Parylene电路板涂层材料
parylene沉积工艺参数
parylene沉积工艺参数Parylene沉积工艺参数Parylene是一种特殊涂层，具有优异的电绝缘性、耐化学腐蚀性和防潮性。
其沉积工艺涉及以下关键参数：1. 单体源Parylene的单体来源是二叠炔苯（DPX），它是一种固态粉末。
DPX的升华温度影响沉积速率和涂层特性。
2. 蒸发温度DPX的蒸发温度通常在160-190°C之间。
较高温度增加蒸发速率，但也可能导致单体的分解。
3. 蒸发器设计蒸发器将DPX粉末转化为气态单体。
其设计影响单体的蒸发现率和气流分布。
优化蒸发器设计可确保均匀的沉积速率。
4. 系统压力Parylene沉积在低压下进行，通常在0.1-2托之间。
降低压力提高单体的平均自由程，促进其在基材表面的沉积。
5. 基材温度基材温度影响涂层的附着力和晶体结构。
最佳基材温度取决于基材材料和所需的涂层特性。
6. 沉积速率沉积速率由单体通量和基材温度决定。
较高的速率会导致较厚的涂层，但可能降低涂层质量。
7. 沉积时间沉积时间确定涂层的厚度。
与沉积速率相反，较长的沉积时间会导致更厚的涂层。
8. 气氛Parylene沉积通常在氮气或氩气气氛中进行。
这些惰性气体防止单体氧化并确保其完全沉积。
9. 气流控制气流控制对涂层的均匀性至关重要。
优化气流模式可防止沉淀缺陷，例如针孔或分层。
10. 功率输入应用于蒸发器的功率输入影响DPX的蒸发速率。
控制功率输入可调节涂层的厚度和特性。
11. 监测和控制Parylene沉积过程应通过传感器和控制器进行监测和控制。
这些系统确保工艺参数在最佳范围内，以实现一致和高质量的涂层。
其他考虑因素除了上述工艺参数外，其他因素也会影响Parylene涂层的沉积，包括：基材表面特征基材几何形状涂层应用位置通过仔细控制这些参数，可以定制Parylene涂层以满足特定应用的要求，确保其卓越的性能和可靠性。
Parylene
因此，在微电子机械系统中，Parylene除了作电介质材料外，还用作微型传动机构和微型阀门的结构材料和防护材料。
Parylene是六十年代中期美国Union Carbide Co. 开发应用的一种新型敷形涂层材料，它是一种对二甲苯的聚合物，根据分子结构的不同，Parylene可分为N型、C型、D型、HT型等多种类型。
– 在对人体有害的材料表面包敷一层Parylene可防止有害物质析出对细胞组织的损害。
– 高度可靠，减少了关键器件突然失效的风险。
Application
Parylene N
Parylene C
CatheterMandrels Lubricity
-
Parylene采用了一种独特的化学气相沉积工艺（CVD）。
CVD工艺最早应用于半导体工业的外延生长，整个过程是气态反应，又在真空条件下进行，因而可以获得非常均匀的涂层，达到其它方法难以实现的同形性。
沉积过程大体可分为三步：
1．真空120度条件下将固态原料升华成气态；
2．650度条件下将气态原料裂解成具有反应活性的单体；
Parylene用独特的真空气相沉积工艺制备，由活性小分子在基材表面“生长”出完全敷形的聚合物薄膜涂层，具有其他涂层难以比拟的性能优势。它能涂敷到各种形状的表面，包括尖锐的棱边，裂缝里和内表面。
这种室温沉积制备的0.1-100微米薄膜涂层，厚度均匀、致密无针孔、透明无应力、不含助剂、不损伤工件、有优异的电绝缘性和防护性，是当代最有效的防潮、防霉、防腐、防盐雾涂层材料。
纳米涂层的应用
产品应用简介Parylene应用领域简介:Parylene是一种对二甲苯的聚合物。
用独特的真空气相沉积工艺制备，由活性小分子在基材表面“生长”出完全敷形的聚合物薄膜涂层，它能涂敷到各种形状的表面，包括尖锐棱边、裂缝和内表面。
这种室温沉积制备的0.1-100微米薄膜涂层，厚度均匀、致密无针孔、透明无应力、不含助剂、不损伤工件、有优异的电绝缘性和防护性，是当代最有效的防潮、防霉、防盐雾涂层材料。
精细的尺寸和优异的性能结合，使Parylene在要求高性能和高可靠性的当代高新技术产品中得到了越来越多的应用。
Parylene二聚体涂料有Parylene N、Parylene C和Parylene D型。
Parylene N是其基础成员，具有很好的介电性能、极低的介质损耗、高绝缘强度以及不随频率变化的介电常数。
它是所有Parylene中穿透能力最高的一种。
Parylene C是第二个商业化的成员，由一个氯原子替代了单体上芳香烃的一个氢原子而形成的。
Parylene C将良好的电性能，物理性能结合在一起，并且对于潮湿和其它腐蚀性气体具有低渗透性，可以提供真正的无针孔敷形隔离，是涂敷重要电路板的首选材料Parylene D是第三个商业化的成员，由两个氯原子替代了单体上芳香烃的两个氢原子而形成的。
性能与Parylene C相似，但是具有更高的耐热能力。
Parylene HT，最新的商业化成员，由替代N型二聚体的所有的α氢原子而形成。
具有更低的介电常数(即透波性能好) 、更好的稳定性和防水、防霉、防盐雾性能。
短期耐温可达450摄氏度，长期耐温可达350摄氏度，并具有很强的抗紫外线能力，适合作为高频微波器件的防护材料。
目前，从普通领域到不为人知的领域，Parylene都有应用，其所涵盖的应用市场从太空深处的飞行器、汽车发动机一直到心脏调搏器、军事电子产品等。
可以预见，得益于自动化沉积设备的出现，不同技术领域对这种聚合物的日益熟悉，以及涂敷效率的不断改进等等，Parylene的应用广度将进一步得到拓宽。
PCB电路板防水防潮工艺简介
Parylene 沈积可以经由活泼的单体(monomer)气体，聚合於物体表面上，不同於 一般由液体涂的方法制备。Parylene是以活性分子在真空的条件下於物件表面聚合一 层完全披覆的薄膜，可涂装到任何形状的表面，且不产生死角，包括尖锐的棱角、隙 缝内部与极细微的针孔中，膜厚可一致性的被覆在产品的任何部位，薄膜厚度由 0.001mm-0.05mm，是世界最薄的涂装之一。
双筒望远镜
手电筒
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生活
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医疗
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公司主要对外销售高分子纳米防水涂层、承接各类表面纳米真空镀膜。从事多年真空镀膜，表面涂 装处理工艺，有着世界领先的Parylene涂装技术和设备开发能力。市场含盖海内外几大知名品牌电 子电器的PCBA零部件，LED及各种线路板进行防水（IP68），防潮，防腐蚀，防盐雾，防紫外线等 真空涂层处理，本工艺不会对产品自身产生任何品质影响及外观变化（透明涂层厚度0.5um-50um） 使用材料不会对人体有任何伤害（符合美国FDA,USP以及MIL等标准）本涂装工艺优于固体材料本身 的优越性能，达到提高产品质量、延长产品寿命、节约能源和获得显著技术经济效益的作用。
现专注协助发展国内三防技术及喷涂技术，欢迎各行业同仁来电咨询……
高分子纳米涂层简介
公司主要对外承接各类表面处理和真
各类军工航空，光学器件、LED、各类家电器件、各类光
性能特点 ●极低表面张力，防水、防潮、防汗液效果好 ●防锈、防腐蚀、防硫化 ●绝缘性可调(<0.1um导通，>0.1um绝缘) ●纳米级超薄膜层(0.05～1um)，不影响镀膜产品的外观 ●速干（1min室温固化成膜） ●适用于玻璃、金属、塑料等基材 ●施工工艺简单易掌握，产品可重涂修补 ●安全、环保、无毒
派瑞林 参数表 密度
派瑞林参数表密度
摘要：
一、派瑞林简介
二、派瑞林参数表
三、派瑞林密度及其影响因素
正文：
派瑞林（Parylene）是一种由美国杜邦公司研发的有机硅聚合物，具有优异的化学稳定性和热稳定性。
它是一种无色、无味、无毒的气体，在电子、医疗、航空航天等领域有广泛的应用。
派瑞林参数表反映了这种材料的性质和规格，包括其分子量、熔点、沸点、溶解性等。
通过参数表，用户可以了解派瑞林的基本性能，为实际应用提供参考。
派瑞林密度是衡量其质量与体积之比的重要参数。
密度的大小受多种因素影响，如材料的成分、制备工艺、温度和压力等。
派瑞林密度的变化会影响其性能，如力学性能、热稳定性和化学稳定性。
因此，对派瑞林密度的研究和控制至关重要。
在实际应用中，派瑞林常用于制备薄膜和涂层。
在这些应用中，派瑞林的密度对于其性能和工艺参数具有重要影响。
例如，在制备薄膜时，较高的密度会导致薄膜的耐磨性、耐腐蚀性和热稳定性提高，但同时也会增加制备难度。
因此，在选择派瑞林密度时，需要综合考虑实际应用需求和制备工艺条件。
总之，派瑞林参数表中的密度参数对于了解和掌握这种材料的性能具有重
要意义。
Parylene(派瑞林、聚对二甲苯)适用于医疗器械之优点
1.隔离特性
与其它涂层相比涂层更薄，聚对二甲苯可提供一种无孔屏障，防止遭受液体、潮气、化学物品和常见气体的侵蚀。
离子渗透与涂层厚度的关系 见上图,这些阻隔性能通过一系列涂敷和非涂敷橡胶试验进行了证实。试样在一摩尔浓度的盐酸中高压加热一小时，然后分析酸液提取物中的钙、铝和锌成 分，这些金属已知存在于橡胶的添加剂中。清楚地显示了试样上的 Parylene 涂层大大减少了对这些金属的提取。
综合了优良的介电性能和物理机械性能，对潮湿和
符合 ISO-10993 生物试验要求。
腐蚀性气体有最低的渗透性。
符合 UDP 第六类塑料的生物试验要求。
可以提供真正的无针孔覆形隔离。
满足美军标 MIL-46058C,是涂敷重要电路板的首选
材料。
符合 ISO-10993 生物试验要求。
符合 UDP 第六类塑料的生物试验要求。
有较高的热稳定性。
是更好的高频微波器件的防护涂层。
迄今为止，强的自润滑性，最小的动静态摩擦系数，
而且优于特氟龙
涂层的润滑性。
符合 ISO-10993 生物试验要求。
符合 UDP 第六类塑料的生物试验要求。
一、Parylene（派瑞林、聚对二甲苯）适用于医疗器械之优点
Parylene 符合 ISO-10993 生物试验要求 Parylene 符合 FDA G95-1 Parylene 符合（RoHS）2002/95/EC 生物兼容性和生物稳定性 --极佳的防化学物、防潮、超强绝缘及防电子阻隔性能、较好的机械强度，耐用且附着良好 微米级涂层厚度均匀可控，可控制厚度降低 500A 干膜润滑性 良好光学性能 本身无毒，无副产物 可承受常规消毒
Parylene 介电性能与温度的关系 Parylene 还具有极好的介点性能。由于其高介电强度，它们可被制作成连续薄膜，并不含传统涂层所有的缺陷和填充剂；缺陷和填充剂都可以减少介电强度。
派瑞林涂层介电常数调控
派瑞林涂层介电常数调控派瑞林涂层是一种常见的介电材料，具有良好的绝缘性能和化学稳定性。
通过调控派瑞林涂层的介电常数，可以实现对电磁波的传播和材料的性能进行控制。
本文将重点探讨派瑞林涂层介电常数调控的原理和应用。
介电常数是材料对电场的响应能力的度量。
在电磁场的作用下，材料中的电子会受到电场力的作用而发生位移。
介电常数反映了材料中电子偏离平衡位置的程度，是电场和电荷之间相互作用的重要参数。
派瑞林涂层作为一种介电材料，其介电常数的大小决定了其对电场的响应能力。
调控派瑞林涂层的介电常数可以通过多种方式实现。
一种常见的方法是改变派瑞林涂层的化学成分。
通过调整涂层中不同组分的含量或引入新的成分，可以改变其晶体结构和分子排列方式，从而影响其介电常数。
例如，通过控制涂层中填充物的含量和种类，可以实现对介电常数的调控。
此外，还可以通过改变派瑞林涂层的厚度和形状，进一步调控其介电常数。
调控派瑞林涂层的介电常数具有广泛的应用价值。
首先，在电子器件中，派瑞林涂层的介电常数决定了电路元件的电容性能。
通过调控涂层的介电常数，可以实现对电容器的性能进行优化，提高电路的稳定性和工作效率。
其次，派瑞林涂层的介电常数还可以用于光学器件的设计。
通过调控涂层的介电常数，可以实现对光的传播和反射的控制，从而改善光学器件的性能。
此外，派瑞林涂层的介电常数还可以用于微波器件的设计。
通过调控涂层的介电常数，可以实现对微波信号的传播和衰减的控制，提高微波器件的性能。
总结起来，派瑞林涂层介电常数的调控在电子器件、光学器件和微波器件等领域具有重要的应用价值。
通过改变派瑞林涂层的化学成分、厚度和形状等参数，可以实现对介电常数的调控，从而优化材料的性能。
未来的研究可以进一步深入探究派瑞林涂层介电常数调控的机制，开发新的调控方法，为材料科学和器件设计提供更多的可能性。
好的派瑞林涂层工艺
好的派瑞林涂层工艺
派瑞林（Parylene）涂层工艺是一种高性能的表面涂层技术。
它采用物理气相沉积（PVD）的方法将聚合物薄膜沉积在物体表面上，形成一层连续，均匀且具有优异性能的保护层。
派瑞林涂层的工艺步骤一般包括以下几个步骤：
1. 表面准备：将待涂层物体进行清洁和去除表面杂质，确保待涂层表面平整、干净。
2. 加热：将待涂层物体加热至适当温度，以提高沉积膜的结合力和降低残留气体含量。
3. 气相沉积：将派瑞林单体加热至气化，并通过真空系统将单体气体送入反应室。
单体气体在反应室内分解形成聚合物薄膜，薄膜在待涂层表面上均匀沉积。
4. 固化：将形成的派瑞林薄膜进行固化处理，通常是通过加热或暴露在紫外光下。
固化会使薄膜增加机械强度和耐化学性能。
5. 厚度控制和测试：根据需求，可以通过控制沉积时间和温度来获得不同厚度的派瑞林涂层。
对固化后的薄膜进行测试，如厚度测量、黏附力测试等。
派瑞林涂层的优点包括：
- 薄膜均匀、连续，可涂覆几乎任何类型的材料表面；
- 具有优异的化学稳定性和耐热性；
- 良好的阻隔性能，能有效阻隔氧气、水汽等物质；
- 具有优异的耐腐蚀性能；
- 透明、柔软，不影响材料的外观和灵活性。
派瑞林涂层在多个领域有广泛应用，如电子、医疗器械、光学器件等，用于提供保护、阻隔、绝缘和减摩等功能。
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Parylene在电子、微电子领域的应用
Parylene是一种具有优异性能的敷形涂层材料，问世后首先在电子领域得到了应用。
1972年列入美军标46058C允许作为军用印刷电路板的敷形涂层材料，涂层厚度为0.0005--0.002英寸。
Parylene气相沉积涂敷工艺涂敷时，在工件上有很强的渗透性，能渗透到SMT贴片工件的底部和工件表面疏松的毛细孔中，真正形成完全敷形、均匀一致的防护涂层。
Parylene 气相沉积涂敷工艺没有溶剂、助剂，即使在0.1微米厚也没有针孔，气态小分子在工件表面直接聚合成固态的涂层薄膜，没有通常涂层的固化过程和固化引起的收缩应力，对工件能进行表面加固，但不会引起伤害，也没有因表面张力而引起的涂层弯月面状不均匀。
Parylene材料本身有很优异的物理机械性能和电性能，不仅机械强度好，摩擦系数低，水汽透过率低，而且介电强度高，绝缘电阻高；介质损耗和介电常数也比较低，作为防护涂层它能覆盖从工频到10GHZ以上频率段电路使用。
击穿电压与Parylene厚度的关系
Parylene主要性能
作为电子电路的防护涂层，Parylene不需另加防霉剂，本身防霉能达零级。
在盐雾试验中，与其它涂层相比，Parylene防护的电路电阻几乎不下降，其它涂层则都有较大的下降。
很薄的Parylene涂层能提供优异的防护性能，还有利于电路板工作热量的消散，因此作为防护涂层Parylene能使电路具有更高的可靠性，特别是小型高密集度电子电路的防护，Parylene更显示出其独到的优势。
通常使用厚度涂层性能比较
Parylene C涂敷电路板交变湿热试验绝缘电阻（欧姆）MIL-STD-202 方法
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Parylene与常用涂层功能比较
Parylene主要应用实例
L-3通信公司制造飞行用黑盒子，为了确保防护可靠，用存储模块先进行试验，经-55℃—+85℃，100%RH加振动交变湿热试验30天，发现Parylene涂敷后防护性能明显大于其它涂层，很快就用Parylene代替了原来黑盒子所用的聚氨脂防护涂层。
（附图）
飞行黑盒子
Honeywell公司的空中防撞天线TCAS的电路组件，经交变湿热和盐雾试验筛选后选用了性能最好的Parylene作为防护涂层，结果使天线的使用寿命延长了十倍。
（附图）
空中交通防撞系统天线TCAS
国外用于高清晰度跟踪地面移动靶的机载雷达上微波转换组件和精密电路板都采用Parylene防护，即使在飞机外的恶劣环境下都能提供优良的防护和很高的可靠性。
（附图）
机载雷达、旅馆门卡
在传感器领域，由于很薄的Parylene薄膜涂层就能对器件提供有效防护，对传感器的灵敏度影响很小。
国外已有四千万种以上各种传感器用Parylene防护，其中有汽车传感器、腐蚀环境用传感器、生物医学用传感器等。
医院里使用的医疗仪器和病房里使用的电器电路除有三防要求外同时兼有防菌要求。
Parylene涂敷防护还具有防菌作用，在国外已经得到使用。
在微电子领域，近些年Parylene应用发展较快，真空气相沉积制备的Parylene不仅可制精细尺寸的涂层，而且该涂层可用微电子的加工工艺进行刻蚀加工图形。
它除了作为微电子器件钝化材料、引线加固封装材料外，在亚微米以下超大规模集成电路制作中还作为一种低介电常数材料用作集成电路的介电材料，特别是氟代Parylene，更被国外集成电路研究者所青睐，用作多层集成超大规模集成电路的层间绝缘介质。
用Parylene涂敷的集成电路硅片细引线可加固5--10倍，Parylene还能渗透到硅片下面，提高硅片的结合强度，提高集成电路的可靠性。
经Parylene封装的CMOS器件浸入海水中300天以上仍能正常工作，IBM公司还采用Parylene封装防护开发了一种在液氮中使用的微电子器件。
Parylene在微电子中的应用。