API公司激光干涉仪介绍资料
API激光干涉仪直线轴使用校验操作方法
API激光干涉仪直线轴使用校验操作方法前言:由于加工条件的限制，所有滚珠丝杠螺母结构都会存在一些误差，所以当私服电机按照CNC系统指令转动足够的圈数后，反应到直线移动轴上的位置总会出现误差。
另外丝杆安装误差及导轨制造误差也会影响直线移动轴的定位误差及线性误差。
对于传统的手动测量及参数输入的反向间隙偏差与螺距误差补偿，工作量大，繁琐，容易出现计算和操作上的错误。
通过API激光干涉仪对直线轴的自动测量与自动计算，并且自动生成反向间隙偏差及螺距误差补偿表，大大减小了操作与计算上的误差，而且提高了工作的效率。
针对常见数控系统，在加工过程中存在定位精度误差的问题，在下文会对几种常见的CNC系统进行位置精度的校验，并举例说明。
一、API激光干涉仪产品介绍1.1技术综述：API激光干涉仪大致有一下几种：1D激光主要测量定位误差3D激光可以测量定位误差、直线度误差(双向)5D/6D激光可以测量定位误差、直线度误差(双向)、偏摆角、俯仰角和滚动角1.2技术参数3D标准型：1. 线性：0.5ppm .2. 测量范围：45米(1D可选80米)3. 线性分辨力：0.001um.4. 直线度精度：(2.0+0.4/m)um或2%显示较大值5. 直线度最大范围：500um6. 温度精度：0.2摄氏度7.湿度精度：5%8.压力精度：1mmHg1.3 XD Laser激光干涉仪3D标准型（套装）标准型API XD-3D激光干涉仪系统如下表1.1编号描述数量产地及制造商86413 激光头 1 美国API 78413 快速安装夹具 1 美国API 100125 XD电源 1 美国API 76215 电源线，125V，10A，适用于90-250交流电 1 美国API 41631 4”光学连接杆 1 美国API 98231 6”光学连接杆 1 美国API 58464 45mm光线转向镜-带有4”光学连接杆 1 美国API 18386 十字接插件 1 美国API 56211 磁力底座（50X58X55） 2 美国API 55539 以太网连接线 1 美国API19254 水平气泡 1 美国API97512 气象站。
激光干涉仪
激光干涉仪的安装
线性测量的安装
激光头 固定反 射镜 移动反射 镜
线性测量原理
线性测量原理
激光干涉仪通过接受到得激光的明暗条 纹变化，再通过电子细分，从而知道距离的 细微和准确变化。
角度测量的安装
角度测量原理
激光头
直线度测量的安装
直线度测量原理
垂直测量的安装
平面度测量的安装
END
激光干涉仪
关于齿轮的效率 关于齿轮的类型
……
1
激光干涉仪的基本概念
目 录
2
激光及其特点
3
Байду номын сангаас激光的干涉特性
4
激光干涉仪的安装 激光干涉仪的原理
5
激光干涉仪的基本概念
什么是激光干涉仪
利用激光作为长度基准，对数控设备（加工中心，三坐标测量机等）的 位置精度（定位精度，重复定位精度等），几何精度（俯仰扭摆角度， 直线度，垂直度）进行精密测量的精密测量仪器
激光及其特点
激光输出可视为一束正弦波
激光具有三个重要特性
1 2 3
激光波长非常稳定，可以精密测量测量的要求。
激光波长非常短，可以用于高精度测量。（例：雷尼绍xl-80激 光波长为633nm) 激光具有干涉特性。
激光的干涉特性
相长干涉
如果两束光相位相同，光波会叠 加增强，表现为亮条纹。
相消干涉
如果两束光相位相反，光波 会互相抵消，表现为暗条纹。
双频激光干涉仪
光刻机定位双频激光干涉仪发布日期：2005年10月20日访问次数：1503光刻机定位双频激光干涉仪1.项目概述双频激光干涉仪以其特有的同时具有大测量范围、高分辨率、高测量精度和高速度等优点，在精密和超精密测量领域获得了广泛的应用。
双频激光干涉仪采用外差干涉测量原理，克服了普通单频干涉仪测量信号直流漂移的问题，具有信号噪声小、抗环境干扰能力强、允许光源多通道复用等诸多优点，使得干涉测长技术能真正用于实际生产。
例如，精密坐标机床的标定、高精度传感器的标定、半导体工业中的高精度模板的制造和定位、以及构成多坐标精密定位多轴运动系统等。
中科院上海光机所在上海市科委光科技专项二期项目支持下，完成了“光刻机定位双频激光干涉仪”样机。
以100nm线宽步进扫描投影光刻机工件台定位需求为研制目标，对双频激光干涉仪系统的关键技术进行了攻关，已经成功研制出一台高精度、高速度、大范围的双频激光干涉仪实验室样机，如图1所示。
该仪器核心技术是分辨率的提高和改进，取得6项专利，拥有自主知识产权。
2.国内外技术、应用现状及应用领域1）国内外技术双频激光干涉仪首先由美国HP公司研制成功并获得专列权。
第一批定型产品为5500A，于1970年投放市场，它的量程达到61m，测量精度为5×10-7，测量速度达330mm/s。
其后HP公司又研制了其他派生产品，如5526A除了能测长度以外，还能测速度、角度、平面度、直线度和垂直度，还可以用来测震及进行X-Y微动台的定位，用途极为广泛。
其他国家在这方面做了不少工作，投入市场的还有英国的Renishaw、美国的ZYGO、法国SORO和日本横河等公司。
我国从七十年代，清华大学、北京计量院、机械部成都工具研究所等科研部门就已开始研制双频激光干涉仪样机，至今已经有二、三十年历史。
成都工具研究所有商品化仪器出售,但分辨率比较差。
尽管国外双频激光干涉仪水平比较高，但价格高，特别是高档次的产品对我国禁运，而国内产品不能满足高精度先进制造技术方面的需求。
激光干涉仪性能简介
激光干涉仪性能简介激光干涉仪是一种利用激光作为光源，通过干涉效应来测量光路差的精密仪器。
它广泛应用于长度测量、位移测量、表面形貌分析等领域。
本文将介绍激光干涉仪的性能特点和相关应用。
一、测量精度激光干涉仪的测量精度是衡量其性能的重要指标之一。
它通常表示为测量的标准偏差，也称为测量重复性。
激光干涉仪的测量精度受到多个因素的影响，包括激光光源的稳定性、光路稳定性、探测器的分辨率等。
一般来说，激光干涉仪的测量精度可以达到纳米级甚至亚纳米级。
二、线性度激光干涉仪的线性度是指输出信号与输入量之间的线性关系。
在理想情况下，激光干涉仪的输出信号应该与输入量成线性关系。
然而，在实际应用中，激光干涉仪的线性度常常受到非线性因素的影响，如光学元件的非线性特性、电子控制的非线性响应等。
为了提高激光干涉仪的线性度，可以采用校正算法或者提高光学元件的质量。
三、稳定性激光干涉仪的稳定性是指其输出信号在一定时间范围内的变化程度。
稳定性包括长期稳定性和短期稳定性两个方面。
长期稳定性指的是在长时间使用过程中，激光干涉仪的性能变化情况。
短期稳定性指的是在短时间内，激光干涉仪的输出信号的波动情况。
稳定性对于激光干涉仪的应用非常重要，尤其是在需要长时间测量或者对测量结果要求高精度的情况下。
四、灵敏度激光干涉仪的灵敏度是指其对于被测量的参数变化的敏感程度。
一般来说，激光干涉仪的灵敏度越高，能够检测到更小的参数变化。
激光干涉仪的灵敏度与输入光强度、光路长度等因素相关。
提高灵敏度的方法包括增强光源的亮度、采用高分辨率的探测器等。
五、动态范围激光干涉仪的动态范围是指能够测量的最大和最小光强的范围。
这个范围通常用分贝单位来表示。
动态范围越大，表示激光干涉仪能够处理更大和更小的光强。
动态范围的大小与仪器的灵敏度和噪声水平有关。
六、应用领域激光干涉仪广泛应用于工业制造、科学研究和实验室测量等领域。
在工业制造中，激光干涉仪常用于长度测量、表面形貌分析和位移测量等。
激光干涉仪测量原理
激光干涉仪测量原理激光干涉仪是一种基于干涉原理的测量仪器，主要用于测量长度、角度和平面度等。
它通过利用激光的干涉现象，实现高精度测量。
激光干涉仪有多种类型，包括腔长度干涉仪、双光束干涉仪和多光束干涉仪等。
激光干涉仪的原理基于干涉现象，即光的波动性质，当两束光线相遇时，在空间中形成干涉图案。
这个干涉图案的形状和光线的相位差有关，而相位差又与参考光线和测量光线的路径差有关。
在激光干涉仪中，激光器产生的强度稳定且单色的激光通过分束器被分成两束光线，一束作为参考光线，另一束被引导到待测物体上，形成测量光线。
当测量光线经过待测物体反射或透射后再次与参考光线相遇时，两束光线会发生干涉现象。
干涉现象会产生干涉条纹，这些条纹反映了两束光线间的相位差，从而反映了待测物体上的形状、位移或折射率等信息。
为了更好地观察干涉条纹，激光干涉仪通常使用干涉仪，例如迈克尔逊干涉仪或菲涅尔干涉仪。
在迈克尔逊干涉仪中，参考光线和测量光线分别通过反射镜和半透镜被反射或透射，然后再次相遇形成干涉条纹。
在菲涅尔干涉仪中，参考光线和测量光线分别通过透镜和透明棱镜后再次相遇。
为了测量待测物体的形状、位移或折射率等信息，需要通过改变参考光线和测量光线的光程差来修改干涉图样。
常见的方法是通过改变光程差来改变干涉环的位置或数量。
光程差可以通过调整反射镜或透镜的位置来实现。
通过测量干涉条纹的位置和数量的变化，可以获得待测物体的形状或位移的信息。
激光干涉仪具有高精度、高分辨率和快速响应的特点，因此被广泛应用于各种测量领域。
例如，激光干涉仪可用于测量长度、角度和平面度等机械工件的精度。
它还可以用于光学元件的制造和表面形貌的测量。
此外，激光干涉仪还可以应用于光学实验、光学校准和科学研究等领域。
总之，激光干涉仪是一种基于干涉原理的精密测量仪器。
它通过利用激光的干涉现象来实现高精度测量，并广泛应用于各种测量领域。
激光干涉仪在工业界和科学研究领域具有重要的应用价值。
API公司T3激光跟踪仪
一、美国API公司简介美国自动精密工程公司（A utomated P recision I nc.）由刘锦潮博士(Dr. Kam u)创建于1987年。
公司自成立以来始终致力于机械制造领域精密测量仪器和高性能传感器的研制和生产，产品已广泛应用于美国及世界各国的先进制造领域。
在与美国联邦政府、美国国家标准局（NIST）、国家制造科学中心、密歇根大学、马里兰大学、北卡罗莱纳大学、康涅狄格大学等的项目合作中，API公司都是积极参与者和关键技术伙伴。
API公司迄今为止所取得的成就使其在国际精密测量领域享有很高的声誉。
刘锦潮博士于八十年代初率先开展激光跟踪测量技术的研究，持有激光测量系统多项专利，是全世界公认的激光跟踪技术发明者。
API公司不仅推出了国际上第一台商业化激光跟踪仪（即瑞士莱卡激光跟踪仪）。
而且是目前世界上唯一能生产六维激光跟踪仪的厂家。
API研制的绝对测距（ADM）技术早在1996年就在美国宇航（NASA）和美国海军（NAVY）工程中得到了成功应用。
目前，API激光跟踪仪已经被广泛应用到了航空、航天、汽车制造、造船、铁路机车、机床、石油、电子等行业。
美国国家标准局（NIST）、中国国家计量科学研究院、美国宇航局、Boeing、Airbus、洛克希德马丁公司、英国航空公司、法国雪铁龙公司、通用汽车公司、日产、标致、雷诺、雪铁龙等都已成为API公司的忠实用户。
中国国家计量科学研究院（NIM）作为中国计量行业的最高权威单位与API的合作更体现了强强联合的特点。
API激光跟踪仪的客户清单及在航空及船舶行业的使用状况详见附后。
为更好地服务于中国客户，API公司于2004年初在上海成立了上海爱佩仪自动精密仪器科技有限公司，作为中国用户的技术服务中心。
API上海公司的工程技术人员均为本科或硕士学历，并定期在美国总部接受专业的技术培训，上海公司可以提供设备的操作培训、维修保养和设备标定，同时面向中国客户提供API产品的零配件供应，以最大地方便客户，为客户提供最优质的服务。
API激光干涉仪使用方法
API激光干涉仪使用方法
1、开机：接通电源打开电源开关，1分钟后开始检测。
（因为刚开机激光器不稳定）
2、光路调整：旋上适合的标准镜头使标准镜头的星点对准寻星窗口中间的黑点，显示器上显示完整的圆形图像。
3、透镜面形检测：调节沉座到被检透镜的适合尺寸，（建议大批量固定透镜的检测，自己加工固定的沉座）放上透镜调节高度和透镜调节钮使透镜的星点与标准镜头的星点重合，观测显示器是否出现干涉条纹，条纹越少精度越高。
干涉图像与对准系统同步，无需切换，任何人都能简单操作。
星点重合干涉条纹（判读可参考第三节）
沉座尺寸M46X1M70X1高度调节机构
高度调节结构选择加长的测试轨道来配合测量尺寸，可简便的测量出曲率半径。
4、透镜曲率半径检测：开启标尺电源开关（清零），调整图像到看清直线干涉条纹(3条到5条），凸透镜向上调节高度（凹透镜向下调节高度）到第2个星点出现的时候调节标准镜头调节旋钮，使图像出现猫眼像，标尺移动的数值就为被测透镜的曲率半径。
猫眼干涉条纹
标尺（标尺上红点按键为标尺电源开关长按标尺红点按键为关）。
激光平面干涉仪说明书讲解
一、用途激光平面干涉仪是一种使用方便的光学精密计量仪器，主要用于精密测量光学平面度。
仪器配有激光光源（波长为632.8nm）。
对于干涉条纹可目视、测量读数。
工作时对防震要求一般。
该仪器可应用与光学车间、实验室、计量室。
如需配购相关的必要附件，可精密测量光学平面的微小楔角、光学材料折射率n的均匀性，光学镀膜面或金属块规表面的平面度，90度棱镜的直角误差及角锥棱镜单角和综合误差。
二、主要数据1. 第一标准平面（A面）,不镀膜。
工作直径：D1=φ146mm不平度小于0.02um2.第二标准平面（B面），不镀膜。
工作直径：D2=φ140mm不平度小于0.03um3.准直系统：孔径F/2.8，工作直径：D0=φ146mm焦距：f=400mm4.测微目镜：焦距f=16.7mm，放大倍数β=15X，视场角2W=40°，成像物镜：1.D=4.5 II.D=7 III.D=10F=15 f=23 f=375.工作波长：632.8nm6.干涉室尺寸：深260X宽300X190mm。
7.光源规格：激光ZN18（He-Ne）。
8.仪器的外形尺寸：长X宽X高 350X400X720mm9.仪器重量：100公斤图一第一标准平面（A面）精度照片图二第二标准平面（B面）三、工作原理本仪器工作基于双光束等厚干涉原理。
根据近代光学的研究结果，光兼有波动与颗粒两重特性。
光的干涉现象是光的波动性的特性。
因此，介绍本节内容时，仅在光的波动性的范围内讨论，例如，把“光”称为“光波”，“平行光”称为“平面光”。
波长为的单色光经过仪器有关的光学系统后成为平面波M。
（如图三所示），经仪器的标准平面P1和被检系统P2反射为平面波M1和 M2。
M1、M2即为两相干光波，重叠后即产生等厚干涉条纹。
等厚干涉原理能够产生干涉的光束，叫相干光。
相干光必须满足三个条件：1.震动方向必须一致，2.频率相等：3.光束必须相遇，且在相遇点处的相位差在整个时间内为一常量。
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d1 -d2 L 平行光入射时 L 非平行光入射时
y -x 透镜 -y PSD光电位置 敏感检测器 x
测量结果输出
偏摆角
俯仰角
滚动角
五、API XD干涉仪独有技术
API XD干涉仪独有技术 — 滚动角测量
采用双电子水平仪技术
+电子水平仪
API XD干涉仪独有技术 — 水平转台测量
测量转台的分度精度
机床单一直线轴几何误差(示意)
直线度误差 (XX及YY方向) (偏摆角) (俯仰角)
(滚动角) 线性定位误差(定位精度, 重复定位精度, 反向间隙)
API公司 XD系列激光干涉仪
线性定位误差
(定位精度, 重复定位精度, 反向间隙)
一维测量系统 XD – 1D
标准型&精密型
直线度误差 数控直线轴
(XX及YY方向)
线性定位误差测量
API XD干涉仪的测量方法:
一次安装也可同时测量其它五个参数;
可利用电脑中的直线度实时显示,
数字化精确去除余弦差，测量准确; 两点调光，对光迅速.
传统干涉仪因对光不准易产生余弦差 (导致测量值小于实际值)
线性定位误差测量
测量结果输出
二、直线度测量
直线度测量— 旧的方法
通过经分光镜分出的两束光经直线度反射镜返回干涉镜后产生的光程差与固定角 度的比值计算出的（如下图），属非1:1的测量 测量时绝不允许断光, 不能用于导轨的安装调节, 只能用于最终评价 分光时的角度决定了测量直线度的精度，分角越大灵敏度越好，但对于分角越大 所测得距离就会越短，所以测直线度时分为短距离镜组(0.1 - 4 m)和长距离镜 (1 - 30 m)，且分光角度和反射镜的平面度随环境温度变形影响测量精度; 测量直线度时调整光路的要求是非常苛刻的，一定要保证分出的两条光路与直线 度反射镜两镜面垂直且还要保证光束准直，直线度镜组间有严格的匹配关系，即 使横向和纵向反射镜间也绝不允许互换使用，这样就使得镜组复杂繁多，给日常 维护带来极大的不便
爱佩仪中测(成都)精密仪器有限公司
美国API公司 总部
美国, 马里兰州
机床主要误差
激光干涉仪
线性定位误差
主轴测量系统
主轴温升 温升热变性误差 导轨温升变性 切削热变性 直线度误差
(XX及YY方向)
几何误差 (21项)
垂直度 偏摆角(A) 俯仰角(B) 滚动角(C) 操作误差
刀具安装 工件定位 切削速度
激光干涉仪用户 (二)
序号 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 北京第一机床厂 大连重工集团公司 大同机车 北京交通大学 油机机械（昆山）有限公司 明鑫机床厂 哈尔滨东安发动机 任丘机床 时代公司（鞍钢机械厂） 沈阳黎明发动机厂 用户名称 产品名称 6D激光干涉仪 激光干涉仪 5D激光干涉仪 5D激光干涉仪 激光干涉仪 激光干涉仪 5D激光干涉仪 激光干涉仪 5D激光干涉仪 3D激光干涉仪 数量 1 1 1 1 2 1 1 1 1 1
XD系列激光干涉仪特点
测量原理 (五维)
干涉仪 主 机 干涉镜 俯仰及偏摆 角检测模块 干涉仪 分光镜
直线度检 测模块 干涉仪 磁性座 干涉仪 反射镜
XD系列激光干涉仪特点
测量原理 (六维)
+电子水平仪
XD系列激光干涉仪特点
先进的结构设计
API公司采用了稳定钢球与绝热层的双重定位设计（如下图），将干涉镜用高 绝热层与激光器主机隔开，从而避免了干涉镜受热变形，用稳定钢珠将干涉 镜前端的干涉区与下端底盘定位相连，从而使激光管及电路板发热而引起的 热膨胀方向沿稳定钢珠中线向后，使得干涉镜不受影响，保证了测量准确性
设计理念:
大大提高测量效率,减少机床受检时间 最高测量精度: 0.5 ppm (标准型) 0.2 ppm (精密型) 提高实际测量精度 降低使用难度 便携性
XD系列激光干涉仪特点
测量机床全部误差所用的时间越短，越能 够反映所测机床的真实情况。当用传统干 涉仪测量时，因在测量各项指标时更换光 学镜调整光路上要浪费大量的时间，难以 保证机床检测数据的稳定性和重复再现性
环境因素:
环境温度: 变化1 ℃, 引起误差: 1 ppm (1微米/1米长); 大气压力: 变化2.5 mmHg, 引起误差: 1 ppm: 相对湿度: 变化50%,引起误差: 1 ppm; 材料温度: 变化1 ℃, 引起误差: 11 ppm (钢), 23 ppm (铝);
激光干涉仪测量精度(标准型):
垂直度测量— API XD的方法
API XD激光干涉仪是通过PSD技术1:1进行直线度测量的，所以API干涉仪测两 轴垂直度时只需一个五角棱镜既可，无需其他镜组. 装/调非常方便快速 在测两轴的垂直度的同时，两轴各自的线性定位误差、直线度，偏摆角、俯仰 角都可一次测出，大大节省了测量所占用机床的时间，也可避免人为差错
一次安装能测量6项精度指标
包括线性定位误差、XX及YY两个方向直线度、 偏摆角、俯仰角、滚动角
把反射镜换成五棱镜既可测量两轴间垂直度 两点调光线. 无需三脚架. 测量调整简单快速 传统激光干涉仪测量20项精度指标(三轴)，约需3天的时间；API干涉仪只约需半天! 测量直线度/小角度/垂直度/转台时, 不怕断光, 可当自准直仪用, 用于机床装配调试
使用API XD-5D后, 9 小时 1.5 小时 / 1轴
机床(HMC)导轨垂直度检测
激光切割机检测
数控立式磨床检测
七、用户清单
激光干涉仪用户 (一)
序号 1 2 3 4 5 6 7 8 用户名称 航空部精密机械研究所 哈尔滨飞机制造厂 中国计量院 深圳计量院 信息产业部电子五所 福州大学 航天部五院529厂 重庆计量院 产品名称 5D激光干涉仪 激光干涉仪 6D激光干涉仪 5D激光干涉仪 1D激光干涉仪 5D激光干涉仪 5D激光干涉仪 5D激光干涉仪 5D激光干涉仪 5D激光干涉仪 6D激光干涉仪 9 成都中测院 1D激光干涉仪 1D激光干涉仪 10 中南精密机械公司 5D激光干涉仪 数量 2 3 1 1 2 1 1 1 1 1 2 4 2 1
检测机床/CMM(坐标测量机)对角线(示意)
API XD 检测导轨平行度(示意)
适用于XD-3D、5D或6D
同时测量水平面和垂直面内的平行度
API XD 检测平板平面度(示意)
待测面 传感器和平台
激光头
机床(VMC)检测
美国Brown & Sharpe 坐标机检测
(旧)机床检定 (波音工厂)
仪器测量误差: 0.5 ppm (0.5微米/米) 激光长期稳频精度: 0.05 ppm
结论: 减少机床的受检时间十分重要!!!
XD系列激光干涉仪
• 约在2000年进入中国市场，是后来者 • 认真研究了前者的优缺点，扬长避短 • 结合激光干涉技术和光电自准直技术: 不仅可用 于精度的最终评价, 也可用于机床的安装调整
激光干涉仪用户 (四)
序号 31 32 33 34 35 36 37 38 39 40 用户名称 深圳新德丰精密机械公司 沈阳数控机床有限公司（沈阳东瑞） 中山市建德工业有限公司 东莞恒辉五金机器有限公司 上海市检测中心 特博精机（深圳）有限公司 浙江武义鸿业机床有限公司 辽宁省计量院 北京青云航空仪表有限公司 沈阳电器配件厂（沈阳东瑞） 产品名称 3D激光干涉仪 1D激光干涉仪 3D激光干涉仪 3D激光干涉仪 1D激光干涉仪 3D激光干涉仪 1D激光干涉仪 1D激光干涉仪 5D激光干涉仪 1D激光干涉仪 数量 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1
激光器 发热区 绝热层 干涉镜 反射镜
实际热膨胀方向 调节钢珠 稳定钢珠
XD系列激光干涉仪特点
重量轻、体积小、携带方便
长470 mm x 宽400 mm x 高250 mm
一、线性定位误差测量
线性定位误差测量— 旧的方法
激光头安装在机床工作台之外，机床所受的震动干扰和激光头的 不同，产生测量误差。特别是在带有空气弹簧减震系统的机器上 三点对光，操作复杂 依靠电脑上的光强条的强弱来对, 余弦差较大
如果测量水平方向的直线 度反射镜要水平放置，光 路要再调整一次，如果测 量3轴6个直线度。需要安 装6次光学镜，调整6次光 路。
β
测量长距离(大于4米)直线度时， 需换用长距离直线度测量镜
α
激光器
干涉镜
直线度 反射镜
直线度测量— API XD的方法
应用先进的PSD技术
(光电位置敏感检测器。它可将光敏面上的光点位置转化为电信号)
empowering metrology solutions
美国自动精密工程公司（API）
ห้องสมุดไป่ตู้
API 公司简介
1987年创建. 快速成长 雇员: 约500人 专业计量仪器. 现代计量技术的发明人，如: 激光跟踪仪、 激光干涉仪、角摆检测仪等 ASME B5.54 (美国机械工程协会)会员; B89.4.19 美国测量系统标委会)的成员 经A2LA(美国实验室国家认可委员会)认证授 权的检定实验室, 产品无须第三方检定 全球性的公司: 在欧洲、亚洲和北美都有销 售&服务机构和公司 中国: 5个代表处 2个公司: 爱佩仪自动精密仪器科技(上海)有限公司
API干涉仪
反射镜
五角棱镜
垂直度测量
测量结果输出
四、偏摆角/俯仰角测量
偏摆角/俯仰角测量— 旧的方法
激光束被角度干涉镜中包含的分光镜一分为二: 一部分光束(A1)直接通过干涉镜，并从 角度反射镜的某一半反射回激光头; 另一条光束(A2)通过角度干涉镜的角度分光镜，传 到角度反射镜的另一半，角度反射镜使光束通过干涉镜返回到激光头 通过比较光束 A1 和 A2 之间的光程差获取Δl值，再通过正弦计算从而得到角度测量 值α 因在参与计算的参数中d是个固定的数值，而在实际测量过程中d却是一个变化的参数， 主要影响d值变化的因素为： 1、角度反射镜受环境温度影响而产生形状位置误差 2、在测量过程中，受机床滚动角影响而发生变化 测量过程不能断光, 很难用于导轨的安装调试