电阻真空计
真空测量常用真空计
真空测量常用真空计真空测是是真空技术中的一个重要组成部分用于测量真空度的仪器叫真空计。
真空计的种类很多，根据真空计的刻度方法，可分为绝对真空计和相对真空计。
(一)绝对真空计:通过对气体压强进行测量，经过计算后，能反映真空度的真空计，叫绝对真空计，如:U 型管真空计、压缩式真空计等。
(1)U型管真空计:利用U型管两端的液面差，来测量压强的典空计叫U型管真空计。
(2)压缩式真空计:又称麦克劳真空计。
利用波意耳定律，将定量待测的气体，用水银或油压缩到极小体积，然后比较它的开管与闭管之间的液柱差，通过计算求得压强的一种绝对真空计。
(二)相对真空计:通过对与压强有关的物理盆进行侧量，但不能通过计算来进行刻度，只能与绝对真空计进行比较才能刻度的真空计，叫相对真空计，如:弹性式真空表、薄膜式真空计、电阻真空计、热偶真空计和电离真空计等。
:(1)弹性式真空表:利用弹性元件随压强变化所产生的变形，测量真空度的真空计。
(2)电阻真空计和热偶真空计:利用气体分子的热传导作用，测量真空度的真空计。
(3)电离真空计:利用气体分子在低压强下的电离现象，测量真空度的真空计。
常用真空计的分类和测量范围见下图：(三)绝对真空计与相对真空计的比较(1)绝对真空计的优点，是结构简单福、造价低、测量精度高，其测量值与被测气体种类无关(可凝性蒸气除外)。
其缺点是操作不便，不能连续测量，用水银作介质时，水银蒸气对环境有污染。
(2)相对真空计的优点，是能连续测量真空度，并便于自动记录和用于自动控制。
其缺点，是测量精度受气体种类和环境温度的影响较大，测量精度不如绝对真空计高。
真空热处理炉常用的真空计有弹性式真空表、热偶真空计、电阻真空计、电离真空计等相对真空计。
现将常用的真空计工作原理简介如下:(一)弹性式真空表:真空表内，有一由铍青钢或不锈钢等弹性材料制成的扁平截面弹簧弯管，管的一端与被测真空系统相连，另一端封死，并通过连杆齿轮与指针相连。
ZDZ T电阻真空计说明书
产品名称: 电阻真空计产品型号： ZDZ-52T使用说明书Operation Panel目录1.简介--------------------------------------------------11.1 仪器简介----------------------------------------11.2 包装内容----------------------------------------12. 主要技术参数-----------------------------------------13. 仪器安装---------------------------------------------23.1仪器安装尺寸-------------------------------------------23.2仪器后面板图示及接线说明-----------------------------24. 仪器操作指南------------------------------------------------25. 故障诊断---------------------------------------------36. 注意事项 -------------------------------------- --41.1仪器简介ZDZ-52T型电阻真空计,可测量1路规管信号，控制2路继电器触点输出及0～5V模拟量输出。
在测量范围内,可自由设定点控或区域控制。
适合用于粗、低真空的测控。
ZDZ-52T型电阻真空计采用高档微处理器作主机,压缩外围部件,以提高可靠性。
本机电源采用高档模块电源，硬件采用模块化结构设计及EMI抑制、WATCHDOG电路,软件采用冗余、陷阱、数字滤波等抗干扰技术,进一步提高了仪器的抗干扰能力及整机性能,使仪器具有很高的可靠性,可在恶劣的工业环境下使用。
1.2 包装内容◆ZDZ-52电阻真空计一台◆ZDZ-52使用手册一本◆ZJ-52T电阻规管一支◆5芯电缆线(5M) 一根◆电源线(1.5M) 一根2.主要技术参数1测量路数 1路2 测量范围 1.0×105—1.0×10-1 (Pa)4 配接规管 ZJ-52T/KF165 测量精度 ±30%6 零点漂移 ±1%7 控制范围 1.0×105—1.0×10-1 (Pa)8 控制方式 2路点控或区域控制（本机无）9 控制精度 ±1%10 控制时间 < 1S11 输出容量 3A/220VAC无感负载12 模拟输出 0～５V13 使用电源 AC 220V/50Hz ±10%14 环境温度 -10℃--45℃15 环境湿度 < 85%(25℃)16 额定功耗 10W17 仪器净重 约1.5Kg3．仪器安装3.1仪器安装尺寸:单位(mm)A．外形尺寸：96X96X190(宽X高X深)B．面板尺寸：96X96C．开孔尺寸: 92X923.2 后面板接线说明：A:电源插座:接3芯电源线B:电阻规插座(5PIN):电缆线说明:仪器端←--------→规管端 后面板接线端口 (1,2,3,4) 对应 (1,2,3,4)选配扩展功能：C: 模拟输出接口(DB-9)，可输出0-5/10V/10mV 或 0/4-10/20mA等的真空度模拟输出量。
微机型电阻真空计安全操作及保养规程
微机型电阻真空计安全操作及保养规程微机型电阻真空计是一种常用的真空度测量仪器，其使用广泛涉及到许多安全操作和保养规程。
本文将详细介绍微机型电阻真空计的安全操作和保养规程，以确保仪器的正确使用和延长其使用寿命。
仪器的安全操作安装位置微机型电阻真空计应该放置在干燥通风的位置。
不要将其暴露于阳光下或者在潮湿的地方使用。
为了避免石膏地板的挥发物影响仪器测量精度，最好把仪器放置在一块托盘或者其他无毒、无味的物质上。
电源微机型电阻真空计应该连接正常并配备接地线的电源插座。
在电源接通前，必须确保插头和插座之间切实接触。
当使用结束后，应该切断电源并拔掉插头，以及时保护电路免受意外损坏，也可以保证人员的人身安全。
操作流程在操作仪器之前，必须要对仪器的操作流程和实验方法有一个全面的了解，不能擅自更改，以免导致实验数据出现误差。
同时，在使用期间，应该注意及时了解仪器的工作状态，确保仪器的运行状态正常。
氮气使用微机型电阻真空计时，需要使用氮气充填。
在更换气瓶或者吸入气体时，必须注意安全使用气瓶设备。
操作人员应该穿戴防护手套、防护眼镜等安全防护设施，以防吸入气体时发生意外。
仪器的保养规程清洗为了保持微机型电阻真空计的测量精度，必须定期清洗实验室和仪器表面，以避免灰尘、油脂等杂物对仪器的影响。
同时，在仪器的操作中，尽量避免污染仪器表面。
校准微机型电阻真空计的使用寿命和精确度与校准的频率密切相关。
建议在实验前先进行校准，确保仪器的测量精度符合规定标准。
维护在使用微机型电阻真空计的过程中，应该养成良好的维护习惯。
定期检查仪器是否有损坏、故障和松动等问题，并及时处理和更换故障部件，以确保仪器长时间的正常运行。
结论安全操作和保养规程对于微机型电阻真空计的正常运行和精确度至关重要。
为了延长仪器寿命和保证实验数据的准确性，我们必须要重视仪器的使用和保养。
籍用本文所提供的微机型电阻真空计的安全操作和保养规程，我们可以让仪器得到长时间的正常工作并保证实验数据的有效性。
常用真空计的测量范围
常用真空计的测量范围及其性能李苹平(合肥华瑞真空科技有限公司)介绍几种测量范围为10-8～105Pa的常用真空计，其应用十分广泛，性能较好，价格较低。
热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计（可测量超高、高真空）、电容薄膜真空计、热电偶真空计、电阻真空计及压缩式真空计、压敏（压力敏感元件）电阻真空计。
本文仅介绍应用广泛性能较好且价格较低的几种真空计，测量范围参见图1。
1 电离真空计电离真空计的离子流与压强关系为线性关系（直接测量参数与所需测量参数之间为线性关系，可作为直观仪表），规管（测量元件）测量上限由规管非线性不超过20％所对应的压强确定，测量下限由规管本底压强示值的10倍确定[2]。
（在非线性不超过20%时，可近似为线性测量）电离计总的测量范围为10-8～102Pa，一般说来，每一种结构的规管只能覆盖一部分。
（每一种结构的规管产生的离子流与压强在一定范围内成线性相关）BA计收集极做成针状，它的X光本底电流小，因而下限可达10-8Pa，是一种超高真空计。
它的上限为10-1Pa，灯丝是钨丝。
DL-2型真空规管在上世纪50年代在我国生产，它是高真空规管，测量范围是lO-5～10-1Pa，钨灯丝。
钨灯丝在高压强易氧化而烧断，规管在10-1Pa工作寿命约1个星期。
因而上限不能超过10-1Pa。
70年代研制了DL-5型中真空规管[3]。
它的测量范围是10-4～10 Pa。
该规管在国内首先用敷氧化钇铱丝作灯丝，可以在高压强工作。
高压强规管的几何尺寸要小，以减小电子在行程中与气体分子碰撞。
后来有人做出_DL-8型规管，它的几何尺寸比DL-5更小，上限可达100 Pa。
热阴极电离计在压强大于10 Pa时使用不太合适（测量元件在高压强下易氧化而烧断）。
在高压强时发射电流应减小。
上世纪80年代，用敷氧化钇铱丝代替BA计中的钨丝做出DL-7型BA计规管[4]。
它的测量范围是5×lO-8～10-1 Pa，与钨丝的BA计相比，它更适合在较高压强下工作。
电阻真空计使用说明书
继电器的上限（up）设为“OFF”，下限（Lo）设为“on”即为下点控制模式，其动作类型如下图所示：
区域控制：
继电器的上限（up）设为“on”，下限（Lo）设为“on”即为区域控制模式，其动作类型如下图所示：
关闭模式：
继电器的上限（up）设为“OFF”，下限（Lo）设为“OFF”即为关闭模式，此时该路继电器将一直处于关闭状态。
（3）继电器上限点设置菜单下，通过“Set”键在整数、小数、幂之间调整设置位置，通过“▲”和“▼”键设置真空度。
（4）设置完成后按下“OK”键进入继电器下限设定,界面显示如下：
（5）反复按下“OK”键，菜单将会依次从继电器1向继电器4切换，若当前继电器的上限/下限为“OFF”，将直接进入下级菜单，而不会进入设定点菜单。
（1）、简述
DGR-52电阻真空计采用主/从结构的MODBUS协议进行数据通信，真空计为从机。用户可以根据实际需要选择使用MODBUS-ASCII或MODBUS-RTU方式与主机通信，亦可自由设定通信的数据格式和通信速度。
MODBUS-ASCII协议的数据帧格式为：
1 Byte
2 Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
2Bytes
:
从机地址
06
寄存器地址字节1
寄存器地址字节2
写入数据
字节1
写入数据字节2
校验码
CR LF
MODBUS-RTU格式
主机发送：
-
1 Byte
1 Byte
1 Byte
1 Byte
1 Byte
1 Byte
2Bytes
真空计原理及测量范围
真空计原理及测量范围
真空计是一种用于测量真空度的仪器，根据不同的原理可以分为多种类型，包括气体扩散法真空计、热导法真空计、冷阴极离子化真空计等。
下面将分别介绍这几种常见的真空计的原理及测量范围。
1.气体扩散法真空计
气体扩散法真空计是通过测量气体扩散速率来间接得到真空度的。
工作原理是将样品或测量环境中的气体进入真空计中，利用气体在真空中自由扩散的特性，通过测量扩散流量来计算真空度。
该方法适用于较高真空度的测量范围，通常在10^-1至10^-7帕之间。
2.热导法真空计
热导法真空计主要基于热导率与气体密度之间的关系来测量真空度。
它包含一个加热丝和一个测量电阻，当加热丝加热时，传热受到气体分子碰撞的影响，从而导致电阻的变化，根据电阻的变化可以计算出气体的密度。
热导法真空计适用于1至10^5帕的测量范围。
3.冷阴极离子化真空计
冷阴极离子化真空计主要通过测量空间中的电离电流来间接测量真空度。
该方法通过在真空计中放置一个冷阴极，当真空中的气体与冷阴极发生碰撞时，会产生电子，然后利用电子与气体分子碰撞产生离子，通过测量电离电流的大小来计算真空度。
冷阴极离子化真空计适用于10^-4至10^-2帕的测量范围。
以上所述的是一些常见的真空计的原理及测量范围，不同的真空计适用于不同的测量条件和要求。
在实际应用中，还需要根据具体的测量需求选择合适的真空计，以获得准确可靠的测量结果。
电阻真空计的故障诊断及检修方法
电阻真空计的故障诊断及检修方法电阻真空计是一种常用的真空度测量仪器。
它利用电流通过真空中的电阻，根据欧姆定律计算出真空计的阻值，从而推断出真空度。
然而，由于使用环境和使用方法等原因，电阻真空计也会出现故障。
本文将介绍电阻真空计常见的故障及其诊断和检修方法。
首先，需要了解电阻真空计的基本结构。
电阻真空计一般由电阻丝、电源、电流表和压强表等部分组成。
电阻丝是电阻真空计的核心部分，它的电阻值与真空度成正比。
当真空度变化时，电流经过电阻丝的变化程度直接反映了真空度的变化。
接下来，我们将介绍电阻真空计可能出现的故障症状以及对应的故障诊断和检修方法。
1.电阻丝破裂：电阻丝是电阻真空计中最易损坏的部分，常见故障是电阻丝破裂。
这种情况下，电流表无法读数，并且压强表显示为最大值。
电阻丝破裂通常是由于长时间高电流通过或负载过重引起的。
解决方法是更换电阻丝。
2.电压异常：当电源电压异常时，电阻真空计无法正常工作。
可以用电压表检查电源电压是否正常，如果不正常则应调整或更换电源。
3.电流异常：当电流表的读数异常时，可能是电流表损坏或接触不良引起的。
可以用万用表进行测量，如果电流表的读数与万用表测量的值相差较大，则需要更换电流表。
4.压强异常：当压强表的读数异常时，是因为电阻真空计的输出信号异常引起的。
需要检查电阻真空计的输出信号是否正常，如果不正常则可能是电源、电流表或压强表等部分引起的。
可以逐个检查这些部分的工作状态，发现问题后进行修理或更换。
5.清洁不彻底：在使用过程中，电阻真空计表面可能会积累灰尘或杂质，导致其读数不准确。
因此，定期清洗电阻真空计，保持其表面的清洁非常重要。
可以使用无粉尘布擦拭电阻真空计的外表面，并注意避免使用有擦拭剂或腐蚀性液体。
总结起来，电阻真空计的故障诊断和检修方法包括更换破损的电阻丝、调整或更换电源、电流表和压强表，以及定期清洗仪器表面。
应该注意的是，对于更加复杂的故障，最好由专业维修人员来进行检查和修理。
真空计说明书
ZDR—II—LED微机型数显电阻真空计使用说明书OPERATION.INSTRUCTION一、简介ZDR—II—LED型数显双路电阻真空计，是目前国内的新型真空计测量仪器。
它采用微机控制、数字显示，具有测量精度高，控制准确方便，显示直观等特点。
本仪器采用当今世界流行的薄膜面板及能触摸按钮，造型美观大方。
二、适用范围ZDR—II—LED型数显双路电阻真空计配ZJ-52T电阻规管，其测量范围为1*105～1*10-1Pa，适用于要求测量范围宽，反映灵敏的粗、低真空的双路测量，并带有双路定值控制功能。
三、技术指标1、ZJ-52T规管电阻值：85Ω2、真空度测量范围：1*105～1*10-1Pa3、定值控制设定范围：1*105～1*10-1Pa4、定值控制负数：AC220V/3A（或DC28V/10A）5、放大器满度误差：≤4％±1个字6、工作电源：220V±10% 50HZ±5%7、功耗：约30W8、使用环境温度：0～45℃9、空气相对湿度：＜85%10、仪器外型规格：480*88*280或240*88*320mm11、重量：3KG四、工作原理电阻计的工作原理是基于在低压强时，利用气体分子的热传导，在高压时，利用气体分子的对流传热特性，使得电阻规的电阻随所测系统的压强变化而变化。
电阻规的电阻与压强的变化是一种非线性关系，鉴次本机采用微机对此非线性进行误差修正，从而提高了测量精度。
由压强变化所引起的电阻规电阻的变化，由测量桥路输出电压信号，由放大器放大，经A/D转换换入微机进行非线性处理过算，最后送显示器显示。
其工作原理框图如下五、使用方法：1、将玻璃电阻规或金属电阻规开封与系统妥善密封连接，将仪器电缆线与规管连接。
2、接通仪器电源，数秒后显示“规1”测量值（左边），“规2”真空测量值（右边）。
真空度显示前两位为系数，第三位是底数10，用数字符号E来表示，最后位为指数。
如显示2.8E2时，其真空度P=2.8*102Pa=280Pa3、零点、满度校准由于电阻规制造时材料、工艺、装配等方面的因素，不同电阻规的性能有差异。
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◆ZDZ-52T/1B2型电阻真空计
◆ZDZ-52T/1B3型电阻真空计
技术参数:
●测量路数：1路
●规管型号：ZJ-52T电阻规
●测量范围：1.0×105Pa～ 1.0×10-1Pa
●控制范围：2.5×103Pa～ 5.0×10-1Pa
●控制路数：2路
●控制精度：±1％
●控制方式：继电器触点通断、负载能力AC220V/3A DC28V/10A（无感负载）
点动或区域控制/带掉电记忆
●显示方式：五位LED数字显示，采用科学计数法，例：1.2E-1表示为1.2×10-1Pa ●模拟输出：（0～5）V；（4～20）mA
●通讯接口： RS-485
●采样时间： 1S
●电源：AC 220V±10% 50Hz
●功耗：30W
●重量：约3.5Kg
●机箱尺寸：ZDZ-52T/1B2型 88×280×260 mm （高×宽×深）
ZDZ-52T/1B3型 96×96×160mm （高×宽×深）
●使用环境温度：0℃～45℃湿度：≦85％
◆ZDZ-51A1型双电阻真空计
技术参数:
●测量路数：2路（电阻规2路）
●规管型号：ZJ-52T电阻规
●测量范围：1.0×105Pa～ 1.0×10-1Pa
●控制范围：2.5×103Pa～ 5.0×10-1Pa
●控制路数：4路
●控制精度：±1％
●控制方式：继电器触点通断、负载能力AC220V/3A DC28V/10A（无感负载）
点动或区域控制/带掉电记忆
●显示方式：五位LED数字显示，采用科学计数法
例：1.2E-1表示为1.2×10-1Pa
●通讯接口：RS-232/RS-485
●采样时间： 1S
●电源： AC 220V±10% 50Hz
●功耗：30W
●重量：约6Kg
●机箱尺寸：88×480×280 mm （高×宽×深）
●使用环境温度：0℃～45℃湿度：≦85％
◆ZDO-54/1B2型定流式热偶真空计
◆ZDO-54/1B3型定流式热偶真空计
技术参数:
●测量路数：1路
●规管型号：ZJ-53B/玻璃、ZJ-54D/金属直插（选配）
●测量范围：1.0×103Pa～ 1.0×10-1Pa
●控制范围：3.0×102Pa～ 1.0×100Pa
●控制路数：2路
●控制精度：±1％
●控制方式：继电器触点通断、负载能力AC220V/3A DC28V/10A（无感负载）
点动或区域控制/带掉电记忆
●显示方式：五位LED数字显示，采用科学计数法
例：1.2E-1表示为1.2×10-1Pa
●通讯接口：RS-485
●采样时间： 1S
●电源： AC 220V±10% 50Hz
●功耗：小于20W
●重量：约3Kg
●机箱尺寸：ZDO-54/1B2型 88×280×260 mm （高×宽×深）
ZDO-54/1B3型 96×96×120 mm （高×宽×深）
●使用环境温度：0℃～45℃湿度：≦85％
◆ZDF-11A2复合真空计
技术参数:
●测量路数：2路（电阻规、电离规各1路）
●规管型号：ZJ-52T电阻规 ZJ-27电离规
●测量范围：1.0×105Pa～ 1.0×10-5Pa
●控制范围：2.5×103Pa～ 5.0×10-5Pa
●控制路数：4路
●控制精度：±1％
●控制方式：继电器触点通断、负载能力AC220V/3A DC28V/10A（无感负载）
点动或区域控制/带掉电记忆
●显示方式：五位LED数字显示，采用科学计数法
例：1.2E-1表示为1.2×10-1Pa
●通讯接口：MODBUS/RTU(标配，自定义协议，地址可以设定，带CRC校验) ●电离规外控：PLC
●采样时间： 1S
●电源： AC 220V±10% 50Hz
●功耗：50W
●重量：约6Kg
●机箱尺寸：88×480×280 mm （高×宽×深）
●使用环境温度：0℃～45℃湿度：≦85％
◆ZDF-91B2复合真空计
技术参数:
●测量路数：3路（电阻规2路、电离规1路）
●规管型号：ZJ-52T电阻规2个 ZJ-27电离规1个
●测量范围：独立电阻单元1.0×105Pa～ 1.0×10-1Pa
复合单元1.0×105Pa～ 1.0×10-5Pa
●控制范围：电阻单元 2.5×103Pa～ 5.0×10-1Pa
复合单元 2.5×103Pa～ 5.0×10-5Pa
●控制路数：6路
●控制精度：±1％
●控制方式：继电器触点通断、负载能力AC220V/3A DC28V/10A（无感负载）
点动或区域控制/带掉电记忆
●显示方式：五位LED数字显示，采用科学计数法，例：1.2E-1表示为1.2×10-1Pa ●模拟输出：（0～5）V,（4～20）mA [注：只有独立电阻单元有模拟输出]
●通讯接口：MODBUS/RTU(标配，自定义协议，地址可以设定，带CRC校验)
●电离规外控：PLC
●采样时间： 1S
●电源： AC 220V±10% 50Hz
●功耗：80W
●重量：约7Kg
●机箱尺寸：88×480×280 mm （高×宽×深）
●使用环境温度：0℃～45℃湿度：≦85％
◆ZDR-27/1C2型热阴极电离真空计
技术参数:
●测量路数：1路（电离规1路）
●规管型号：ZJ-27电离规
●测量范围：1.0×10-1Pa～ 1.0×10-5 Pa
●控制范围：1.0 Pa～ 5.0×10-5Pa
●控制路数：无
●控制精度：±1％
●显示方式：五位LED数字显示，采用科学计数法，例：1.2E-1表示为1.2×10-1Pa ●电离规外控：PLC
●采样时间： 1S
●电源： AC 220V±10% 50Hz
●功耗：30W
●重量：约3Kg
●机箱尺寸：280×88×260 mm （宽×高×深）
●使用环境温度：0℃～45℃湿度：≦85％
◆ZDR-121/A1型超高热阴极电离真空计技术参数:
●测量范围： 1.0×10-1Pa～6.0×10-8Pa
●配备规管: ZJ-12电离规
●测量路数： 1路
●显示方式：五位LED数码显示
●通讯接口： MODBUS/RTU(选配，需提前说明)
●采样时间： 1S
●电源： AC 220V±10% 50Hz
●功耗： 22W
●重量：约5Kg
●机箱尺寸：89×480×200 mm （高×宽×深）
●使用环境温度：0℃～45℃湿度：≦85％。