京东方洁净技术培训

人发直径 100µm
可见粒子 50µm
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基本概念--洁净 基本概念 洁净
•.ƒ‡概 --洁净 洁净 级标
级
洁净 级标 1961 国空军 颁 个专为洁净 写 标 称为“ 术 册（T.O.）00-25-203”。 1963 发 单 圣 亚公 写 个FS209 标 ， 为 括ISO 14644-1 内 1999 国际标 组织 洁净 系 标 ISO 14644-1。 国 2001 废纸FS 209E开 实 ISO 标 ， 罗 2000 开 实 ISO 标 。
洁净室技术
洁净室设计与建造
洁净室测试与监测
洁净室运行
标准 平面布置图 建筑材料 动力设施—水 动力设施 水、气 将洁净室置于工作状态
测试新洁净室达到设计要求
监测洁净室的状况 人员、设备、 人员、设备、材料入场
And
防止产品污染的洁净室纪律 洁净服、包括手套、 洁净服、包括手套、口罩等
测试以确保洁净室仍然达到设计要求
洁净室内的服装要求
2-1-洁净服
2-1-1面料： 面料： 不易破损（起毛） 对洁净服下污染的过滤能力 （可测量 空气穿透率、粒子滞留情况、微孔孔径） 最常用聚酯纤维，一次性洁净服使用高密度聚乙烯无纺合成纸面料。
单长丝聚酯纤维纺织面料
服装制作： 服装制作： 为防止面料的布边起毛，要包边或锁边或烫边或用激光剪彩。 为使污染达到最小，还要包缝。 为使污染达到最小，缝线应使用长的合成线。 为使掉落的粒子最少，拉链、扣子、鞋底不应破碎、断裂或被腐蚀，且要经受得住多次 洗涤或消毒。 为防止尘埃聚集，服装上不得有口袋、折褶、尖褶、或尼龙粘扣。 为使污染达到最小，松紧袖口或紧袖口都不应包容粒子或有粒子从中脱落 用于较高标准的洁净室
时 时
空气, 8% 气体化学品, 8%
化妆品产生的灰尘数量(0.05μ以下大小) 化妆品产生的灰尘数量(0.05μ以下大小) (0.05μ以下大小
* 缓 ke 跑
1.100.000.000 个 *.在湿气重的地方，会有更多的灰尘 600.000.000 个 270.000.000 个 87.000.000 个 3.000.000.000 个 从人体上落下。
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洁净室内的服装要求
1--惰性粒子的来源与传播途径： --惰性粒子的来源与传播途径： 惰性粒子的来源与传播途径
人员散发的粒子数量人与人之间差异很大，但人的活动越大散发的粒子就越多；还要看所穿着的服装。 散发粒子的范围一般是大于等于 0.5µm的粒子几十万（活动状态）~千万（剧烈活动）/分钟。 人大约每天脱落6~13g 粒子，一年约3.5kg。
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洁净室内的服装要求
2-1-2洁净服的清洗和更换
多次使用的服装要在洁净室洗衣房中实施，顺序如下：
送入洗衣机 干洗 或DI水洗
一般在叠衣区检验洁净工艺的有效性，使 用美国材料测试学会（ASTM）的F61标 准或滚筒式干燥机测试。可参考推荐准则 IEST RP-CC-003
为0.5μｍ 工 过 33,900 30,200 298,000 224,000 224,000 63,100 85,000 312,000 280,000 292,000 Uncountable 尘 5,580 7,420 18,600 21,200 20,600 11,000 14,900 37,400 44,600 56,000 Uncountab le
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的服装
洁 皮肤粒子 净 服 下 面 的 粒 子 来自里面服装的例子
面
的
子
室 内 空 气
来自
服 面的粒子
来自
子的粒子
的粒子
粒子的来
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洁净室内的服装要求
专 发罩 头罩 罩 讯头盔 纺织 屏 内
专 发罩 头罩 罩 讯头盔 纺织 屏 内
R=推荐 AS=根据具体情况
NR=不推荐 （NR*）=不推荐用于非单向流
R=推荐 AS=根据具体情况
NR=不推荐 R**=建议使用外科口罩
Array/Cell line 应用
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微电子工业 微污染源 区 工艺过程, 25% 人员, 35% ˛ } 动 设备, 25% 弯曲 ˝ 头 动 }
妆 口 粉 腮 眼 睫 毛 红 影 膏 种类 红 产 数 备
0.3μｍ 人员 动 工 54,300 44,800 运 时 运动 运 扭动时 弯曲时 时 445,000 392,000 347,000 123,000 224,000 416,000 424,000 538,000 时 Uncountabl e 尘 13,000 14,800 49,000 39,300 52,000 22,100 31,400 62,500 92,100 157,000 Uncountab le
皮肤表面照片，线是细胞边缘轮廓，液滴是汗 皮肤表面照片，线是细胞边缘轮廓，
嘴与鼻子： 嘴与鼻子： 打喷嚏、咳嗽、 说话时有粒子 散发出来。
质量不佳的洁净服面料（线间当量孔径为 质量不佳的洁净服面料（线间当量孔径为80µm~100µ m），其阻止粒子穿透的功能甚微。因为单丝直径大且 ），其阻止粒子穿透的功能甚微 ），其阻止粒子穿透的功能甚微。 面料纺织不密实。 面料纺织不密实。
棉布料显微镜照片（放大 棉布料显微镜照片（放大100倍） 倍 表面有很多天然纤维断裂的片段
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洁净室内的服装要求
不同级别洁净室内服装的选择标准
IEST-RP-CC-003. IEST-RP-CC-003.2 推荐标准中各级别洁净室的服装系统 服装类型 长 两件 连 ISO7级与8级 （万级与10万 级） R AS AS R AS AS R AS AS AS AS AS AS ISO6级 （1000 级） AS AS R AS R AS R AS AS AS AS AS AS ISO5级 （100级） ISO4级与3级 （10级与1 级） AS(NR*) NR AS AS R R AS(NR*) NR R R AS AS R R R R R R AS AS AS NR AS R AS R
洁净室的清洁与设备清洁
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基本概念--Clean 基本概念--Clean Room --
么?
凡是能将空气悬浮粒子（气溶胶）计算浓度保持在一定范围的房间，或在必要时，将空气微生物的数量保 持在一定范围内的房间，可称作洁净室或洁净房 (如)手术室， 制药厂,半导体,电子材料制造厂, LCD制造 厂等 粒子？ 粒子？ 粒子？ 粒子是固体、液体、多相物质或微生物，大小为0.005~100微米。现在对洁净室分级时，一般以0.1~0.5 微米的下限粒径粒子为准。肉眼可见的粒径大约 50µm。
8 83 832 8320 83200 832000 8320000 29 293 2930 29300 293000
FS 100000级 （ 35.2 即为FS 209E规Байду номын сангаас值）
尘埃浓度是衡量洁净效果的最直接、最重要的参数，通常称为洁净度 洁净度。它是指单位体积的空气中含有大于0.5µm规定为 洁净度 直径的尘埃数量。
在脏衣区分类
在转筒式干机中 干燥
检验是否有小洞 或破损
求
（ 要 性实施） 入洁净 中
装
洁 净
： —会使 （ 料 ）-- 性 —会使服装 剂—会有 使服装 ， 损 。 。
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洗 衣 房
。
流 程 图
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洁净室内的服装要求
换洗频度
一般生产工艺对污染越敏感，服装换洗频度越高。但在半导体工业的洁净室的条件最高， 一般生产工艺对污染越敏感，服装换洗频度越高。但在半导体工业的洁净室的条件最高，洁净服可以一周换洗一次或一 周换洗两次，而不会产生不良影响。 周换洗两次，而不会产生不良影响。 一般清洗40次后应该报废（BOEOT 26次）。面料经高压滚压，将面料压光，减少孔径，受压越重洗涤过程中越可能变 一般清洗 次后应该报废（ 次 ）。面料经高压滚压，将面料压光，减少孔径， 次后应该报废 面料经高压滚压 松。 高压滚压面料清洗40次后 孔径从17.2µm增加到 高压滚压面料清洗 次后 孔径从 增加到25.5µm； ； 增加到 受挤压轻的面料洗40次后 孔径从21.7µm增加到 增加到24.6µm。 受挤压轻的面料洗 次后 孔径从 增加到 。
粒子的来源与释放机制 皮肤： 皮肤： 人体皮肤每天大约脱落10E9个皮肤细胞，皮肤细胞大小约33 µm *44µm，以完整的皮肤细胞或细胞破损碎片形态脱落，大 量皮细胞会散布到空气中，构成主要的悬浮污染源。 洁净服下的穿着： 洁净服下的穿着： 天然纤维制作的服装（棉衬衣/棉衬裤/毛衣等）由于天然纤 维短且易断裂会散发大量粒子。合成纤维制作的服装比天然纤 维制作的服装少散发粒子 90%或更多. 洁净服： 洁净服： 洁净服都是用聚酯、尼龙这样的合成纤维制造，不易断裂列，散 发的粒子数量仅占人员散发的粒子数量的5%。
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Line Patrol * Line Patrol概述 概述 * Line Patrol中的基本概念 中的基本概念 * Line Patrol Flow * NCR 发行流程 * Line Patrol标准 标准