rena技术讲义员培训
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《技术人员培训教材》PPT课件
技术人员培训教材
技术人员培训教材
第一章 原 料
1. 纱支 2. 纱支：是指纱线的线密度，一般反映出纱线的径直大小。
2. 纱支的测量方法： 3. A. 定重制：即规定单位重量纱线的长度，例如1S/1则是指1Lb重
的纱线有840码长，所以其数字越大，其纱线越细。如：20S/1表示 重量为1LB的线长有20X840码长度。 4. B. 定长制：即规定单位长度，例如1D表示单位长度为9000米的纱 的重量为1G，70D即9000米的纱的重量为70D，所以其数字越大，其 纱线越粗。
M/C
interlock
图形
技术人员培训教材
S/K Feed 9 6 Feed
Solid (P/D) Feed (Y/D)
Jersey Pique Lacoste French Terry Solid Feed Jacq Y/D Feed
技术人员培训教材
Double Layer Rib Solid
Bursting问题。由于对树脂不起反应，故其缩水大，并伴有Slanting & Skew等问题，且难以改善。 6. Viscose & Model的强力较好，但pilling 较差，缩水及Slanting 亦 难控制。 7. Tencel 的强力最高，经过特别处理的Tencel没有Pilling问题。
Normal twist High twist Low twist 新疆棉 Pima Egyptian
技术人员培训教材
2. 人造纤维素纤维： 3. 4. 主要有Rayon, Viscose, Model、 Lyocell、 Tencel、等， 其成份
均为天然木浆纤维。 5. 其中Rayon的强力差，特别是湿强更差，所以Rayon布一般会有
技术人员培训教材
第一章 原 料
1. 纱支 2. 纱支：是指纱线的线密度，一般反映出纱线的径直大小。
2. 纱支的测量方法： 3. A. 定重制：即规定单位重量纱线的长度，例如1S/1则是指1Lb重
的纱线有840码长，所以其数字越大，其纱线越细。如：20S/1表示 重量为1LB的线长有20X840码长度。 4. B. 定长制：即规定单位长度，例如1D表示单位长度为9000米的纱 的重量为1G，70D即9000米的纱的重量为70D，所以其数字越大，其 纱线越粗。
M/C
interlock
图形
技术人员培训教材
S/K Feed 9 6 Feed
Solid (P/D) Feed (Y/D)
Jersey Pique Lacoste French Terry Solid Feed Jacq Y/D Feed
技术人员培训教材
Double Layer Rib Solid
Bursting问题。由于对树脂不起反应，故其缩水大，并伴有Slanting & Skew等问题，且难以改善。 6. Viscose & Model的强力较好，但pilling 较差，缩水及Slanting 亦 难控制。 7. Tencel 的强力最高，经过特别处理的Tencel没有Pilling问题。
Normal twist High twist Low twist 新疆棉 Pima Egyptian
技术人员培训教材
2. 人造纤维素纤维： 3. 4. 主要有Rayon, Viscose, Model、 Lyocell、 Tencel、等， 其成份
均为天然木浆纤维。 5. 其中Rayon的强力差，特别是湿强更差，所以Rayon布一般会有
人力资源焊工基础知识培训教材
人力资源焊工基础知识培训教材人力资源是现代企业的重要组成部分，而焊工作为制造业的重要组成部分，也需要具备一定的基础知识和技能。
为了培养具备一定焊接知识和技能的焊工，企业需要针对其职业特点，制定相应的人力资源焊工基础知识培训教材。
人力资源焊工基础知识培训教材应当包括以下几个方面：一、理论基础知识1.焊接的定义和分类：介绍焊接的概念，各种焊接方法的定义及适用范围。
2.焊接金属材料的热学和物理性质：介绍金属的热学性质和物理性质，为后续的实操做好铺垫。
3.焊接缺陷及其控制：介绍焊接过程中可能出现的一些缺陷，如气孔、裂纹、夹渣等，以及出现这些缺陷的原因和控制方法。
二、焊接技术实操1.焊接工具、设备及耗材：介绍焊接工具、设备及耗材的分类、特点、使用方法等。
2.焊接规范及安全操作：介绍焊接的操作规范及注意事项，以及焊接时的安全措施。
3.焊接实操：将上述理论知识运用到实际操作中，培养焊工的实际操作技能。
三、质量控制、检验和维护1.焊接质量的控制：介绍焊接质量控制的方法和标准，以确保焊接质量符合要求。
2.检验方法：介绍焊接部件的检验方法及其标准。
3.维护方法：介绍焊接工具、设备和耗材的维护方法，以保证其正常使用。
以上是人力资源焊工基础知识培训教材应包括的主要内容。
通过上述培训，焊工可以从理论、实操和质量控制三个角度全面掌握焊接知识和技能，从而提高焊工的整体水平，为企业提供更好的服务。
此外，人力资源焊工基础知识培训教材还应注意以下几个方面：1.教材要通俗易懂，符合焊工的实际需要。
2.教材应注重理论和实际操作的结合，尽可能减少脱离实际操作的味道。
3.教材应符合当前的国家法律法规和标准，如GB/T8110-2018等。
4.教材中应包含一些典型的案例，以便焊工加深对理论知识的理解。
总之，人力资源焊工基础知识培训教材对于企业培养符合要求的焊工，提高生产效益和质量，具有很重要的意义。
因此，相关企业应制定出符合自身职业特点的培训计划，并制定相应的培训教材，以期达到更好的培训效果。
山西仁达员工基础知识培训
认证
中国(zhōnɡ ɡuó)实验室国 家认可委员会认证
ISO9001国际质量 (zhìliàng)管理体系
认证
HACCP国际食品安全管理 体系认证
第四十四页，共90页。
GMP车间(chējiān)及中控 室
营养(yíngyǎng)健康产品生产车间通过国家药品、保健食品GMP认证。
第四十五页，共90页。
第十六页，共90页。
销售(xiāoshòu)技巧
2、学会(xuéhuì)询问： *是否买过某类产品？ *是否知道某类产品？ 勇于开始，才能找到成 *用某类产品多久了？ 功的路 *某类产品是怎样服用的？
第十七页，共90页。
销售(xiāoshòu)技巧
• 顾问式服务：站在顾客的立场上为其着 想，针对顾客的需求给他们最多的商品 咨询(zīxún)和建议。
5、比较
6、信任 勇于开始，才(能xì找n到r成èn) 功的路 7、行动
8、满意
第三页，共90页。
顾客(gùkè) 的分类
• 果断型顾客：对这类顾客，营业员要察看 准确，点拨到位，语言简练。
• 优柔型顾客：对这类顾客，营业员一定要 耐心，多角度反复予以说明，而且说服要 有根有据，即有说服力。
• 沉默型顾客：对这类顾客，营业员要先问、 多问。要根据这类顾客的一举一动，判断 出他要选购一类产品 ，然后设计他感兴趣 的问话(wèn huà)。交谈时，要顺从他的性 格，轻声慢语。
• 促销(cù xiāo)新模式
• 促销(cù xiāo)旧模式
商品介绍 结束促销
第二十九页，共90页。
营业员的几个销售(xiāoshòu)原 则
销售的5S：促销服务的根本。
Smile——笑容开朗地接待顾客
中国(zhōnɡ ɡuó)实验室国 家认可委员会认证
ISO9001国际质量 (zhìliàng)管理体系
认证
HACCP国际食品安全管理 体系认证
第四十四页，共90页。
GMP车间(chējiān)及中控 室
营养(yíngyǎng)健康产品生产车间通过国家药品、保健食品GMP认证。
第四十五页，共90页。
第十六页，共90页。
销售(xiāoshòu)技巧
2、学会(xuéhuì)询问： *是否买过某类产品？ *是否知道某类产品？ 勇于开始，才能找到成 *用某类产品多久了？ 功的路 *某类产品是怎样服用的？
第十七页，共90页。
销售(xiāoshòu)技巧
• 顾问式服务：站在顾客的立场上为其着 想，针对顾客的需求给他们最多的商品 咨询(zīxún)和建议。
5、比较
6、信任 勇于开始，才(能xì找n到r成èn) 功的路 7、行动
8、满意
第三页，共90页。
顾客(gùkè) 的分类
• 果断型顾客：对这类顾客，营业员要察看 准确，点拨到位，语言简练。
• 优柔型顾客：对这类顾客，营业员一定要 耐心，多角度反复予以说明，而且说服要 有根有据，即有说服力。
• 沉默型顾客：对这类顾客，营业员要先问、 多问。要根据这类顾客的一举一动，判断 出他要选购一类产品 ，然后设计他感兴趣 的问话(wèn huà)。交谈时，要顺从他的性 格，轻声慢语。
• 促销(cù xiāo)新模式
• 促销(cù xiāo)旧模式
商品介绍 结束促销
第二十九页，共90页。
营业员的几个销售(xiāoshòu)原 则
销售的5S：促销服务的根本。
Smile——笑容开朗地接待顾客
rena技术员培训-精选文档
DI water
1.3.2 InOxSIde操作系统主界面
KOH DI water
蚀刻槽 HF+HNO3+H2SO4+DI
HF
CDA
DI water
1.3.3 RENA主界面详细说明
程序内 的日期 和时间 模式、与PLC的 连接情况及登陆 的用户名
灯塔状 态
机器名称
目 的 ：
a）去除硅片表面的磷硅玻璃；b）去掉硅片背面及
周边p-n结。
1.2.2 工作流程
Intex
上料台 制绒槽 吹 干 漂洗 1# 碱 洗
下料台
干 燥
漂洗 3#
酸 洗
漂洗 2#
InOxSide
上料台 刻蚀槽 漂洗 1# 碱 洗 漂洗 2#
下料台
干 燥
漂洗 3#
酸 洗
1.2.3 RENA一次清洗工艺
1.1.1 RENA整机
1.1.1 RENA整机
注：公司一般会根据需要在RENA前后加装上料台、下料台用来代替人工手工放片。 在下料台也会安装吸片装置，用以挑出损坏，破碎的片子。
6
1.1.2 冷却器
1.1.3 电控柜外部
1.1.4 电控柜内部
1.1.5 化学品输送及排风管道
1.1.6 气、水输送管道
KOH溶液，主要去除多孔硅和中和硅表面残余的酸。
反应如下：
Si+2KOH+H2O
K2SiO3+2H2
22
酸洗(HF)的目的及机理
酸洗槽（去PSG）： 氢氟酸能够溶解二氧化硅是因为氢氟酸能与二氧化硅 作用生成易挥发的四氟化硅气体。
SiO 4HF SiF 2H O
2 4 2
技术培训师岗位职责和培训方法
技术培训师岗位职责和培训方法技术培训师在现代企业中扮演着重要的角色，随着科技的不断发展和应用，培训师需要不断提升自己的专业知识和培训方法，以便更好地满足培训需求。
本文将介绍技术培训师的岗位职责和常用的培训方法。
一、岗位职责在企业中，技术培训师通常承担以下职责：1.需求分析：技术培训师需要与企业管理层和员工沟通，了解其技术培训需求，并进行需求分析。
他们要确定培训的目标和范围，以便制定相应的培训计划。
2.课程设计：基于需求分析结果，技术培训师要设计培训课程。
他们要根据具体内容和培训目标，选择适合的培训教材、工具和方法，并组织课程内容，确保培训的全面性和有效性。
3.培训执行：技术培训师负责组织和执行培训课程。
他们需要制定培训计划，并根据实际情况进行灵活调整。
在培训过程中，他们要提供充分的示范和实践机会，帮助学员掌握相关技术技能。
4.测评与反馈：技术培训师需要评估学员的学习成果，并提供反馈。
他们可以通过考试、测验、作业等形式对学员进行评估，帮助学员发现和解决问题，并及时调整培训方法和内容。
5.持续学习：技术培训师需要不断学习和更新自己的专业知识。
他们要关注最新的技术发展和应用，参加培训课程和工作坊，以便提升自己的培训能力并保持行业竞争力。
二、培训方法技术培训师可以根据培训内容和学员的特点选择合适的培训方法。
下面是一些常用的培训方法：1.讲座式培训：讲座式培训适合传递基础知识和理论。
技术培训师可以通过演讲、演示和讨论等形式将知识传递给学员，并解答他们的问题。
2.案例分析：案例分析是培训师常用的方法之一。
他们可以选择真实的案例，让学员通过分析和讨论，理解和解决实际问题，并将理论知识应用到实践中。
3.实践操作：实践操作是技术培训中必不可少的一环。
培训师可以为学员提供实际项目，让他们亲自动手解决问题，锻炼技能，并从中获得经验和教训。
4.团队合作：技术培训师可以通过团队合作的方式进行培训。
他们可以将学员分成小组，让他们共同完成一个项目或解决一个问题。
RENA操作 2
制绒槽（主槽） 清洗一槽
碱洗槽 冲洗二槽
酸洗槽
冲洗三槽
干燥
工作流程
10
RENA操作软件主界面：
11
RENA操作软件主界面详细说明1：
程序内 的日期 和时间 模式、与PLC的 连接情况及登陆 的用户名
灯塔状 态
机器名称
厂家名称
报警的详细信息
登陆按扭
12
RENA操作软件主界面详细说明2:
机器的三种报警:严重的问题、机 器本身的问题和一般的警报
RENISE 1槽的状 态
23
RENA碱槽（Manual）界面
碱槽：中和前道残留 酸；去除多孔硅
24
碱槽功能
MODE MAN&MODE AUTO----自动运行时单个槽的 自动手动切换 FILLING DI----给槽内加纯水 FILLING CHEMIE----加化学药品（初始配槽） RINSING----用纯水清洗 DRAINING----整个槽排液 START CIRCULATION----开始循环（只有加满纯水 或化学药品后此功能才起作用，此步骤程序内有时 间计算，会自动停止，是整个槽达到READY的基本 条件之一） START ETCHING----在手动模式下单个槽运行工艺
碱槽温 度
门状态(绿色为关 闭灰色为开启)
出口 处硅 片统 计
14
RENA操作软件主界面详细说明4:
登陆筐,可输入登陆名密 码后登陆(不同的登陆 名有不同的权限)
记事本
锁定 窗户
正在使用的工 艺文件
机器自动 运行时的 开始和停 止
灯塔测试 (点击后 灯塔全部 亮)
15
RENA操作软件主界面详细说明5:
56
技术员培训教材ppt
掘进工作面： 会审意见 第一章：概况 第二章：地面位置及地质情况 第三章：巷道布置及支护说明 第四章：施工工艺 第五章：生产系统 第六章：劳动组织和主要技术经 济指标 第七章：安全技术措施 第八章：灾害应急措施和避灾路 线
6
100％
60％ 40％
三、《作业规程》之“精编写”
《作业规程》内容和结构分析（二）
5、制作好的“学习单元”可以是文稿、可以是 PPT，也可以是录音、录像，一切有效的方法 、方式都可以作为其表现形式；
6、“学习单元”要编册、编号，附加考题，有 明确的学习对象、时期要求，具有时效特征。
别忘了， 每个学 习单元 后面要 附一个 考题哦！
三、《作业规程》之“精编写”
11
我们对“精编写”的理解……
点点头
动起来
看着他
握握手
笑一笑
四、《作业规程》之“讲明白”
4
如何提高控场能力和效果？
1、充分了解地方文化特征和职工行为特点；
你为什么
2、善用、多用尊重的语言和表扬的话语； 不听？我
3、灵活的批评方式和及时沟通；
讲的不好 吗？
4、高度的工作责任心和忍耐性；
5、“借助式”化解突发事件和矛盾；
6、严肃、认真与幽默、调侃并用。
三、《作业规程》之“精编写”
2
《作业规程》编写的六条原则
1、必须严格遵守有关法律、法规、标准、规章、规程 和相关技术规范的原则；
2、坚持安全方针，积极推广新技术、新工艺、新设备 、新材料和先进管理手段，提高经济效益的原则；
3、必须坚持“一工程、一规程”的原则，不得沿用、 套用作业规程，严禁无规程组织施工；
2、逐步克服紧张心态，讲前的准备一定要充分； 3、善用肢体语言，放出自己的声音； 4、讲话要有节奏感，要专心致志的讲； 5、适度模仿名人的演讲，逐步形成自己的风格； 6、经常自我练习，学会讲更要学会听，勇于纠正。
技术培训PPT课件
鼓励学员提问和讨论，同时采用多种手段 如演示、视频、动画等来增强学员的理解和记忆。
02
技术基础知识
基础知识概述
01
02
03
计算机组成
计算机硬件、软件、操作 系统等基本概念。
信息技术发展历程
从计算机的发明到互联网 的普及，以及未来技术的 发展趋势。
信息技术应用领域
数据结构的基本概念和分类，如数组、链表、栈、队列等。
常见算法介绍
如排序、查找、递归等，以及它们的实现和应用场景。
数据结构和算法的应用
介绍数据结构和算法在实际项目中的应用，如搜索引擎、数据库系 统等。
网络技术基础
1 2
网络技术概述
计算机网络的基本概念和组成，如IP地址、DNS 等。
常见网络协议介绍
如TCP/IP协议栈、HTTP协议等，以及它们的作 用和工作原理。
实践操作。
实践操作考核
制定实践操作的考核标 准和方式，对学员的操 作技能进行评估和反馈
。
案例分析概述
案例选择
选择具有代表性的案例，以便学 员能够更好地理解和掌握相关知
识和技能。
案例分析目的
明确案例分析的目的和意义，帮助 学员深入了解相关技术的应用和效 果。
案例分析方法
介绍案例分析的方法和步骤，包括 数据收集、分析和结论等环节。
案例分析实施
数据收集
根据案例分析的需要，收 集相关的数据和资料，为 后续的分析提供支持。
数据分析
对收集到的数据进行分析 和处理，提取有用的信息 和结论。
结论总结
总结案例分析的结论和成 果，并对相关技术的应用 前景进行展望。
05
技术培训总结与展望
技术培训总结
02
技术基础知识
基础知识概述
01
02
03
计算机组成
计算机硬件、软件、操作 系统等基本概念。
信息技术发展历程
从计算机的发明到互联网 的普及，以及未来技术的 发展趋势。
信息技术应用领域
数据结构的基本概念和分类，如数组、链表、栈、队列等。
常见算法介绍
如排序、查找、递归等，以及它们的实现和应用场景。
数据结构和算法的应用
介绍数据结构和算法在实际项目中的应用，如搜索引擎、数据库系 统等。
网络技术基础
1 2
网络技术概述
计算机网络的基本概念和组成，如IP地址、DNS 等。
常见网络协议介绍
如TCP/IP协议栈、HTTP协议等，以及它们的作 用和工作原理。
实践操作。
实践操作考核
制定实践操作的考核标 准和方式，对学员的操 作技能进行评估和反馈
。
案例分析概述
案例选择
选择具有代表性的案例，以便学 员能够更好地理解和掌握相关知
识和技能。
案例分析目的
明确案例分析的目的和意义，帮助 学员深入了解相关技术的应用和效 果。
案例分析方法
介绍案例分析的方法和步骤，包括 数据收集、分析和结论等环节。
案例分析实施
数据收集
根据案例分析的需要，收 集相关的数据和资料，为 后续的分析提供支持。
数据分析
对收集到的数据进行分析 和处理，提取有用的信息 和结论。
结论总结
总结案例分析的结论和成 果，并对相关技术的应用 前景进行展望。
05
技术培训总结与展望
技术培训总结
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精品
rena技术员培训
目录
• 第一部分：RENA清洗机设备概况 • 第二部分：单晶清洗机设备概况 • 第三部分：RENA管路图 • 第四部分：RENA电路图 • 第五部分：RENA机械原理 • 第六部分：西门子 PLC
第一部分 RENA清洗机设备概况
1.1 RENA清洗机的组件
• • 1 InTex. / InTex 1 台 • • 2 intermediate transports (input station/output
RENA刻蚀原理方程：3SI+4HNO3+18HF——3H2[SIF6]+4NO2+8H2O
SIO2+HF——H2[SIF6]+H2O
内部和表面绒面
RENA运行时的内部状况图
多晶硅片经过制绒后的绒面形貌
注：需要指明的是RENA清洗制绒过程中片子是全部淹没在溶液内的。而在RENA刻蚀过 程中片子是漂浮在溶液上的。
所以去磷硅玻璃清洗实质上就是去除硅片表面的SiO2。
刻蚀(HF、HNO3、H2SO4)的目的和机理
在刻蚀过程中，HF对二氧化硅的腐蚀发生如下 反应：
SiO2+6HF = H2[SiF6]+2H2O
HNO3主要是用来刻蚀硅片边缘处的PN结的，相当于等离子刻蚀。
溶液中加入H2SO4的目的是增大溶液的 黏度及密度，使溶液与硅片更好的接触。
InTex
目的：
a）去除硅片表面的污染物；b）络合硅片表面沾污 的金属离子；c）在硅片表面腐蚀出绒面。
InOxSide
目的：
a）去除硅片表面的磷硅玻璃；b）去掉硅片背面及 周边p-n结。
1.2.2 工作流程
Intex
上料台
制绒槽
吹干
漂洗 1#
碱洗
下料台
干燥
InOxSide
上料台
刻蚀槽
漂洗 3# 漂洗 1#
16
制备绒面的目的及机理
减少光的反射率，提高短路电流（Isc），最终提高 电池的光电转换效率。
解释机理： 当光入射到一定角度的斜面或粗糙的表面，光会反射到 另一角度的斜面，形成二次或者多次吸收，从而增加吸收 率。
绒面减少反射的机理
17
碱洗（KOH）的目的及机理
多孔硅的反射率是很低的
，但如果不去除，对后道的 扩散和丝网印刷不利，电池 效率受严重影响。
的用户名
灯塔状 态
机器名称
厂家名称
报警的详细信息
登陆按扭
Hale Waihona Puke 1.3.3 RENA主界面详细说明
机器的三种报警:严重的问题、机 器本身的问题和一般的警报
酸洗
漂洗 2#
碱洗
漂洗 2#
下料台
干燥
漂洗 3#
酸洗
1.2.3 RENA一次清洗工艺
RENA制绒（HF、HNO3）原理氟方硅程酸 ：
Si+2HNO3+6HF = H2[SiF6]+2HNO2+2H2O 3Si+4HNO3+18HF = 3H2[SiF6]+4NO+8H2O 3Si+2HNO3+18HF = 3H2[SiF6]+2NO+4H2O+3H2 5Si+6HNO3+30HF=5H2[SiF6]+2NO2+4NO+10H2O+3H2
19
1.2.4 RENA二次清洗工艺
刻蚀槽(HF、HNO3、H2SO4)刻蚀目的： 1. 去除硅片周边及背面P-N结，减少漏电流。 2. 去除在扩形成的磷硅玻璃，较少光的反射，降低 接触电阻。
扩散中磷硅玻璃的形成： 4 POCl3 + 3 O2 = 2 P2O5 + 6 Cl2
在较高的温度的时候， P2O5作为磷源与Si发生了如下反应： 2 P2O5 +5 Si = 5 SiO2 + 4 P
6
1.1.2 冷却器
1.1.3 电控柜外部
1.1.4 电控柜内部
1.1.5 化学品输送及排风管道
1.1.6 气、水输送管道
CDA
Cooling water
Cooling water
City water
DI water CDA
1.1.7 热风系统
1.2 RENA清洗工艺原理
1.2.1 清洗目的
多孔
Si+2KO硅H+H2O
碱洗槽： KOH溶液，主要去除制绒
后形成的多孔硅 反应如下：
K2SiO3+2H2
18
酸洗(HF、HCL)的目的及机理
酸洗槽： HF去除硅片在清洗过程中形成的很薄的SiO2层，反
应如下： SiO2+6HF = H2[SiF6]+2H2O
HCl去除硅表面金属杂质，盐酸具有酸和络合剂的双重作 用，氯离子能与 Pt 2+、 Au 3+、 Ag +、 Cu+、 Cd 2+、 Hg 2+等金属离子形成可溶于水的络合物。
2
4
2
若氢氟酸过量，反应生成的四氟化硅会进一步与氢氟
酸反应生成可溶性的络和物六氟硅酸。
Si F 2H H F[S]iF
4
2
6
总反应式为：
S i6 O H H [F S ] 2 iO F H
2
2
6
2
23
1.3 RENA操作系统主界面
1.3.1 InTex操作系统主界面
DI water
KOH DI water
station). /进料台、出料台各1个
• • 1 chiller. /冷却器1个 • • 1 electrical cabinet. /电器柜1个
1.1.1 RENA整机
1.1.1 RENA整机
注：公司一般会根据需要在RENA前后加装上料台、下料台用来代替人工手工放片。 在下料台也会安装吸片装置，用以挑出损坏，破碎的片子。
碱洗（KOH）的目的及机理
KOH溶液，主要去除多孔硅和中和硅表面残余的酸。 反应如下：
Si+2KOH+H2O K2SiO3+2H2
22
酸洗(HF)的目的及机理
酸洗槽（去PSG）： 氢氟酸能够溶解二氧化硅是因为氢氟酸能与二氧化硅
作用生成易挥发的四氟化硅气体。
Si 4 O H SF i F 2O H
CDA
制绒槽 HF+HNO3+DI
HF+HCI
CDA DI water
1.3.2
DI water
InOxSIde操作系统主界HF+H面NO蚀3刻+H槽2SO4+DI
KOH DI water
HF CDA DI water
1.3.3 RENA主界面详细说明
程序内 的日期 和时间
模式、与PLC的 连接情况及登陆
station). /进料台、出料台各1个
• • 1 chiller. /冷却器1个 • • 1 electrical cabinet. /电器柜1个• 1 InOxSide.
/InOxSide 1 台
• • 2 intermediate transports (input station/output
rena技术员培训
目录
• 第一部分：RENA清洗机设备概况 • 第二部分：单晶清洗机设备概况 • 第三部分：RENA管路图 • 第四部分：RENA电路图 • 第五部分：RENA机械原理 • 第六部分：西门子 PLC
第一部分 RENA清洗机设备概况
1.1 RENA清洗机的组件
• • 1 InTex. / InTex 1 台 • • 2 intermediate transports (input station/output
RENA刻蚀原理方程：3SI+4HNO3+18HF——3H2[SIF6]+4NO2+8H2O
SIO2+HF——H2[SIF6]+H2O
内部和表面绒面
RENA运行时的内部状况图
多晶硅片经过制绒后的绒面形貌
注：需要指明的是RENA清洗制绒过程中片子是全部淹没在溶液内的。而在RENA刻蚀过 程中片子是漂浮在溶液上的。
所以去磷硅玻璃清洗实质上就是去除硅片表面的SiO2。
刻蚀(HF、HNO3、H2SO4)的目的和机理
在刻蚀过程中，HF对二氧化硅的腐蚀发生如下 反应：
SiO2+6HF = H2[SiF6]+2H2O
HNO3主要是用来刻蚀硅片边缘处的PN结的，相当于等离子刻蚀。
溶液中加入H2SO4的目的是增大溶液的 黏度及密度，使溶液与硅片更好的接触。
InTex
目的：
a）去除硅片表面的污染物；b）络合硅片表面沾污 的金属离子；c）在硅片表面腐蚀出绒面。
InOxSide
目的：
a）去除硅片表面的磷硅玻璃；b）去掉硅片背面及 周边p-n结。
1.2.2 工作流程
Intex
上料台
制绒槽
吹干
漂洗 1#
碱洗
下料台
干燥
InOxSide
上料台
刻蚀槽
漂洗 3# 漂洗 1#
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制备绒面的目的及机理
减少光的反射率，提高短路电流（Isc），最终提高 电池的光电转换效率。
解释机理： 当光入射到一定角度的斜面或粗糙的表面，光会反射到 另一角度的斜面，形成二次或者多次吸收，从而增加吸收 率。
绒面减少反射的机理
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碱洗（KOH）的目的及机理
多孔硅的反射率是很低的
，但如果不去除，对后道的 扩散和丝网印刷不利，电池 效率受严重影响。
的用户名
灯塔状 态
机器名称
厂家名称
报警的详细信息
登陆按扭
Hale Waihona Puke 1.3.3 RENA主界面详细说明
机器的三种报警:严重的问题、机 器本身的问题和一般的警报
酸洗
漂洗 2#
碱洗
漂洗 2#
下料台
干燥
漂洗 3#
酸洗
1.2.3 RENA一次清洗工艺
RENA制绒（HF、HNO3）原理氟方硅程酸 ：
Si+2HNO3+6HF = H2[SiF6]+2HNO2+2H2O 3Si+4HNO3+18HF = 3H2[SiF6]+4NO+8H2O 3Si+2HNO3+18HF = 3H2[SiF6]+2NO+4H2O+3H2 5Si+6HNO3+30HF=5H2[SiF6]+2NO2+4NO+10H2O+3H2
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1.2.4 RENA二次清洗工艺
刻蚀槽(HF、HNO3、H2SO4)刻蚀目的： 1. 去除硅片周边及背面P-N结，减少漏电流。 2. 去除在扩形成的磷硅玻璃，较少光的反射，降低 接触电阻。
扩散中磷硅玻璃的形成： 4 POCl3 + 3 O2 = 2 P2O5 + 6 Cl2
在较高的温度的时候， P2O5作为磷源与Si发生了如下反应： 2 P2O5 +5 Si = 5 SiO2 + 4 P
6
1.1.2 冷却器
1.1.3 电控柜外部
1.1.4 电控柜内部
1.1.5 化学品输送及排风管道
1.1.6 气、水输送管道
CDA
Cooling water
Cooling water
City water
DI water CDA
1.1.7 热风系统
1.2 RENA清洗工艺原理
1.2.1 清洗目的
多孔
Si+2KO硅H+H2O
碱洗槽： KOH溶液，主要去除制绒
后形成的多孔硅 反应如下：
K2SiO3+2H2
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酸洗(HF、HCL)的目的及机理
酸洗槽： HF去除硅片在清洗过程中形成的很薄的SiO2层，反
应如下： SiO2+6HF = H2[SiF6]+2H2O
HCl去除硅表面金属杂质，盐酸具有酸和络合剂的双重作 用，氯离子能与 Pt 2+、 Au 3+、 Ag +、 Cu+、 Cd 2+、 Hg 2+等金属离子形成可溶于水的络合物。
2
4
2
若氢氟酸过量，反应生成的四氟化硅会进一步与氢氟
酸反应生成可溶性的络和物六氟硅酸。
Si F 2H H F[S]iF
4
2
6
总反应式为：
S i6 O H H [F S ] 2 iO F H
2
2
6
2
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1.3 RENA操作系统主界面
1.3.1 InTex操作系统主界面
DI water
KOH DI water
station). /进料台、出料台各1个
• • 1 chiller. /冷却器1个 • • 1 electrical cabinet. /电器柜1个
1.1.1 RENA整机
1.1.1 RENA整机
注：公司一般会根据需要在RENA前后加装上料台、下料台用来代替人工手工放片。 在下料台也会安装吸片装置，用以挑出损坏，破碎的片子。
碱洗（KOH）的目的及机理
KOH溶液，主要去除多孔硅和中和硅表面残余的酸。 反应如下：
Si+2KOH+H2O K2SiO3+2H2
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酸洗(HF)的目的及机理
酸洗槽（去PSG）： 氢氟酸能够溶解二氧化硅是因为氢氟酸能与二氧化硅
作用生成易挥发的四氟化硅气体。
Si 4 O H SF i F 2O H
CDA
制绒槽 HF+HNO3+DI
HF+HCI
CDA DI water
1.3.2
DI water
InOxSIde操作系统主界HF+H面NO蚀3刻+H槽2SO4+DI
KOH DI water
HF CDA DI water
1.3.3 RENA主界面详细说明
程序内 的日期 和时间
模式、与PLC的 连接情况及登陆
station). /进料台、出料台各1个
• • 1 chiller. /冷却器1个 • • 1 electrical cabinet. /电器柜1个• 1 InOxSide.
/InOxSide 1 台
• • 2 intermediate transports (input station/output