离线Low-E镀膜生产线真空系统设计
在线、离线LOW-E镀膜玻璃对比
在线、离线LOW-E镀膜玻璃对比徐兵中国南玻集团吴江南玻华东工程玻璃有限公司江苏·吴江（215222）摘要：本文通过生产工艺、产品性能，市场应用三方面对在线、离线LOW-E镀膜玻璃进行对比，整体上阐述在线和离线这两大类LOW-E镀膜玻璃的市场定位，以此判断LOW-E镀膜玻璃的应用方向。
关键词：在线LOW-E镀膜玻璃，离线LOW-E镀膜玻璃，市场分析前言自1965年开始，大板面玻璃镀膜加工因新工艺和新设备的出现逐步得到了发展。
Libby Owens Ford(LOF)建起了第一条大规模真空镀膜生产线。
之前，建筑玻璃的镀膜采用需要将玻璃基片加热的气相沉积法，该法会引起玻璃变形，或者采用化学沉积法，该法生产的膜层均匀性、耐久性差。
1973年，Airco发明了磁控溅射镀膜工艺。
1977年10月, Airco为Guardian公司建造了第一条磁控溅射镀膜线。
1982年，美国Guardian公司率先推出了银基低辐射膜层。
之后，Low-E玻璃（即辐射率ε≤0.15的镀膜玻璃）逐渐成了优级窗的标准配置。
1987年，LOF推出了在线Low-E镀膜玻璃产品，至此，Low-E镀膜玻璃生产正式发展成为在线、离线两种工艺方式。
以下，将从生产工艺、产品性能，市场应用对在线、离线Low-E镀膜玻璃进行分析，确定这两类产品的市场现状及未来趋势。
一．生产工艺“在线”系指在浮法玻璃生产线上利用高温热解法生产镀膜玻璃，高温热解法又分为热喷涂和化学汽相沉积法(CVD)，目前多采用CVD法。
镀膜实施的部位，可以在浮法玻璃生产线的锡槽、过渡辊合或退火窑前端，反应的温度在400～700℃之间，如图1所示。
一般在热的浮法玻璃表面要镀多层膜，这些膜包括介质膜和功能膜。
多层膜的复合使低辐射镀膜玻璃既有低辐射功能，又不产生干涉虹彩。
为了保证膜层均匀，必须严格控制玻璃板面温差，同时控制反应气流稳定。
在此前提下，才有可能生产出高质量的低辐射镀膜玻璃。
离线低辐射镀膜玻璃产品使用说明书
离线低辐射镀膜玻璃产品使用说明书1 产品简介离线低辐射镀膜玻璃，简称离线Low-E。
是采用世界先进的离线磁控真空溅射镀膜工艺，以优质浮法玻璃为基片制备的含有一层金属银层，辅以多层耐腐蚀、耐高温能力强的保护膜，具有反射中远红外热辐射、低的传热系数K值、较低的太阳红外热能总透射比，从而具有优异的保温隔热性能。
精确控制的多膜系匹配技术，使得该产品清透，雾度极小，热稳定性好，可进行热弯、钢化、半钢化或弯钢化等热处理。
钢化后的玻璃必须加工成中空玻璃才能使用，使得节能效果最佳。
1.1 产品规格(mm)：2140×3660 2440×3660 2200×36602440×3300 2200×3300 2134×33002140×16601. 2 厚度(mm)：4mm、5mm、6mm、8mm、10mm、12mm、15mm、19 mm1. 3 颜色系列：净色、浅蓝、蓝灰、福特蓝、威海蓝、深绿等。
特殊规格、厚度、颜色可根据用户需求，提供定制。
2 产品深加工2. 1 运输及存放2. 1.1在运输及存放过程中，产品的包装及内部必须防水；保证玻璃包装内外的温度一致，防止结露。
2. 1.2存放产品的环境及地点要干燥、通风，防止淋雨、流水等；不能置于阳光下暴晒，防止玻璃受热破损。
2. 1.3使用升降设备搬运时，必须采取有效措施防止玻璃边部受损。
2. 1.4玻璃产品必须防止猛烈的或持续的撞击。
2. 2 切割2. 2.1开箱前请检查包装是否有漏气现象，核实生产日期，确认无异常后方可进行深加工生产。
2. 2.2切割台面必须始终保持干净，请按照包装箱上箭头标示方向开包，膜面朝里放置于切割架上。
搬运玻璃时膜面朝向身体外侧，防止衣物磨蹭膜面；注意：每箱最后一片产品膜面方向与其它片相反，切割之前请进行翻转，以确保产品膜面切割时向上。
2. 2.3操作人员必须戴好干净、干燥的无尘白纱手套、口罩及护腕等劳保用品；长发女性要戴帽子，以免头发卷入设备中。
真空膜做离线LOW
真空膜做离线LOW随着现代社会的发展，人们的环保意识日渐增强。
在建筑玻璃领域中，首先考虑的是节能问题。
现代建筑在强调整体美观、精致舒适的同时，也竭力追求自然采光、节能环保等绿色时尚品质，并已成为当今世界范围内玻璃加工领域的一大亮点，在这种情况下，离线LOW-E（或双银，三银）玻璃应运而生。
不同的环境针对不同的设计师其设计理念各有千秋，造成对离线LOW-E（或双银，三银）玻璃的组合也各有不同的要求。
目前有很多厂家反映离线LOW-E（或双银，三银）玻璃夹胶玻璃非常难加工，特别是对夹胶离线LOW-E（或双银，三银）面在外的玻璃感到刺手。
针对这一问题经过我们不断地努力和各个玻璃深加工厂家的实践，已摸索出一套成熟的离线LOW-E（或双银，三银）玻璃夹胶的制作方法。
下面就这一方法简单地做一下介绍：1.做之前首先应按离线LOW-E（或双银，三银）玻璃的工艺要求检查其清洗机上毛刷有无安装软毛刷辊，即离线LOW-E（或双银，三银）玻璃专用清洗毛刷辊。
2.检查清洗机有无安装离子水系统和加热系统，电导率应小于30μS，水温控制在50℃以上。
3.检查合片室内环境是否满足温度18-25℃，湿度18-25％HR.4.检查蒸压釜内部是否安装有抽真空系统。
5.该公司有无使用过夹胶玻璃专用高温真空膜（若没有可向本公司：许工/139********咨询）。
若以上条件满足即可开展如下操作：1.在滚压机的上压辊上裹上夹胶玻璃专用高温真空膜，并检查有无裹平整，确保无褶皱。
目的是确保离线LOW-E （或双银，三银）玻璃的膜面不被上压辊划伤或压出辊印。
2.在做离线LOW-E（或双银，三银）夹胶玻璃时辊压机的加热仓温度设定要比做普通玻璃时略高一点，加热时间也相应的长一些。
3.把辊压好的离线LOW-E（或双银，三银）夹胶玻璃装入真空袋开展冷抽，同时应确保玻璃的离线LOW-E（或双银，三银）膜面的干净。
不要留有手印或毛发等。
并检查离线LOW-E（或双银，三银）面上的真空膜有无褶皱。
离线Low加工须知
离线Low-E镀膜玻璃工艺深加工须知第一章前言随着现代社会的发展，人们的环保意识日渐增强。
在建筑玻璃领域中，首先考虑的是节能问题。
现代建筑在强调整体美观、精致舒适的同时，也极力追求自然采光、节能环保等绿色时尚品质，并已成为当今世界范围内玻璃加工领域的一大亮点。
在这种情况下，Low-E玻璃应运而生，各种Low-E玻璃率先在欧美等发达国家出现，随即应用在各色建筑中，取得了预期的良好效果。
并成为当今玻璃市场的热点和主要发展方向之一。
Low-E玻璃，即Low Emissivity Glass 的简称，即低辐射玻璃。
它是一种镀膜玻璃，这种玻璃不但可见光透过率高，而且具备很强地阻隔红外线的特点，能够发挥自然采光和隔热节能的双重功效。
使用后可以有效地减少冬季室内热量的外散流失，在夏季也能阻隔室外物体受太阳照射变热后的二次辐射，从而发挥节能降耗目的。
同时，Low-E玻璃在可见光波段具有较高的透过率，可以室内更多地利用自然采光，迎合了现代都市人普通追求自然回归自然的心理愿望，又节省了照明用电。
Low-E玻璃按照生产制造工艺方式分为在线Low-E玻璃和离线Low-E玻璃两种。
在线Low-E玻璃是在浮法玻璃生产线上，通过设备改造，采用化学气相沉积工艺和专用材料在浮法生产线上的玻璃带表面形成一层具有低辐射性能的功能膜。
而离线Low-E玻璃一般采用真空磁控溅射镀膜工艺，在玻璃表面镀制多层复合膜，实现Low-E 功能。
膜层中主要功能膜层一般为银膜，其它膜层为辅助膜，起加强连接、保护主膜等作用。
节能是Low-E玻璃最主要的特性，也是使用者最关心的技术指标。
Low-E玻璃一般做成中空玻璃的产品形式，应用于建筑中。
流行的做法是：钢化Low-E中空玻璃，既安全又节能。
将Low-E与中空这两节能形式合二为一，真可谓珠联璧合，相形益彰。
整体来说，使用Low-E玻璃可以比相同结构的非Low-E玻璃产品节能40-50%。
按照节能性能高低相比，离线Low-E玻璃节能高于在线Low-E玻璃约8%左右，因而节能指标稍高的高档建筑一般采用离线Low-E玻璃才能满足要求。
在线镀膜玻璃和离线镀膜玻璃生产方法
目前两种LOW-E玻璃生产方法：1）在线高温热解沉积法：在线高温热解沉积法“LOW-E”玻璃在美国有多家公司的产品。
如PPG公司的Surgate200，福特公司的Sunglas H.R“P”。
这些产品是在浮法玻璃冷却工艺过程中完成的。
液体金属或金属粉沫直接喷射到热玻璃表面上，随着玻璃的冷却，金属膜层成为玻璃的一部分。
因此，该膜层坚硬耐用。
这种方法生产的“LOW-E”玻璃具有许多优点：它可以热弯，钢化，不必在中空状态下使用，可以长期储存。
它的缺点是热学性能比较差。
除非膜层非常厚，否则其“u”值只是溅射法“LOW-E”镀膜玻璃的一半。
如果想通过增加膜厚来改善其热学性能，那么其透明性就非常差。
2）离线真空溅射法：离线法生产LOW-E玻璃，是目前国际上普遍采用真空磁控溅射镀膜技术。
用溅射法可以生产“LOW-E”玻璃的厂家及产品有北美的英特佩公司的“LnplusNetetralR”,PPG公司的Sungatel00，福特公司的SunglasHRS等。
和高温热解沉积法不同，溅射法是离线的。
且据玻璃传输位置的不同有水平及垂直之分。
溅射法工艺生产“LOW-E”玻璃，需一层纯银薄膜作为功能膜。
纯银膜在二层金属氧化物膜之间。
金属氧化物膜对纯银膜提供保护，且作为膜层之间的中间层增加颜色的纯度及光透射度。
垂直式生产工艺中，玻璃垂直旋转在架子上，送入10-1帕数量级的真空环境中，通往适量的工艺气体（惰性气体Ar或反应气体O2、N2），并保持真空度稳定。
将靶材Ag、Si等嵌入阴极，并在阴极垂直的水平方向置入磁场从而构成磁控靶。
以磁控靶为阴极，加上直流或交流电源，在高电压的作用下，工艺气体发生电离，形成等离子体。
其中，电子在电场和磁场的共同作用下，进行高速螺旋运动，碰撞气体分子，产生更多的正离子和电子；正离子在电场的作用下，达到一定的能量后撞击阴极靶材，被溅射出的靶材沉积在玻璃基片上形成薄膜。
为了形成均匀一致的膜层，阴极靶靠近玻璃表面来回移动。
在线与离线Lowe玻璃
在线与离线Low-e玻璃1、生产工艺在线Low—E玻璃是在浮法玻璃生产过程中，在热的玻璃表面上喷涂上以锡盐为主要成分的化学溶液，形成单层具有一定低辐射功能的氧化锡（SnO2）化合物薄膜而制成的。
离线Low—E玻璃是在专门的生产线，用真空磁控溅射的方法，将辐射率极低的金属银（Ag）及其它金属和金属化合物均匀地镀在玻璃表面而制成的，它至少由四层膜构成。
2、品种及外观在线Low—E玻璃品种单一，受浮法玻璃规模生产的限制，目前只有6mm厚，无色透明的一种品种。
离线Low—E玻璃品种多样，根据不同气候特点可以制作高、中、低多种透过率产品，并且颜色上有银灰、浅灰、浅蓝和无色透明等，用着色玻璃还可制作绿色等其他多种颜色。
厚度从3～12mm都可制做。
3、性能参数在线Low—E玻璃的光谱呈现氧化锡导电膜的特征，而离线Low—E玻璃的光谱呈现银和氧化锡复合膜的特征，二者对可见光都有良好的透射，而对近红外光后者比前者具有高得多的反射，对远红外辐射后者比前者吸收少、反射高。
因此，与在线Low—E玻璃相比，离线Low—E玻璃具有低的遮阳系数和低的传热系数。
见附件表说明：参数性能表中的数据是用实际测量并经国际公认的W4软件计算得出。
表中仅提供了南玻的一种品种，其他品种请见南玻集团的产品说明书。
U值是除太阳直接辐射以外所有热量的传热系数，分夏季U夏值和冬季U冬值。
Sc是玻璃的遮阳系数，它衡量玻璃对太阳直接辐射的遮蔽作用。
4、节能性夏季透过玻璃传输的热量：Q夏＝U（T外－T内）＋630Sc (w/m2) 冬季透过玻璃传输的热量：Q冬＝U（T外－T内）(w/m2) 上述在线Low—E（型号SG500）中空玻璃组件，夏季传入室内和冬季传出室外的热量分别为：Q夏=2。
40×（35－20）+630×0.72=489.6w/m2 Q冬=2。
17×（－5－20）=－54。
3w/m2（负数说明热量由室内向室外传输）上述离线Low—E玻璃（型号CEB11）中空玻璃组件，夏季传入室内和冬季传出室外的热量分别为：Q夏=2。
威海蓝星开发遮阳型离线LOW—E镀膜玻璃
复 多次使用。 智能陶瓷系统 ， 电陶瓷最重要品 类。 已经普及使用及正 压 现 拟开发研制压电类智能 陶瓷制 品及材料系统如 下： 汽车减震装置 ： 利用智能陶瓷产品正压 电效应 、 逆压电效应研制 出 智能减震器 ， 具有识别路面并 自我调节功能 ， 可将粗 糙路面对汽车形成 震动减到最低限度 ， 整个感知与调节过程只需要 ２ Ｏ秒 。另外 。 采用智能 陶瓷材料 制成减 震装置还可以推广应 用汽车产 品之外领域， 如使用到精 密加工稳 固工作平台等。 ， 汽车 智能雨刷 ： 利用钛酸 钡陶瓷压阻效应制成智能 陶瓷雨刷 ， 可以 自动感知雨量 ， 自动将 雨刷调 节到最佳速度。
Ｌ Ｗ— 镀膜玻璃。高透型 Ｌ Ｗ— 玻璃具有较高的可见 光透过率 ； Ｏ Ｅ Ｏ Ｅ 较高的太阳
ｆ ； 近 来， 联 泥 阳 公 高 视 技创 知 产 年 中 水 南 分 司 度重 科 新和 识 ｉ权工 ， 大 技 新 金 投入 度， 支 和 励 业 《 作 加 科 创 资 的 力 大力 持 鼓 企 员
一
、
到低散热 目标 ， 可对发动机燃烧室部件进行陶瓷喷涂 ， 活塞顶喷氧化 如 锆， 缸套喷氧化锆 。 经过这种处理发动机可 以降低散热损失、 减轻发动机 自身质量 、 减小发动机尺寸、 减少燃油消耗量。 六、 智能 陶瓷材料汽车应 用 作 为特种陶瓷产品分类智能陶瓷材料 ， 其包括汽车制造使用对环境 敏感且能对环境变化作出灵敏反应材料 ， 目前已成 为材料科学及工程领 域研究焦点。 汽车上使用智能 陶瓷产 品， 包括功能材料 、 驱动系统与反馈系统相 结合智能材料系统或结构。 由于其综合 性功能发挥 ， 可使汽车产 品行驶时感知与响应外界环境
工发明创造 ， 并制定专利 目标和奖励 政策 ， 全面落实科技创新及
离线LOW-E加工指导书
离线LOW－E生产作业指导书一、目的为了规范操作，提高工效，降低事故发生，特制定本作业指导书二、适用范围适用于离线LOW－E玻璃的储存、搬运、包装、切割、去边、磨边、打孔、清洗、钢化和中空等过程的作业指导三、作业指导在整个玻璃加工过程注意的事项（一）玻璃在加工过程中膜面必须全部朝上或朝外，以免生产中设备支撑点与膜面接触而破坏膜层。
必须十分小心保护膜面，防止任何粗糙或坚硬的物体、物件（如架子、转运夹具、卷尺等）与之接触而造成划伤；禁止用吸盘直接吸附膜面；禁止用卷尺直接在膜面测量尺寸，必须在架子上从玻璃面测量。
（二）玻璃放置与运转时必须全程保证玻璃与玻璃间无接触，可以通过使用适当厚度的垫片和控制玻璃片数量来达到这一目的。
（三）玻璃落架规则：第一片玻璃面向架子，第二片至最后一片膜面朝向架子，玻璃与玻璃间均匀夹垫软木垫，夹垫位置距玻璃边部10㎜内（即除膜范围内），架子支撑杆处，尽量保证夹垫位置一致。
如板面过大中部可以加垫片。
（四）必须注意膜面洁净，在生产及搬运玻璃时工作人员必须戴干燥、洁净的无尘手套和口罩，并且尽量不接触膜面。
必须防止汗液、唾液和其他易使膜层氧化的物质与膜面接触，造成膜面污染，不可用酒精擦试膜面。
（五）各环节所使用的水中都不可有任何添加剂，需用去离子水清洗。
1、储存未经过钢化的离线LOW－E玻璃必须储存在下列环境中（类似浮法玻璃）；－垂直放置－干燥通风的仓库－避免直接日晒－温度以及温度变化相对稳定，有助于长期存放（厂房门口温湿度变化较大）－储存过程中必须有防雨措施，并防止包装薄膜破损，以避免干燥剂失效，造成膜面氧化允许存放的时间为：－未开箱的包装最长为个月－已开箱重新封箱的包装最长为个月－加工后的玻璃（在加工成中空之前）最长为－已切割后的玻璃必须在切割后的8小时进行深加工和钢化－在磨边之后，玻璃必须被立即清洗以防止切割油及碾末留在玻璃表面－在清洁后的4小时内必须进行钢化－钢化与加工成中空玻璃之间的时间要尽量缩短－必须在装架的最后一片玻璃上放置一片普通的浮法玻璃，以保护其朝向空气的膜层－必须保证包装内玻璃温度与储存室内温度一致以防止玻璃表面产生结露。
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关键 词 ： Ｌ ｏ ｗ － Ｅ 镀 膜； 真空 系统 ； 真空设计
Ｖａ ｃ ｕ ｕ ｍ Ｓ ｙ ｓ ｔ ｅ ｍ Ｄｅ ｓ ｉ ｇ ｎ ｏ ｆ Ｏｆ ｆ － ｌ ｉ ｎ ｅ Ｌｏ ｗ— Ｅ Ｃｏ ａ ｔ ｉ ｎ ｇ Ｌｉ ｎｅ
ＬＵＯ Ｓｏ ｎ ｇ— ｓ ｏ ｎｇ ， ＺＨ ＡＮ Ｇ Ｃｈ ａｏ — ｑ ｕｎ
（ Ｃ ｈ ｉ ｎ ａ Ｔｒ ｉ ｕ ｍｐ ｈ Ｉ ｎ ｔ ｅ ｒ ｎ ａ ｔ ｉ ｏ ｎ ａ ｌ Ｅ ｎ ｇ ｉ ｎ ｅ ｅ ｒ ｉ ｎ ｇ Ｇｒ ｏ ｕ ｐ Ｃｏ， Ｌｔ ｄ， Ｂｅ ｎ ｇ ｂ ｕ ２ ３ ３ ０ １ ８， Ｃｈ ｉ ｎ ａ ）
于 中高真空 范 围 。
收稿 日期 ： ２ ＂ ０ １ ４ — ０ ６ — ２ ３ ． 作者简介 ： 罗松松（ １ ９ ８ ３ 一 ） ， 工程师． Ｅ － ｍａ ｉ ｌ ： ｌ ｕ ｏ ｓ ｓ ＠ｃ ｔ ｉ ｅ ｃ ． ｎ ｅ ｔ
３ ６
建 材 世 界
２ ０ １ ４年
第３ ５卷
Ｌｏ ｗ－ Ｅ ｃ ｏ ａ ｔ ｉ ｎ ｇ ｌ ｉ ｎ ｅ ．
Ｋｅ ｙ ｗｏ ｒ ｄｓ ： Ｌｏ ｗ－ Ｅ ｃ ｏ ａ ｔ ｉ ｎ ｇ； ｖ ａ ｃ ｕ ｕ ｍ ｓ ｙ ｓ ｔ ｅ ｍ； ｖ ａ ｃ ｕ ｕ ｍ ｄ ｅ ｓ ｉ ｇ ｎ
Ｌ ｏ ｗ— Ｅ镀 膜玻璃 由于其具 有优 良的光 学 性 能 和节 能 效果 ， 加 之 在 国家绿 色节 能 政 策 的 引导 下 ， 近 年来 得 到 大力 的发展 ， 广泛 地用 于建 筑及 汽车 的挡风 玻璃 ， 但更 多 的与普 通 玻璃 组合 成 中空 玻璃 使 用 ， 既保 护膜 层 又增 加 隔热效 果 ， 低 辐射 镀膜 中空玻 璃是 目前 公认 的节 能效 果最 佳 的建 筑 用玻 璃Ⅲ 。Ｌ ｏ ｗ— Ｅ镀 膜 玻璃 性 能 的优劣取 决 于镀膜 生产线 的好 坏 ， 离 线镀 膜生 产线 相 比在 线镀 膜 生产 线 具有 生 产 的镀 膜 玻璃 质 量稳 定 可 靠、 成 品率 高 以及 膜 系多样 化 的优点 ］ ， 占有 国内 Ｌ ｏ ｗ — Ｅ镀 膜 的绝大 部分 市 场 。离线 Ｌ ｏ ｗ — Ｅ镀 膜是 通 过磁
在每 个生 产节拍 内在 大气 和真 空状态 之 间不断 交换 ， 本底 真空 度可 达 １ ×１ ０ ＿ 。 ｍｂ ａ ｒ ， 工 作压 强为 ０ ． ４ ｍｂ ａ ｒ ，
属于 低真 空范 围 。
缓冲 ￣（ Ｃ ２ ／ Ｃ ６ ） ： 两端 分别 和进 ／ 出片 室和 过渡 室相连 ， 主要 起进 ／ 出片室 和工 艺镀 膜 室之 间的过 渡 连接 作 用 。其气 压介 于进 ／ 出片 室和 过渡 室之 间 ， 本底 真 空度 可 达 ｌ ×１ ０ ～ ｍｂ ａ ｒ ， 工作 压 强 为 ２ ×１ ０ 一 。ｍｂ ａ ｒ ， 属
Ａｂ ｓ ｔ ｒ ａ ｃ ｔ ： Ｖａ ｃ ｕ ｕ ｍ ｓ ｙ ｓ ｔ ｅ ｍ ｉ ｓ ｔ ｈ ｅ ｂ ａ ｓ ｉ ｓ ｏ ｆ ｏ ｆ ｆ － ｌ ｉ ｎ ｅ Ｌ ｏ ｗ－ Ｅ ｃ ｏ ａ ｔ ｉ ｎ ｇ ｌ ｉ ｎ ｅ ， ｉ ｔ ｓ ｄ ｅ ｓ ｉ ｇ ｎ ｄ ｉ ｒ ｅ ｃ ｔ ｌ ｙ ａ ｆ ｆ ｅ ｃ ｔ ｓ ｔ ｈ ｅ ｑ ｕ ａ ｌ ｉ ｔ ｙ ｏ ｆ ｃ ｏ ａ ｔ —
控溅 射原理 ， 在 真空环 境 中用荷 能粒 子去轰 击靶 材 ， 从 而 引起 靶 材表 面 原 子沉 积 在 玻璃 表 面 的镀 膜 工 艺 引。
其中， 真空 环境 是磁控 溅射 镀膜 的基 础 ， 同时影 响着 镀膜 质 量 。所 以 ， 想 要 生产 出性 能优 良的镀 膜 玻 璃 产 品 的基 础是性 能稳 定可 靠 的真空 系统 。
１ 离线 Ｌ ｏ ｗ － Ｅ镀 膜 生 产 线 真 空 系统 分 析
１ ． １ 设备 结构
离线 Ｌ ｏ ｗ— Ｅ镀膜 生产 线一 般采用 ７ 段式 ， 即进 片锁 室 （ Ｃ １ ） 、 进 片缓 冲室 （ ｃ ２ ） 、 进片 过 渡室 （ Ｃ ３ ） 、 镀 膜 室 （ Ｃ ４ ） 、 出片过 渡室 （ Ｃ ５ ） 、 出片缓 冲室 （ Ｃ ６ ） 和 出片锁 室 （ Ｃ ７ ） 。 进／ 出片室 （ Ｃ １ ／ Ｃ ７ ） ： 位 于镀 膜腔 体 的两端 ， 两端 分别 和大气 与缓 冲室 相连 ， 起 进 片 和 出片 的作 用 。气压
建 材 世 界
２ ０ １ ４年
第３ ５卷
第 ４期
离线 Ｌ ｏ ｗ － Ｅ镀 膜 生产 线 真 空 系统 设 计
罗 松 松， 张 超群
（ 中 国建 材 国际工 程集 团有 限公 司 ， 蚌埠 ２ ３ ３ ０ １ ８ ）
摘 要 ：其设计的优劣直接影响镀膜质量。该文通过对离线 Ｌ ｏ ｗ － Ｅ
第 ４期
过 渡室 （ Ｃ ３ ／ Ｃ ５ ） ： 主要 起玻 璃从 高 速到低 速 进 入镀 膜 室 和 玻璃 从 低 速 到 高速 离 开镀 膜 室 的过渡 衔 接 作 用， 与镀 膜 室 （ ｃ ４ ） 相通 ， 且过 渡室 内部 由于隔板 的作 用 ， 使 得 气压 成 阶梯状 降低 。 镀膜 室 （ Ｃ ４ ） ： 工 艺 镀膜 的腔 室 ， 其本 底 真 空度 可 达 ＜５ ×１ ０ 一 ｍｂ ａ ｒ ， 工 作 压强 为 ３ ×１ ０ 一 ｍｂ ａ ｒ ， 属 于 高
ｉ ｎ ｇ ． Ｔｈ ｉ ｓ ｐ ａ ｐ ｅ ｒ ｆ ｉ ｎ ｄ ｓ ｔ ｈ ｅ ｂ ｅ ｓ ｔ ｃ ｏ ｎ ｆ ｉ ｇ ｕ ｒ ａ ｔ ｉ ｏ ｎ ｓ ｃ ｈ ｅ ｍｅ ａ ｎ ｄ ｄ ｅ ｓ ｉ ｇ ｎ ｍｅ ｔ ｈ ｏ ｄ ｂ ｙ ｔ ｈ ｅ ａ ｎ ａ ｌ ｙ ｓ ｉ ｓ ｏ ｆ ｖ ａ ｃ ｕ ｕ ｍ ｓ ｙ ｓ ｔ ｅ ｍ ｏ ｆ ｏ ｆ ｆ － ｌ ｉ ｎ ｅ