《单晶炉操作规程》一、概述单晶炉是一种用于生产单晶硅片的重要设备，操作规程的制定是为了保障生产安全和产品质量。
本规程适用于单晶炉的操作人员，旨在规范操作流程，确保操作安全。
二、操作准备1. 检查设备及工具是否完好，如有破损或异常情况，应及时上报并维修。
2. 确认操作人员已经接受相关的培训和指导，对单晶炉的操作流程和安全要求已经了解。
3. 确认生产原料和辅助材料充足，且符合生产要求。
三、操作流程1. 打开单晶炉的主电源，等待设备启动并进入待机状态。
2. 对设备进行必要的预热和调试，确保各部件正常运转。
3. 将生产原料放入炉子内，按照工艺要求设置温度和时间等参数。
4. 监控单晶炉的运行情况，及时发现异常情况并进行处理。
5. 生产结束后，关闭单晶炉的主电源，清理设备及工作环境，做好设备的维护和保养工作。
四、安全措施1. 在操作单晶炉时，严禁离开工作岗位，如有特殊情况需要离开，应当先停止设备运行。
2. 在操作单晶炉时，必须佩戴相关的防护用具，严禁穿拖鞋、长发等不符合安全要求的服饰。
3. 在设备运行过程中，不得私自更改设备参数，如有需要，必须经过相关部门的批准和操作。
4. 如发现设备异常或者故障，应及时上报并采取相应的应急措施，确保操作人员的人身安全和设备的正常运行。
五、操作后的记录和检查1. 在每次操作单晶炉结束后，应当对设备的运行情况、生产情况和设备维护情况进行记录。
2. 定期对单晶炉进行设备的检查和维护，确保设备的正常运行和使用寿命。
六、结束语遵守单晶炉操作规程是操作人员的基本职责，也是保障生产安全和产品质量的重要保障。
希望每位操作人员都能严格遵守操作规程，做到安全生产，为公司的发展做出贡献。
单晶炉操作规范
冷检1.目的为单晶生产作业提供指导，规范操作，保证产品质量。
2.范围本作业指导书适用于拉晶岗位。
3.安全要求3.1单晶车间的安全注意事项1.车间内的机器设备，无操作资格者勿动。
2.未装磁场的单晶炉，操作人员要注意防范掉进炉子旁边的缝隙里，对于已经装上磁场的，要注意不要带手机、磁卡（如银行卡身、份证）等靠近。
也不能拿铁器、钢器靠近磁场，否则会造成人身伤害和设备损坏。
3.严禁在车间内打闹，上班时要杜绝擅离职守、睡觉等。
4.在副室与喉口间、炉盖与主室之间，只要存在可能压砸的地方，任何人严禁将身体的任何部位置于两者的空隙之间。
5.拉晶中的炉台，严禁任何人踩踏单晶炉的底盘或将身体靠在单晶和电控柜上，以免造成炉子震动或碰到电器开关。
3.2进入泵房的安全注意事项1.确保泵房照明，如果照明灯损坏，要及时更换。
2.必须保持泵房地面干燥和清洁，定期清扫泵房，如将油到地面上时，要及时打扫干净。
3.机械泵皮带必须安装防护罩。
4.清洁机械泵和换油时，必须在泵的电源开关上悬挂警示牌，工作完毕后取走警示牌。
5洗泵时严禁将杂物掉入机械泵腔内。
3.3拆装炉1.上班必须穿戴好劳保用品。
装炉时，还需戴口罩、手套等防护用品。
2.拆炉取晶时、注意不要被烫伤、划伤、碰伤。
3.晶体出炉后按指定地点摆放，并将晶体上多余的籽晶部份剪掉。
4.拆拿及安装石墨件时要戴上线手套。
3.4乙醇、丙酮的使用1.工业乙醇及有丙酮害、使用时，要注意防止其溅入眼内。
2.严禁用内酮擦拭密封圈！注意：乙醇和丙酮都是易燃物，应安全使用和妥善保管。
4.工艺流程5.4.1工艺流程图4.2过程控制4.2.1.1取晶体1、停炉5小时后须先进行手动热检漏并记录，（真空度<15mTorr）泄漏率应<15mTorr(0.55Pa/5min)。
泄漏率超出范围应报修。
手动热检漏操作步骤：在触摸屏上将电控系统退到手动状态，关闭供气管道上的手动球阀，将三个电磁阀全部打开，然后抽空到极限真空。
单晶炉操作规范
单晶炉操作规范单晶炉是一种用于制备单晶材料的设备，其操作规范对于获得高质量的单晶材料至关重要。
本文将详细介绍单晶炉的操作规范，包括前期准备、炉体操作、后期处理等内容，以确保单晶的质量和纯度。
一、前期准备1.检查设备：在操作单晶炉之前，应仔细检查设备的各项部分是否正常工作。
尤其要检查加热元件、温度控制器、压力传感器等关键部件是否完好，并进行必要的维护和保养。
2.准备辅助设备：根据需要，准备所需的辅助设备，如真空泵、气体流量计、温度计等。
确保这些设备的正常运行和准确度。
3.准备原料：按照工艺要求，准备好所需的原料，并进行质检，确保原料的纯度和质量符合要求。
4.清洁操作区域：在操作单晶炉前，应确保操作区域的清洁，避免任何可能污染单晶材料的物质进入操作区域。
二、炉体操作1.开机预热：按照设备厂家提供的启动程序，正确启动单晶炉，并按照设定的预热曲线进行预热。
在预热过程中，应注意炉体温度的逐渐升高，避免温度升高过快导致设备损坏。
2.气氛调节：根据所需生长的单晶材料，调节和控制炉体内的气氛环境。
通常包括真空、氧气、氮气等，要确保气氛环境的准确控制和稳定性。
3.温度控制：根据所需生长的单晶材料，设置炉体的温度。
在温度升高过程中，要严格按照曲线进行控制，并避免温度波动过大。
4.压力控制：在单晶生长过程中，需要对炉体内的压力进行控制。
根据工艺要求，设置压力传感器，并定期检查和校准。
5.观察和记录：在单晶生长过程中，要定期观察和记录炉体内的温度、压力、气氛等参数。
及时发现问题并进行纠正。
三、后期处理1.单晶取出：在单晶生长结束后，确保炉体温度降至安全范围后，进行单晶的取出。
注意防止单晶受到外界污染和损坏。
2.单晶清洗：取出的单晶应进行适当的清洗，以去除表面的杂质和污染物。
清洗方法应根据单晶材料的特性和用途进行选择，并遵守相应的操作规程。
3.单晶检验：对清洗后的单晶进行检验，包括外观、尺寸、纯度等方面的检查。
确保单晶的质量符合要求。
单晶炉的操作规程
单晶炉的操作规程单晶炉的操作规程之相关制度和职责,利用区熔单晶炉进行以下操作:1.清炉、装炉;2.抽空、充气、预热;3.化料、引晶;4.生长细颈;5.扩肩及氮气的充入;6.转肩、保持及夹持器释放;7.收尾、停炉清炉、装...利用区熔单晶炉进行以下操作:1.清炉、装炉;2.抽空、充气、预热;3.化料、引晶;4.生长细颈;5.扩肩及氮气的充入;6. 转肩、保持及夹持器释放;7.收尾、停炉清炉、装炉:(1)清洗整个炉室内壁及加热线圈、反射器、晶体夹持器、上轴、下轴,调整加热线圈和反射器的水平及与上轴、下轴的对中;将多晶料夹具固定到多晶料尾部的刻槽处,然后将其安装到上轴末端,进行多晶料的对中;将籽晶装入籽晶夹头上,然后将其安装到下轴顶端;关闭各个炉门,拧紧各紧固螺栓;(2)抽空、充气,预热:打开真空泵及抽气管道阀门,对炉室进行抽真空,真空度达到所要求值时,关闭抽气管道阀门及真空泵,向炉膛内快速充入氩气;当充气压力达到相对压力1bar-6bar时,停止快速充气,改用慢速充气,同时打开排气阀门进行流氩;充气完毕后,对多晶硅棒料进行预热,预热使用石墨预热环,使用电流档,预热设定点25-40%,预热时间为10-20分钟;(3)化料、引晶:预热结束后,进行化料,化料时转入电压档,发生器设定点在40-60%;多晶料熔化后,将籽晶与熔硅进行熔接,熔接后对熔区进行整形,引晶;(4)生长细颈:引晶结束后,进行细颈的生长,细颈的直径在2-6mm,长度在30-60mm;(5)扩肩及氮气的充入:细颈生长结束后,进行扩肩,缓慢减少下速至3±2mm/min,同时随着扩肩直径的增大不断减少下转至8±4rpm,另外还要缓慢减小上转至1±0.5rpm;为了防止高压电离,在氩气保护气氛中充入一定比例的氮气,氮气的掺入比例相对于氩气的0.01%-5%;(6)转肩、保持及夹持器释放:在扩肩直径与单晶保持直径相差3-20mm时,扩肩的速度要放慢一些,进行转肩,直至达到所需直径,单晶保持,等径保持直径在75mm-220mm,单晶生长速度1mm/分-5mm/分,在扩肩过程中,当单晶的肩部单晶夹持器的销子的距离小于2mm时释放夹持器,将单晶夹住;(7)收尾、停炉:当单晶拉至尾部,开始进行收尾,收尾到单晶的直径达到Φ10-80mm,将熔区拉开,这时使下轴继续向下运动,上轴改向上运动,同时功率保持在40±10%,对晶体进行缓慢降温。
单晶炉安全操作规范本
单晶炉安全操作规范本一、总则单晶炉是用于生产单晶材料的关键设备之一，为保障生产操作的安全性，保障生产人员的人身安全，特制定本安全操作规范本。
本规范适用于使用单晶炉进行操作的所有人员。
二、操作前准备1. 操作人员必须接受相关安全培训，并严格按照培训要求进行操作。
2. 操作人员必须佩戴符合要求的个人防护装备，包括防护眼镜、防护手套、耐酸碱服装等。
3. 在操作前，应仔细查看单晶炉设备是否正常，如有异常应立即报告维修人员进行检修。
4. 操作人员禁止穿戴松散的衣物或裸露皮肤接近单晶炉。
三、操作过程1. 操作人员在操作单晶炉前，应首先确保电源已经断开，避免电器故障引发的安全事故。
2. 在操作过程中，严禁使用有火焰或火花的工具，防止因火源引发燃烧或爆炸事故。
3. 操作人员需要按照操作手册的要求进行操作，不得随意更改操作参数或步骤。
4. 当发生异常情况时，操作人员应立即停止操作，并向上级汇报，等待技术人员进行处理。
5. 操作人员在操作过程中应保持警觉，随时注意周围环境和设备状况，及时发现并排除潜在的安全隐患。
6. 在操作过程中，严禁将杂物放置或堆放在单晶炉周围，保持工作区域的整洁。
7. 操作人员在操作过程中，不得随意离开岗位，必要时需请假或寻找替班人员。
8. 操作人员在操作过程中如遇到可能影响安全的情况，如异常冒烟、异味等，应立即向上级报告并采取必要的紧急措施。
9. 操作结束后，应切断电源，清理工作区域，确保设备和周围环境无安全隐患。
四、紧急情况处理1. 当发生火灾时，操作人员应立即按照紧急预案进行处理，如启动灭火设备、疏散人员、报警等。
2. 当发生人员伤害事故时，其他人员应立即采取紧急救助措施，并同时呼叫救护车。
3. 当发生气体泄漏等化学品安全事故时，相关人员应立即采取紧急措施，如停止泄漏源、疏散人员、报警等。
五、设备维护1. 定期对单晶炉进行检修和维护，确保设备正常运行。
2. 维护时必须切断电源，进行必要的安全防护措施，并由专门人员进行操作。
单晶炉操作规范
单晶炉操作规范第一章-引言1.1本文档旨在规范单晶炉操作流程，确保操作安全、产品质量和生产效率的提高。
1.2单晶炉的操作人员必须熟悉本文档的内容，并在操作过程中严格遵守规定，否则产生的后果自负。
1.3本文档适用于所有单晶炉操作环节，包括预处理、晶体生长、退火和冷却等。
第二章-操作前准备2.1操作人员必须穿戴符合安全要求的防护装备，包括耐高温手套、护目镜和耐酸碱服装等。
2.2检查设备状态，确认温度计、计时器、传感器等仪器设备正常工作。
2.3检查炉内外温度，确保温度达到操作要求。
2.4检查流程控制系统，确认设定参数正确，并与实际参数一致。
2.5查看操作记录，了解前期操作情况，排除潜在安全隐患。
第三章-预处理3.1清洁单晶炉炉膛，去除残留物和污渍。
3.2检查和更换必要的密封件，确保炉内外密封完好。
3.3检查加热元件是否存在损坏和老化现象，如有发现，及时更换。
3.4预热单晶炉，升温到预定温度，并保持一段时间，为晶体生长做好准备。
第四章-晶体生长4.1准备晶体生长所需材料和试剂，确保纯度和数量符合要求。
4.2将材料和试剂按照比例混合，并搅拌均匀。
4.3将混合材料放入预热的单晶炉中，并设定生长参数，如温度、压力、速度等。
4.4开始晶体生长，监控生长过程的关键参数，并做好记录。
4.5定期检查晶体生长过程中的温度、压力和流量等参数，确保生长过程的稳定性。
第五章-退火5.1晶体生长结束后，将晶体放入退火炉中，设定适当的退火参数。
5.2确保退火炉内外的温度均匀分布，不得有明显的温度梯度。
5.3控制退火过程中的加热速度和保温时间，确保晶体内部结构的完善。
5.4定期检查退火过程的关键参数，如温度、压力和冷却速度等，确保退火效果。
第六章-冷却6.1退火结束后，将晶体从退火炉中取出，放置在冷却器中。
6.2控制冷却器的温度和冷却速度，避免晶体过快冷却引起热应力。
6.3冷却过程中，注意观察晶体表面是否出现裂纹或变色等异常情况。
单晶炉设备操作规章制度及流程
单晶炉设备操作规章制度及流程下载温馨提示:该文档是我店铺精心编制而成，希望大家下载以后，能够帮助大家解决实际的问题。
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单晶炉操作规程及技术规范
第二章单晶炉操作规程及技术规范1、目的为正确、规范地操作单晶炉，确保生产作业正常，特制订本规范。
2、适用范围适用于华盛天龙新、老80、85型单晶炉的操作。
3、单晶炉操作工艺流程作业准备→热态检漏→取单晶和籽晶→石墨件取出冷却→真空过滤器清洗→真空泵油检查更换→石墨件清洗→单晶炉室清洗→石墨件安装→石英坩埚安装→硅料投炉→籽晶安装→抽空、检漏→充氩气、升功率、熔料→降功率→取肩测电阻→掺母合金→引晶、缩细颈、放肩、转肩→等径生长→收尾→降功率、停炉冷却4、主要内容A. 作业准备a. 进入单晶车间须穿戴好洁净工作服、鞋。
b. 开炉前，按工艺要求检查水、电、气，确认无误后方能开炉。
c. 准备好一次性洁净手套、耐高温手套、毛巾、纸巾、研磨布、酒精、吸尘刷、吸尘管、防尘口罩。
d. 准备好钳子、扳手和各类装拆炉专用工具。
e. 取单晶的架子、装石墨件的不锈钢小车、装埚底料的不锈钢盆和装硅料的不锈钢小车，并处理干净。
f. 用毛巾将炉体从上到下擦一遍，擦洗时注意不要将所有控制接线及开关碰断或碰坏，并把炉子周围清扫干净。
B. 热态检漏a. 检查上一炉功率关闭时间，在单晶冷却3.5小时（80型单晶炉）、3.5小时（85型单晶炉）后，关闭氩气（只关闭氩气阀门.主、副室流量计调节阀打开并分别调节到30L/Min），开始抽高真空，并作时间记录。
4.5小时后取单晶棒。
b. 待炉内压力到达极限（要求达到3Pa以下）后，先关闭主室球阀而后关闭真空泵电源进行检漏，并作相应时间记录。
若0.5小时内抽不到3Pa以下时，交有关维修人员处理，在此期间须配合有关维修人员进行装拆炉，并作相关记录。
c. 检漏要求3分钟以上，漏气率<0.34Pa/min为正常，同时作好漏气率记录，若漏气率＞0.34Pa/min时，交有关维修人员处理，在此期间须配合有关维修人员进行装拆炉，并作相关记录。
C. 取单晶和籽晶a. 热态检漏后，旋松副室小门4个螺丝，打开氩气阀门充氩气至常压，关闭氩气，旋开副室小门4个螺丝，打开副室小门。
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夏津县奥德新能源有限公司
直拉单晶炉操作规程
版本/修订0 文件编号：AD-ZY-DJ-07-2010
1 目的
为了使单晶制造厂直拉单晶炉操作工熟练掌握单晶炉，使生产正常运行。
2 适用范围
单晶制造厂所有单晶操作工。
3 内容
3.1 拆炉
3.1.1 准备
确认停炉冷却时间达5h，准备好钳子及取晶筐，向炉内充Ar气，确认炉内为常压时，副室门打开，关闭Ar 流量计启动液压，升起副室筒，稳住晶体轻推左旋副室，晶体筐对准副室筒口，按下晶快降速按钮。
将晶体安全降入筐内，手扶籽晶夹头，用钳子将细颈处剪断，手扶夹头，待钢丝绳拧力全部消失后取籽晶，重锤升进副室内启动液压升起炉盖。
左旋至副室筒下。
3.1.2 炉子清扫
3.1.2.1 戴好工作帽，口罩及专用手套，准备好酒精,吸尘器，无尘纸及放石墨件的不锈钢
车。
3.1.2.2 依次取出导流筒及上保温盖，先取掉热偶升起主炉室向右旋出，取出上保温筒石
英坩锅及埚底料，并放入到不锈钢桶内到指定的地方，锅底料应写清炉号及炉次。
注意：1：石墨件不能用手接触。
2：小心锋利的石英锅碎片和锅底料扎伤手指。
3：石英碎片和锅底料渣不要掉入轴波纹管及加热器缝隙内。
3.1.2.3 每炉必须在取下晶棒后及时清理过滤罐、过滤网， 3炉大清炉，每炉管道。
注意：清理过滤罐和管道，具有自燃的现象不能造成人生事故和将密封圈烧坏的
现象，所以拆除的地方必须用酒精擦净密封圈并装好。
保证密封圈的完好。
3.1.2.4 戴好一次性手套，采取自上而下的原则，清扫副室筒及炉盖，用专用工具沾上酒
精，一圈一圈的仔细擦拭副炉筒。
注意：长棍不要和钢丝绳绕在一起，用纸巾沾上酒精擦炉盖顶上密封圈及翻板阀，密封圈并保证密封较进槽无误。
3.1.2.5 主炉清扫
戴好一次性手套用吸尘器与毛刷先刷净附着在主炉室的挥发物，吸净加热器托盘，
炉底。
注意：加热器电极螺丝是否松动，炉底排气孔是否畅通。
用沾有酒精的纸巾把主
炉室及密封圈擦拭干净。
3.1.2.6 石墨件的清扫
吸净导流筒，保温罩，三瓣埚，用纸巾沾少量的酒精反复擦拭直至无污物。
文件编号：AD-ZY-DJ-07-2010
3.1.2.7 石墨件的装炉
A 埚杆装好后要拧紧螺丝，埚杆要平稳无跳动。
B 三瓣埚装入后要平稳
3.1.2.8 检查真空泵油位是否在2/3处
3.1.2.9 检查真空泵油是否干。
3.2 装炉
3.2.1 准备
戴好口罩，帽子，打开石英埚包装，取出石英埚，对光。
3.2.2 装料
用较小的料3-5㎏铺平埚底，大块料置于中间，用适当的料固定，小块料填缝，将母合金全放入中间用料盖住，最后吸净周围料渣。
注意：(1)小块料，小片料不能掉入加热器上，以防打火。
(2)放料时要轻，不能碰坏石英埚。
(3)装料时，周围空气环境要好，尽量不要造成污染。
3.3 合炉
3.3.1 料装好后，埚转开启2-3转/分，确认无短路的可能，快速降至埚下限位，应注意低
于平口位置100㎜为宜，以防下限位失灵而造成损失，关闭埚转
3.3.2 放导流筒后不要与硅材料接触
3.3.3 用酒精纸巾擦干净重锤，确认籽晶型号及晶向后，将籽晶装在夹头上，稍向下拉防
止籽晶在等径时下坠，将籽晶升入炉筒内合炉，并关闭液压泵。
3.4 抽空
3.4.1 抽空前检查冷却水压力不低于1.5㎏，确认泵无异常，所有操作过程无遗漏的程序。
按主室泵按钮2-3次运转1-2分钟，确认无异常，慢慢打开排气球阀，先打开1/3程度至压力表降到一半时，打开全部，开始抽出。
3.4.2 其次测量表数字下慢时，打开AR流量计，使AR气以30L/分的速度流入炉内，5 分
钟关闭，反复操作，使炉内真空抽至4帕以下为止。
3.4.3 关闭球阀，检查泄漏，以5分钟不大于1帕为合格，准备加热。
注意：真空不到4帕以下不加热，一般抽出需20~40㎜，抽出时为取下的晶体刻号，填写锅底料号日期，清扫炉台卫生。
3.5 溶料
3.5.1 打开AR流量开关，使炉内压力为800帕左右
3.5.2 打开加热开关，按以下时段升温
时间：0min 30min 60min
30KW 60KW 90KW
3.5.3 化料过程中注意观察炉内情况，观察电流电压是否正常，若有搭桥现象，要保持更
大的功率，使其熔化，有异常要采取措施。
3.5.4 料塌后要稍加锅位，锅转打到1转,注意液面与导流筒保持一定的距离，化硅完了，
降低功率，到引晶功率，埚升到引晶埚位，温度稳定，将欧陆表切入“自动”。
文件编号：AD-ZY-DJ-07-2010
3.5.5 给定埚转 5r/min 晶转8r/min
6r/min 10r/min
8r/min 12r/min
降下籽晶测试一下温度，校准单晶生长控制器的各参数。
3.6 引晶、放肩、转肩
3.6.1 引晶
调整欧陆表温度至引晶温度,先把晶转打开,晶转8r/min; 10r/min; 12r/min降籽晶与熔硅接触，发现有光圈出来把锅转调至给定埚5r/min ; 6r/min; 8r/min发现有四条棱出现方可引晶。
(或者:3min后根据光圈情况调整温度，合适时方可引晶，不合适时，10min后引晶。
)
3.6.1.1 打开晶开电源，晶升计长清零，开始引晶初始晶升拉速1-1.5㎜/min，温度合适
后，拉速1.5-6㎜/min,引晶30㎜后一般拉速2~6㎜/min,细颈直径3~4㎜为宜，
细颈长度120~150㎜以上，视细颈直径而定。
目的使位错全部消失。
注：找温度要有耐心，不要反复调节温度缩晶断，要重新接触好光圈，方可缩晶。
3.6.1.2 放肩
缩细颈结束后，将拉速调整到0.4㎜/min进行放肩。
降欧陆SP以降低温度放平肩
随时用测经仪测量直径大小。
3.6.1.3 转肩
距目标直径5㎜左右时，将晶升调至1.5~2.8㎜之间转肩。
转肩时拉速不应过快，
根据转肩情况，慢慢降拉速到设定的拉速(1.15)，降低温度，把埚身;埚跟比;埚
升电源打开;sl/cl曲线打入自动,同时计长清零，埚位清零。
调整伊尔根光圈，压
入光圈1/3之内(规定的目标直径)，调整温度与拉速。
准备投入自动控制。
3.7 等径、收尾
3.7.1 等径
转肩完成后，对拉晶状态进行10min后观察，确认正常后切入自动，认真仔细做好各项拉晶记录。
隔30min记录一次，等径部分用计算机控制器输入参数进行控制，这些数据根据能够的种类，直径及装料量不同，有差异，拉晶变更时，进行修正。
3.7.2 等径断棱
根据残留料的量确定控制方法以6寸投料55㎏为例，等径大于260㎜以上收尾炉内冷却5小时后取出，等径小于260㎜，需做回熔处理从第一次上拉开始到最后一次转肩结束时间超过48H，需要做吊料处理时，请示相关领导。
注意：熔时晶体不易降入太多，防止晶体与石英坩埚相碰撞,防止夹头松动造成拉晶影响;液面与晶体熔断后，再降晶时,若杂质或不熔时要进行拉出一点料处理。
3.7.3 收尾
当晶体达到预定程序或埚内料太少时退出自控进行收尾。
文件编号：AD-ZY-DJ-07-2010
根据收尾情况，慢慢地降下，随动调整收尾晶升，收尾长度应为晶体直径大小，收尾过程中多观察杜绝断尾。
3.8 停炉\冷却
确认收尾完成后，按埚降快慢按钮使晶体与液体面脱离30㎜，停埚转降温分两次降完，间隔30分钟，保持晶升2㎜/min，从结晶面升起1.58㎜后关闭拉速。
4 本规程由单晶制造厂起草/编制/修订。
编制：审核/会签：批准：。